JPS5833107A - 粒径測定装置 - Google Patents
粒径測定装置Info
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- JPS5833107A JPS5833107A JP56131558A JP13155881A JPS5833107A JP S5833107 A JPS5833107 A JP S5833107A JP 56131558 A JP56131558 A JP 56131558A JP 13155881 A JP13155881 A JP 13155881A JP S5833107 A JPS5833107 A JP S5833107A
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- Japan
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
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- 101100264174 Mus musculus Xiap gene Proteins 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は微小な粒子の径を測定する粒径測定装置に関す
る。
る。
従来より光の散乱を利用した粒径測定装置の１つＶＣ第
１図に示すような装置がある。これはレーザー光を試料
に照射し、試料により散乱された光のθ方向の分布Ｉ（
θ）を測定し、回折理論あるいはＭｉｅ散乱理論を用い
て散乱光分布Ｉ（θ）よυ粒径分曲ｎ（１）ｌ（Ｄ ；
粒径）を計算する装置である。粒径がＤである１粒子に
よる散乱光分布ｉ（Ｄ、＃）は回折理論あるいはＭｉｅ
散乱理論によ請求めることが出来るので、試粒の粒径分
布’１ｎ（ＤＩとすると散乱光分布Ｉ（θ）は、 ■（θ１＝ｆｉ（Ｄ、θ） −ｎ（ＤｌｄＤ−・−（１
）式と表わせる。（１）式の積分方程式をｎ（２）につ
いて解いたり、粒径分布ｎ（０％として対数正規分布、
Ｒｏｓ ｉｎ −Ｒａ回ｍ１ｅｒ分布を仮定して、その
分布パラメータを（１）成金用いて計算で求めることに
より試料の粒径分布を求めている。
１図に示すような装置がある。これはレーザー光を試料
に照射し、試料により散乱された光のθ方向の分布Ｉ（
θ）を測定し、回折理論あるいはＭｉｅ散乱理論を用い
て散乱光分布Ｉ（θ）よυ粒径分曲ｎ（１）ｌ（Ｄ ；
粒径）を計算する装置である。粒径がＤである１粒子に
よる散乱光分布ｉ（Ｄ、＃）は回折理論あるいはＭｉｅ
散乱理論によ請求めることが出来るので、試粒の粒径分
布’１ｎ（ＤＩとすると散乱光分布Ｉ（θ）は、 ■（θ１＝ｆｉ（Ｄ、θ） −ｎ（ＤｌｄＤ−・−（１
）式と表わせる。（１）式の積分方程式をｎ（２）につ
いて解いたり、粒径分布ｎ（０％として対数正規分布、
Ｒｏｓ ｉｎ −Ｒａ回ｍ１ｅｒ分布を仮定して、その
分布パラメータを（１）成金用いて計算で求めることに
より試料の粒径分布を求めている。
この方法では第２図に示すように試料からの散乱光を受
光レンズ４を用いてレンズの焦点面に集光している。こ
れは試料の位置によらず、散乱角がθである光はすべて
焦点面のｒ中θｆの位置に集光させるためである。この
ような光学系であるとレンズの口径に限度があるために
散乱光分布を測定する範囲が０〜１５°以内に限定され
てしまう。
光レンズ４を用いてレンズの焦点面に集光している。こ
れは試料の位置によらず、散乱角がθである光はすべて
焦点面のｒ中θｆの位置に集光させるためである。この
ような光学系であるとレンズの口径に限度があるために
散乱光分布を測定する範囲が０〜１５°以内に限定され
てしまう。
散乱光分布の範囲がθ〜１５°に限定されると、第３図
に示すように１．０μｍφ以下の比較的小さい粒子の散
乱光分布を相対的に区別することがむすかしい。第４図
に散乱角が０−１８０° の範囲について散乱光分布を
示す。図に示すように散乱角を広くとるか、あるいけ４
０°よシ大きくとると１．０μ簿φ以下の粒子による散
乱光分布を相対的に区別出来１．０μｍφ以下の粒径を
測定することが出来る。
に示すように１．０μｍφ以下の比較的小さい粒子の散
乱光分布を相対的に区別することがむすかしい。第４図
に散乱角が０−１８０° の範囲について散乱光分布を
示す。図に示すように散乱角を広くとるか、あるいけ４
０°よシ大きくとると１．０μ簿φ以下の粒子による散
乱光分布を相対的に区別出来１．０μｍφ以下の粒径を
測定することが出来る。
本発明の目的は、比較的小式い粒径の領域におりても、
粒径を求めることが可能となるように、いかなる散乱角
範囲においても散乱光分布ｔｙｍ定出来る測定系を備え
た粒径測定装置を提供するＫある。
粒径を求めることが可能となるように、いかなる散乱角
範囲においても散乱光分布ｔｙｍ定出来る測定系を備え
た粒径測定装置を提供するＫある。
本発明を第５図に示す一実施例に基づいて説明する。
レーザー１及びビーム成形系２によ構成形されたビーム
１２を試料３に照射し、試料によシ散乱された光ｔ、
受光レンズ９、ピンホール１０、フォトディテクタ６よ
構成る受光系で検出し、アンプ７で信号を増幅したのち
、散乱光分布から粒径分布に変換する信号処理系８によ
り粒径分布を求める。
１２を試料３に照射し、試料によシ散乱された光ｔ、
受光レンズ９、ピンホール１０、フォトディテクタ６よ
構成る受光系で検出し、アンプ７で信号を増幅したのち
、散乱光分布から粒径分布に変換する信号処理系８によ
り粒径分布を求める。
本発明は、受光系の構成のしかたＫＴｏる。８６図に受
光系を示す。受光系は、受光レンズ９の焦点にピンホー
ル１０を置き、その後にフォトディテクタ６を置くこと
により受光レンズの光軸に平行な散乱光のみ、すなわち
散乱角θへ散乱された光のみがフォトディテクタに入力
するようにセットする。この受光系を駆動装置１１によ
り走査すれば、試料の位置に影響を受けないで、いかな
る散乱光範囲についての散乱分布を測定することが出来
る。
光系を示す。受光系は、受光レンズ９の焦点にピンホー
ル１０を置き、その後にフォトディテクタ６を置くこと
により受光レンズの光軸に平行な散乱光のみ、すなわち
散乱角θへ散乱された光のみがフォトディテクタに入力
するようにセットする。この受光系を駆動装置１１によ
り走査すれば、試料の位置に影響を受けないで、いかな
る散乱光範囲についての散乱分布を測定することが出来
る。
このような受光系を用いることによシ広い範囲で散乱光
分布を求めることが出来るので１．０μｍφ以下の小さ
φ粒径をも測定することが可能となる。
分布を求めることが出来るので１．０μｍφ以下の小さ
φ粒径をも測定することが可能となる。
この発明の変形として第７図に示すように駆動装置】Ｉ
Ｋより走査するかわシに多数の受光系をθ方向に配置す
ること（よシ同様の散乱光分布が得られる。又、第８図
に示すように光ファイバを用いて受光系を構成すること
によシ受光系の配置に融通性を持たせることが出来る。
Ｋより走査するかわシに多数の受光系をθ方向に配置す
ること（よシ同様の散乱光分布が得られる。又、第８図
に示すように光ファイバを用いて受光系を構成すること
によシ受光系の配置に融通性を持たせることが出来る。
第１図は従来の方法を示すブロック図、第２図は従来の
光学系を説明するための図、第３図および第４図は散乱
光分布を示すグラフ図、第５図は実施例を示す図、第６
図は実施例の光学系を説明するための図、第７図および
第８図は変形例を示すＭである。 １・・・レーザー、 ２・・・ビーム成形系、 ３・・・試料、 ４・・・受光レンズ、 ５・・・駆動装置、 ６．６’、６’・・・フォトディテクタ、７．７’、７
’・・・アンプ、 ８・・・信号処理系、 ９．９’、９’・・受光レンズ、 １０・・・ピンホール、 １１・・・駆動装置、 １２・・ビーム（レーザー・ビーム）、１３．１３’、
１３’・・・光７アイパ。
光学系を説明するための図、第３図および第４図は散乱
光分布を示すグラフ図、第５図は実施例を示す図、第６
図は実施例の光学系を説明するための図、第７図および
第８図は変形例を示すＭである。 １・・・レーザー、 ２・・・ビーム成形系、 ３・・・試料、 ４・・・受光レンズ、 ５・・・駆動装置、 ６．６’、６’・・・フォトディテクタ、７．７’、７
’・・・アンプ、 ８・・・信号処理系、 ９．９’、９’・・受光レンズ、 １０・・・ピンホール、 １１・・・駆動装置、 １２・・ビーム（レーザー・ビーム）、１３．１３’、
１３’・・・光７アイパ。
Claims (2)
- （１） レーザー及びレンズの光軸Ｖこ平行な元のみ
を測定する受光系と、試料を中心に散乱角方向に走査す
る駆動装置よシ構成された散乱光分布の測定系とを有す
る粒径測定装置。 - （２） 受光系を散乱角方向に走査するかわりに複数
の受光系を散乱角方向に配置した散乱光分布の測定系を
有する特許請求の範凹紀１項記載の粒径ひ１）［定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56131558A JPS5833107A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | 粒径測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56131558A JPS5833107A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | 粒径測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5833107A true JPS5833107A (ja) | 1983-02-26 |
| JPH0260975B2 JPH0260975B2 (ja) | 1990-12-18 |
Family
ID=15060869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56131558A Granted JPS5833107A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | 粒径測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5833107A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61265550A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-25 | Rion Co Ltd | 光散乱式微粒子測定装置 |
| JP2010060569A (ja) * | 2002-08-23 | 2010-03-18 | Coulter Internatl Corp | 血液細胞及びこれに類するものを分化するために光散乱を検出するための光ファイバ装置 |
| JP2016026301A (ja) * | 2004-03-06 | 2016-02-12 | トレイナー， マイケルＴＲＡＩＮＥＲ， Ｍｉｃｈａｅｌ | 粒子のサイズおよび形状を決定する方法および装置 |
| WO2019202648A1 (ja) * | 2018-04-16 | 2019-10-24 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5191776A (en) * | 1974-08-28 | 1976-08-11 | Ekitainaino kendakubutsushitsuno nodosokuteisochi | |
| JPS53155690U (ja) * | 1977-05-13 | 1978-12-07 | ||
| JPS54114260A (en) * | 1978-02-24 | 1979-09-06 | Kyoto Giken Kk | Measuring of microparticles within liquid |
| JPS5682645U (ja) * | 1979-11-28 | 1981-07-03 |
-
1981
- 1981-08-24 JP JP56131558A patent/JPS5833107A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5191776A (en) * | 1974-08-28 | 1976-08-11 | Ekitainaino kendakubutsushitsuno nodosokuteisochi | |
| JPS53155690U (ja) * | 1977-05-13 | 1978-12-07 | ||
| JPS54114260A (en) * | 1978-02-24 | 1979-09-06 | Kyoto Giken Kk | Measuring of microparticles within liquid |
| JPS5682645U (ja) * | 1979-11-28 | 1981-07-03 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61265550A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-25 | Rion Co Ltd | 光散乱式微粒子測定装置 |
| JP2010060569A (ja) * | 2002-08-23 | 2010-03-18 | Coulter Internatl Corp | 血液細胞及びこれに類するものを分化するために光散乱を検出するための光ファイバ装置 |
| JP2016026301A (ja) * | 2004-03-06 | 2016-02-12 | トレイナー， マイケルＴＲＡＩＮＥＲ， Ｍｉｃｈａｅｌ | 粒子のサイズおよび形状を決定する方法および装置 |
| WO2019202648A1 (ja) * | 2018-04-16 | 2019-10-24 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0260975B2 (ja) | 1990-12-18 |
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