JPS5854647A - 基板穴位置検出装置 - Google Patents
基板穴位置検出装置Info
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- JPS5854647A JPS5854647A JP15203481A JP15203481A JPS5854647A JP S5854647 A JPS5854647 A JP S5854647A JP 15203481 A JP15203481 A JP 15203481A JP 15203481 A JP15203481 A JP 15203481A JP S5854647 A JPS5854647 A JP S5854647A
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- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は基板穴よりの投影光を受光素子によつ（電圧変
換し、その出力電圧より基板穴位置を検出する基板穴位
置検出装置に関するものである。
換し、その出力電圧より基板穴位置を検出する基板穴位
置検出装置に関するものである。
４分割受光素子を用いて基板穴位置を検出することは以
酌より行なわれている。その従来装置の一例を第１図に
示す。
酌より行なわれている。その従来装置の一例を第１図に
示す。
図において、投光器１より発せられ友光はＸＹテーブル
３上に置かれ大基板の穴２を通過して、４分割受光素子
４に当る。４分゛割受光素子４はＸ軸とＹ軸に平行な線
で４分割された４つの受光素子を有し、各々の受光素子
からは照射された光量に比例した電圧がライン５１〜５
ｄを通って出力される。
３上に置かれ大基板の穴２を通過して、４分割受光素子
４に当る。４分゛割受光素子４はＸ軸とＹ軸に平行な線
で４分割された４つの受光素子を有し、各々の受光素子
からは照射された光量に比例した電圧がライン５１〜５
ｄを通って出力される。
ライン５ａ〜５ｄを伝わってき友前記光量に比例した電
圧は、それぞれバラ２アアンプ６１〜６ｄに入力される
。バッファアンプ６１〜６ｄの各々の出力なＶ、〜Ｖ、
とすると、出力■１とｖ４はオペアンプで作られた加算
器１７ｍに、出力Ｖ、とＶ、は加算器１７ｂｌζ、出力
ｖ１とＶ、は加算器１７ｃに、および出力ｖｓとｖ４は
加算器１７ｄにそれぞれ入力される。次に、加算＠ １
？ ｍ 、 １７ｂの出力は減算器１８ｍに入力され、
滅算器１８ａからは（Ｖ、＋Ｖ４ ） （Ｖｔ ＋ｖ
ｓ ）（７）信号ΔＶＸが出力される。一方、加算器１
７ｅ、１７ｄの出力は減算器１８ｂに入力され、減算器
１８ｂからは（ｖ、＋ｖ、）−ｆｆｓ ＋Ｖ４）の信号
ΔＶｙが出力される。
圧は、それぞれバラ２アアンプ６１〜６ｄに入力される
。バッファアンプ６１〜６ｄの各々の出力なＶ、〜Ｖ、
とすると、出力■１とｖ４はオペアンプで作られた加算
器１７ｍに、出力Ｖ、とＶ、は加算器１７ｂｌζ、出力
ｖ１とＶ、は加算器１７ｃに、および出力ｖｓとｖ４は
加算器１７ｄにそれぞれ入力される。次に、加算＠ １
？ ｍ 、 １７ｂの出力は減算器１８ｍに入力され、
滅算器１８ａからは（Ｖ、＋Ｖ４ ） （Ｖｔ ＋ｖ
ｓ ）（７）信号ΔＶＸが出力される。一方、加算器１
７ｅ、１７ｄの出力は減算器１８ｂに入力され、減算器
１８ｂからは（ｖ、＋ｖ、）−ｆｆｓ ＋Ｖ４）の信号
ΔＶｙが出力される。
減算器１８ｍの出力はコンパレータ１９ｍに入り、比較
電圧２０ｍと比較され、減算器１８ｍの出力が比較電圧
２０ｍより大きいときにはコンパレータ１９ｍからＨレ
ベルの信号が出力される。これによって、コントローラ
２１はドライバ２２に信号を出力し、ドライバ２２はＸ
Ｙテーブル３をＸ方向に微動する。
電圧２０ｍと比較され、減算器１８ｍの出力が比較電圧
２０ｍより大きいときにはコンパレータ１９ｍからＨレ
ベルの信号が出力される。これによって、コントローラ
２１はドライバ２２に信号を出力し、ドライバ２２はＸ
Ｙテーブル３をＸ方向に微動する。
この結果、減算器１８畠の出力ΔＶＸが比較電圧２０ａ
より小さくなれば、コンパレータ１９亀の出力はＬレベ
ルとなり、ＸＹテーブル３の調節は停止される。この時
のＸ方向移動量により今検査している穴のＸ方向の位置
を求めることができ、同様にＹ方向の調整がなされ穴の
Ｙ方向の位置が検出される。
より小さくなれば、コンパレータ１９亀の出力はＬレベ
ルとなり、ＸＹテーブル３の調節は停止される。この時
のＸ方向移動量により今検査している穴のＸ方向の位置
を求めることができ、同様にＹ方向の調整がなされ穴の
Ｙ方向の位置が検出される。
従来の装置は上記のような方法を採っているため、次の
ような種々の欠点があった。すなわち、大きさが異なる
基板穴で同じ検出精度を得るには、そのつど比較電圧２
Ｑａ、２０ｂを変化させる必要があった。また基板穴が
完全に受光素子からはずれている場合には、４分割受光
素子４からの４つの出力電圧は同一になるため、正しい
穴位置検出をしたというような誤動作をすると、とがあ
うた。さらに、コンパレータ回路１９ｍ、 １９ｂのみ
では基板穴位置が正しいか、ずれているかのみしかわか
らず、大位置のずれ量の大きさがわからなかったため、
ＸＹテーブルを１パルスづつ動かして穴位置を捜索しな
ければならず、検出に時間を要した。
ような種々の欠点があった。すなわち、大きさが異なる
基板穴で同じ検出精度を得るには、そのつど比較電圧２
Ｑａ、２０ｂを変化させる必要があった。また基板穴が
完全に受光素子からはずれている場合には、４分割受光
素子４からの４つの出力電圧は同一になるため、正しい
穴位置検出をしたというような誤動作をすると、とがあ
うた。さらに、コンパレータ回路１９ｍ、 １９ｂのみ
では基板穴位置が正しいか、ずれているかのみしかわか
らず、大位置のずれ量の大きさがわからなかったため、
ＸＹテーブルを１パルスづつ動かして穴位置を捜索しな
ければならず、検出に時間を要した。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、基
板穴の大きさにかかわ９なく、高精度な穴位置の検出が
でき、ｔた基板穴が受光素子から完全にはずれていても
誤動作を生ぜず、さらに穴位置の捜索を高速で行なうこ
とのできる穴位置検出装置を提供するにあ為。
板穴の大きさにかかわ９なく、高精度な穴位置の検出が
でき、ｔた基板穴が受光素子から完全にはずれていても
誤動作を生ぜず、さらに穴位置の捜索を高速で行なうこ
とのできる穴位置検出装置を提供するにあ為。
本発明は、基板穴位置に対応した４分割受光素子からの
４つの出力電圧を１勺変換し、１勺変換した値をコンピ
ュータに取り込み、蚊コンピュータによってｘ、Ｘ方向
のずれ量を前記基板の移動量に換算して基板穴位置を検
出することによシ、前記の目的を達成するようにした点
に４１徴がある。
４つの出力電圧を１勺変換し、１勺変換した値をコンピ
ュータに取り込み、蚊コンピュータによってｘ、Ｘ方向
のずれ量を前記基板の移動量に換算して基板穴位置を検
出することによシ、前記の目的を達成するようにした点
に４１徴がある。
以下に笑施例を図面によって説明する。第２図は本発明
の一実施例を示す。図ｉＣおいて、７はマルチプレクサ
、８はアナログ信号、９はサンプルホールド回路、１０
はホールド信号、１１は〜勺コンバータ、１２はデジタ
ル信号、１３はコンビ為−タ、１４はｘＹテーブル駆動
信号、１５はホールド指示信号、１６はにΦコンバータ
変換開始信号、１７はチャネル切換信号を示し、その他
の符号は第１図と同じものを示す。
の一実施例を示す。図ｉＣおいて、７はマルチプレクサ
、８はアナログ信号、９はサンプルホールド回路、１０
はホールド信号、１１は〜勺コンバータ、１２はデジタ
ル信号、１３はコンビ為−タ、１４はｘＹテーブル駆動
信号、１５はホールド指示信号、１６はにΦコンバータ
変換開始信号、１７はチャネル切換信号を示し、その他
の符号は第１図と同じものを示す。
次ξζ本集施例の動作を説明する。投光器１からの光は
基板穴２を通して、４分割受光素子４に照射される。４
分割受光素子４は、それぞれの部分に受は九光量に比例
して検出器出力電圧をツイン５１〜５ｄに発生する。こ
の出力電圧はバッツアアンプ６１〜６ｄｔ’へてマルチ
プレクサフに入力する。
基板穴２を通して、４分割受光素子４に照射される。４
分割受光素子４は、それぞれの部分に受は九光量に比例
して検出器出力電圧をツイン５１〜５ｄに発生する。こ
の出力電圧はバッツアアンプ６１〜６ｄｔ’へてマルチ
プレクサフに入力する。
マルチプレクサ７に入力された検出器出力電圧η〜Ｖ、
は第３図の７μｍチャートに示されているようなコンビ
エータ１３の動作によりて処理さ°れる。
は第３図の７μｍチャートに示されているようなコンビ
エータ１３の動作によりて処理さ°れる。
先ず、コンビエータ１３はマルチプレクサ７１；斗チャ
ネルの切換信号を送ったかどうか判断しくステップ８１
）、ノーであればステップＳ２に進む０ステツ７’８２
では、コンピュータ１３はマルチプレクサ７にチャネル
切換信号１６を送り、先ずノくツファアンプ６ａとサン
プルホールド回路９を接続する。
ネルの切換信号を送ったかどうか判断しくステップ８１
）、ノーであればステップＳ２に進む０ステツ７’８２
では、コンピュータ１３はマルチプレクサ７にチャネル
切換信号１６を送り、先ずノくツファアンプ６ａとサン
プルホールド回路９を接続する。
次いで、ホールド指示信号１５がサンプルホールド回路
９に送られると（ステップ８３）、アナログ信号８は標
本化されて保持されるＯ保持された信号１０はＡ／Ｄコ
ンバータ変換開始信号１６が没Φコンバータ１１に入力
されることによって（ステップ８４）、ディジタル信号
１２に変換される。このディジタル信号はコンパータ内
に記憶される（ステップ８５）。
９に送られると（ステップ８３）、アナログ信号８は標
本化されて保持されるＯ保持された信号１０はＡ／Ｄコ
ンバータ変換開始信号１６が没Φコンバータ１１に入力
されることによって（ステップ８４）、ディジタル信号
１２に変換される。このディジタル信号はコンパータ内
に記憶される（ステップ８５）。
この手順はマルチプレクサがチャネル切換信号１７によ
ってバッファアンプ６ｍ、 ６ｂ、 ６ｃ、 ６ｄを順
次サンプルホールド回路９に接続し、４チヤネルの〜Φ
変換されたホールド信号が全てコンビ２−タに取込まれ
るまでサイクリックに行なわれる。
ってバッファアンプ６ｍ、 ６ｂ、 ６ｃ、 ６ｄを順
次サンプルホールド回路９に接続し、４チヤネルの〜Φ
変換されたホールド信号が全てコンビ２−タに取込まれ
るまでサイクリックに行なわれる。
４チヤネル分のホールド信号がコンビエータ１３に取込
まれると、ステップＳ１はイエスとなり；ステップＳ６
へ進む。ステップＳ６ではコンビミータ１３内に記憶さ
れた４チヤネルのホールド信号が全てＯかどうか判断さ
れる。全て０であればステップＳ７に進み、検出エラー
を出力し、終了する。その後は、基板のセツティングの
仕直しが行われ、再びステップＳ１へ戻る。そして再度
ステップ８１〜ステツプＳ６の手順が実行される。
まれると、ステップＳ１はイエスとなり；ステップＳ６
へ進む。ステップＳ６ではコンビミータ１３内に記憶さ
れた４チヤネルのホールド信号が全てＯかどうか判断さ
れる。全て０であればステップＳ７に進み、検出エラー
を出力し、終了する。その後は、基板のセツティングの
仕直しが行われ、再びステップＳ１へ戻る。そして再度
ステップ８１〜ステツプＳ６の手順が実行される。
ステップＳ６で４チヤネルのホールド信号の全てが０で
ないと判御されると、ステップＳ８へ進む。ステップＳ
８ではＸ軸方向の差（ずれ量）ΔＶＸが下記の式により
算出される。
ないと判御されると、ステップＳ８へ進む。ステップＳ
８ではＸ軸方向の差（ずれ量）ΔＶＸが下記の式により
算出される。
Δｖｘ” （Ｖｌ ＋Ｖ４ ） −（Ｖ意中Ｖ、）次に
ステップＳ９へ進み、Ｙ軸方向の差（ずれ量）ΔｖＹが
下式により算出される。
ステップＳ９へ進み、Ｙ軸方向の差（ずれ量）ΔｖＹが
下式により算出される。
ΔＶｙ ＝ （Ｖｓ ＋Ｖｚ ） −（Ｖｌ ＋Ｖ４
）続いて、前記Ｘ軸方向の差ΔＶＸおよびＹ軸方向の差
＾〜が０かどうか判断され（ステップ８１０）、０でな
ければこれらのずれ量 ΔＶＸ、ΔｖＹがＸＹテーブル
の移動量化換算される（ステップ８１１ ）。
）続いて、前記Ｘ軸方向の差ΔＶＸおよびＹ軸方向の差
＾〜が０かどうか判断され（ステップ８１０）、０でな
ければこれらのずれ量 ΔＶＸ、ΔｖＹがＸＹテーブル
の移動量化換算される（ステップ８１１ ）。
このずれ量をＸＹテーブルの移動量に換算するには次の
ように行なう。コンビ７−ダの中に、予め、第１表に示
されているようなＸ、Ｙ方向のずれ量（ｍＶ）に対応し
九ＸＹテーブルのＸ、Ｙ方向の移動量（μｍ）を、穴の
極刑に求めたデータを入力しておく。そして、ステップ
Ｓ８と８９で求められたずれ量と、穴の径とからＸＹテ
ーブルの移動量を算出する。
ように行なう。コンビ７−ダの中に、予め、第１表に示
されているようなＸ、Ｙ方向のずれ量（ｍＶ）に対応し
九ＸＹテーブルのＸ、Ｙ方向の移動量（μｍ）を、穴の
極刑に求めたデータを入力しておく。そして、ステップ
Ｓ８と８９で求められたずれ量と、穴の径とからＸＹテ
ーブルの移動量を算出する。
第 １ 表
なお、この移動量は一回の移動で、基板穴２を、投光器
１と４分割受光素子４の中心とを結ぶ線上にもってくる
のに必要な距離である。この九め、ずれ量が大きくても
第１表のテーブルからそれに対応し九移動量を取り出し
、その移動量でＸＹテーブルを動作させることにより、
一度の操作で基板穴位置を求めることができる。なお、
第１表はコンビ為−タ１３内のメモリ番こ記憶されたデ
ータを模式的に示したものであるＯ ＸＹテーブルの移動量が求められると、ＸＹテーブルに
移動量が出力される（ステップ８１２）。
１と４分割受光素子４の中心とを結ぶ線上にもってくる
のに必要な距離である。この九め、ずれ量が大きくても
第１表のテーブルからそれに対応し九移動量を取り出し
、その移動量でＸＹテーブルを動作させることにより、
一度の操作で基板穴位置を求めることができる。なお、
第１表はコンビ為−タ１３内のメモリ番こ記憶されたデ
ータを模式的に示したものであるＯ ＸＹテーブルの移動量が求められると、ＸＹテーブルに
移動量が出力される（ステップ８１２）。
そして、ステップＳ１へ戻り、前記の手順が再び行なわ
れる。そして、ステップ８１０でＸ、Ｙ軸の差ΔＶＸ
、ΔＶｙが共にＯになると、動作は終了する０なお、こ
の操作により求めたずれ量に対する移動量のデータを前
記の第ｉｓのデータに追加したり、あるいは上記移動量
のデータによって第１表の移動量のデータを修正するよ
うにすれば、すなわち、学習動作をさせれば第１１！の
データを豊富かつ良好にすることができる。
れる。そして、ステップ８１０でＸ、Ｙ軸の差ΔＶＸ
、ΔＶｙが共にＯになると、動作は終了する０なお、こ
の操作により求めたずれ量に対する移動量のデータを前
記の第ｉｓのデータに追加したり、あるいは上記移動量
のデータによって第１表の移動量のデータを修正するよ
うにすれば、すなわち、学習動作をさせれば第１１！の
データを豊富かつ良好にすることができる。
以上のように、本発明によれば、基板穴の大小にｆヂ丁
ｊなく、一定の検出精度が得られ、また基板穴が４分割
受光素子から完全にずれている場合でも誤動作すること
はない０さらにずれ量を認識してそれをＸＹテーブルの
移動量に換算するので、ＸＹテーブルの一度の操作で基
板穴位置を検出することができる。このため、高速で穴
位置を検出できる。
ｊなく、一定の検出精度が得られ、また基板穴が４分割
受光素子から完全にずれている場合でも誤動作すること
はない０さらにずれ量を認識してそれをＸＹテーブルの
移動量に換算するので、ＸＹテーブルの一度の操作で基
板穴位置を検出することができる。このため、高速で穴
位置を検出できる。
第１図は従来のＯＰアンプを用いた穴位置検出装置の構
成図、第２図は本発明による穴位置検出装置の一実施例
を示すブロック図、第３図は第２図のコンピュータの動
作を説明する丸めの７０−チャートを示す０ １・・投光器、２・・・基板穴、３・・・ＸＹテーブル
、４・・・４分割受光素子、６ａ〜６ｄ・・・ノ（ソフ
ァアンプ、７・・マルチプレクサ、９・・・サンプルホ
ールド回路、１１・・Ａ／Ｄコンノく一タ、１３・・・
コンビ為−タ、１４・・・ＸＹテーブル駆動信号、１５
・・・ホールト。 指示信号、１６・・・ν１コンノ（−夕変換開始信号、
１７・・・チャネル切換信号 代理人弁理士 平 木 道 人
成図、第２図は本発明による穴位置検出装置の一実施例
を示すブロック図、第３図は第２図のコンピュータの動
作を説明する丸めの７０−チャートを示す０ １・・投光器、２・・・基板穴、３・・・ＸＹテーブル
、４・・・４分割受光素子、６ａ〜６ｄ・・・ノ（ソフ
ァアンプ、７・・マルチプレクサ、９・・・サンプルホ
ールド回路、１１・・Ａ／Ｄコンノく一タ、１３・・・
コンビ為−タ、１４・・・ＸＹテーブル駆動信号、１５
・・・ホールト。 指示信号、１６・・・ν１コンノ（−夕変換開始信号、
１７・・・チャネル切換信号 代理人弁理士 平 木 道 人
Claims (1)
- （１）４分割受光素子を用いて基板穴位置を検出する穴
位置検出装置において、基板穴より投影される光を受け
る４分割受光素子と、該４分割受光素子から出力された
４つのアナログ電圧を切換えるアナログマルチプレクサ
回路と、その電圧を保持するサンプルホールド回路と、
その出力をＨ変換するν勺変換回路と、該ル勺変換回路
ｔこよってディジタル化された信号を保持して演算処理
し、Ｘ。 Ｙ両方向のずれ量を移動量に換算すると共に、前記マル
チプレクサ、サンプルホールド回路およびに勺変換回路
の動作を制御するコンビ１−夕と、該コンビ為−夕によ
って演算処理された信号によって制御されるドライバと
を具備したことを特徴とする基板穴位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15203481A JPS5854647A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 基板穴位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15203481A JPS5854647A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 基板穴位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5854647A true JPS5854647A (ja) | 1983-03-31 |
| JPH0115083B2 JPH0115083B2 (ja) | 1989-03-15 |
Family
ID=15531602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15203481A Granted JPS5854647A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 基板穴位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5854647A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62190513A (ja) * | 1985-12-30 | 1987-08-20 | アンステイテイ フランセ−ズ ド ペトロ−ル | 超音波センサを使用し要素を位置決めする方法および装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS538061A (en) * | 1976-07-09 | 1978-01-25 | Mitsubishi Electric Corp | Automatic positioning apparatus of articles |
| JPS5379179A (en) * | 1976-12-23 | 1978-07-13 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Adjustor meter |
-
1981
- 1981-09-28 JP JP15203481A patent/JPS5854647A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS538061A (en) * | 1976-07-09 | 1978-01-25 | Mitsubishi Electric Corp | Automatic positioning apparatus of articles |
| JPS5379179A (en) * | 1976-12-23 | 1978-07-13 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Adjustor meter |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62190513A (ja) * | 1985-12-30 | 1987-08-20 | アンステイテイ フランセ−ズ ド ペトロ−ル | 超音波センサを使用し要素を位置決めする方法および装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0115083B2 (ja) | 1989-03-15 |
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