JPS5875883A - 混成集積回路の保護膜形成法 - Google Patents
混成集積回路の保護膜形成法Info
- Publication number
- JPS5875883A JPS5875883A JP17396381A JP17396381A JPS5875883A JP S5875883 A JPS5875883 A JP S5875883A JP 17396381 A JP17396381 A JP 17396381A JP 17396381 A JP17396381 A JP 17396381A JP S5875883 A JPS5875883 A JP S5875883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- integrated circuit
- hybrid integrated
- forming protective
- silicone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明は混成集積回路に形成される薄膜抵抗、コンデｙ
ｆ等の受動素子の保Ｓ鋏形Ｘに―するものである・ （２）技術の背景 従＊Ｓａ成集積回路において、パターン形成後トレミｙ
ダされた基板上の薄膜抵抗及びコンデンを勢にレジスジ
等の絶縁処理が施される・このレジスト処理は性能劣化
を防止する防湿保線よりも工程間Ｏ城扱い勢に起因する
傷、破損防止に重潰が置かれているのが一般的である〇
（３） 従来技術と間舶点 またレジスト処理はその用途により各種の樹脂が用いら
れ１例えば熱硬化性としてエポキシ樹脂、シリコンがあ
り、また牛田付の際、熱融解するロジン、ポリウレタン
があって、それぞれ一長一短がある・熱硬化性のエポキ
シ等は熱硬化による装置が必要である・まだ部品の熱に
よる影愉があるｅ熱融解するポリウレタン、ロジンは絶
縁特性に劣る・いづわもスポット的に樹脂を塗布するも
ので標準化しＫ（１，−、ため自動化を計る際の！ａ路
となうている〇 （４） 発明の目的 本発明は上記の膚に亀み電気特性にも優れたシリコン系
レジンによる選択保護コーテングする有効な手段を提供
するｋある◎ （５）発明のａｇ 本発明の目的は受動集子等の保−膜形成法において、紫
外ｌｌＡ照射によりて硬化する有砿シリ＝ン系レジンを
用い、該紮外縁￥ｒ遇択的に通過させるマスクを設けて
ｓｌｒ記受動桑子ＫＷＡ射し末露党部の有機シリコン系
レジンｔ−除去することｋようて違せられる・ （６）発明Ｏ１１！施例 以下本発＠Ｏ実施ｆｉｌを一面にようて詐述する。
ｆ等の受動素子の保Ｓ鋏形Ｘに―するものである・ （２）技術の背景 従＊Ｓａ成集積回路において、パターン形成後トレミｙ
ダされた基板上の薄膜抵抗及びコンデンを勢にレジスジ
等の絶縁処理が施される・このレジスト処理は性能劣化
を防止する防湿保線よりも工程間Ｏ城扱い勢に起因する
傷、破損防止に重潰が置かれているのが一般的である〇
（３） 従来技術と間舶点 またレジスト処理はその用途により各種の樹脂が用いら
れ１例えば熱硬化性としてエポキシ樹脂、シリコンがあ
り、また牛田付の際、熱融解するロジン、ポリウレタン
があって、それぞれ一長一短がある・熱硬化性のエポキ
シ等は熱硬化による装置が必要である・まだ部品の熱に
よる影愉があるｅ熱融解するポリウレタン、ロジンは絶
縁特性に劣る・いづわもスポット的に樹脂を塗布するも
ので標準化しＫ（１，−、ため自動化を計る際の！ａ路
となうている〇 （４） 発明の目的 本発明は上記の膚に亀み電気特性にも優れたシリコン系
レジンによる選択保護コーテングする有効な手段を提供
するｋある◎ （５）発明のａｇ 本発明の目的は受動集子等の保−膜形成法において、紫
外ｌｌＡ照射によりて硬化する有砿シリ＝ン系レジンを
用い、該紮外縁￥ｒ遇択的に通過させるマスクを設けて
ｓｌｒ記受動桑子ＫＷＡ射し末露党部の有機シリコン系
レジンｔ−除去することｋようて違せられる・ （６）発明Ｏ１１！施例 以下本発＠Ｏ実施ｆｉｌを一面にようて詐述する。
ｍ面は本発明Ｏ実施例である保護膜形成を示すｌＩ！明
図である。
図である。
同１１において薄膜抵抗２．３及びコンデンサ３等の受
動素子が形成された回路基板１上に有機シリ；ンレジン
５をスピンナ法又はスプレー法で噴射又は吹付けて均一
な被膜層を形成し表１ 画を常温硬化させるか或いはある＆綻べとつりた状態と
すゐ・ そＯＪ：面にマスク６を重ねる・マスク６は路外線装置
７からの紫外ｍｅ通過させる通過窓８゜９．１０と紫外
線管阻止するステンレス等の＊属のマスタ部とから々る
・なシ通過窓には県外線透過用ガラス１に設けておいて
も良い・通過窓８，９．１０は素子２．３．４＆Ｃ対ム
ロして設けられているから通過した紫外線にようて集子
２，３．４は電気特性に優れたシリコン櫨驕農でコーテ
ィ／グさする０ 一万末露光の遮蔽された部分即ち非硬化Ｓｔ有機溶剤例
えばキ）ツ等で洗條・払拭することによシ耐絶綴性に優
れた被膜で素子が保護された混成系積助路が得られるＯ このように紫外線で硬化するＶ機構ｊ１＃ＩＣ着目した
選択保護コーテングでｔＤうて標準化が可能である。
動素子が形成された回路基板１上に有機シリ；ンレジン
５をスピンナ法又はスプレー法で噴射又は吹付けて均一
な被膜層を形成し表１ 画を常温硬化させるか或いはある＆綻べとつりた状態と
すゐ・ そＯＪ：面にマスク６を重ねる・マスク６は路外線装置
７からの紫外ｍｅ通過させる通過窓８゜９．１０と紫外
線管阻止するステンレス等の＊属のマスタ部とから々る
・なシ通過窓には県外線透過用ガラス１に設けておいて
も良い・通過窓８，９．１０は素子２．３．４＆Ｃ対ム
ロして設けられているから通過した紫外線にようて集子
２，３．４は電気特性に優れたシリコン櫨驕農でコーテ
ィ／グさする０ 一万末露光の遮蔽された部分即ち非硬化Ｓｔ有機溶剤例
えばキ）ツ等で洗條・払拭することによシ耐絶綴性に優
れた被膜で素子が保護された混成系積助路が得られるＯ このように紫外線で硬化するＶ機構ｊ１＃ＩＣ着目した
選択保護コーテングでｔＤうて標準化が可能である。
（７）発明Ｏ効果
により電気的特性に優れた耐熱％耐絶縁性が得られ、ｍ
ＩＩｊＩ化方式が可能となる等その効果は着しい・ ４ ｌｉｔＯＭＪＩな説明 ―ｉ１社本発明Ｏ貢施例である保−膜形成を示す説Ｉｊ
Ｉ鵬である・ １１１において、ｌは基板、２＠Ｌ４は素子−ｂハシリ
コｙレジン、６はマスク、７は紫外Ｉ！ｉ装厘、８．９
．１０は紫外線通過窓を示すＯ
ＩＩｊＩ化方式が可能となる等その効果は着しい・ ４ ｌｉｔＯＭＪＩな説明 ―ｉ１社本発明Ｏ貢施例である保−膜形成を示す説Ｉｊ
Ｉ鵬である・ １１１において、ｌは基板、２＠Ｌ４は素子−ｂハシリ
コｙレジン、６はマスク、７は紫外Ｉ！ｉ装厘、８．９
．１０は紫外線通過窓を示すＯ
Claims (1)
- 素子Ｏ保護膜形成法において、紫外１ｍ照射によって硬
化する有機シリ；ン系レジンを素子が形成された基板上
Ｋ”ｌｌｌ！布し、該紫外ｓｅａ択的に通過させる！ス
ジを設は前記素子に照射し、末露光部の皺有機シリコン
系しジジを除去してなることを特徴とすＪ１混成集積回
路の保護膜形成法◎
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17396381A JPS5875883A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 混成集積回路の保護膜形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17396381A JPS5875883A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 混成集積回路の保護膜形成法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5875883A true JPS5875883A (ja) | 1983-05-07 |
Family
ID=15970280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17396381A Pending JPS5875883A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 混成集積回路の保護膜形成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5875883A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61111177U (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-14 | ||
| JPH0774454A (ja) * | 1993-09-03 | 1995-03-17 | Nec Corp | 印刷配線板の製造方法 |
-
1981
- 1981-10-30 JP JP17396381A patent/JPS5875883A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61111177U (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-14 | ||
| JPH0774454A (ja) * | 1993-09-03 | 1995-03-17 | Nec Corp | 印刷配線板の製造方法 |
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