JPS5849637Y2 - 厚膜配線板 - Google Patents

厚膜配線板

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Publication number
JPS5849637Y2
JPS5849637Y2 JP1978096304U JP9630478U JPS5849637Y2 JP S5849637 Y2 JPS5849637 Y2 JP S5849637Y2 JP 1978096304 U JP1978096304 U JP 1978096304U JP 9630478 U JP9630478 U JP 9630478U JP S5849637 Y2 JPS5849637 Y2 JP S5849637Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thick film
wiring board
layer
film wiring
conductor
Prior art date
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Expired
Application number
JP1978096304U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5514712U (ja
Inventor
正昭 草野
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
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Publication of JPS5514712U publication Critical patent/JPS5514712U/ja
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、集積回路チップがフェイスダウンボンディン
グされる厚膜配線板に関するものである。
この種の厚膜配線板として、本出願人は先に第1図a、
l)に示す構造の厚膜配線板を提案している。
この厚膜配線板はセラミツク基板1上面に第1層導体配
線2を形成し、かつ該導体配線2上にスルーホール3を
開設した第2層絶縁層4を形成した後、前記スルーホー
ル3を介して露出する第1層導体配線2上に第3層導体
としてチップ接続用ペテ゛イスタル5を形成したもので
ある。
前記厚膜配線板は、チップ接続用ペテ゛イスタル5の寸
法を、該ペテ゛イスタル単独で決めることができ、従来
のガラスダム法の如きガラスダムと導体との相互関係で
決めるものと比べて寸法精度の良いペディスクルを形成
できる特長を有している。
ところで前記の厚膜配線板を採用したところ、次のよう
な問題が生じた。
即ち第2層絶縁層4に開設されるスルーホール3はペデ
イスタル5よりも小さく形成する必要があるので、スル
ーホールパターンの印刷時に、該スルーホールを絶縁層
で埋めてしまう印刷不良を招く危険があり、またスルー
ホール印刷用のスクリーンにおけるスルーホールパター
ンが小さいため摩耗が早く寿命が著しく短かいと云う問
題がある。
本考案は前述の問題点を解消した厚膜配線板を提供せん
とするものである。
本考案はセラミック基板上面に第1層となる導体配線を
形成し、該第1層導体配線上にスリットを開設した第2
層となる絶縁層を形成し、前記スリットを介して露出し
た第1層導体配線上にチップ接続用ペデイスタルを第3
層導体として形成したことを特徴とする。
以下、本考案厚膜配線板の一具体例を第2図ないし第6
図を参照して説明する。
第3図においてセラミック基板11の上面には4つの第
1層導体配線12が十字方向に配置して形成されている
この各第1層導体配線12は、後述のチップ接続用ペテ
゛イスタル位置のパターン幅がペデイスタルよりややせ
まいパターン12 aを有している。
また第1層導体配線12上には、第4図に示すように第
2層となる絶縁層13が形成される。
該第2層絶縁層13は、前記第1層導体配線12のパタ
ーン12 aを部分的に露出させうるスリット14を矩
形状に開設している。
前記スリット14は、その幅がペテ゛イスタルのそれよ
りもややせまく形成されている。
また前記スリット14を介して露出される第1層導体配
線12のパターン12a上には、第2図及び第5図に示
すように必要な形状、大きさのベデイスタル用導体15
が形成される。
そして前記ペデイスタル用導体15上には、第6図(第
2図のA−A断面図)に示すように例えばハンダ電極1
6を介して半導体チップ17が接続される。
従って、本考案の厚膜配線板は、絶縁層13に設けたス
リット14を介して第1層導体が露出するので、絶縁層
13の印刷時、露出されるべき第1層導体の表面が絶縁
層で埋まってしまう印刷不良を招く危険はない。
また絶縁印刷スクリーンがスルーホールパターンと異な
り連続したスリットパターンであるため、摩耗による寿
命の問題も大幅に改善される。
また第1層導体におけるペデイスタル位置のパターン1
2 aの幅および絶縁層13のスリット14の幅をペデ
イスタル導体15の幅よりもややせまく形成しているの
で、ペディスクル導体15の印刷位置が多少ずれても第
1層導体のパターンが露出することはなく、スルーホー
ルを用いた厚膜配線板と同様にきわめて寸法精度の高い
チップ接続用ペデイスタルを構成することができる。
尚、本考案においては、スリットは図示のものに限定さ
れないことは勿論である。
また配線層が複数層になった場合もペテ゛イスタル部を
前述と同様の構成とすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図gは先行技術となる厚膜配線板の断面図、第1図
すはその平面図、第2図は本考案厚膜配線板の一具体例
を示す平面図、第3図ないし第5図は第2図の部分パタ
ーン平面図、第6図は第2図のA−A断面図である。 11・・・・・・セラミック基板、12・・・・・・第
1層導体配線、12 a・・・・・・パターン、13・
・・・・・第2層絶縁体、14・・・・・・スリット、
15・・・・・・ペデイスタル導体、17・・・・・・
半導体チップ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. チップ接続用ペテ゛イスタルを介して半導体チップをフ
    ェイスダウンボンディングするようになした厚膜配線板
    において、基板上面に少なくとも上記ペテ゛イスタル対
    応部の幅を当該ペデイスタルの幅よりせまくなした導体
    配線を形成し、該導体配線上に上記ペディスクルの幅よ
    りせまい幅のスリットを開設した絶縁層を形成し、前記
    スリットを介して露出した導体配線上に上記チップ接続
    用ペテ゛イスタルを形成したことを特徴とする厚膜配線
    板。
JP1978096304U 1978-07-14 1978-07-14 厚膜配線板 Expired JPS5849637Y2 (ja)

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JPS5514712U JPS5514712U (ja) 1980-01-30
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2003098983A1 (fr) * 2002-05-17 2003-11-27 Nec Corporation Panneau de cablage imprime

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JPS6243106Y2 (ja) * 1981-01-27 1987-11-07

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WO2003098983A1 (fr) * 2002-05-17 2003-11-27 Nec Corporation Panneau de cablage imprime
US7180005B2 (en) 2002-05-17 2007-02-20 Nec Corporation Printed wiring board

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JPS5514712U (ja) 1980-01-30

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