JPS5839936A - 表面欠陥検出装置 - Google Patents
表面欠陥検出装置Info
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- JPS5839936A JPS5839936A JP13930281A JP13930281A JPS5839936A JP S5839936 A JPS5839936 A JP S5839936A JP 13930281 A JP13930281 A JP 13930281A JP 13930281 A JP13930281 A JP 13930281A JP S5839936 A JPS5839936 A JP S5839936A
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は表両火一検出装置κ関するものであ為●
８１１１６表璽欠陥楡畠鋏置〇ー例を第１図に示す。
ｅｅ＊ｗ火畷楡ａＳＳ置Ｂ装、 ＩＩ＠−４ｓ ｖ −
ｆ ” （ ｊｌｌ’１ 色）の翼Ｉツ｝光１を被検
査璽Ｓ上κ走査させ為とと％に，前記被検査曹＄で０１
２射光を積分球２を介して赤色ライ！”ｎｓａを被着し
た光電子増管管島で受け，前記光電子増倍管３０出力を
増幅器４を介して冨シパＶ−ＪＩｆｉＫ受け，断電基準
値Ｖ。と比較して被検査ｗｓｏｍｅどＯＩＸ陥に和尚す
る信号を前記冨νパＶ−ＩＢＭ）出力よ）読み取るよう
ＫＬ＊もので番１。
ｆ ” （ ｊｌｌ’１ 色）の翼Ｉツ｝光１を被検
査璽Ｓ上κ走査させ為とと％に，前記被検査曹＄で０１
２射光を積分球２を介して赤色ライ！”ｎｓａを被着し
た光電子増管管島で受け，前記光電子増倍管３０出力を
増幅器４を介して冨シパＶ−ＪＩｆｉＫ受け，断電基準
値Ｖ。と比較して被検査ｗｓｏｍｅどＯＩＸ陥に和尚す
る信号を前記冨νパＶ−ＩＢＭ）出力よ）読み取るよう
ＫＬ＊もので番１。
としろが前記Ｏ表両欠陥検出装置で杜、被検査ｗＳの黒
地での火陥κりいては．８２図１（ａで示すようκ明線
κ検４１されるが、被検査面Ｓ−ｂＸ赤地の揚台には地
色ｅ度射によ）欠陥Ｋｌ１当する信号−Ｉｓ紛れてしｔ
％ｆｈ％ζれ會検出す為ヒとがで自ないという欠点を有
す為。
地での火陥κりいては．８２図１（ａで示すようκ明線
κ検４１されるが、被検査面Ｓ−ｂＸ赤地の揚台には地
色ｅ度射によ）欠陥Ｋｌ１当する信号−Ｉｓ紛れてしｔ
％ｆｈ％ζれ會検出す為ヒとがで自ないという欠点を有
す為。
壜＊． ８８ １１に量？！ ９ＫＨｅ−Ｎｏ ％／−
ｆ＝ （ＩＩ色）とＡｖＶ−ザー（青色）Ｏ各スＩツＦ
光１．６を徽少鳳離ずらして被検査面８上を並行走査さ
せ。
ｆ＝ （ＩＩ色）とＡｖＶ−ザー（青色）Ｏ各スＩツＦ
光１．６を徽少鳳離ずらして被検査面８上を並行走査さ
せ。
被検査面ｓ’ｔ”ｏ（反射光を赤色フィｗｌｚｍを被着
した赤色光受光用の光電子ｌ１ｌＩＩ管３と青色フイｆ
ｉｌｌｌ）島を被着し免責色光受光Ｍｏ光電子増倍管７
とで分離して受光し、光電子増倍管３．７０出力豊を差
動増幅器８で得て、その出力をコンバレー１ｍで所定基
準値ｖ０と比較して被検査面ＳＯ欠陥ＫＮ轟する信号を
％為構成の表両欠陥検出装置もある一ｂＸ％この例でも
、被検書画ＳＯ黒地から赤地にかけての光走査に対応し
て得られ暴赤＆光受光用Ｏ光電子増倍管３ｏ出力（第４
図囚）と青色光受光用の光電子増信管１の出力（第４図
＠）との差分信号は、第４図りのようにな勤、被検査薗
Ｓｏａ地でＯ欠陥に相当す為信号ａ′はコンパＶ−１９
で設定され為基準値Ｖ。Ｋｌｌ＜値として検出Ｃ自るも
のの、赤色光受光用の光電子増倍管１０出力では・紛れ
てしまう被検査ｍｓの赤地での欠陥に相当する信号は％
館４ｓ＆３Ｋｂて示すように前記基準値ｖ０に履かない
値と１ｋ）、先の従来例と同機に赤地での火陥を検伽で
きないと一５欠点を有す為。
した赤色光受光用の光電子ｌ１ｌＩＩ管３と青色フイｆ
ｉｌｌｌ）島を被着し免責色光受光Ｍｏ光電子増倍管７
とで分離して受光し、光電子増倍管３．７０出力豊を差
動増幅器８で得て、その出力をコンバレー１ｍで所定基
準値ｖ０と比較して被検査面ＳＯ欠陥ＫＮ轟する信号を
％為構成の表両欠陥検出装置もある一ｂＸ％この例でも
、被検書画ＳＯ黒地から赤地にかけての光走査に対応し
て得られ暴赤＆光受光用Ｏ光電子増倍管３ｏ出力（第４
図囚）と青色光受光用の光電子増信管１の出力（第４図
＠）との差分信号は、第４図りのようにな勤、被検査薗
Ｓｏａ地でＯ欠陥に相当す為信号ａ′はコンパＶ−１９
で設定され為基準値Ｖ。Ｋｌｌ＜値として検出Ｃ自るも
のの、赤色光受光用の光電子増倍管１０出力では・紛れ
てしまう被検査ｍｓの赤地での欠陥に相当する信号は％
館４ｓ＆３Ｋｂて示すように前記基準値ｖ０に履かない
値と１ｋ）、先の従来例と同機に赤地での火陥を検伽で
きないと一５欠点を有す為。
したがうて、と０殆明の目的は、被検査面が多色を呈す
為場合でも、ひび中傷などの表面欠陥□を精度よく検出
すゐことのでき１表面欠陥検出装置を提供すゐことであ
る。
為場合でも、ひび中傷などの表面欠陥□を精度よく検出
すゐことのでき１表面欠陥検出装置を提供すゐことであ
る。
この発明の一爽施偶を第５図に示す、すなわち、この表
面欠陥検出装置杜、赤、青、緑の３原色のレーザースポ
ット光をそれぞれ微少間隔（数戸＃１）ずらし被検査面
Ｓ上に！直入射して並行走査させゐレーザー投光器１１
と、前記被検査面Ｓの赤色乱反射光を選択して受光する
赤色受光用光電子増倍管１２と、前記被検査面Ｓの青色
乱反射光を選択して受光す為青色受光用光電子増倍管１
３と、前記被検査ａｔｅ緑色乱夏射光を選択して受光す
ゐ緑色受量用光電子増倍管１４と、前記赤色受光用光電
子増信管１２シよび前記青色受光用光電子増信管１３の
出力・、ｄを受け２つの出方０．、ｄの差分値（・−櫨
）を所定倍率に増幅して出力す為ＩＩＩの差動増幅器１
！５と、前ｌＢ館１０差動増幅器１ｊｉと同一増幅率を
有し前記青色受光用光電子増倍管１ｓシよび前記緑色受
光用光電子増倍管１４０出カシ、・を受けその差分値（
ｄ−ｅ）を増幅出力す為館＊０＊動増幅器１６と、同じ
く前記館１０葺動増幅器ｌ！！と岡−増幅率管有し前記
赤色受光Ｍ光電子増倍管１２シよび量色受光用光電子増
僑管１４の出力６．・を受けその差分値（６−榔）を増
幅出力するｓ１０差動増幅器１丁と、前記嬉１０差動増
幅器１墨の出力ｆを受けこれを所定基準値ｖ０と比較し
その出力レベルが基準値ｖ０以下のと亀火陥検出信号と
してＲ出力を得る第１のコンバレーｊ１１ｍｌと、前記
第３の差動増幅器１６の出力ｇを受けこれを前記第１０
コνパＶ−７１８と同一基準値Ｖ。と比較して前記と同
様に基準値Ｖ。
面欠陥検出装置杜、赤、青、緑の３原色のレーザースポ
ット光をそれぞれ微少間隔（数戸＃１）ずらし被検査面
Ｓ上に！直入射して並行走査させゐレーザー投光器１１
と、前記被検査面Ｓの赤色乱反射光を選択して受光する
赤色受光用光電子増倍管１２と、前記被検査面Ｓの青色
乱反射光を選択して受光す為青色受光用光電子増倍管１
３と、前記被検査ａｔｅ緑色乱夏射光を選択して受光す
ゐ緑色受量用光電子増倍管１４と、前記赤色受光用光電
子増信管１２シよび前記青色受光用光電子増信管１３の
出力・、ｄを受け２つの出方０．、ｄの差分値（・−櫨
）を所定倍率に増幅して出力す為ＩＩＩの差動増幅器１
！５と、前ｌＢ館１０差動増幅器１ｊｉと同一増幅率を
有し前記青色受光用光電子増倍管１ｓシよび前記緑色受
光用光電子増倍管１４０出カシ、・を受けその差分値（
ｄ−ｅ）を増幅出力す為館＊０＊動増幅器１６と、同じ
く前記館１０葺動増幅器ｌ！！と岡−増幅率管有し前記
赤色受光Ｍ光電子増倍管１２シよび量色受光用光電子増
僑管１４の出力６．・を受けその差分値（６−榔）を増
幅出力するｓ１０差動増幅器１丁と、前記嬉１０差動増
幅器１墨の出力ｆを受けこれを所定基準値ｖ０と比較し
その出力レベルが基準値ｖ０以下のと亀火陥検出信号と
してＲ出力を得る第１のコンバレーｊ１１ｍｌと、前記
第３の差動増幅器１６の出力ｇを受けこれを前記第１０
コνパＶ−７１８と同一基準値Ｖ。と比較して前記と同
様に基準値Ｖ。
以下のと自欠陥検出信号としてＨ出力を得る館２のコン
パＶ−１１１と、前記館！ＩＯ差動増幅器１丁の出力り
を前記基準値ｖ０と比較して同様に欠陥検出値ｔを出力
する第３のコンバレー＃２０と、Ｗ記各ｘンｔ＜ｖ−１
１８，Ｉ Ｉｔ Ｒｏｔ）出力ｊ、ｋ。
パＶ−１１１と、前記館！ＩＯ差動増幅器１丁の出力り
を前記基準値ｖ０と比較して同様に欠陥検出値ｔを出力
する第３のコンバレー＃２０と、Ｗ記各ｘンｔ＜ｖ−１
１８，Ｉ Ｉｔ Ｒｏｔ）出力ｊ、ｋ。
ｍを受けそａｍｍ和鳳を出力すゐＯＲ回路２１とを備え
、前記番犬電子増倍管１１１３．１４は。
、前記番犬電子増倍管１１１３．１４は。
レーザー投光１１１１１から照射されるレーザースポッ
ト光の被検査ｗＳ上の照射位置に配置した積分球２’０
肩画の所定位置、すなわち被検査面Ｓでの乱反射光のう
ち積分球２′によって赤色乱反射光が集光する立体角相
当位置に赤色受光用光電子増倍管１２を、青色乱反射光
が集光する立体角相当位置に青色受光用光電子増信管１
３を、緑色乱反射光が集光する立体角相当位置に緑色！
光用光電子増倍管１４をそれぞれ配置して、各光電子増
倍管１１１１１４に他の色光が混入しないように赤色受
光用光電子増倍管１２に＃ｉ赤色フィルタ１３゜青色受
光用光電子増信管１３には青色フィルタ１３Ｂ。
ト光の被検査ｗＳ上の照射位置に配置した積分球２’０
肩画の所定位置、すなわち被検査面Ｓでの乱反射光のう
ち積分球２′によって赤色乱反射光が集光する立体角相
当位置に赤色受光用光電子増倍管１２を、青色乱反射光
が集光する立体角相当位置に青色受光用光電子増信管１
３を、緑色乱反射光が集光する立体角相当位置に緑色！
光用光電子増倍管１４をそれぞれ配置して、各光電子増
倍管１１１１１４に他の色光が混入しないように赤色受
光用光電子増倍管１２に＃ｉ赤色フィルタ１３゜青色受
光用光電子増信管１３には青色フィルタ１３Ｂ。
緑色受光月光電子増倍管１４＃ｃは緑色フィルｊ’ １
４＆をそれぞれ被着している。
４＆をそれぞれ被着している。
前記レーザー投光１ｉｌｌは、赤色、青色および緑色の
各レーザースポット光１０島＠ １０ｂ、 １００をそ
れぞれ別々に照射する赤色レーザー光投光部２２ａ。
各レーザースポット光１０島＠ １０ｂ、 １００をそ
れぞれ別々に照射する赤色レーザー光投光部２２ａ。
責色Ｖ−ザー光投光ＩＩ ２２ｋ 、緑色Ｖ−ザー投光
部２２ｅｌと、前記各レーザースポットｇｌｌｌＯａ
、 １０ｂ 、１０゜を受は被検査ＷＳＫ肉は垂直方
向に反射する〆イ？ロイッタミ９−２ｓｈ、 ２ｍｂ、
２８・とで構成している。
部２２ｅｌと、前記各レーザースポットｇｌｌｌＯａ
、 １０ｂ 、１０゜を受は被検査ＷＳＫ肉は垂直方
向に反射する〆イ？ロイッタミ９−２ｓｈ、 ２ｍｂ、
２８・とで構成している。
そして、前記Ｖ−ザーＩＩ！先−１１からのレーず一ス
ｌ１ｒｖ）光は、前記１１４）球雪′、各光電子増普管
ｌｊ１．１３．１４を回走し−ｋｔｔ被検−２４を水平
移動させゐことによ）、ｓ対的に被検査面８上を走査す
ｂようにしていす。
ｌ１ｒｖ）光は、前記１１４）球雪′、各光電子増普管
ｌｊ１．１３．１４を回走し−ｋｔｔ被検−２４を水平
移動させゐことによ）、ｓ対的に被検査面８上を走査す
ｂようにしていす。
ζＯ＊ｍ欠陥検出装置の動作を第６閣ないし第一一に基
づ１次に説明す為。
づ１次に説明す為。
金璽が黒ｊＩＩｌを鳳すふ被検査菖ＩＫ対してζＯ褒ｍ
欠陥検出装置で光走査を行うと、被検査ｗ３で０１ｌｂ
、に射光紘前記積分球！’ｔ＠て赤色乱反射光。
欠陥検出装置で光走査を行うと、被検査ｗ３で０１ｌｂ
、に射光紘前記積分球！’ｔ＠て赤色乱反射光。
青８１ＬＫ射光、綴色乱に射光Ｋｆｉは分光され、それ
ぞれ条光電子増倍管１雪、１１．１４で選択受光される
。被検査面８上に傷があると、４−光電子増信管１！、
１１１４にそれぞれ受光される赤色１ＬＴＬ射光、青色
乱に射光、緑色乱反射光は、前記光走査に伴食いそれぞ
れ箇・ｍ（２）、（至）、唖のよ５に傷椙轟郁で大音い
光量を示し、各光電子増信管１２．１１．１４が傷ｓＩ
１部の夏射党を蛍光すｂ時間は、被検査璽Ｓに所定間隔
ずらして照射される赤、責、１１０各レーザースポツト
光の照射間隔に相当゛すゐ分だけずれる。そして、Ｉ！
１の差動増幅１ＩＬＳでは赤色受光用光電子増倍管１２
の出力・から青色受光用光電子増倍管１３の出力ｄを差
し引いた第１Ｉｉ（転）に示すような微分波形に近似し
た出力波形ｆが得られ〔パルスの山部が赤色受光眉勤電
序・ｓ１倍管１２による傷検出部に相当し、パルスの谷
部が青色受光用光電子増倍管１３による傷検出ｇに相当
している）％同様に箇１の差動増幅器１６では光電子増
倍管１３と光電子増倍管１４の出力差が間ＷＪ＠に示す
ような微分波形に近似した出力波形ｇとして得られ、第
３の差動増幅器１７では光電子増倍管１２と１４の出力
差が同図４ｏ。
ぞれ条光電子増倍管１雪、１１．１４で選択受光される
。被検査面８上に傷があると、４−光電子増信管１！、
１１１４にそれぞれ受光される赤色１ＬＴＬ射光、青色
乱に射光、緑色乱反射光は、前記光走査に伴食いそれぞ
れ箇・ｍ（２）、（至）、唖のよ５に傷椙轟郁で大音い
光量を示し、各光電子増信管１２．１１．１４が傷ｓＩ
１部の夏射党を蛍光すｂ時間は、被検査璽Ｓに所定間隔
ずらして照射される赤、責、１１０各レーザースポツト
光の照射間隔に相当゛すゐ分だけずれる。そして、Ｉ！
１の差動増幅１ＩＬＳでは赤色受光用光電子増倍管１２
の出力・から青色受光用光電子増倍管１３の出力ｄを差
し引いた第１Ｉｉ（転）に示すような微分波形に近似し
た出力波形ｆが得られ〔パルスの山部が赤色受光眉勤電
序・ｓ１倍管１２による傷検出部に相当し、パルスの谷
部が青色受光用光電子増倍管１３による傷検出ｇに相当
している）％同様に箇１の差動増幅器１６では光電子増
倍管１３と光電子増倍管１４の出力差が間ＷＪ＠に示す
ような微分波形に近似した出力波形ｇとして得られ、第
３の差動増幅器１７では光電子増倍管１２と１４の出力
差が同図４ｏ。
ようＫＭじ〈微分波形に近似した出力波形ｆとして得ら
れ、各差動増幅器１５．１＠、１７０次段にそれぞれ接
続されたコシバレーＪ’１ｌ１９．２０によって所定基
準値ｖ０と前記各差動増幅器１５゜１６．１７の出力ｆ
、ｇａ ｈとが比較され（基準値Ｖ。かも差動増幅器１
５．１６．１７の出力を差し引％Ａ九差分値が求められ
る）、差分値が夏の場合す１ｋｂち差動増幅器１５．１
ｇ、１７の出力しぺＶのうち傷検出ＩＩＫ４１１？！４
す為最下レイ１４／部分が前お基準値ｖＯを下１わ為と
自欠陥検出信号としてＲ出力をＩＢ（コノ例では各＝ｔ
ン／（ｖ −１１８，ｌ１ｉｌｅ”２０でＨ出力が得
られ為）、そのＨ出力は０１１１Ｍ賂２１を得てＶコー
グその他の表示装置で記録表示される。
れ、各差動増幅器１５．１＠、１７０次段にそれぞれ接
続されたコシバレーＪ’１ｌ１９．２０によって所定基
準値ｖ０と前記各差動増幅器１５゜１６．１７の出力ｆ
、ｇａ ｈとが比較され（基準値Ｖ。かも差動増幅器１
５．１６．１７の出力を差し引％Ａ九差分値が求められ
る）、差分値が夏の場合す１ｋｂち差動増幅器１５．１
ｇ、１７の出力しぺＶのうち傷検出ＩＩＫ４１１？！４
す為最下レイ１４／部分が前お基準値ｖＯを下１わ為と
自欠陥検出信号としてＲ出力をＩＢ（コノ例では各＝ｔ
ン／（ｖ −１１８，ｌ１ｉｌｅ”２０でＨ出力が得
られ為）、そのＨ出力は０１１１Ｍ賂２１を得てＶコー
グその他の表示装置で記録表示される。
つぎに、被検査＊Ｓ−黒地と赤地とからな〕傷かき地Ｉ
Ｅｋ存在する場合の動作について説明する。
Ｅｋ存在する場合の動作について説明する。
この場合、赤８を夏射光は赤地部での光量１５１ＥＩＦ
しく増大すゐえめ、第５ｌｉＩ囚に示すようＫＩＩＫ相
当する信号が紛れてしまうが、青色乱反射光および緑色
乱反射光についてはζＯような影響が１に％Ａため同図
■、ＯＫ示すように傷＊ＳＳす墨信号４゜Ｐ、がはうｔ
ｋ）あられれる、そのため、光電子増信管１！、１１０
出力差を鴨ゐ前記第１０差動増幅器１１１５出力波響ｆ
′では％第９図（２）ｋ示すように青色受光用光電子増
倍管１１によゐ傷検出部Ｋ１１ｌ轟する波形のＩＦ部の
Ｖペルは基準値ｖ０よ〉は為かにＪｌ ％ｈ ｖ ヘｋ
ト９って１次段のコシバレー７１８では傷に対応す為
火陥検出信号は出力されない。
しく増大すゐえめ、第５ｌｉＩ囚に示すようＫＩＩＫ相
当する信号が紛れてしまうが、青色乱反射光および緑色
乱反射光についてはζＯような影響が１に％Ａため同図
■、ＯＫ示すように傷＊ＳＳす墨信号４゜Ｐ、がはうｔ
ｋ）あられれる、そのため、光電子増信管１！、１１０
出力差を鴨ゐ前記第１０差動増幅器１１１５出力波響ｆ
′では％第９図（２）ｋ示すように青色受光用光電子増
倍管１１によゐ傷検出部Ｋ１１ｌ轟する波形のＩＦ部の
Ｖペルは基準値ｖ０よ〉は為かにＪｌ ％ｈ ｖ ヘｋ
ト９って１次段のコシバレー７１８では傷に対応す為
火陥検出信号は出力されない。
ｐＩ鱒に、光電子増倍管１２．１４の出力停を得る前記
第１０差動増幅器１７の出力波形ｈ′についても同図ｆ
ＯＫ示すようｘｅｂ、次段のコンバレーＩ２０は傷に対
応すゐ欠陥検出信号を出力しまい。
第１０差動増幅器１７の出力波形ｈ′についても同図ｆ
ＯＫ示すようｘｅｂ、次段のコンバレーＩ２０は傷に対
応すゐ欠陥検出信号を出力しまい。
これに対して、ＳＺＯ差動増幅器１６では、入力され為
光電子増倍管１３．１４の出力ｄ、・が被検査ｗｓＯ赤
地に影響されることな（傷に相当す為信号を含ん４．で
いるため、その出力波形ｇ′は第９図＠に示すよう１に
像分波形忙近似したものとな）、傷検出ｌＩＫ椙轟す石
最下レベル部分が基準値ｖ０を下まわることと念って、
次段のコンパレータ１９では傷ｋＭ応ず為欠陥検出信号
すなわちＨ出力が得られ、０１回路２１で紘少なくとも
傷に対応すゐ１つの欠陥検出信号が出力され、被検査部
ＳＯ赤地部分に存在する傷につ込ても確賽に検知され為
。
光電子増倍管１３．１４の出力ｄ、・が被検査ｗｓＯ赤
地に影響されることな（傷に相当す為信号を含ん４．で
いるため、その出力波形ｇ′は第９図＠に示すよう１に
像分波形忙近似したものとな）、傷検出ｌＩＫ椙轟す石
最下レベル部分が基準値ｖ０を下まわることと念って、
次段のコンパレータ１９では傷ｋＭ応ず為欠陥検出信号
すなわちＨ出力が得られ、０１回路２１で紘少なくとも
傷に対応すゐ１つの欠陥検出信号が出力され、被検査部
ＳＯ赤地部分に存在する傷につ込ても確賽に検知され為
。
前記説明では、被検査面Ｓの赤地部分の傷を検知する動
作について述べたが、青電部分の傷の検知に′：）いて
は、青電Ｏ影響を営けない赤色受光用光電子増倍管１２
の出力部と緑色受光用光電子増倍管１４の出力・とＯ差
分を得る第３の差動増幅器１１によ〕％ｔＩｓ１１図り
に示すように傷検出部に相当する最下レベル部分を有す
る出力波形ｈ＃を得ることができ、同様Ｋｙｉｋ地部分
の傷の検知についても１Ｍｋ地の影響を受けな％ＡｆＭ
色受光月光電子増倍管１２の出力Ｏと青色受光用光電子
増倍管１３の出力ｄとの差分を得る第ｉｆ）差動増幅器
１５によル、＄１１３図囚に水中ように傷検出部に相当
する低Ｖべ〃部を有する出力波形ｆ＃を得ることができ
る。
作について述べたが、青電部分の傷の検知に′：）いて
は、青電Ｏ影響を営けない赤色受光用光電子増倍管１２
の出力部と緑色受光用光電子増倍管１４の出力・とＯ差
分を得る第３の差動増幅器１１によ〕％ｔＩｓ１１図り
に示すように傷検出部に相当する最下レベル部分を有す
る出力波形ｈ＃を得ることができ、同様Ｋｙｉｋ地部分
の傷の検知についても１Ｍｋ地の影響を受けな％ＡｆＭ
色受光月光電子増倍管１２の出力Ｏと青色受光用光電子
増倍管１３の出力ｄとの差分を得る第ｉｆ）差動増幅器
１５によル、＄１１３図囚に水中ように傷検出部に相当
する低Ｖべ〃部を有する出力波形ｆ＃を得ることができ
る。
と−のように構成したため、多色地を呈する被検査夏ｓ
の傷検知を地色Ｏ膠響を受けることなく、極めてＩＥＩ
［に行うことができる。
の傷検知を地色Ｏ膠響を受けることなく、極めてＩＥＩ
［に行うことができる。
なお、貴地に傷がある場合（この場合の赤色乱反射光、
青色乱反射光、緑色乱反射光の各光電子増倍管１２．１
３．１４でＯ受光量を第１０図４ＡＩ。
青色乱反射光、緑色乱反射光の各光電子増倍管１２．１
３．１４でＯ受光量を第１０図４ＡＩ。
（６）、６０に示し、そのと１１０第１．＠２．＠３の
差動増幅器ｓ Ｓ、 １１１ ｒｏ出力ｆｌｌ＃ｆ’、
ｇ’、 ｈ’ｅｌｌ １１１ｍ（Ａ）、 ＠、 ＯＫ
示ｆ ） ヤ、 ＩＩ地に傷がある場合（ζＯ場揚台各
光電子増倍管１２．１３゜１４における受光、量をｌ１
１２図囚、８．８に示し、そのと愈の第１．第２．第３
０差動増幅器１５゜１６．１７の出力波１＃ｆ−＊ ｔ
ｆ−”を第１３８囚。
差動増幅器ｓ Ｓ、 １１１ ｒｏ出力ｆｌｌ＃ｆ’、
ｇ’、 ｈ’ｅｌｌ １１１ｍ（Ａ）、 ＠、 ＯＫ
示ｆ ） ヤ、 ＩＩ地に傷がある場合（ζＯ場揚台各
光電子増倍管１２．１３゜１４における受光、量をｌ１
１２図囚、８．８に示し、そのと愈の第１．第２．第３
０差動増幅器１５゜１６．１７の出力波１＃ｆ−＊ ｔ
ｆ−”を第１３８囚。
（至）、ＯＫ示す）では、第１１図（２）、第１３図面
。
。
ＯＫ示すように差動増幅器の出力波形ｆａ、 ｇＩｌｌ
、 ｈ＃に傷検出に＠）ｒＷ４’ｆｊ−と慶−低レベル
帯域が生じて・広域にわたる大１１１に傷が存在十ふか
のような誤った結果を検出するおそれがあるが、仁の広
い低レベル帯域は、ニジバレーｌ１１８．１９．２０の
出力段Ｋかいて所定幅以上の出力の通過を阻止すゐゲー
）囲路を配置すゐなどｏＨ餓を講じるととｋよって、後
段００１Ｌ［Ｉ賂２１へζＯようた欠陥擬似信号が入力
されるのを紡止すゐことができる。
、 ｈ＃に傷検出に＠）ｒＷ４’ｆｊ−と慶−低レベル
帯域が生じて・広域にわたる大１１１に傷が存在十ふか
のような誤った結果を検出するおそれがあるが、仁の広
い低レベル帯域は、ニジバレーｌ１１８．１９．２０の
出力段Ｋかいて所定幅以上の出力の通過を阻止すゐゲー
）囲路を配置すゐなどｏＨ餓を講じるととｋよって、後
段００１Ｌ［Ｉ賂２１へζＯようた欠陥擬似信号が入力
されるのを紡止すゐことができる。
以上のように％この発明０１！１１欠陥検出鋏置は。
３原色のレーザーｊＫ／ｙ ）光をそれぞれ微少間隔ず
らして被検査曹上を並行走査させ゛るレーザー投光手段
と、前記被検査面の赤色乱反射光を受光す１赤色光受光
手段と、前記被検査■の青色乱反射光を受光す為青色光
受光手段と、前記被検査面の緑色乱反射光を受光す為緑
色光受光手段と、前記赤色光受光手段の出力と前記青色
光受光手段の出力との差分値を１１１２６第１の差動増
幅−と、前記青色光受光手段の出力と前記Ｉ＆色光受光
手段の出力との差分値を得る第２０差動増幅器と、前記
赤色光受光手段の出力と前記録色光受光手ＳＯ出力との
差分値を得る嬉３の差動増幅−と、曹配第１゜第２．第
１０差動増幅１１に対応させて設けられ各差動増幅器Ｏ
出力を所定基準値と比較して前記被検書画上の欠陥に対
応する欠陥検知出力を得る複数の＝シバＶ−７１とを備
えたものであるため、被検査Ｗが多色地を呈する場合で
も、そＯ地色ｔｓｇ饗で表両傷の検知が不正確＃ＩＣ１
に為というむとがなく、極めて精度ＯＩＭｉ褒曹欠陥検
出を行う仁とかで１為という効果を有する。
らして被検査曹上を並行走査させ゛るレーザー投光手段
と、前記被検査面の赤色乱反射光を受光す１赤色光受光
手段と、前記被検査■の青色乱反射光を受光す為青色光
受光手段と、前記被検査面の緑色乱反射光を受光す為緑
色光受光手段と、前記赤色光受光手段の出力と前記青色
光受光手段の出力との差分値を１１１２６第１の差動増
幅−と、前記青色光受光手段の出力と前記Ｉ＆色光受光
手段の出力との差分値を得る第２０差動増幅器と、前記
赤色光受光手段の出力と前記録色光受光手ＳＯ出力との
差分値を得る嬉３の差動増幅−と、曹配第１゜第２．第
１０差動増幅１１に対応させて設けられ各差動増幅器Ｏ
出力を所定基準値と比較して前記被検書画上の欠陥に対
応する欠陥検知出力を得る複数の＝シバＶ−７１とを備
えたものであるため、被検査Ｗが多色地を呈する場合で
も、そＯ地色ｔｓｇ饗で表両傷の検知が不正確＃ＩＣ１
に為というむとがなく、極めて精度ＯＩＭｉ褒曹欠陥検
出を行う仁とかで１為という効果を有する。
１１１１図は従来例の概略１１．１１！ＩＩ社その出力
波形図、第３−は＠ｏ従来例の概略−，１１！４！１（
２）ないしりはそｅｍ作を示す波形−％第２図はこの発
明の−＊ｍ例を示す概略図、第６８囚ないしりは被検査
面が黒地の場合の各光電子増倍管への乱反射先入光量を
示す波−溶菌、第７図囚ｔいし０はそＯ場合の各差動増
幅器の出力波形図、第８図（２）がいしりは被検査面の
赤地部に傷を有する場合の各光電子増信管への乱反射光
入光量を示す波形図、第９８囚ないしりはその場合の各
差動増幅器の出力波形図、第１Ｏ図囚１にいしりは被検
査面の貴地部に傷を有すｂ場合の各光電子増倍管への乱
反射光入光量を示す波形図、第１１８囚ないしりはその
場合の各差動増幅器の出力波形図、第１）図＾＆ｈＬ、
幻は被検査＊０＊地部に傷を有する場合の各光電子増信
管への乱反射先入光量を示す波形図。 館１３図（２）１に一シりはその場合の各差動増幅器の
出力波形図であゐ。 ２′・−積分球、１１−レーザー投光器、１２．１３゜
１４−光電子増倍管、ｔｚ＆−赤色ｙ４１ｖｌ、ＩＢ＊
−責色フ４ Ｊｌ＆／Ｊ ％ ｆ４ａ”ｅ １１色７４
１＆１．１５．１６゜１７−差動増幅器、１ｇ、１９．
２０−・コンバレー１．２１−０１１１１回路、２２亀
−・赤色レーザー投光舊、ｘｚｂ−青色レーザー投光部
、！１訃−緑色レーｆ −ＲＴｏ蕩、２ｓ＆ ＊ ３Ｉ
−１１ａ−／ ４１ ＊ イｖ １辺ツー、８４−被検
物、Ｓ−被検査面ｓ Ｖｏ−基準値 第３図 ２図 （Ｃ）トド 盈 第４図 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５６ 年 特 許 願第１３９３０２号（２、発明
の名称 表面欠陥検出装置 ３、補正をする者 事件との関係 出願人 住 所 大阪府門真市大字門真１０４８番地名 称 （
５８３）松下電工株式会社 代表者 神 前 善 −４、代
理 人 ６、補正の対象 明細書。 明細書第６頁第３行目ないし第１０行目に「所定位置、
すなわち・・・・・・混入しないようＫ」とあるを「所
定位置に赤色受光用光電子増倍管１２．青色受光用光電
子増倍管１３．緑色受光用光電子増倍管１４をそれぞれ
配置して、前記積分球２′で完全拡散する乱反射光の、
うちから赤、青、緑のそれぞれの成分を取り出しつるよ
うに」七訂正する。
波形図、第３−は＠ｏ従来例の概略−，１１！４！１（
２）ないしりはそｅｍ作を示す波形−％第２図はこの発
明の−＊ｍ例を示す概略図、第６８囚ないしりは被検査
面が黒地の場合の各光電子増倍管への乱反射先入光量を
示す波−溶菌、第７図囚ｔいし０はそＯ場合の各差動増
幅器の出力波形図、第８図（２）がいしりは被検査面の
赤地部に傷を有する場合の各光電子増信管への乱反射光
入光量を示す波形図、第９８囚ないしりはその場合の各
差動増幅器の出力波形図、第１Ｏ図囚１にいしりは被検
査面の貴地部に傷を有すｂ場合の各光電子増倍管への乱
反射光入光量を示す波形図、第１１８囚ないしりはその
場合の各差動増幅器の出力波形図、第１）図＾＆ｈＬ、
幻は被検査＊０＊地部に傷を有する場合の各光電子増信
管への乱反射先入光量を示す波形図。 館１３図（２）１に一シりはその場合の各差動増幅器の
出力波形図であゐ。 ２′・−積分球、１１−レーザー投光器、１２．１３゜
１４−光電子増倍管、ｔｚ＆−赤色ｙ４１ｖｌ、ＩＢ＊
−責色フ４ Ｊｌ＆／Ｊ ％ ｆ４ａ”ｅ １１色７４
１＆１．１５．１６゜１７−差動増幅器、１ｇ、１９．
２０−・コンバレー１．２１−０１１１１回路、２２亀
−・赤色レーザー投光舊、ｘｚｂ−青色レーザー投光部
、！１訃−緑色レーｆ −ＲＴｏ蕩、２ｓ＆ ＊ ３Ｉ
−１１ａ−／ ４１ ＊ イｖ １辺ツー、８４−被検
物、Ｓ−被検査面ｓ Ｖｏ−基準値 第３図 ２図 （Ｃ）トド 盈 第４図 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５６ 年 特 許 願第１３９３０２号（２、発明
の名称 表面欠陥検出装置 ３、補正をする者 事件との関係 出願人 住 所 大阪府門真市大字門真１０４８番地名 称 （
５８３）松下電工株式会社 代表者 神 前 善 −４、代
理 人 ６、補正の対象 明細書。 明細書第６頁第３行目ないし第１０行目に「所定位置、
すなわち・・・・・・混入しないようＫ」とあるを「所
定位置に赤色受光用光電子増倍管１２．青色受光用光電
子増倍管１３．緑色受光用光電子増倍管１４をそれぞれ
配置して、前記積分球２′で完全拡散する乱反射光の、
うちから赤、青、緑のそれぞれの成分を取り出しつるよ
うに」七訂正する。
Claims (1)
- １原色ＯＶ−ブーｘｄｌｌツ）光をそれぞれ微少開隔ず
らして被検′査薗上を曽行走査書せ為レーザー投光Ｉｐ
Ｈと、酋■被検査璽Ｏ赤色乱鷹射党を受光す為赤色光受
光平段と、曹記被楡査薗Ｏ青色１に射光を受光す為青色
光受光平段と、前記被検書画の緑色ＩＬＩＬ射光を受光
すＪ＆級色光受光手段と、前記赤１！ｓ党受光手Ｒｅ）
出力と曹Ｉ青色光受光苧段Ｏ娼力とＯ曽番値を慢為１１
１６１１１ＷＩＩ増幅−一と、前記青色光受光手ｌｌ０
ａ力と前Ｉｌ！級色光色光受光手段力との一会値をｓ、
＆ｓｓｓ差動増幅−と、前記赤色光受光手ａｏｍ力と一
■緑色光受光手段の出力との差憂値をｌＩ＆第ｉｏｎ動
増幅器と、前記＄１１６ｍｍ、館５ｏｒＩＩ増幅−に対
区書せて設けられ各曽動増輻器ａｍ力を所宵基準値と比
較して前記被検査璽上Ｏ火陥ＫｊｔｌＥする火陥検知出
力を得る複数の工νパＶ−Ｊｌｋを備え九表璽欠陥楡ａ
Ｓｍ−。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13930281A JPS5839936A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 表面欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13930281A JPS5839936A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 表面欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5839936A true JPS5839936A (ja) | 1983-03-08 |
Family
ID=15242116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13930281A Pending JPS5839936A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 表面欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5839936A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60162835A (ja) * | 1984-02-03 | 1985-08-24 | 帝人株式会社 | 模様パイル布帛の製造方法 |
| JPS6128846A (ja) * | 1984-07-19 | 1986-02-08 | Toshiba Corp | 表面検査装置 |
| JPH04323424A (ja) * | 1991-04-23 | 1992-11-12 | Kubota Corp | 作業車のサービスポート作動油供給構造 |
| JPH0586538A (ja) * | 1991-09-20 | 1993-04-06 | Tei Butsugan | 捺染タオル織物 |
| JPH0586587A (ja) * | 1991-09-20 | 1993-04-06 | Tei Butsugan | 経捺染の方法及び装置 |
| JPH0625942A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-02-01 | Tei Butsugan | タオル織物とその製造方法 |
| CN102384783A (zh) * | 2011-08-15 | 2012-03-21 | 西北核技术研究所 | 一种高能激光半积分球阵列衰减器 |
| EP3582180A1 (en) | 2018-06-13 | 2019-12-18 | Fujitsu Limited | Image processing program, image processing apparatus, and image processing method |
-
1981
- 1981-09-03 JP JP13930281A patent/JPS5839936A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60162835A (ja) * | 1984-02-03 | 1985-08-24 | 帝人株式会社 | 模様パイル布帛の製造方法 |
| JPS6128846A (ja) * | 1984-07-19 | 1986-02-08 | Toshiba Corp | 表面検査装置 |
| JPH0431056B2 (ja) * | 1984-07-19 | 1992-05-25 | ||
| JPH04323424A (ja) * | 1991-04-23 | 1992-11-12 | Kubota Corp | 作業車のサービスポート作動油供給構造 |
| JPH0586538A (ja) * | 1991-09-20 | 1993-04-06 | Tei Butsugan | 捺染タオル織物 |
| JPH0586587A (ja) * | 1991-09-20 | 1993-04-06 | Tei Butsugan | 経捺染の方法及び装置 |
| JPH0625942A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-02-01 | Tei Butsugan | タオル織物とその製造方法 |
| CN102384783A (zh) * | 2011-08-15 | 2012-03-21 | 西北核技术研究所 | 一种高能激光半积分球阵列衰减器 |
| EP3582180A1 (en) | 2018-06-13 | 2019-12-18 | Fujitsu Limited | Image processing program, image processing apparatus, and image processing method |
| US11145045B2 (en) | 2018-06-13 | 2021-10-12 | Fujitsu Limited | Image processing program, image processing apparatus, and image processing method |
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