JPS58137618A - 磁気軸受 - Google Patents
磁気軸受Info
- Publication number
- JPS58137618A JPS58137618A JP2013982A JP2013982A JPS58137618A JP S58137618 A JPS58137618 A JP S58137618A JP 2013982 A JP2013982 A JP 2013982A JP 2013982 A JP2013982 A JP 2013982A JP S58137618 A JPS58137618 A JP S58137618A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic flux
- magnetic
- permanent magnets
- electromagnet
- magnetic bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0459—Details of the magnetic circuit
- F16C32/0461—Details of the magnetic circuit of stationary parts of the magnetic circuit
- F16C32/0465—Details of the magnetic circuit of stationary parts of the magnetic circuit with permanent magnets provided in the magnetic circuit of the electromagnets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
- F16C32/0476—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of one degree of freedom, e.g. axial magnetic bearings
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、電磁石や永久磁石の吸引力を利用して(ハ
)転体を機械的な接触部なしで支持する磁気軸受に関す
るものである。
)転体を機械的な接触部なしで支持する磁気軸受に関す
るものである。
従来、この種の装置としては第1図に示すものがあった
。この図において、1は回転子、2はスラスト磁気軸受
用回転磁極5saesbはスラスト磁気軸受用電磁石、
4は放射状に磁化されたリング状永久磁石、Saとsb
はそれぞれラジアル磁気軸受用固定磁極と回転磁極、口
は固定子、1は位置センサ、8は位置センサ回路、9は
加算7ンプ、10は位相補償回路、11は電力増幅器で
ある。
。この図において、1は回転子、2はスラスト磁気軸受
用回転磁極5saesbはスラスト磁気軸受用電磁石、
4は放射状に磁化されたリング状永久磁石、Saとsb
はそれぞれラジアル磁気軸受用固定磁極と回転磁極、口
は固定子、1は位置センサ、8は位置センサ回路、9は
加算7ンプ、10は位相補償回路、11は電力増幅器で
ある。
この装置の中心部にあるスラスト磁気軸受の動作を第2
図により説岡する。回転子1に取り付けられたリング状
永久磁石4のN極から出た磁束は実線の矢印で示される
とおリスラスト磁気軸受用回転磁極2を通って上下方向
に分かれ、空隙を経てスラスト磁気軸受用電磁石3m、
3bの鉄心に流入し、再び空隙を経てスラスト磁気軸受
用回転ali2に達しS極に戻る。スラスト磁気軸受用
電磁石3mの鉄心とスラスト磁気軸受用回転磁極2との
空隙(以下では上部空隙という)とスラスト磁気軸受用
電磁石3bの鉄心とスラスト磁気軸受用回転磁極2との
空隙(以下では下部空隙という)が等しい位置に回転子
1があれば両スラスト磁気軸受用電磁石3m、8bの鉄
心中を流れる実線の磁束の大きさは等しくなり、回転子
1に働く上下方向の吸引力は釣り合う。しかし、この釣
合点は不安定であり、例えば回転子1が少しでも下部ヘ
動くと下方の吸引力は益々強くなり、回転子1は下へ吸
引される。そこで、スラスト磁気軸受用電磁石Sm、$
bf)l引力を制御して次のように安定化させる。すな
わち、回転子1のスラスト方向の羨位を2つの位置セン
サT(第1図)で検出し、位置センナ回路$によって電
気信号に変換する。加算7ンプ@によって2つのセンサ
信号の平均化を行い、微分補償などの位相補償を位相補
償囲路10で行った後、電力増幅器11に加える。
図により説岡する。回転子1に取り付けられたリング状
永久磁石4のN極から出た磁束は実線の矢印で示される
とおリスラスト磁気軸受用回転磁極2を通って上下方向
に分かれ、空隙を経てスラスト磁気軸受用電磁石3m、
3bの鉄心に流入し、再び空隙を経てスラスト磁気軸受
用回転ali2に達しS極に戻る。スラスト磁気軸受用
電磁石3mの鉄心とスラスト磁気軸受用回転磁極2との
空隙(以下では上部空隙という)とスラスト磁気軸受用
電磁石3bの鉄心とスラスト磁気軸受用回転磁極2との
空隙(以下では下部空隙という)が等しい位置に回転子
1があれば両スラスト磁気軸受用電磁石3m、8bの鉄
心中を流れる実線の磁束の大きさは等しくなり、回転子
1に働く上下方向の吸引力は釣り合う。しかし、この釣
合点は不安定であり、例えば回転子1が少しでも下部ヘ
動くと下方の吸引力は益々強くなり、回転子1は下へ吸
引される。そこで、スラスト磁気軸受用電磁石Sm、$
bf)l引力を制御して次のように安定化させる。すな
わち、回転子1のスラスト方向の羨位を2つの位置セン
サT(第1図)で検出し、位置センナ回路$によって電
気信号に変換する。加算7ンプ@によって2つのセンサ
信号の平均化を行い、微分補償などの位相補償を位相補
償囲路10で行った後、電力増幅器11に加える。
電力増幅器11の出力によってスラスト磁気軸受用電磁
石8aeSkのコイルを励磁すると、これによる磁束は
IIIE2図の点線で示した方向に発生させることがで
きる。従って、上部空隙では永久磁石の磁束(実線)と
電磁石の磁束(点線)が加わり、総磁束数は増加するが
、下部空隙では減少し回転子1は上方へ吸引されてもと
の位置に制御される0以上のようにスラスト方向はスラ
スト磁気軸受用電磁石3 a# S bの吸引力を制
御して安定に支持される・また、ラジアル方向の変位に
対しては、リング状永久磁石4の吸引力によって受動的
に復元力が働く。しかし、第2図の磁気軸受では回転子
10回転に対してははとんど復元力が働かないため、第
1図に示すように回転子1の両端にラジアル磁気軸受を
用いている。すなわち、回転子1の重心まわりの回転に
ともなって回転子10両端にラジアル変位が発生するの
で、これをラジアル磁気軸受によって復元させている。
石8aeSkのコイルを励磁すると、これによる磁束は
IIIE2図の点線で示した方向に発生させることがで
きる。従って、上部空隙では永久磁石の磁束(実線)と
電磁石の磁束(点線)が加わり、総磁束数は増加するが
、下部空隙では減少し回転子1は上方へ吸引されてもと
の位置に制御される0以上のようにスラスト方向はスラ
スト磁気軸受用電磁石3 a# S bの吸引力を制
御して安定に支持される・また、ラジアル方向の変位に
対しては、リング状永久磁石4の吸引力によって受動的
に復元力が働く。しかし、第2図の磁気軸受では回転子
10回転に対してははとんど復元力が働かないため、第
1図に示すように回転子1の両端にラジアル磁気軸受を
用いている。すなわち、回転子1の重心まわりの回転に
ともなって回転子10両端にラジアル変位が発生するの
で、これをラジアル磁気軸受によって復元させている。
しかしながら、従来の磁気軸受ではリング状永久磁石4
を回転子1側に取り付けているため、回転によってリン
グ状永久磁石4に熱応力ばかりでなく遠心力を受けるた
め高速回転時に破損しやすいという欠点を有していた。
を回転子1側に取り付けているため、回転によってリン
グ状永久磁石4に熱応力ばかりでなく遠心力を受けるた
め高速回転時に破損しやすいという欠点を有していた。
この発明は上記の欠点を除去するためになされたもので
、永久磁石を固定子側に移し、かつ永久磁石と電磁石の
磁束が重畳するように磁路を構成することにより高速回
転時の遠心力に耐える磁気軸受を提供することを目的と
している。以下、この発明を第3図によって説明する。
、永久磁石を固定子側に移し、かつ永久磁石と電磁石の
磁束が重畳するように磁路を構成することにより高速回
転時の遠心力に耐える磁気軸受を提供することを目的と
している。以下、この発明を第3図によって説明する。
第3図はこの発明の一実施例を示すもので、4Aは軸方
向に磁化された中空円筒状永久磁石である。上部の中空
円筒状永久磁石4Aによる磁束は図中の実線の矢印で示
すようにNliから出て、ラジアル磁気軸受用固定磁極
Sと空隙g、を通り、スラスト磁気軸受用1転磁極2に
達し、さらに空隙g、とスラスト磁気軸受用電磁石3の
鉄心を通り8極に戻る。同様に下部の中空円筒状永久磁
石4Bの磁束もラジアル磁気軸受用固定磁石5.空隙f
4e スラスト磁気軸受用回転磁極2.空隙gs。
向に磁化された中空円筒状永久磁石である。上部の中空
円筒状永久磁石4Aによる磁束は図中の実線の矢印で示
すようにNliから出て、ラジアル磁気軸受用固定磁極
Sと空隙g、を通り、スラスト磁気軸受用1転磁極2に
達し、さらに空隙g、とスラスト磁気軸受用電磁石3の
鉄心を通り8極に戻る。同様に下部の中空円筒状永久磁
石4Bの磁束もラジアル磁気軸受用固定磁石5.空隙f
4e スラスト磁気軸受用回転磁極2.空隙gs。
スラスト磁気軸受用電磁石3の鉄心を通りS極に戻る。
空隙1とg、を通る磁束は回転子1を上方へ、また空隙
g8と「、を通る磁束は回転子1を下方へ吸引する力と
なる。第2図で説明したとおり、上方と下方の吸引力が
釣合5点は不安定であるので1例えば回転子1を引き上
げるには、スラスト磁気軸受用電磁石3の磁束を図示の
ように点線の矢印で示す方向に流すように励磁電流を供
給すれば、空隙g、の磁束は滅、空II g mの磁束
は増となり、上方への吸引力が強(なる。
g8と「、を通る磁束は回転子1を下方へ吸引する力と
なる。第2図で説明したとおり、上方と下方の吸引力が
釣合5点は不安定であるので1例えば回転子1を引き上
げるには、スラスト磁気軸受用電磁石3の磁束を図示の
ように点線の矢印で示す方向に流すように励磁電流を供
給すれば、空隙g、の磁束は滅、空II g mの磁束
は増となり、上方への吸引力が強(なる。
以上説明したようにこの発明は、中空円筒状永久磁石を
固定子側へ移し、かつ中空円筒状永久磁石と電磁石の磁
束が重畳するように構成したので、高速回転に耐えるこ
とができる磁気軸受が得られる効果がある。
固定子側へ移し、かつ中空円筒状永久磁石と電磁石の磁
束が重畳するように構成したので、高速回転に耐えるこ
とができる磁気軸受が得られる効果がある。
第1図は従来の磁気軸受を用いた回転装置を示す断面図
と制御回路の構成を示す図、第2図は第1図に示すスラ
スト磁気軸受の断面図と制御回路の構成を示す図、第3
図はこの発明の一実施例を示す断面図と制御回路の図で
ある。 図中、1は回転子、2はスラスト磁気軸受用回転磁極、
3はスラスト磁気軸受用磁極、!A、4Bは中空円筒状
永久磁石、5はラジアル磁気軸受用固定磁極、6は固定
子、1は位置センサ、8は位置センサ回路、9は加算ア
ンプ、10は位相補償回路、11は電力増幅器である。 なお、図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野信 −(外1名) 第1図 第2図
と制御回路の構成を示す図、第2図は第1図に示すスラ
スト磁気軸受の断面図と制御回路の構成を示す図、第3
図はこの発明の一実施例を示す断面図と制御回路の図で
ある。 図中、1は回転子、2はスラスト磁気軸受用回転磁極、
3はスラスト磁気軸受用磁極、!A、4Bは中空円筒状
永久磁石、5はラジアル磁気軸受用固定磁極、6は固定
子、1は位置センサ、8は位置センサ回路、9は加算ア
ンプ、10は位相補償回路、11は電力増幅器である。 なお、図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野信 −(外1名) 第1図 第2図
Claims (1)
- 固定子側に中空円筒状電磁石と、その上下両端に軸方向
に磁化された中空円筒状永久磁石とを設け、空隙を介し
て回転子側に前記両中空円筒状永久磁石による磁束と鎖
交し、さらに前配電磁石により発生した磁束とも鎖交す
る磁極を設けたことを特徴とする磁気軸受。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013982A JPS58137618A (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 磁気軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013982A JPS58137618A (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 磁気軸受 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58137618A true JPS58137618A (ja) | 1983-08-16 |
Family
ID=12018798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013982A Pending JPS58137618A (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 磁気軸受 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58137618A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6084422A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-13 | Mitsubishi Precision Co Ltd | 磁気軸受 |
JPH02262803A (ja) * | 1986-02-27 | 1990-10-25 | Peter Schuster | 負荷の低摩擦輸送のための磁力装置 |
WO2007000405A3 (de) * | 2005-06-28 | 2007-03-22 | Siemens Ag | Vorrichtung zur magnetischen lagerung einer rotorwelle mit radialführung sowie elektromagnetischer axialregelung |
DE102009054549A1 (de) | 2008-12-11 | 2010-06-17 | Carl Zeiss Smt Ag | Gravitationskompensation für optische Elemente in Projektionsbelichtungsanlagen |
DE10036529B4 (de) * | 1999-08-09 | 2011-02-03 | Thales | Magnetlager in Form eines Kugelgelenks für einen Kippkörper |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS496334A (ja) * | 1972-03-20 | 1974-01-21 |
-
1982
- 1982-02-10 JP JP2013982A patent/JPS58137618A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS496334A (ja) * | 1972-03-20 | 1974-01-21 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6084422A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-13 | Mitsubishi Precision Co Ltd | 磁気軸受 |
JPH02262803A (ja) * | 1986-02-27 | 1990-10-25 | Peter Schuster | 負荷の低摩擦輸送のための磁力装置 |
DE10036529B4 (de) * | 1999-08-09 | 2011-02-03 | Thales | Magnetlager in Form eines Kugelgelenks für einen Kippkörper |
WO2007000405A3 (de) * | 2005-06-28 | 2007-03-22 | Siemens Ag | Vorrichtung zur magnetischen lagerung einer rotorwelle mit radialführung sowie elektromagnetischer axialregelung |
US8058758B2 (en) | 2005-06-28 | 2011-11-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Apparatus for magnetic bearing of rotor shaft with radial guidance and axial control |
DE102009054549A1 (de) | 2008-12-11 | 2010-06-17 | Carl Zeiss Smt Ag | Gravitationskompensation für optische Elemente in Projektionsbelichtungsanlagen |
US8854603B2 (en) | 2008-12-11 | 2014-10-07 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Gravitation compensation for optical elements in projection exposure apparatuses |
US9341807B2 (en) | 2008-12-11 | 2016-05-17 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Gravitation compensation for optical elements in projection exposure apparatuses |
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