JPS60102510A - 超音波厚さ計 - Google Patents

超音波厚さ計

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Publication number
JPS60102510A
JPS60102510A JP21041483A JP21041483A JPS60102510A JP S60102510 A JPS60102510 A JP S60102510A JP 21041483 A JP21041483 A JP 21041483A JP 21041483 A JP21041483 A JP 21041483A JP S60102510 A JPS60102510 A JP S60102510A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measured
power
ultrasonic wave
ultrasonic
detecting
Prior art date
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Pending
Application number
JP21041483A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Takinami
滝波 孝治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Tateisi Electronics Co
Omron Tateisi Electronics Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Tateisi Electronics Co, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Tateisi Electronics Co
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Publication of JPS60102510A publication Critical patent/JPS60102510A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B17/00Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
    • G01B17/02Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] この発明は超音波厚さ計に関する。
[従来の技術及び欠点1 従来の超音波〃さ計は単一の周波数のパルス状川音波の
エコ一時間を測定りる構成となっている。従って^い分
解能を得るには、数M f−1zから数十M I−I 
zの高い周波数の超白波パルスを発射できる手段と、高
速なカウンタを有する必髪があり、薄い被測定物の厚さ
を測定しにくい、という欠点があった。
[発明の目的] それ故、この発明の目的は、比較的低い周波数の超音波
を、2つまたは複数使用し、薄い被測定物の厚さを測定
できる超音波厚さ轟1を提供することにある。
[発明の構成及び効果] この発明は、2つまたは複数の周波数の超音波を使い、
被測定物からの反射波のパワーを演算するので、被測定
物の厚さのみならず音響インピーダンスも同時に測定で
きる効果を有する。
[実施例の説明] 以下この発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第1図は本発明の超音波厚さnlのブロックダイヤグラ
ムである。1は探触子であり、2はパワー検出部であり
、3は送信部、4はA/I)変換器、5は超音波発生部
、6は表示部、7はCPU、8はメモリである。第2図
は超音波厚さhlの動作フローチャー1・である。また
超音波発生部5はCPU7のコン1−ロールによって異
なる周波数の超音波を発生′りる。いま探触子1が被測
定物に垂直に取付りられているものとづる。
(被測定物に触れる探触子の音響インピータンスは予め
測定してわかっているしのとする。)超音波発生部5は
CPU7の6i]令によって周波 4゜数1゛1の超音
波を探触子1より発射し、パワー検出部2は直ちに表面
からの反射波のパワーを検出する。検出されたパワーは
A/l)変換器4でA/D変換されCPU7を介してメ
七り8に一旦記憶される。次にパワー検出部2は遅れて
やってくる底面部の反射波パワーを検出する。
さらにこのパワーもA / D変換され、メモリ8に記
憶される。
さらに異なる周波数の1′2の超音波に対しても同様な
動作を行う。この結果法の式(11,(21が得られる
B (1)C,d、fl )=α・S (pc、d、f
l )・・・・(1)B (pc、d、t’2 )−β
・S (pc、d、r2 )・・・・(2)ここでB及
びSは予め理論的にわかっている関数であり、α、βは
上記の測定により決定される。CPU7はこの2式を連
立方程式として予めメモリ8に記憶されている方法によ
って解き、得られた音響インピーダンスと厚さを表示部
6より表示する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明における超音波厚さB1のブロックダイ
17グラムを示す。第2図は超音波厚さ計の動作フロー
チャートである。 1・・・探触子、2・・・パワー検出器、4・・・A/
D交換器、5・・・超音波発生部、7・・・CP U、
8・・・メモリ。 特許出願人 立石電機株式会社 手 続 補 正 書 (方式) 59.3.1U! 昭和 年 月 日 特許庁長官殿 1、事件の表示 昭和58年特i1’l願第2101114弓2、発明の
名称 超8波厚さ計 3、補正をする者 事件との関係 特t1出願人 住所0616京都市右京区花園土堂町10番地4、?i
fl止命令の日f→ 昭和59年2月28日5、補正の
対象 明細13 6、補正の内容

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 異なる複数の周波数のビーム状の超音波を発射し、かつ
    被測定物から反射してきた超音波のパワーを検出する手
    段と、 この超音波を発射、検出する手段を被測定物の表面に対
    して垂直に保持する手段と、 これら検出されたパワーをA/D変換する手段と、A/
    D変換された値を一時的に記憶する手段と、これらのA
    /D変換値を一定の方式にもとづいて演nする演n手段
    とを備えた超音波厚さ翳1゜
JP21041483A 1983-11-08 1983-11-08 超音波厚さ計 Pending JPS60102510A (ja)

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