JPS5878432A - 連続処理装置 - Google Patents
連続処理装置Info
- Publication number
- JPS5878432A JPS5878432A JP17319281A JP17319281A JPS5878432A JP S5878432 A JPS5878432 A JP S5878432A JP 17319281 A JP17319281 A JP 17319281A JP 17319281 A JP17319281 A JP 17319281A JP S5878432 A JPS5878432 A JP S5878432A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyor
- treated
- accident
- accumulation
- treating device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は連続処理装置に係わるものであり、とくに人手
を介さない連続処理装置において、先行工程の事故を感
知して、既に後続装置に入った処理物を事故装置前で一
時的に集積保持する装置を有するものに関する。
を介さない連続処理装置において、先行工程の事故を感
知して、既に後続装置に入った処理物を事故装置前で一
時的に集積保持する装置を有するものに関する。
連続処理装置においては多くの工程が順次組合され、そ
の中の一つの工程で事故が起り停止、休止あるいは処理
物が停滞した場合に混乱を生ずる。
の中の一つの工程で事故が起り停止、休止あるいは処理
物が停滞した場合に混乱を生ずる。
この事故を感知して装置が一時停止してた場合、後続し
て来る処理物を正常に戻るまで一時集積保持せしめ、事
故解消と共にこの集積装置から正常工程に流すととによ
り工程の混乱を収拾することができる。
て来る処理物を正常に戻るまで一時集積保持せしめ、事
故解消と共にこの集積装置から正常工程に流すととによ
り工程の混乱を収拾することができる。
この発明は人手を介さない連続処理装置において例えば
半導体ウエノ・−、フォトマスク、色分解用カラーフィ
ルター、レチクル等の処理物が一つの処理装置例えばフ
ォトレジスト機、加熱装置等から次の処理装置例えば露
光装置彦どに移ることになるが、この処理が故障の場合
、それまでの処理装置を流れてきた処理物を一時的に集
積（ストック）して混乱を起さないように緩衝地帯を設
けるようにしたものである。
半導体ウエノ・−、フォトマスク、色分解用カラーフィ
ルター、レチクル等の処理物が一つの処理装置例えばフ
ォトレジスト機、加熱装置等から次の処理装置例えば露
光装置彦どに移ることになるが、この処理が故障の場合
、それまでの処理装置を流れてきた処理物を一時的に集
積（ストック）して混乱を起さないように緩衝地帯を設
けるようにしたものである。
連続処理装置として例えば第１図はフォトレジスト塗布
から露光までの工程を示す説明図で例えば出発点Ｓで工
程が始まりレジスト塗布Ａ→乾燥Ｂ→冷却Ｃという工程
のあと、当然のことながら露光機りにて露光されるわけ
であるが、露光機においてはマスター原版の取換え、不
正露光の発生などのトラブルが発生する可能性が大きい
。一方、順次搬送されてくる処理物はそのトラブルによ
って停止させると、例えば加熱装置内にて停止した処理
物は全部だめになる。よってＡ、Ｂ、Ｏの処理はたとえ
露光機りが故障したとしても停止することなく遂行した
い。そこで露光機りの直前に処理物をいざという時に蓄
えることのできる集積装置Ｅを設けておく。この集積装
ＷＥはトラブルがない場合には働かないがトラブル発生
時には一時、露光機りが休止して処理物が停滞している
時には働く。集積装置Ｅの収納力は出発点ＳからＡ−＋
Ｂ→Ｃに存在する処理物を全て収容できるものであれば
よく、勿論、停止時には出発点から新たな処理物の供給
を止めればよい。トラブル時にＡ、Ｂ。
から露光までの工程を示す説明図で例えば出発点Ｓで工
程が始まりレジスト塗布Ａ→乾燥Ｂ→冷却Ｃという工程
のあと、当然のことながら露光機りにて露光されるわけ
であるが、露光機においてはマスター原版の取換え、不
正露光の発生などのトラブルが発生する可能性が大きい
。一方、順次搬送されてくる処理物はそのトラブルによ
って停止させると、例えば加熱装置内にて停止した処理
物は全部だめになる。よってＡ、Ｂ、Ｏの処理はたとえ
露光機りが故障したとしても停止することなく遂行した
い。そこで露光機りの直前に処理物をいざという時に蓄
えることのできる集積装置Ｅを設けておく。この集積装
ＷＥはトラブルがない場合には働かないがトラブル発生
時には一時、露光機りが休止して処理物が停滞している
時には働く。集積装置Ｅの収納力は出発点ＳからＡ−＋
Ｂ→Ｃに存在する処理物を全て収容できるものであれば
よく、勿論、停止時には出発点から新たな処理物の供給
を止めればよい。トラブル時にＡ、Ｂ。
Ｃにある処理物を全て収容することでＡ、Ｂ、０の処理
を経た処理物をだめにしない。トラブル解消後は集積装
置Ｅに収容された処理物を露光機りへ供給するとともに
出発点Ｓからの供給も可能となる。
を経た処理物をだめにしない。トラブル解消後は集積装
置Ｅに収容された処理物を露光機りへ供給するとともに
出発点Ｓからの供給も可能となる。
第２図は本発明の説明を簡略化するため第１処理装置１
から第２処理装置２の間に集積装置３が設置された状態
が示されている。装置１．２間にはロープコンベアー４
で搬送される。集積装置３は１個もしくはそれ以上を併
置できるもので、この実施例では集積装置は３個併設し
である。
から第２処理装置２の間に集積装置３が設置された状態
が示されている。装置１．２間にはロープコンベアー４
で搬送される。集積装置３は１個もしくはそれ以上を併
置できるもので、この実施例では集積装置は３個併設し
である。
第３図は第２図Ｘ−Ｘ断面を示す集積装置３の説明図で
ある。搬送ロープコンベアー４にハ処理物ａを感知する
センサー５が設けられている。６は集積用分岐コンベア
ーであり、該コンベアー６は小サイクルで逆転可能に設
計される。図の実施例では集積用分岐コンベアー６は搬
送ロープコンベアー４と直交する方向に設置されており
、このロープコンベアー４の間に出没するように７を支
点としてエアシリンダー８で操作される。従って図のよ
うに集積用分岐コンベアー６はその上方で搬送ロープコ
ンベアーが可動するように多くのガイドロール９で規正
されている。この集積用分岐コンベアー６が搬送ロープ
コンベアー４の上に出るときは処理物ａはそれに移され
て直角方向に送られる。この集積用分岐コンベアー６は
小さいサイ、クルのもので、これにより送られた処理物
ａはスパイラル軸１０に沿って自由に上、昇下降するエ
レベータ−１１上に置かれた集積用カセット１２の中の
棚に１個ずつ送り込まれる。この際例えば最初に最上の
棚から順次下の棚に送りこまれるようにエレベータ−を
順次所定位置に上昇させるようにする。また事液が解消
したときは最初にカセット１２に入った方（この場合最
上棚より）の棚から、集積用分岐コンベアー６を逆転さ
せて逐次搬送ロープコンベアー４上に送り出す。
ある。搬送ロープコンベアー４にハ処理物ａを感知する
センサー５が設けられている。６は集積用分岐コンベア
ーであり、該コンベアー６は小サイクルで逆転可能に設
計される。図の実施例では集積用分岐コンベアー６は搬
送ロープコンベアー４と直交する方向に設置されており
、このロープコンベアー４の間に出没するように７を支
点としてエアシリンダー８で操作される。従って図のよ
うに集積用分岐コンベアー６はその上方で搬送ロープコ
ンベアーが可動するように多くのガイドロール９で規正
されている。この集積用分岐コンベアー６が搬送ロープ
コンベアー４の上に出るときは処理物ａはそれに移され
て直角方向に送られる。この集積用分岐コンベアー６は
小さいサイ、クルのもので、これにより送られた処理物
ａはスパイラル軸１０に沿って自由に上、昇下降するエ
レベータ−１１上に置かれた集積用カセット１２の中の
棚に１個ずつ送り込まれる。この際例えば最初に最上の
棚から順次下の棚に送りこまれるようにエレベータ−を
順次所定位置に上昇させるようにする。また事液が解消
したときは最初にカセット１２に入った方（この場合最
上棚より）の棚から、集積用分岐コンベアー６を逆転さ
せて逐次搬送ロープコンベアー４上に送り出す。
この送り出しは、集積カセット１２の納入口の反対側に
設けられた送り出し用の供出装置１３が、そのシリンダ
ー機構と該シリンダーの先端に付けられた送り出し用の
腕１４によって、集積カセット１２から処理物を集積用
分岐コンベアー６の上まで押しやることでなされる。当
然のことながら、この時集積用分岐コンベアー６は、搬
送ロープコンベアー４へ処理物を運ぶように動いている
。第４図は分岐コンベアー６と、搬送用ロープコンベア
ー４の動作の説明図であり、（イ）図は搬送用ロープコ
ンベアー４によって処理物ａが順調に運ばれ、下方に位
置する分岐コンベアーが全く働かない場合を示す。（ロ
）図は事故時に処理物ａを集積カセット１２中に集積す
るために第３図における集積用分岐コンベアー６を搬送
用ロープコンベアー４の間に、支点７とエアシリンダー
８の作用で上昇させ処理物ａを集積カセット１２に送り
込む状態を示すものである。また第５図は集積カセット
１２に処理物ａを入れまたは出す状態を示しくイ）図は
集積用分岐コンベアー６から処理物ａが集積カセット１
２に送り込まれる状態で、スパイラル軸１０のエレベー
タ−１１により棚１５に上から順次下に処理物ａを送り
込む様子を示し、また（口）図は集積用分岐コンベアー
６を逆回転し、事故解除とともに集積カセット１２中で
事故期間中棚１５の上に保持されていた処理物ａを供出
装置１３の腕１４により押し出して集積用分岐コンベア
ー６上に送る様子を示す。更に言えば、この後、処理物
ａは分岐コンベアー６の他方の端部に達した時、分岐コ
ンベアー６が第５図←）の状態から第５図（イ）の状態
に変化するものであり、これにより処理物ａは分岐コン
ベアー６から搬送用ロープコンベアー４の上に伝達され
、正常の工程を進むことになるものである。
設けられた送り出し用の供出装置１３が、そのシリンダ
ー機構と該シリンダーの先端に付けられた送り出し用の
腕１４によって、集積カセット１２から処理物を集積用
分岐コンベアー６の上まで押しやることでなされる。当
然のことながら、この時集積用分岐コンベアー６は、搬
送ロープコンベアー４へ処理物を運ぶように動いている
。第４図は分岐コンベアー６と、搬送用ロープコンベア
ー４の動作の説明図であり、（イ）図は搬送用ロープコ
ンベアー４によって処理物ａが順調に運ばれ、下方に位
置する分岐コンベアーが全く働かない場合を示す。（ロ
）図は事故時に処理物ａを集積カセット１２中に集積す
るために第３図における集積用分岐コンベアー６を搬送
用ロープコンベアー４の間に、支点７とエアシリンダー
８の作用で上昇させ処理物ａを集積カセット１２に送り
込む状態を示すものである。また第５図は集積カセット
１２に処理物ａを入れまたは出す状態を示しくイ）図は
集積用分岐コンベアー６から処理物ａが集積カセット１
２に送り込まれる状態で、スパイラル軸１０のエレベー
タ−１１により棚１５に上から順次下に処理物ａを送り
込む様子を示し、また（口）図は集積用分岐コンベアー
６を逆回転し、事故解除とともに集積カセット１２中で
事故期間中棚１５の上に保持されていた処理物ａを供出
装置１３の腕１４により押し出して集積用分岐コンベア
ー６上に送る様子を示す。更に言えば、この後、処理物
ａは分岐コンベアー６の他方の端部に達した時、分岐コ
ンベアー６が第５図←）の状態から第５図（イ）の状態
に変化するものであり、これにより処理物ａは分岐コン
ベアー６から搬送用ロープコンベアー４の上に伝達され
、正常の工程を進むことになるものである。
以上述べたように本発明は集積装置３を両工程間に設け
て、事故時にもこれに処理物を一時集積保持し、事故解
除とともにこの集積装置から正常工程に処理物を送９出
すことができる連続処理装置であり、実用上極めて優れ
たものであると言うことができる。
て、事故時にもこれに処理物を一時集積保持し、事故解
除とともにこの集積装置から正常工程に処理物を送９出
すことができる連続処理装置であり、実用上極めて優れ
たものであると言うことができる。
第１図は連続処理装置の１例を示す工程説明図、第２図
は二工程間に設け、た集積装置を含む部１ 分の上面からの説明図、第３図は集積装置の説明図（第
２図のＸ−Ｘ断面図）、第４図（イ）は分岐コンベアー
が搬送用ロープコンベアーの下方に位置子る状態を示す
説明図、同じく（ロ）図は分岐コンベアーが搬送用ロー
プコンベアーの上方に位置して処理物を運ぶ状態を示す
説明図、第５図（イ）図は分岐コンベアーから集積カセ
ットに送り込む状態を示す説明図、同じく（ロ）図は集
積カセットから分岐コンベアー（逆転）から正常工程の
搬送用ロープコンベアーへと処理物を送る様子を示す説
明図である。 １・・・・・・第１処理装置 ２・・・・・・第２処
理装置３・・・・・・集積装置 ４・・・・・・搬送用ロープコンベアー５・・・・・・
センサー ６・・・・・・分岐コンベアー７・・
・・・・支点 ８・・・・・・エアシリンダ
ー９・・・・・・カイトロール １０・・・・・・ス
ノ母イラル軸１１・・・・・・エレベータ−１２・・・
・・・集積用カセット１３・・・・・・供出装置
１４・・・・・・腕１５・・・・・・棚 Ａ、 Ｂ、 Ｏ，Ｄ・・・・・・工程 Ｅ・・・・・
・集積所ａ・・・・・・処理物 第４ （イ） 第５ （イ） 図 図 （ロ） ２
は二工程間に設け、た集積装置を含む部１ 分の上面からの説明図、第３図は集積装置の説明図（第
２図のＸ−Ｘ断面図）、第４図（イ）は分岐コンベアー
が搬送用ロープコンベアーの下方に位置子る状態を示す
説明図、同じく（ロ）図は分岐コンベアーが搬送用ロー
プコンベアーの上方に位置して処理物を運ぶ状態を示す
説明図、第５図（イ）図は分岐コンベアーから集積カセ
ットに送り込む状態を示す説明図、同じく（ロ）図は集
積カセットから分岐コンベアー（逆転）から正常工程の
搬送用ロープコンベアーへと処理物を送る様子を示す説
明図である。 １・・・・・・第１処理装置 ２・・・・・・第２処
理装置３・・・・・・集積装置 ４・・・・・・搬送用ロープコンベアー５・・・・・・
センサー ６・・・・・・分岐コンベアー７・・
・・・・支点 ８・・・・・・エアシリンダ
ー９・・・・・・カイトロール １０・・・・・・ス
ノ母イラル軸１１・・・・・・エレベータ−１２・・・
・・・集積用カセット１３・・・・・・供出装置
１４・・・・・・腕１５・・・・・・棚 Ａ、 Ｂ、 Ｏ，Ｄ・・・・・・工程 Ｅ・・・・・
・集積所ａ・・・・・・処理物 第４ （イ） 第５ （イ） 図 図 （ロ） ２
Claims (1)
- 人手を介さない連続処理装置の先行工程の事故を感知し
て、既に後続装置に入った処理物を事故装置前で一時的
に集積保持する装置を有し、該装置は搬送用ロープコン
ベアーの中間位置で処理物を検知するセンサーを備え、
かつ前記搬送用ロープコンベアー間に出没できる小サイ
クルの逆転可能の分岐コンベアーと、該分岐コンベアー
から、処理物をうけて収納する集積カセットと、事故解
消と同時に上記集積カセットの収納口の対向口より集積
処理物を１個ずつ順次、収納時とは逆に回転する前記分
岐コンベアー上に押出す供出装置よりなる集積装置を有
する連続処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17319281A JPS5878432A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 連続処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17319281A JPS5878432A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 連続処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878432A true JPS5878432A (ja) | 1983-05-12 |
Family
ID=15955793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17319281A Pending JPS5878432A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 連続処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5878432A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5232797U (ja) * | 1975-08-30 | 1977-03-08 | ||
| JPS5480976A (en) * | 1977-11-25 | 1979-06-28 | Kasper Instruments | Modified wafer rolling and feed device |
| JPS54114176A (en) * | 1978-02-27 | 1979-09-06 | Kokusai Electric Co Ltd | Semiconductor wafer storage buffer |
| JPS5551805A (en) * | 1978-10-04 | 1980-04-15 | Stahl Urban Co | Method and apparatus for treating processed segment |
-
1981
- 1981-10-29 JP JP17319281A patent/JPS5878432A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5232797U (ja) * | 1975-08-30 | 1977-03-08 | ||
| JPS5480976A (en) * | 1977-11-25 | 1979-06-28 | Kasper Instruments | Modified wafer rolling and feed device |
| JPS54114176A (en) * | 1978-02-27 | 1979-09-06 | Kokusai Electric Co Ltd | Semiconductor wafer storage buffer |
| JPS5551805A (en) * | 1978-10-04 | 1980-04-15 | Stahl Urban Co | Method and apparatus for treating processed segment |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1147359A (en) | Original feed device for a copying machine | |
| US4586668A (en) | Bobbin conveying system | |
| US4613091A (en) | Cop transporting system for an automatic winder | |
| JPH0521804B2 (ja) | ||
| JPS59114206A (ja) | パレツトコンベア装置 | |
| JPS5878432A (ja) | 連続処理装置 | |
| DE3202305A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur ausrichtung und einzelabgabe von spinnkopsen | |
| KR19990036953A (ko) | 얇은 가요성 물건의 저장/분배 방법 및 장치 | |
| US4718560A (en) | Device for transporting different kinds of articles | |
| JP2005187191A (ja) | 折帳集積装置 | |
| JPS6366047A (ja) | 折りたたみ製品の搬送装置 | |
| JPS63139811A (ja) | 枚葉製造装置 | |
| JP2900683B2 (ja) | パッケージ搬送システム | |
| JP3000407B2 (ja) | 紙管供給装置 | |
| US5170955A (en) | Textile winding machine having an operator accommodating package readying assembly | |
| JPH03195626A (ja) | ケース搬送装置 | |
| JPH036108B2 (ja) | ||
| JPH04214428A (ja) | ボビン供給・排出装置 | |
| JP3656546B2 (ja) | 親巻き取り及びリールスプールの搬送・返還装置 | |
| JPS62175390A (ja) | クリ−ルへのパツケ−ジ供給装置 | |
| JPH10310307A (ja) | 印刷物を搬送流路系から取り出すと共に取り出した印刷物を積み重ねる方法及び装置 | |
| JP2814816B2 (ja) | ビル内のごみ及び書類の搬送装置 | |
| JPH0440915Y2 (ja) | ||
| JPH0375458B2 (ja) | ||
| KR0119608Y1 (ko) | 자동 판매기의 동전 이송장치 |