JPS585637A - 半導体チツプの形状検査装置 - Google Patents
半導体チツプの形状検査装置Info
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- JPS585637A JPS585637A JP56102905A JP10290581A JPS585637A JP S585637 A JPS585637 A JP S585637A JP 56102905 A JP56102905 A JP 56102905A JP 10290581 A JP10290581 A JP 10290581A JP S585637 A JPS585637 A JP S585637A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体の検査装置に係り、特に半導体チップの
形状検査装置に関する、 従来、半導体チップの欠けは加工後の目視検査によって
検出されてｉた。しかしながら、前記目視検査は多くの
人手と時間ｔ−要してｖｈ良。
形状検査装置に関する、 従来、半導体チップの欠けは加工後の目視検査によって
検出されてｉた。しかしながら、前記目視検査は多くの
人手と時間ｔ−要してｖｈ良。
ｔた１００チ完全な半導体チップの欠妙の目視検査は困
難であった。
難であった。
本発明は前記目視検査を自動的に行なう装置に関するも
のであシその目的は半導体チップ勢のダイポンディング
時にチップ形状を読みとりチップの種類によって前もっ
てセル７テイーチしてお−たチップの内部パターンの外
周に相当する形状の欠は検出窓によりチップ欠けの中で
致命的な欠けのみを検出する半導体チップの形状検査装
置を提供することにある。
のであシその目的は半導体チップ勢のダイポンディング
時にチップ形状を読みとりチップの種類によって前もっ
てセル７テイーチしてお−たチップの内部パターンの外
周に相当する形状の欠は検出窓によりチップ欠けの中で
致命的な欠けのみを検出する半導体チップの形状検査装
置を提供することにある。
本発明の特徴とするとζろは、半導体検査装置において
チッグ映＊１人力する撮曹装置と。
チッグ映＊１人力する撮曹装置と。
前記撮ｌＩ装置からの映ｇ１信号を２値化する前処ｍａ
路と、前記１１１１１４６理回路によって２値化された
信号を記憶する２値化映像メモリと、前記撮偉装置から
の信号を表示し、特定の検出窓位置を入力する検出窓指
示装置と、前記検出窓指示装置によって得られた検出窓
指示位置を検出する指示位置検出回路と、前記２値化映
倫メモリに記憶されてｉる２値化映倫信号からチップ位
置を検出するチップ位置検出回路と、前記チップ位置検
出回路と前記指示位置検出回路より得られる二りの信号
からチップに対する検出窓の位置を演算する第１の欠は
検出窓位置演算回路と、前記欠は検出窓位置演算回路の
出力信号を記憶する欠は検出窓位置メモリと、前記チッ
プ位置検出回路と前記検出窓位置メモリーの信号から検
出窓の位置を演算する第２の欠は検出窓位置演算回路と
、２値化映倫メモリの内容と欠は検出窓位置演算回路出
力信号から検出窓内に存在する欠けを検出する欠は検出
回路と、前記結果を表示する出力装置と、全体を制御す
る制御回路からなる・半導体チップの形状検査装置にあ
る。
路と、前記１１１１１４６理回路によって２値化された
信号を記憶する２値化映像メモリと、前記撮偉装置から
の信号を表示し、特定の検出窓位置を入力する検出窓指
示装置と、前記検出窓指示装置によって得られた検出窓
指示位置を検出する指示位置検出回路と、前記２値化映
倫メモリに記憶されてｉる２値化映倫信号からチップ位
置を検出するチップ位置検出回路と、前記チップ位置検
出回路と前記指示位置検出回路より得られる二りの信号
からチップに対する検出窓の位置を演算する第１の欠は
検出窓位置演算回路と、前記欠は検出窓位置演算回路の
出力信号を記憶する欠は検出窓位置メモリと、前記チッ
プ位置検出回路と前記検出窓位置メモリーの信号から検
出窓の位置を演算する第２の欠は検出窓位置演算回路と
、２値化映倫メモリの内容と欠は検出窓位置演算回路出
力信号から検出窓内に存在する欠けを検出する欠は検出
回路と、前記結果を表示する出力装置と、全体を制御す
る制御回路からなる・半導体チップの形状検査装置にあ
る。
以下１本発明の実施例を用−て詳細な説明を行なう。
第１図は本発明の実施例を示す。テレビカメラ１の出力
２はカメラドライバ３０入力４に接続されている、前記
カメラドライバ３の出力５は前処理回路６０入カフと、
スイッチ８を介して検出窓指示装置９の入力ｌＯとに入
る。前記前処理回路６の出力１１は２値化映像メ毫す１
２の入力１３に入る。前記２値化映像メモリ１２の第１
の出力１４はチップ位置検出回路１５０入力１６ ＩＣ
第２の出力１７Ｆｉ欠は検出回路１８の第１の入力１９
Ｋそれぞれ接続される。前記チップ位置検出回路１ｓ
の出力２Ｇ、 ２１ｔｊ欠は検出窓位置演算回路２２の
第１の入力２３と指示位置検出回路２４の入力２５にそ
れぞれ入る。指示ベン２６１は検出窓指示装置９に接続
され、前記検出窓指示装置９の出力２６Ｆｉ前記指示位
置検出回路２４０！ｌＥ２の入力２７に接続されて−る
。・指示位置検出回路２４の出力２８は前記欠は検出窓
位置演算回路２２の第２の入力２９に入る。
２はカメラドライバ３０入力４に接続されている、前記
カメラドライバ３の出力５は前処理回路６０入カフと、
スイッチ８を介して検出窓指示装置９の入力ｌＯとに入
る。前記前処理回路６の出力１１は２値化映像メ毫す１
２の入力１３に入る。前記２値化映像メモリ１２の第１
の出力１４はチップ位置検出回路１５０入力１６ ＩＣ
第２の出力１７Ｆｉ欠は検出回路１８の第１の入力１９
Ｋそれぞれ接続される。前記チップ位置検出回路１ｓ
の出力２Ｇ、 ２１ｔｊ欠は検出窓位置演算回路２２の
第１の入力２３と指示位置検出回路２４の入力２５にそ
れぞれ入る。指示ベン２６１は検出窓指示装置９に接続
され、前記検出窓指示装置９の出力２６Ｆｉ前記指示位
置検出回路２４０！ｌＥ２の入力２７に接続されて−る
。・指示位置検出回路２４の出力２８は前記欠は検出窓
位置演算回路２２の第２の入力２９に入る。
舘記欠妙検出懲位置慎算謁路２２の第１の出力３０と第
３の入力３１は検出窓位置メモ９３２の入力３３と出力
３４にそれぞれ接続されている。欠は検出＠２２の第２
の出力３６Ｆｉ欠は検出回路１８の第２の入力３６に入
り前記欠は検出回路１８の出力は出力装置３８の入力３
９に入る。制御回路４００制御出力端子は前処理回路６
．２値化映倫メモリ１龜チップ位置検出回路１５、検出
窓指示装置９．指示位置検出回路２４゜欠叶検出窓位置
演算回路２２．検出窓位置メモル３２．欠は検出回路１
８．出力装置３８のそれぞれの制御入力端子に！！続さ
れている◎まず検出窓のセルフティーチ時ＫＦｉ第１図
中のスイッチ８をＯＮにする。チップ４１で照らされた
試料４２すなわち半導体チップ１ｊＴＶカメラで入力さ
れる。前記半導体チップのパターンは前処理回路６で２
値化され、ｚ値化映像メモリには前記２値化された映ｇ
Ｉ！信号管記憶する。前記記憶した内容からチップ位置
検出回路１５はチップの位置を検出する。一方、ＴＶカ
メッｌからのチップ映倫信号を検出窓指示位置９に映し
出しペン２６１によって検出窓の形状を指示する。前記
指示によって指示位置検出回路２４で検出窓の指示位置
を検出する。チップ位置検出回路１５からのチップ位置
情報と、指示位置検出回路２４からの検出窓位置情報の
二つからチップに対する検出窓の位置を欠は検出窓位置
演算回路２２で演算し、前記演算結果を検出窓位置メモ
リ３２に記憶する。前記動作が七に７テイーチすなわち
検出窓データの大刀動作であ砂、チップと検出窓の相対
位置を求め検出窓位置メモリ３２に格納している。
３の入力３１は検出窓位置メモ９３２の入力３３と出力
３４にそれぞれ接続されている。欠は検出＠２２の第２
の出力３６Ｆｉ欠は検出回路１８の第２の入力３６に入
り前記欠は検出回路１８の出力は出力装置３８の入力３
９に入る。制御回路４００制御出力端子は前処理回路６
．２値化映倫メモリ１龜チップ位置検出回路１５、検出
窓指示装置９．指示位置検出回路２４゜欠叶検出窓位置
演算回路２２．検出窓位置メモル３２．欠は検出回路１
８．出力装置３８のそれぞれの制御入力端子に！！続さ
れている◎まず検出窓のセルフティーチ時ＫＦｉ第１図
中のスイッチ８をＯＮにする。チップ４１で照らされた
試料４２すなわち半導体チップ１ｊＴＶカメラで入力さ
れる。前記半導体チップのパターンは前処理回路６で２
値化され、ｚ値化映像メモリには前記２値化された映ｇ
Ｉ！信号管記憶する。前記記憶した内容からチップ位置
検出回路１５はチップの位置を検出する。一方、ＴＶカ
メッｌからのチップ映倫信号を検出窓指示位置９に映し
出しペン２６１によって検出窓の形状を指示する。前記
指示によって指示位置検出回路２４で検出窓の指示位置
を検出する。チップ位置検出回路１５からのチップ位置
情報と、指示位置検出回路２４からの検出窓位置情報の
二つからチップに対する検出窓の位置を欠は検出窓位置
演算回路２２で演算し、前記演算結果を検出窓位置メモ
リ３２に記憶する。前記動作が七に７テイーチすなわち
検出窓データの大刀動作であ砂、チップと検出窓の相対
位置を求め検出窓位置メモリ３２に格納している。
次にスイッチ８を ｏｆｆにする。ＴＶカメ２１で入力
された半導体チップパｉ−ンは前処理回路６で２値化し
たのち２値化映像メモ９１２ Ｋ格納する。前記２値映
像メモリ１２の内容からチップ位置検出回路１５でチッ
プの位置を検出する。欠は検出窓位置演算回路では前記
チ′ツブの位置情報と、検出窓位置メモリ３２の内容。
された半導体チップパｉ−ンは前処理回路６で２値化し
たのち２値化映像メモ９１２ Ｋ格納する。前記２値映
像メモリ１２の内容からチップ位置検出回路１５でチッ
プの位置を検出する。欠は検出窓位置演算回路では前記
チ′ツブの位置情報と、検出窓位置メモリ３２の内容。
すなわちチップと検出窓の相対位置情報から検出窓位置
情報を求め、前記検出窓位置情報を欠は検出回路１８に
出力する。欠は検出回路では前記検出窓位置情報と２値
化映倫メモリの内容すなわちチップ２値化映倫とから検
出窓内に存在する欠けを検知し１表示装置３８に出力す
る。
情報を求め、前記検出窓位置情報を欠は検出回路１８に
出力する。欠は検出回路では前記検出窓位置情報と２値
化映倫メモリの内容すなわちチップ２値化映倫とから検
出窓内に存在する欠けを検知し１表示装置３８に出力す
る。
前記検出動作は致命的な欠けのみを検出している。セル
フティーチは１種類のチップに対して１回行なえば良ｉ
０検査対１チップの種類が異なればセル７テイーチによ
り検出窓を設定しなおす〜 第２図はセルフティーチによるチップ４１の内部パター
ン４２（主にパッド）の外周に相当する検出窓４３ｔ−
示す。セル７テイーチ時に検出窓指示装置９によって、
チップ内部パターン４２の外周に相当する形状の検出窓
４３を設定する。
フティーチは１種類のチップに対して１回行なえば良ｉ
０検査対１チップの種類が異なればセル７テイーチによ
り検出窓を設定しなおす〜 第２図はセルフティーチによるチップ４１の内部パター
ン４２（主にパッド）の外周に相当する検出窓４３ｔ−
示す。セル７テイーチ時に検出窓指示装置９によって、
チップ内部パターン４２の外周に相当する形状の検出窓
４３を設定する。
第３図は欠けの程度を示す。検出窓４３内に存在する欠
け４４ｔ１致命的な欠けとして検出し検出窓外の欠け４
５ｔｌｉ無視する。第３図（１）は検出しなければ表も
な−欠けを示し、（ｂ）は検出しなくてもよ一欠妙な示
す。
け４４ｔ１致命的な欠けとして検出し検出窓外の欠け４
５ｔｌｉ無視する。第３図（１）は検出しなければ表も
な−欠けを示し、（ｂ）は検出しなくてもよ一欠妙な示
す。
第４図は欠は検出窓位置演算回路２２におけるチップと
検出窓４３の相対位置情報過Ｓを示す。第４図ム１．入
２はチップ上のパッドの中心点を示し、Ｂｌ、Ｂ２Ｆｉ
検出慾検出時の特定の２点を示す。Ａ１とＢ１およびム
２とＢ２の相対的位置より、チップと検出窓の相対位置
を決定する。このようにチップ上の特定の複数点と検出
窓指示の特定の複数点の相対的位置よ轢、チップと検出
窓の相対的位置を決定する。
検出窓４３の相対位置情報過Ｓを示す。第４図ム１．入
２はチップ上のパッドの中心点を示し、Ｂｌ、Ｂ２Ｆｉ
検出慾検出時の特定の２点を示す。Ａ１とＢ１およびム
２とＢ２の相対的位置より、チップと検出窓の相対位置
を決定する。このようにチップ上の特定の複数点と検出
窓指示の特定の複数点の相対的位置よ轢、チップと検出
窓の相対的位置を決定する。
第５図は欠は検出窓位置演算回路におけるチップと検出
窓の他の相対的位置演算過Ｓを示す。
窓の他の相対的位置演算過Ｓを示す。
第４図におけるＡＩ、Ａ２（特定パッドの中心点）の代
りとして第５図ム３．Ａ４のようにチップの特定のコー
ナーであってもよい。
りとして第５図ム３．Ａ４のようにチップの特定のコー
ナーであってもよい。
第６図は欠は検出回路１８における欠は検出の方法を示
す。
す。
被パ検査チップパターンの２値化映像情報に位置を演算
したチップ内部パターン外周に相当する検出窓４３を設
定する。窓４３内の内容がすべて“１″なら欠けはない
が、第６図Ｘのように窓内に′０′″が入っていると致
命的な欠けが有るものとして検出する。
したチップ内部パターン外周に相当する検出窓４３を設
定する。窓４３内の内容がすべて“１″なら欠けはない
が、第６図Ｘのように窓内に′０′″が入っていると致
命的な欠けが有るものとして検出する。
第７図は；セル７テイーチ時にかける検出窓４３の他の
設定法を示す。チップ４１の内部パターンの外周をチッ
プの四つの角にあるパッド５１〜５４を結んだ四角形で
近似するもので、セル７テイーチが簡単化される利点が
ある。このほか、基準とするパッドの数はいろいろ変え
ることができるが少なくとも複数個必要である。
設定法を示す。チップ４１の内部パターンの外周をチッ
プの四つの角にあるパッド５１〜５４を結んだ四角形で
近似するもので、セル７テイーチが簡単化される利点が
ある。このほか、基準とするパッドの数はいろいろ変え
ることができるが少なくとも複数個必要である。
第８図は、セルフティーチ時における検出窓４３の他の
設定法を示す一チツプの内部パターンの外周に相当する
検出窓４３′を一定幅ａだけ大きくしたもので前記検出
ｊ１４３’設定することにより欠は検出の基準はきびし
いものになるが良品の信頼性が向上する。
設定法を示す一チツプの内部パターンの外周に相当する
検出窓４３′を一定幅ａだけ大きくしたもので前記検出
ｊ１４３’設定することにより欠は検出の基準はきびし
いものになるが良品の信頼性が向上する。
以上１本発明の実施例管用−て詳細な説明を行なった。
本発明によれば、グイボンディングの直後にチップの欠
けを発見できるため不良警告ナイクルが短くまた。被検
査チップの１類によって特゛定の検出窓をあらかじめ設
定しておいて前記検出窓内に存在する欠けを検出するた
め致命的な欠けのみを検出することができる効果がある
◎従来必要としていた多くの人手による目視作業が削減
でき信頼性の向上、工数、工程時間の短縮が達成しうる
。
けを発見できるため不良警告ナイクルが短くまた。被検
査チップの１類によって特゛定の検出窓をあらかじめ設
定しておいて前記検出窓内に存在する欠けを検出するた
め致命的な欠けのみを検出することができる効果がある
◎従来必要としていた多くの人手による目視作業が削減
でき信頼性の向上、工数、工程時間の短縮が達成しうる
。
第１図は１本発明の実施例を示すブロック図。
第２図は、検出窓を示す図、第３図は欠けを示す図、第
４ＷＪ、１！５図は相対仁愛を示す図第６図は、欠は検
出を示す図、第７図、第８図は、検出窓を示す図である
。 １・・・・・・テレビカメラ ３・・・・・・カメラド
ライバ６・−・・・・前１６ｇＭ回路 ９・・・・・
・検出窓指示装置１２・・−・・ ２値化映曹メモリ
１５・・・・・・チップ位置検出回路 １８・・・・・
・欠は検出回路２２・・・・・・欠吋−出窓位置演算回
路 ２４・・−・・ 指示位置検出回路 ３２・・・・
・・検出窓位置メモリ ３８・・・・・・出力装置 ４
０・・・・・・制御回路 −＊：２（！１ 實３ 図 （ａ） （ｂ） 實４Ｉ！ｌ ２ 實５図
４ＷＪ、１！５図は相対仁愛を示す図第６図は、欠は検
出を示す図、第７図、第８図は、検出窓を示す図である
。 １・・・・・・テレビカメラ ３・・・・・・カメラド
ライバ６・−・・・・前１６ｇＭ回路 ９・・・・・
・検出窓指示装置１２・・−・・ ２値化映曹メモリ
１５・・・・・・チップ位置検出回路 １８・・・・・
・欠は検出回路２２・・・・・・欠吋−出窓位置演算回
路 ２４・・−・・ 指示位置検出回路 ３２・・・・
・・検出窓位置メモリ ３８・・・・・・出力装置 ４
０・・・・・・制御回路 −＊：２（！１ 實３ 図 （ａ） （ｂ） 實４Ｉ！ｌ ２ 實５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）半導体検査装置にお−てチッグ映僚を入力する撮像
装置と前記撮像装置からの映像信号を２値化する前処理
回路と、前記前処理回路によって２値化された信号を記
憶する２値化映像メモリと前記撮像装置からの信号を表
示し、特定の検出窓位置を入力する検出窓指示装置と前
記検出窓指示装置によって得られ九検出窓指示位置を検
出する指示位置検出回路と、前記２値化映會メモリに記
憶されてｉる２値化映像信号からチップ位置を検出する
チップ位置検出回路と舘記チッグ位置検出回路と前記指
示位置検出回路よ抄得られる二りの信号からチップに対
する検出窓の位置を演算する第１の欠は検出窓位置演算
回路と、前記欠は検出窓位置演算回路の出力信号を記憶
する欠は検出窓位置メ％９と、前記チップ位置検出回路
と前記検出窓位置メモリの信号から検出窓の位置を演算
する第２の欠は検出窓位置演算回路と、２値化映像メモ
リーの内容と欠は検出窓位置演算回路出方信号から検出
窓内に存在する欠けを検出する欠は検出回路と、前記結
果を表示する出方装置と全体を制御する制御回路からな
ることを特徴とする半導体チップの形状検査装置。 ２）第１の欠は検出窓位置演算回路は第２の欠は検出窓
位置演算回路を兼用した特許請求の範Ｈ＠１項記載の半
導体チップの形状検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56102905A JPS585637A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 半導体チツプの形状検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56102905A JPS585637A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 半導体チツプの形状検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS585637A true JPS585637A (ja) | 1983-01-13 |
| JPH0325737B2 JPH0325737B2 (ja) | 1991-04-08 |
Family
ID=14339869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56102905A Granted JPS585637A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 半導体チツプの形状検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS585637A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0270532U (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-29 | ||
| JP2009148323A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Atsuko Kumagai | 使い捨て鍋蓋カバー |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP56102905A patent/JPS585637A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0270532U (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-29 | ||
| JP2009148323A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Atsuko Kumagai | 使い捨て鍋蓋カバー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0325737B2 (ja) | 1991-04-08 |
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