JPS587160A - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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JPS587160A
JPS587160A JP56104415A JP10441581A JPS587160A JP S587160 A JPS587160 A JP S587160A JP 56104415 A JP56104415 A JP 56104415A JP 10441581 A JP10441581 A JP 10441581A JP S587160 A JPS587160 A JP S587160A
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pulse motor
optical system
carriages
carriage
oscillation
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Junji Watanabe
渡辺 順児
Toshiyuki Sogo
十河 敏行
Yasufumi Tanimoto
谷本 康文
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G15/00Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
    • G03G15/04Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for exposing, i.e. imagewise exposure by optically projecting the original image on a photoconductive recording material

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えば複写機等に使用される露光装置に関す
るものである。
露光装置とは、原稿台に載置された原稿にランプ等全介
して均一な光を当て、その反射光をレンズ及びミラー等
を介し、感光体表面に投影して光像を形成する光学系を
含む装置である。
従来使用されていた露光装置として例えば第1図に示す
ものを挙げることができる。図において1は、一対のギ
ヤリッジガイドシャフトであシ、図示[7ない複写機本
体に平行に取付けられている。
そしてこのギヤリッジガイドシャフト1には第1及び第
2のキャリッジ2.6が往役動自在に嵌合されている。
そして第1のギヤリッジ2にはランブイと第1のミラー
5とが取付けられるとともに第2のキャリッジ乙には第
2のミラー6が取付けられでおり、このランプ41シ図
示しない原稿台に固定されている原f1″IS7に光が
当てられ、その反射光が前記第1のミラー5と第2のミ
ラー6とを介してレンズ8に入射されるようになってい
る。
さらに前記第1のミラー5よりレンズ8に至るまでの光
路長が一定になるように前記第1及び第2のキャリッジ
2,3を移動しながら原稿7を走査するため、前6己第
2のキャリッジ乙に動滑車9が取付けられ、この動滑車
9には一端が固定されたワイヤ10が掛けられている。
そしてこのワイヤ10の中間部は、前記第1のキャリッ
ジ2に固定されるとともにワイヤドラム11に巻付けら
れ、このワイヤドラム11に対向配置されたプーリ12
を介して再び前記動滑車9に至る壕で張架されている。
さらにこのワイヤ10の他端部はコイルスプリング13
等に伺勢されて固定されている。このようにして設けら
れた前ff1l’iワイヤドラム11ば、種々のクラッ
チ例えば可逆クラッチ17I、変速クラッチ15笠を介
してモータ16よシの駆動力が伝述されるようになって
いる。また前記キャリッジガイドシャフト1に沿って光
学系の位置を検出する検出手段例えばマイクロスイッチ
17が設けられており、前記第1及び第2のキャリッジ
2゜乙の移動量を検出できるようになっている0このよ
うな露光装置は、前記クラッチ14,15及びモータ1
6を駆動して両キャリッジ2,6が移動されるとともに
、キャリッジ2,6が前記マイクロスイッチ17に当接
したとき、このマイクロスイッチ17よりの出力信号に
基づいて前記可逆クラッチ14が作動し、前記ワイヤド
ラム11が逆転されて順次第1のキャリッジ2が第2の
キャリッジ6の2倍の速度で往復動されることとなる。
また前記マイクロスイッチ17は両キャリッジ2゜乙の
イニシャル位置の設定基準に使用されるとともに、装置
の故障等による両ギヤリッジ2,60オーバーラン検知
にも使用されている。
しかし外からこのような露光装置にあっては、マイクロ
スイッチ17よりの出力信号に基づいて可逆クラッチ1
4が作動されるとともに両キャリッジ2.乙のイニシャ
ル位置が設定されるので、原稿サイズに応じて両ギヤリ
ッジの移動量を変える場合、多数のマイクロスイッチを
必要とし、構成が複雑化するという欠点があった。しか
もMO記ツクラッチ1415をON 、 OFFする度
に両キャリッジ2,3に衝撃及び振動を生じ、均一にイ
ニシャル位置を設定することができないとともに、ノ[
査中においては光像がぶれるという欠点があった。
本発明は」コツ事情に基づいてなされたものであり、光
学系の駆動源とし7てパルスモータを使用し、均一にイ
ニシャル位(r1′を設定することができるとともに光
学系の位置を検出する検出手段の構成を簡素化すること
ができ、同時に光学系を移動するときの衝撃及び振動の
発生全防止することができる露光装置を提供することを
目的とするものであるO 以下本発明の露光装置を図面を参照しながら説明する。
第2図は本発明の一実施例の露光装置を有する複写機の
概略縦断正面図である。図において20は複写機本体2
1に固定されている原稿台であり、その下方には露光装
置22が設けられている。これは、ランプ26と第1の
ミラー24とが一体になって移動して前記原稿台20に
載置されている原稿表面を1■次照明しながら走査でき
るようになっており、さらに前記第1のミラー24より
の反射光全反射してその先方に設けられているレンズ2
5に入射させるための第2のミラー26が設けられ、こ
の第2のミラー26は、前記第1のミラー24より前記
レンズ25に至る徒での光路長を一定にして移動できる
ようになっている。さらにレンズ25を透過した光を前
記複写機本体21のほぼ中央に設けられた感光体27の
表面に照射するために固定ミラー2Bが設けられ、前記
ランプ23により照明された原稿の像は、この露光装置
22によシ前記感光体270表面に結像されることとな
る。また前記感5Y; f、I、: 27の近傍には帯
電器29が設けられ、この?i)電器29によ勺帯電さ
れた感光体27の表面は、前記結像時の照明で静電潜像
が形成されるようになっている。そしてこの静電潜像は
、現像装置6〔]により現像剤が付着されて顕像化きれ
るようになつ−Cいる。また前記複写機本体21の側部
には用紙1) f<収納したカセット61.搬送口・−
ラ62等からなる用紙送り装置66が設けられており、
と−れよ)送出された用紙Pは一対のレジストローラ6
4に当接されて整f)γされた後、感光体27の表面に
形成されている顕像の周側面まで搬送さる。そして転写
装置65により、前記顕像を構成l〜でいる現像剤が前
記搬送されてきた用紙Pに転写され、その後定着装置6
6により定着されて、トレー67に取出されるようにな
ってbる。なお前記感光体27の近傍にはりリーニング
装置68が設けられておシ、前記転写後の感光体27は
このクリーニング装[38によシ清掃されるようになっ
ている。丑だ図中2点鎖線は用紙Pの搬送経路を示すも
のである。
次に前記露光装置22を第3図〜第7図をも含めて詳細
に説明する。第6図は本発明の露光装置の一実施例を示
す概略胴祝図、第4図は同装置の概略横断面図、第5図
は間装f&の制御手段を示すブロック図、第6図はパル
スモータの2相励磁方程を示す説明図、第7′図はパル
スモータの速度特性を示す説明図である。図において3
9は一対のキャリッジガイドシャフトであり前記複写機
本体21に平行に取付けられている。そしてこのキャリ
ッジガイドシャフト69には第1及び第2のキャリッジ
40,41が往復動自在に嵌合されている。この嵌合部
分の構造は、第4図に示すように、前記第1及び第2の
キャリッジ40.41の一端部が元型ブツシュ42を介
して嵌合され、他端部が角型ブツシュ46を介して第4
図示上下方向のみ拘束されて嵌合されている。なお図示
はしないが前記角型ブツシュ43の代わりに、前記他端
部にガイドローラを設け、このガイドローラを前記ギヤ
リッジガイドシャフト69の一方で支持する構造にする
ことも可能である。そして前記第1のキャリッジ/IO
には前記ランプ23と第1のミラー24とが取付けられ
ているとともに、第2のキャリッジ41には前記第2の
ミラー26が取付けられておシ、ランプ26よシ前記原
TNM台20に固定されている図示I−ない原イ゛高に
光が当てられ、その反射光が前記第1及び第2のミラー
24.26を介し7て前記レンズ25に入射されるよう
になってい乙。さらに前記第1及び第2のキャリッジ4
0゜41 ’tr:移動させるための動力伝達機構とし
て、壕ず前記第2のギヤリッジ41に連結アース・62
を介してスライダ66が数句けられ、このスライダ66
が前記キャリッジガイドシー)tフ)・69の一方に移
動自在にIf32合され、このスライダ63と前記第2
のキャリッジ41との側部には一対のギア45A、、4
5Bが回転自在にitg付けられ、これらのギア4.5
A、45Bには第1のタイミングベルト44が張設され
ている。そしてとの第1のタイミングベルト44の中間
部は例えば複写機本体21の一部に固定されている。才
た第2のタイミングベルト46が一対のギア47A 、
 47Bに回転自在に張設され、この中間部が例えばロ
ッド40α等を介【2て前記第1のタイミングベルト4
4の中間部と前記第1のキャリッジ40の側部とに結合
され、前記ギア47Aはパルスモータ48を駆動源とし
て駆動されるようになっている。このような動力伝達機
構においては、iIJ記第1のタイミングベルト44の
中間部が固定されているので前記ギア45A、45Bが
動滑車と同様な作用をして前記第1のキャリッジ40は
第2のキャリッジ4102倍の速度で移動されることと
なり、前記第1のミラー24よりレンズ25に至るまで
の光路長が一定に保持されることとなる。また前記第1
のキャリッジ40の最大移動範囲の両端には一対のスト
ツバ49A、49Bが取付けられており、前記ロッド4
0σがこれらストッパ49A。
49Bに当接することにより第1のキャリッジ40が抑
1Lされるようになっている。そI7て前記第1のキャ
リッジ40の位置を検出する検出手段として例えば前記
ロッド40αの先端と前記第2のタイミングベルト46
の中間部とに被検出子50A、50Bが設けられている
とともに、前記ロッド40aが前記ストッパ49Aに当
接したときに、この被検出子50Aを検出しかつ、前F
t!: Ifラッド0αが前記ストッパ49Bに当接し
たとべ前i;[:被検出子5[〕Bを検出・することが
できる位1tにセンサ51が設けられている0 次に前記パルスセータ48を駆動するためのifl!御
手段52についで説明する。これは前WjL両キャリッ
ジ4.0 、41のイニシャル位置を設定するとともに
、原稿台2〔]に載置さ11た原稿のサイズに対応して
前記パルスセータ48をll−11転させかつ、パルス
モータ48の起動に際してンよ除々に加速(以トスロー
アツブと称づる)シ、等速回転の後に停市する際には除
々に減速(1μ下スロ・−ダウンと称する)するための
ものでJ)る。第5図において56は各種処理データを
記憶した読出し専用記憶装fffi (以下■<、OM
と称する)であυ、54はタイマであυ、55にL人カ
ボートであシ、56は出力ポートであシ、これらはデー
タバス57を介してこれらを制御する中央処理装ff2
 (以下CI?Uと称する)58に接Mtコされている
。前i己タイマ54はクロック発生器59からのりII
ツク信’hfi 59Aによって駆動され、設定される
こととなる後述の相切換時間毎にタイムアウト信−号’
 E)9Bを発生して前記CPU 58に割込み信号と
して印加するようになっている。前記入力ポート5F)
は、ディジタルスイッチ等からなる入力装置6〔〕が接
続されて原稿ライズの指定が行なわれるようになってい
るとともに、前記センサ51よりの191定の出力信号
が人力されてイニシャル位置の設定動作の指示がなされ
るようになっている。前記出力ポート56は前記パルス
モータ48の励磁相切換用であυ、とれよ力出力される
こととなる励磁相切換パルスによってパルスモータ48
の励磁相切換回路61の制御が行なわれるようになって
いる。
ここで壕ず後述するイニシャル位置が設定された後直キ
ャリッジ40.41を移動して原稿の走査を行なうため
前記ROM 53にH1シ憶されている内容の一例につ
いて説明する。例えばA、X、B。
n相からなるパルスモータ48の駆動方式として2相励
磁方式を採用する場合、第6図に示すように所定の励磁
相切換パルス間隔(以下相切換時間と称する)ごとにl
llt次励磁相をりJ換えながら励磁する(斜線部が励
磁相を示す)こととなる。そして前記パルスモータ48
の速度特性を第7図に示すように加速期間T、2等速期
間14p減速期間T3とする場合、加速期間T1におい
では前記相切換時間が除々に短かくなるように設定され
、等速期間T2においでは相切換時間が均一4間隔で設
定され、減速1)jJ間T3においては相切換時間が除
々に長くなるように設定される。そしてこのようにして
設定された各相切換時間は前記タイマ54のクロック周
期局間で除算され、そ11らの値(以下タイマセットデ
ータと称−t−る)がパルスモータ駆動用データ群(以
下単にf−夕群と称する)としてROM56に格納され
ている。iた前屈露光装置22により原稿の走査を行な
うのは前記等速期間T2内であυ、この期間は原稿のザ
ーfズに対応して伸縮されるべきものである。これt士
前記キャリッジ40゜41の移動量を必要最小限として
走査時間Q−いては複写時間の短縮化を図るためである
。従って種々の原稿サイズに対応したタイマセットデー
タを含んだ検数のデータ群が予l−゛、め前記ROM 
53に格納されておシ、前記入力装置60によυ原稿サ
イズの指定を行なうだけで前記ROM 53内に格納さ
れている複数のデータ群のうちの1群が選択されてその
タイマセットデータに従って順次実行されることとなる
。このときの動作を第8図に示すフロ・−チャートをも
が照してd))1関すると、先ず前記入力装置60を操
作して原稿のサイズに対応した原稿サイズ指定を行なう
と、指定された原稿のサイズに対応する信号が前記入力
ポート55を介してCI)U58内に読み込−まれる。
CPU 58では前記パルスモータ48の駆動開始か否
かを判別し、駆動開始であれば割込み受付可能とし、R
OM53に格納されている複数のデータ群の内指定され
た原稿サイズに対応する1つのデータ群を選択すること
となり、このデー・夕群中の最初のタイマセットデータ
を読み出し、前記タイマ54をセットする。
タイマ54な二セットした後出力ボート56を介してパ
ルスモータ48の所定の相例えば第6図示A相及び■3
相が励磁される。なおパルスモータ48の励磁開始時に
おける励磁相はCI)U 58の記憶に基づいて選択さ
れることと々る。そして前記タイマ54にセットされた
最初のタイマセットデータに基づきタイムアウトになっ
たとき、これよりタイムアウト信号59Bが出力される
のでCPU 58はこれを検出して割込みを受は伺ける
こととなシ、FjびAff記選択されたデー・夕群中の
第2届目のタイマセットデータを前記タイマ54にセッ
トするとともに、前記出力ポート56より出力される励
磁相切換パルスによセ前1記励磁、相A、BがB、A相
に切換えられる。次にタイムアウト信号59Bが出力さ
れると励磁相を込、Bに切換えられる。このようにして
タイマセットデータに基づくタイミングに従って出力ポ
ート56よ力出力される励磁相切換パルスによシ順次励
磁相が切換えられてパルスモータ48が所定回転される
こととなる。このとき前記加速期間TI内においては相
切換時間が除々に短かくなっているのでパルスモータ4
8はスロアツブし、前記第1及び第2のキャリッジ40
゜41は撮動することなくかつ、衝撃荷重が作用するこ
となく移動され、さらにランプ26笠によって走査を開
始するまでの予備ストロークを長くする必要もない。従
って前記等速IJI間T2内においては信頼性の高い走
査を行なうことができ、しかも装置を小型化することも
可能となる。−また前記減速期間T3内においては相切
換時間が除々に長くなっているのでパルスモータ48は
スローダウンし、第1及び第2のキャリッジ40.41
は無振動、無衝撃で停止されることとなる。パルスモー
タ48が所定回転されたときは、前記選択されたデータ
群のタイマセットデータが「零」となるのでROMデー
タなしと判断がなされ、割込み受付は不可能状態となり
、1回目の走査が終了される。また異なるサイズの原稿
を走査する場合には、前記同様に入力装置6Dを操作し
てその原稿のサイズに対応した原稿サイズ指定を行なう
ことにより前記ROM b 3中に格納されている複数
のデータ群のうち原稿サイズ指定に対応した1つのデー
タ粗゛が選択されて1111次走査がf:rされること
となる。なお故1濠などにより前訛両キャリッジ40,
41がオーバーラン(〜たときは前NjLセンサ51に
よシ被検出子50A p 50I3が検出され、適宜の
手段を介してその旨が表示され或いは装置f<ffiの
駆動が停止1−されるようになっている。
次に前記両キャリッジ40 、4.1のイニシャル位置
を設定するために前記ROM 53に記憶されている内
容の一例について、?I4明する。例えば複写機)等に
使用される露光装置にあって公よ、内蔵されている感光
体等と同期させて前記両キャリッジ40゜41を移血1
しなければならないため、両キャリッジ40,41のイ
ニシャル位置の設定が必要不可欠となる。ところで前記
パルスモータ48 FCN源が投入されたときは、両キ
ャリッジ40.41が所定のイニシャル位置にあるかど
うかはわからない。そこで前記センサ51よりの出力信
号に基づいてパルスモータ48を所定回転してイニシャ
ル位置を設定するため、パルスモータ48をにステップ
だけ駆動するために必要な7タイマセツトデータを有す
るデータ群C1と、Nステップだけ駆動するために必要
なタイマセットデータを有するデータ群C2と、適宜の
ステップだけ駆動するために必要がタイマセットデータ
を有するデータ群C,とがROM53に格納されている
このようなC!〜C3データに基づいてイニシャル位置
を設定する場合の動作を第9図に示す説明図及び第10
図に示すフローチャー1− eも参照して説明する。な
おパルスモータ4Bの駆動原理は前記同様であるので詳
細な説明は省略する。まずパルスモータ48に電源が投
入されたとき前記検出子5DA、50Bがセンサ51に
より検出されているか(以下ON状態と称する)或いは
検出されていないか(以下OFF状態と称する)が入力
ボート55を介して判別される。例えば第9図(5)に
示すようにOFF状態にある場合には、CPU 58は
ROM53に格納されているデータ群C3に含まれてい
るタイマセットデータを順次前記タイマ54にセットし
てパルスモータ48を矢印A方向に回転させ、前記ロン
ド40αがストッパ49Aに当接l〜で被検出子50A
がセンサ51によシ検出されたときは、これCPUに印
加され、CPU58ばこれに基づき前記出力ポー456
?介してパルスモータ48の回転方向を逆転する(実際
には励磁相切換方向を逆にすることとなる)とともにR
OM 53中に格納されているデータ群C1に基づいて
パルスモータ48をにステップだけ矢印B方向にV、動
して両キャリッジ40.41のイニシャル位置を設定す
ることとなる。−士た第9図03)に示すように被検出
子50Aがセンサ51に検出されてON状態にあるとき
は、CPU58はROM 53に格納されているデータ
群C2に基づいてパルス七−夕4Bを矢印I3方向にN
ステップだけ駆動し、その後パルスモータ48を逆転し
てデータ群C3に基づいて矢印入方向に駆動する。
そして前記同様被検出子5〔INがセンサ51に検出さ
れた後パルスモータ4Bを逆転するとともにデ−・−・
夕群C1に基づいて矢印B方向ににステップだけ駆動し
て両キャリッジ40.410イニシャル位置を設定する
こととなる。−また第9図C)に示すように被検出子5
0Bがセンサ51によシ検出されてON状態にあるとき
は、前記同様CPU58はROM53に格納されている
データ群C2に基づいてパルスモータ48を矢印B方向
にNステップだけ駆動するが、この場合にあってはロッ
ド405が前記ストンなる。その後CI)U 58はパ
ルスモータ48を逆転してデータ群CSに基づいて矢印
入方向に駆動する。
そしてMfJ記同様被検出子50Aがセンサ51に検出
された後パルスモータ48を逆転するとともにデータ群
C1に基づいて矢印B方向ににステップだけ駆動して両
キャリッジ40.41のイニシャル位置を設定すること
となる。このようにしてパルスモータ48の回転量を制
御することKよシ両キャリッジの初期位置がいかなる位
置であっても正確かつ均一にイニシャル位置を設定する
ことが可能となる。
次に他の実施例を′?R11図に基づいて説明する。
第2〜第5図に示す部材と同一のものについては同じ番
号を付して詳細な説明を省略する。前記と異なる構成d
1前記第1のタイミングベルト44の中間部が前記第1
のキャリッジ40に結合され、前記第2のタイミングベ
ルト46の中間部が前記第2のキャリッジ41に結合さ
れ、さらに前記第1のキャリッジ40に対する第2のキ
ャリッジ41の移動速度を半分にして前記第1のミラー
24よシレンズ25に至るまでの光路長を一定にするた
め、前記ギア45Aは第1の変速機例えば第1のギア列
65に接続され、前記ギア47Aは前記第1のギア列6
502倍に相当する減速率を有する第2の変速機例えば
第2のギア列66に接続されており、これら両ギア列6
5.66は第1のパルスモータ67、第2のパルスモー
タ68に接続されて駆動されるように構成したことであ
る。なお前記ギア45A、47Aの歯数及びピッチは等
しく構成されている。さらに前記ストッパ49A、49
Bを第1及び第2のキャリッジ40.41双方の最大移
動範囲の両端に設け、それにともなって前記被検出子5
0A、50B及びセンサ51を前記第1及び第2のタイ
ミングベルl−44、46ごとに設けて構成したことで
ある。このように構成すれば動力伝達機構の構成を特に
簡素化することができ、精度の高いイニシャル位置の設
定が可能となる。
上記実施例は一例であシ各部材につき同一機能を有する
他の部材に置換えることができることは言うまでもない
以上の説明から明らかなように本発明の露光装置にあっ
ては高精度でかつ均一にイニシャル位置を設定すること
ができるとともに光学系の位置を検出する検出手段の構
成を簡素化することができ、同時に光学系を移動すると
きの衝撃及び振動の発生を防止することができる等の優
れた効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来使用されていた露光装置の概略斜視図、第
2図は本発明の一実施例の露光装置を有する複写機の概
略縦断正面図、第3図は本発明の露光装置の一実施例を
示す概略斜視図、第4図は同装置の概略横断面図、第5
図は同装置の制御手段を示すブロック図、第6図はパル
スモータの2相励磁方式を示す説明図、第7図はパルス
モータの速度特性を示す説明図、第8図はパルスモータ
の駆動説明のためのフローチャー1・、第9図(ト)。 03) 、 (C)はイニシャル位置設定動作の説明図
、第10図tまイニシャル位置設定動作の説明のための
フローチャート、第11図は本発明の他の実施例を示す
概略斜視図である。 22・・・露光装置、  26・・・ランプ、  24
・・・第1のミラー、  25・・・レンズ、  26
・・・第2のミラー、  27・・・感光体、  28
・・・固定ミラー、69・・・キャリッジガイドシャフ
ト、  4o・・・第1のギヤリッジ、40α・・・ロ
ッド、  41・・・第2のキャリッジ、  44・・
・第1のタイミングベルト、45A、45B・・・ギア
、  46・・・第2のタイミングベルト、  47A
、47B・・・ギア、  48・・・パルスモータ、4
9A、49B ・、X ) ツバ、  50At bO
B ・・・被検出子、51・・・センサ、  52・・
・制御手段、 56・・・ROM。 54−・・タイマ、  55・・・入力ボート、  5
6・・・出力ボート、  57・・・データバス、  
58・・・CPU 。 59・・・クロック発生器、 60・・・入力装置、6
1・・・励磁相切換回路、  62・・・連結アーム、
66・・・スライダ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑(ほか1名)第  4
  図    39 7 0 第  6  図 百粍日=」7]− ビーーーーーーーーー□8吾P8っ 第  7  図 刹 第  9  図 (C) 第10図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光学系を原稿に対して相対移動さぜることにより、原稿
    の保全露光する装置において、前記光学系を駆動するパ
    ルスモータと、光学系の所定位置を検出する検出手段と
    、光学系の現在位置と目的位置との相対関係において前
    記パルスモータを駆動するとともに前記検出手段による
    光学系の検出位置を基準として前記パルスモータ全所定
    回転することにより光学系のイニシャル位置を設定する
    制御手段と全具備することを特徴とする露光装置。
JP56104415A 1981-07-06 1981-07-06 露光装置 Granted JPS587160A (ja)

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JPH0437416B2 JPH0437416B2 (ja) 1992-06-19

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