JPS584984A - 太陽電池の性能を改善する方法 - Google Patents
太陽電池の性能を改善する方法Info
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- JPS584984A JPS584984A JP57108271A JP10827182A JPS584984A JP S584984 A JPS584984 A JP S584984A JP 57108271 A JP57108271 A JP 57108271A JP 10827182 A JP10827182 A JP 10827182A JP S584984 A JPS584984 A JP S584984A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
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- H01L31/208—Particular post-treatment of the devices, e.g. annealing, short-circuit elimination
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は太陽電池の性能を改善する方法、特に太陽電
池の製造工程中に発生する電気的短絡と分路な除去する
方法に関する・ 米国特許第4064521号明細書記載のアモルファス
シリコン太陽電池の様な薄膜太陽電池では電圧と電流の
出力がその製造工程中に発生する電気的短絡または分路
によって著しく減少したね、完全になくなることがある
。電気的短絡は半導体基体中に表裏両面の電極を接続す
るピンホールの様な孔がある場合や半導体基体中を導電
性金属が貫通している場合に生じる。
池の製造工程中に発生する電気的短絡と分路な除去する
方法に関する・ 米国特許第4064521号明細書記載のアモルファス
シリコン太陽電池の様な薄膜太陽電池では電圧と電流の
出力がその製造工程中に発生する電気的短絡または分路
によって著しく減少したね、完全になくなることがある
。電気的短絡は半導体基体中に表裏両面の電極を接続す
るピンホールの様な孔がある場合や半導体基体中を導電
性金属が貫通している場合に生じる。
分路とは不完全な障壁の形成やショットキ障壁の代9に
高仕事函数金属によるオーム接触の形成による半導体基
体中の電荷の損失である。これらの短絡や分路を引き起
す太陽電池の・欠陥の問題は太陽電池が大型になるにつ
れて着しく増加する。
高仕事函数金属によるオーム接触の形成による半導体基
体中の電荷の損失である。これらの短絡や分路を引き起
す太陽電池の・欠陥の問題は太陽電池が大型になるにつ
れて着しく増加する。
大面積の太陽電池を経済的に製造するにFi、製造工程
中で短絡や分路な除去する方法か製造後のこれらの欠陥
を除去する方法を開発せねばならない。米国特許第41
66918号明細書には大面積太陽電池の電気的短絡と
分路の欠陥を除去する方法が記載されている0この方法
は降伏電圧以下の十分高い逆バイアス電圧を用いて太陽
1陽の欠陥を焼き取るものであるが為この方法は改良の
余地があることがわかっている。
中で短絡や分路な除去する方法か製造後のこれらの欠陥
を除去する方法を開発せねばならない。米国特許第41
66918号明細書には大面積太陽電池の電気的短絡と
分路の欠陥を除去する方法が記載されている0この方法
は降伏電圧以下の十分高い逆バイアス電圧を用いて太陽
1陽の欠陥を焼き取るものであるが為この方法は改良の
余地があることがわかっている。
この発明によれば1短絡や分路を持つ太陽電池を電解液
に浸漬して逆バイアスを印加するが1このとき電流は短
絡や分路だけを流れて残りの電池部分には流れず為電気
メツキ作用が気泡衝撃による機械的作用によると考えら
れる動作によって短絡や分路が除去されることが判った
。この除去の機構は正確にはわかっていないが1この発
明は従来法で成功しなかった太陽電池の短絡と分路の除
去ができることを示した。以下添付図面を参照しつつこ
の発明の詳細な説明する。
に浸漬して逆バイアスを印加するが1このとき電流は短
絡や分路だけを流れて残りの電池部分には流れず為電気
メツキ作用が気泡衝撃による機械的作用によると考えら
れる動作によって短絡や分路が除去されることが判った
。この除去の機構は正確にはわかっていないが1この発
明は従来法で成功しなかった太陽電池の短絡と分路の除
去ができることを示した。以下添付図面を参照しつつこ
の発明の詳細な説明する。
この発明ではまず図示の様に電解液12を入れた容器1
0を準備し1短絡や分路を持つ太陽電池14を電極16
と共に電解液12に浸漬する。電fM16を電源18の
1端子に接続し)電源18の他端子を太陽電池14の1
端子に接続する。後述のように電源18&t1:対する
太陽電池14と電極16の接続は太陽電池14の整流接
合が逆バイアスされる様に決める。この結果電流は太陽
電池14中の短絡や分路だけを流れ1しかもこの電流は
ある種のエツチングにより短絡や分路が十分除去される
時間しか流れない。この機構は現在の所正確vcFiわ
かつていないが為短絡や分路がその周囲に孔が形成され
ることによって太陽電池14から電気的に除去されるこ
とになる。
0を準備し1短絡や分路を持つ太陽電池14を電極16
と共に電解液12に浸漬する。電fM16を電源18の
1端子に接続し)電源18の他端子を太陽電池14の1
端子に接続する。後述のように電源18&t1:対する
太陽電池14と電極16の接続は太陽電池14の整流接
合が逆バイアスされる様に決める。この結果電流は太陽
電池14中の短絡や分路だけを流れ1しかもこの電流は
ある種のエツチングにより短絡や分路が十分除去される
時間しか流れない。この機構は現在の所正確vcFiわ
かつていないが為短絡や分路がその周囲に孔が形成され
ることによって太陽電池14から電気的に除去されるこ
とになる。
例トシてアモルファスシリコン太陽電池14ヲ2ボルト
の逆バイアス電圧を印加しつつ13分間希釈しfe硫酸
(H2SO4)の電解液に浸漬したところ1その太陽電
池中にあって従来法すなわち米国特許第4166918
号の方法では除去されない短絡や分路が除去される。
の逆バイアス電圧を印加しつつ13分間希釈しfe硫酸
(H2SO4)の電解液に浸漬したところ1その太陽電
池中にあって従来法すなわち米国特許第4166918
号の方法では除去されない短絡や分路が除去される。
一般にこの発明の方法では溶液が”適正極性の電流が流
れるときしかエツチング作用のない電解液である必要が
ある。このときエツチング速度は電流が最大のと、こる
すなわち短絡や分路があるところで最大になる。この電
流の極性は電源18の極性で決まるが、その太陽電池1
4の構造に適したものでなければならない。従って1こ
の方法では一般にP型とN型領域の間に真性領域を持つ
ダイオード構造の太陽電、池14の場合電源18を太陽
電池が逆バイアスされる様に接続する必要がある。こう
すれば電流は短絡や分路が存在するところ以外を流れな
いようになる。短絡または分路のあるところでは逆バイ
アスされた半導体の障壁の存在によりこの電流が阻止さ
れないため1−この高電流密度の ”領域で電解エツ
チングが進行する。このエツチングは高電流領域が存在
する間すなわち短絡や分路が除去されるまで続くこ七に
なる。
れるときしかエツチング作用のない電解液である必要が
ある。このときエツチング速度は電流が最大のと、こる
すなわち短絡や分路があるところで最大になる。この電
流の極性は電源18の極性で決まるが、その太陽電池1
4の構造に適したものでなければならない。従って1こ
の方法では一般にP型とN型領域の間に真性領域を持つ
ダイオード構造の太陽電、池14の場合電源18を太陽
電池が逆バイアスされる様に接続する必要がある。こう
すれば電流は短絡や分路が存在するところ以外を流れな
いようになる。短絡または分路のあるところでは逆バイ
アスされた半導体の障壁の存在によりこの電流が阻止さ
れないため1−この高電流密度の ”領域で電解エツ
チングが進行する。このエツチングは高電流領域が存在
する間すなわち短絡や分路が除去されるまで続くこ七に
なる。
図示の実施例では1太陽電池14がステンレヌ鋼金シミ
ソトキ障壁層26が接触している。適業者、の認知する
ようにこの太陽電池14わ構造は1つの代表例を示した
ものにすぎず、この構造しか使用されないというもので
はない。
ソトキ障壁層26が接触している。適業者、の認知する
ようにこの太陽電池14わ構造は1つの代表例を示した
ものにすぎず、この構造しか使用されないというもので
はない。
ステンレス鋼の基板2oは絶縁導線28を介して電源1
8の正端子に接続するが、この導線28は電解液12中
にある部分に電流が流れない様に絶縁しておく必要があ
る。同様の理由でステンレス鋼の基板20の露出部も塗
料の様な絶縁層3oで被覆する。この発明の推奨実施例
では通常金か白金から成る電極16を同様に電解液12
に侵されない様に絶縁した導線32により電源18の負
端子に接続する。
8の正端子に接続するが、この導線28は電解液12中
にある部分に電流が流れない様に絶縁しておく必要があ
る。同様の理由でステンレス鋼の基板20の露出部も塗
料の様な絶縁層3oで被覆する。この発明の推奨実施例
では通常金か白金から成る電極16を同様に電解液12
に侵されない様に絶縁した導線32により電源18の負
端子に接続する。
電流は太陽電池の短絡や分路のある部分から電解液12
を通って電極16に流れるON型領域を電源18の正端
子に接続する電池構造では通常電解液に硫酸か希釈硫酸
銅(CuSo4’)溶液を用いる。
を通って電極16に流れるON型領域を電源18の正端
子に接続する電池構造では通常電解液に硫酸か希釈硫酸
銅(CuSo4’)溶液を用いる。
逆に太陽電池が導電性基板にP型領域が隣接したヌテン
レス鋼基板7p−x−N/酸化インジウム錫(工To)
の構造を持つ場合は、ステンレス鋼の基板を電源18の
負端子に接続し1水酸化アンモニウム(NH40H)の
20%溶液の様な電解液を用いればより。
レス鋼基板7p−x−N/酸化インジウム錫(工To)
の構造を持つ場合は、ステンレス鋼の基板を電源18の
負端子に接続し1水酸化アンモニウム(NH40H)の
20%溶液の様な電解液を用いればより。
図はこの発明の方法を示す断面図である。
10・・・容器・12・・・電解液)14・・・太陽電
池16・・・電極118・・・電源% 28S32・・
・導線。
池16・・・電極118・・・電源% 28S32・・
・導線。
Claims (1)
- (1) 高導電度の電極が1つの層に接触している型
の太陽電池の性能を改善する方法であって、その太陽電
池を電解液に浸漬し、その電解液を介して上記高導電度
の電極に逆バイアス電圧を印加し1これによって太陽電
池中の短絡または分路を除去することを特徴とする方法
。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US277983 | 1981-06-26 | ||
US06/277,983 US4385971A (en) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | Electrolytic etch for eliminating shorts and shunts in large area amorphous silicon solar cells |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS584984A true JPS584984A (ja) | 1983-01-12 |
JPH0473306B2 JPH0473306B2 (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=23063194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57108271A Granted JPS584984A (ja) | 1981-06-26 | 1982-06-22 | 太陽電池の性能を改善する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4385971A (ja) |
JP (1) | JPS584984A (ja) |
DE (1) | DE3223432C2 (ja) |
FR (1) | FR2508708B1 (ja) |
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