JPS60102510A - 超音波厚さ計 - Google Patents
超音波厚さ計Info
- Publication number
- JPS60102510A JPS60102510A JP21041483A JP21041483A JPS60102510A JP S60102510 A JPS60102510 A JP S60102510A JP 21041483 A JP21041483 A JP 21041483A JP 21041483 A JP21041483 A JP 21041483A JP S60102510 A JPS60102510 A JP S60102510A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- power
- ultrasonic wave
- ultrasonic
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
- G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
この発明は超音波厚さ計に関する。
[従来の技術及び欠点1
従来の超音波〃さ計は単一の周波数のパルス状川音波の
エコ一時間を測定りる構成となっている。従って^い分
解能を得るには、数M f−1zから数十M I−I
zの高い周波数の超白波パルスを発射できる手段と、高
速なカウンタを有する必髪があり、薄い被測定物の厚さ
を測定しにくい、という欠点があった。
エコ一時間を測定りる構成となっている。従って^い分
解能を得るには、数M f−1zから数十M I−I
zの高い周波数の超白波パルスを発射できる手段と、高
速なカウンタを有する必髪があり、薄い被測定物の厚さ
を測定しにくい、という欠点があった。
[発明の目的]
それ故、この発明の目的は、比較的低い周波数の超音波
を、2つまたは複数使用し、薄い被測定物の厚さを測定
できる超音波厚さ轟1を提供することにある。
を、2つまたは複数使用し、薄い被測定物の厚さを測定
できる超音波厚さ轟1を提供することにある。
[発明の構成及び効果]
この発明は、2つまたは複数の周波数の超音波を使い、
被測定物からの反射波のパワーを演算するので、被測定
物の厚さのみならず音響インピーダンスも同時に測定で
きる効果を有する。
被測定物からの反射波のパワーを演算するので、被測定
物の厚さのみならず音響インピーダンスも同時に測定で
きる効果を有する。
[実施例の説明]
以下この発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第1図は本発明の超音波厚さnlのブロックダイヤグラ
ムである。1は探触子であり、2はパワー検出部であり
、3は送信部、4はA/I)変換器、5は超音波発生部
、6は表示部、7はCPU、8はメモリである。第2図
は超音波厚さhlの動作フローチャー1・である。また
超音波発生部5はCPU7のコン1−ロールによって異
なる周波数の超音波を発生′りる。いま探触子1が被測
定物に垂直に取付りられているものとづる。
ムである。1は探触子であり、2はパワー検出部であり
、3は送信部、4はA/I)変換器、5は超音波発生部
、6は表示部、7はCPU、8はメモリである。第2図
は超音波厚さhlの動作フローチャー1・である。また
超音波発生部5はCPU7のコン1−ロールによって異
なる周波数の超音波を発生′りる。いま探触子1が被測
定物に垂直に取付りられているものとづる。
(被測定物に触れる探触子の音響インピータンスは予め
測定してわかっているしのとする。)超音波発生部5は
CPU7の6i]令によって周波 4゜数1゛1の超音
波を探触子1より発射し、パワー検出部2は直ちに表面
からの反射波のパワーを検出する。検出されたパワーは
A/l)変換器4でA/D変換されCPU7を介してメ
七り8に一旦記憶される。次にパワー検出部2は遅れて
やってくる底面部の反射波パワーを検出する。
測定してわかっているしのとする。)超音波発生部5は
CPU7の6i]令によって周波 4゜数1゛1の超音
波を探触子1より発射し、パワー検出部2は直ちに表面
からの反射波のパワーを検出する。検出されたパワーは
A/l)変換器4でA/D変換されCPU7を介してメ
七り8に一旦記憶される。次にパワー検出部2は遅れて
やってくる底面部の反射波パワーを検出する。
さらにこのパワーもA / D変換され、メモリ8に記
憶される。
憶される。
さらに異なる周波数の1′2の超音波に対しても同様な
動作を行う。この結果法の式(11,(21が得られる
。
動作を行う。この結果法の式(11,(21が得られる
。
B (1)C,d、fl )=α・S (pc、d、f
l )・・・・(1)B (pc、d、t’2 )−β
・S (pc、d、r2 )・・・・(2)ここでB及
びSは予め理論的にわかっている関数であり、α、βは
上記の測定により決定される。CPU7はこの2式を連
立方程式として予めメモリ8に記憶されている方法によ
って解き、得られた音響インピーダンスと厚さを表示部
6より表示する。
l )・・・・(1)B (pc、d、t’2 )−β
・S (pc、d、r2 )・・・・(2)ここでB及
びSは予め理論的にわかっている関数であり、α、βは
上記の測定により決定される。CPU7はこの2式を連
立方程式として予めメモリ8に記憶されている方法によ
って解き、得られた音響インピーダンスと厚さを表示部
6より表示する。
第1図は本発明における超音波厚さB1のブロックダイ
17グラムを示す。第2図は超音波厚さ計の動作フロー
チャートである。 1・・・探触子、2・・・パワー検出器、4・・・A/
D交換器、5・・・超音波発生部、7・・・CP U、
8・・・メモリ。 特許出願人 立石電機株式会社 手 続 補 正 書 (方式) 59.3.1U! 昭和 年 月 日 特許庁長官殿 1、事件の表示 昭和58年特i1’l願第2101114弓2、発明の
名称 超8波厚さ計 3、補正をする者 事件との関係 特t1出願人 住所0616京都市右京区花園土堂町10番地4、?i
fl止命令の日f→ 昭和59年2月28日5、補正の
対象 明細13 6、補正の内容
17グラムを示す。第2図は超音波厚さ計の動作フロー
チャートである。 1・・・探触子、2・・・パワー検出器、4・・・A/
D交換器、5・・・超音波発生部、7・・・CP U、
8・・・メモリ。 特許出願人 立石電機株式会社 手 続 補 正 書 (方式) 59.3.1U! 昭和 年 月 日 特許庁長官殿 1、事件の表示 昭和58年特i1’l願第2101114弓2、発明の
名称 超8波厚さ計 3、補正をする者 事件との関係 特t1出願人 住所0616京都市右京区花園土堂町10番地4、?i
fl止命令の日f→ 昭和59年2月28日5、補正の
対象 明細13 6、補正の内容
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 異なる複数の周波数のビーム状の超音波を発射し、かつ
被測定物から反射してきた超音波のパワーを検出する手
段と、 この超音波を発射、検出する手段を被測定物の表面に対
して垂直に保持する手段と、 これら検出されたパワーをA/D変換する手段と、A/
D変換された値を一時的に記憶する手段と、これらのA
/D変換値を一定の方式にもとづいて演nする演n手段
とを備えた超音波厚さ翳1゜
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21041483A JPS60102510A (ja) | 1983-11-08 | 1983-11-08 | 超音波厚さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21041483A JPS60102510A (ja) | 1983-11-08 | 1983-11-08 | 超音波厚さ計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60102510A true JPS60102510A (ja) | 1985-06-06 |
Family
ID=16588918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21041483A Pending JPS60102510A (ja) | 1983-11-08 | 1983-11-08 | 超音波厚さ計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60102510A (ja) |
-
1983
- 1983-11-08 JP JP21041483A patent/JPS60102510A/ja active Pending
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