JPS5854221A - ５軸制御磁気軸受の軸方向位置ドリフト補償法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、高速回転機略の応用で用いられる５軸制御
磁気軸受に於いて、特に軸方向磁気軸受がつり下げ系の
場合、軸方向位置検出コイルの近傍に位置ドリフト補償
用のダミーコイルを設けた軸位置ドリフトの補償法に関
するものである。

つり下げ系の５軸制御磁気軸受では、軸方向位置検出コ
イル、いわゆるアクティブコイルをステータに取り付け
、回転体の軸方向位置変化を検出している。軸変位の検
出方法は、回転体の位置変動に基づくアクティブコイル
のインダクタンス変化を検出する方法であるが、この場
合、どうしてもダミーコイルが必要である。従来、この
ダミーコイルは、アクティブコイルより離れた制御装置
の基板上に設けられているのが一般的であった。

この様子を第１図に示す。図に於いて、１はセラミック
等のコア５に巻かれたアクティブコイル、２は回転体３
に取り付けられたアクティブコイルのターゲット、４は
エアーギャップ、６はステータである。

第１図の方法では、アクティブコイル１はステータ６に
、ダミーコイルは制御装置の基板上に設置しである為、
温度変化等の環境条件は夫々のコイルで異なっているこ
とが指摘できる。それ故、磁気軸受装置を連続運転させ
る場合には、位置ドリフトを生じてしまい、極端な場合
には回転体３とステータ６が機械接触すると言う事故を
起こす可能性があった。

本発明は上記の欠点を除去したもので、発明の一実施例
を第２図に示す。

図に於いて、７はセラミック等のコア８に巻かレタダミ
ーコイル、９はコア５と８を磁気的に分離する非磁性体
、１０はアクティブコイル１の引出線を通す為にコア５
に設けた貫通穴、１１は非磁性体９の中央に設けた小孔
、１２はコア８の中央部に設け、アクティブコイル１の
引出１１１を導く為の貫通穴である。

第２図に示すように、アクティブコイル１とダミーコイ
ル７を非磁性体９で磁気遮蔽しごく近傍に設置すれば、
環境条件は両フィルに対し同一であるから、温度変化等
による軸方向位置ドリフト現象は生じない。

尚、アクティブフィルとダミーコイルをごく近傍に設け
て温度補償を行なうと言う原理は、市販されている渦電
流位置センサ等でも応用されているが、本発明は特につ
り下げ系の５軸制御磁気軸受に対し上記原理を応用せし
め、軸方向位置ドリフトを低減したことを特徴としてい
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、つり下げ系の５軸制御磁気軸受に於ける軸方
向位置検出部を示す説明図、第２図は、本発明の一実施
例を示す説明図である。 図に於いて、１はアクティブコイル、２はターゲット、
３は回転体、４はエアーギャップ、５は４コア、６はス
テータ、７はダミーコイル、８はコア、９は非磁性体、
１０は貫通穴、１１は小孔、１２は貫通穴である。 尚、図中同一部分及び相当部分は同一符号で示す。 以　　上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 少なくとも１個の軸方向磁気軸受と、２個の半径方向磁
   気軸受で構成された５軸制御磁気軸受で特に軸方向磁気
   軸受がつり下げ系の場合、軸方向位置検出コイル近傍に
   、位置ドリフ）補償用のダミーコイルを設け、周囲環境
   条件の変化及び連続動作時の位置ドリフトを低減したこ
   とを特徴とする５軸制御磁気軸受の軸方向位置ドリフト
   補償法。