JP2746852B2 - 透過光測定装置 - Google Patents
透過光測定装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば高散乱媒質（高
濃度溶液、懸濁液、霧中等の内部の物体構造、含有物質
濃度や、生体等を被検体とし、その被検体を透過した光
を測定する透過光測定装置に関する。
濃度溶液、懸濁液、霧中等の内部の物体構造、含有物質
濃度や、生体等を被検体とし、その被検体を透過した光
を測定する透過光測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記のような高散乱物質や生体等を被検
体とし、その被検体の光透過率分布を計測する場合、そ
の被検体を透過した光のうち、被検体内で散乱されずに
被検体内を直進した直進透過光を、被検体内で散乱され
て被検体から射出された散乱光から高精度に分離するこ
とが重要である。
体とし、その被検体の光透過率分布を計測する場合、そ
の被検体を透過した光のうち、被検体内で散乱されずに
被検体内を直進した直進透過光を、被検体内で散乱され
て被検体から射出された散乱光から高精度に分離するこ
とが重要である。
【０００３】このような、直進透過光を散乱光から分離
して計測する手法として、従来、以下のような手法が提
案されている。図５は、従来提案されている、直進透過
光を散乱光から分離して計測する手法の説明図である。
被検体１に、例えばｐｓｅｃ（ピコ秒）程度の極めて短
い時間幅のパルス光２を照射する。
して計測する手法として、従来、以下のような手法が提
案されている。図５は、従来提案されている、直進透過
光を散乱光から分離して計測する手法の説明図である。
被検体１に、例えばｐｓｅｃ（ピコ秒）程度の極めて短
い時間幅のパルス光２を照射する。
【０００４】このパルス光２は被検体１内部を直進し、
あるいは種々に散乱されて被検体１から射出される。散
乱光は、直進透過光と比べ、被検体１内部で長い距離進
んでから射出されるため、被検体１から射出されたパル
ス光３は、図示のようにパルス幅の広がったパルス光と
なる。このパルス光３のうちの時間的に先頭に射出され
た部分３ａは、被検体１の内部を直進した光と考えられ
るため、このパルス光３の先頭の一部分のみを検出する
ことにより、直進透過光を散乱光から分離することがで
きる。
あるいは種々に散乱されて被検体１から射出される。散
乱光は、直進透過光と比べ、被検体１内部で長い距離進
んでから射出されるため、被検体１から射出されたパル
ス光３は、図示のようにパルス幅の広がったパルス光と
なる。このパルス光３のうちの時間的に先頭に射出され
た部分３ａは、被検体１の内部を直進した光と考えられ
るため、このパルス光３の先頭の一部分のみを検出する
ことにより、直進透過光を散乱光から分離することがで
きる。
【０００５】図６は、従来提案されている、直進透過光
を散乱光から分離して計測するもう１つの手法の説明図
である。レーザ光源４から射出されたレーザ光５を被検
体１に照射する。このレーザ光５は、パルス光であって
もよいが連続光であってもよい。被検体１の内部に入射
したレーザ光５は、図５の場合と同様に、被検体１の内
部を直進し、あるいは種々に散乱された後、被検体１か
ら射出される。
を散乱光から分離して計測するもう１つの手法の説明図
である。レーザ光源４から射出されたレーザ光５を被検
体１に照射する。このレーザ光５は、パルス光であって
もよいが連続光であってもよい。被検体１の内部に入射
したレーザ光５は、図５の場合と同様に、被検体１の内
部を直進し、あるいは種々に散乱された後、被検体１か
ら射出される。
【０００６】ここでは、直流透過光５ａを受光する位置
に、受光光学系６ａと光センサ６ｂとからなる受光系６
を備えるとともに、被検体１内部で散乱されて入射レー
ザ光５の光軸に対し斜め方向に射出された散乱光５ｂを
受光する位置に、受光光学系７ａと光センサ７ｂとから
なる、もう１つの受光器７を備え、差分器８で、これら
２つの受光器６，７で得られた光強度信号どうしの差分
を演算する。これは、散乱光は、かなり広範な方向に射
出されることを利用し、受光系６で得られた、直進透過
光＋散乱光の光強度から受光系７で得られた散乱光強度
を差し引くことにより、直進透過光のみの光強度を、散
乱光強度から分離して計測しようとするものである。
に、受光光学系６ａと光センサ６ｂとからなる受光系６
を備えるとともに、被検体１内部で散乱されて入射レー
ザ光５の光軸に対し斜め方向に射出された散乱光５ｂを
受光する位置に、受光光学系７ａと光センサ７ｂとから
なる、もう１つの受光器７を備え、差分器８で、これら
２つの受光器６，７で得られた光強度信号どうしの差分
を演算する。これは、散乱光は、かなり広範な方向に射
出されることを利用し、受光系６で得られた、直進透過
光＋散乱光の光強度から受光系７で得られた散乱光強度
を差し引くことにより、直進透過光のみの光強度を、散
乱光強度から分離して計測しようとするものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図５に示す
手法では、出力パルス光３のうちの、直進透過光成分と
考えられる先端の一部分３ａの時間幅をどのように定め
るかが問題となる。この時間幅は、被検体１の特性（散
乱係数、濃度、厚さ等）に依存するため、直進透過光を
散乱光から有効に分離するためには、測定試料（被検体
１）毎に、時間幅が最適となるように調整する必要があ
る。出力パルス光３の波形は、被検体１の散乱係数と吸
収係数との双方に依存して変化するために、出力パルス
光３の波形からは時間幅は一義的には定まらず、その都
度、例えば被検体１を走査しながら被検体１の多数の点
について求めた透過光強度分布からなるモニタ画像を観
察しながら、感覚的な調整が行なわれる。
手法では、出力パルス光３のうちの、直進透過光成分と
考えられる先端の一部分３ａの時間幅をどのように定め
るかが問題となる。この時間幅は、被検体１の特性（散
乱係数、濃度、厚さ等）に依存するため、直進透過光を
散乱光から有効に分離するためには、測定試料（被検体
１）毎に、時間幅が最適となるように調整する必要があ
る。出力パルス光３の波形は、被検体１の散乱係数と吸
収係数との双方に依存して変化するために、出力パルス
光３の波形からは時間幅は一義的には定まらず、その都
度、例えば被検体１を走査しながら被検体１の多数の点
について求めた透過光強度分布からなるモニタ画像を観
察しながら、感覚的な調整が行なわれる。
【０００８】また、図６に示す手法では、受光系６で直
進透過光とともに検出された前方への散乱光の強度と受
光系７で検出された斜め方向の散乱光とでは光強度が異
なるため、差分演算を行なうにあたっては、重みづけを
行なう必要があるが、前方への散乱光と斜め方向への散
乱光との比率は一定ではなく、やはり被検体１の特性に
依存し、測定の都度、最適な重み付けとなるように調整
されている。
進透過光とともに検出された前方への散乱光の強度と受
光系７で検出された斜め方向の散乱光とでは光強度が異
なるため、差分演算を行なうにあたっては、重みづけを
行なう必要があるが、前方への散乱光と斜め方向への散
乱光との比率は一定ではなく、やはり被検体１の特性に
依存し、測定の都度、最適な重み付けとなるように調整
されている。
【０００９】このように、従来の手法では、時間幅や重
み付けを定めるにあたって理論上の根拠がないために、
単に最もよく見える画像を得る目的ならばこれでもよい
が、被検体の濃度ないし濃度分布を測定する場合に定量
性が保証されないという問題がある。本発明は、上記事
情に鑑み、被検体の濃度ないし濃度分布の定量性が保証
される手法で直進透過光を散乱光から高精度に分離する
ことのできる透過光測定装置を提供することを目的とす
る。
み付けを定めるにあたって理論上の根拠がないために、
単に最もよく見える画像を得る目的ならばこれでもよい
が、被検体の濃度ないし濃度分布を測定する場合に定量
性が保証されないという問題がある。本発明は、上記事
情に鑑み、被検体の濃度ないし濃度分布の定量性が保証
される手法で直進透過光を散乱光から高精度に分離する
ことのできる透過光測定装置を提供することを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の透過光測定装置は、 （１）被検体内を透過した光を所定の視野に制限する開
口を有する視野絞り （２）上記開口のフーリエ変換面に配置された、少なく
とも、該フーリエ変換面に形成される前記開口の回折パ
ターンの、中央の光強度と所定の光量極小点の光強度と
を検出する光センサ （３）これら双方の光強度に基づいて、被検体内を直進
した光の強度を求める演算手段を備えたことを特徴とす
る。
明の透過光測定装置は、 （１）被検体内を透過した光を所定の視野に制限する開
口を有する視野絞り （２）上記開口のフーリエ変換面に配置された、少なく
とも、該フーリエ変換面に形成される前記開口の回折パ
ターンの、中央の光強度と所定の光量極小点の光強度と
を検出する光センサ （３）これら双方の光強度に基づいて、被検体内を直進
した光の強度を求める演算手段を備えたことを特徴とす
る。
【００１１】ここで、上記本発明の透過光測定装置にお
いて、上記光センサが、回折パターンの中央の光強度
と、その中央に隣接した光量極小点の光強度とを検出す
るものであることが好ましい。尚、上記「視野絞り」は
実質的に開口を規定するものであればよく、例えば、ピ
ンホール等を配置してもよく、あるいはフーリエ変換レ
ンズそのものを開口としてもよい。
いて、上記光センサが、回折パターンの中央の光強度
と、その中央に隣接した光量極小点の光強度とを検出す
るものであることが好ましい。尚、上記「視野絞り」は
実質的に開口を規定するものであればよく、例えば、ピ
ンホール等を配置してもよく、あるいはフーリエ変換レ
ンズそのものを開口としてもよい。
【００１２】
【作用】ここでは、本発明の測定原理について説明す
る。図１は、フーリエ変換面に形成される回折パターン
の一例を示した図である。レンズに単色平面波を入射す
ると、その焦点面（フーリエ変換面）に、エアリパター
ンと称される、そのレンズによる円形開口の回折パター
ンが生ずる。この回折パターンは、中心部のエアリデイ
スクと呼ばれる円盤とそれを取り囲み明暗環により形成
され、その位置関係は、単色平面波の波長λとレンズの
Ｆ値とによって理論的に決定される。
る。図１は、フーリエ変換面に形成される回折パターン
の一例を示した図である。レンズに単色平面波を入射す
ると、その焦点面（フーリエ変換面）に、エアリパター
ンと称される、そのレンズによる円形開口の回折パター
ンが生ずる。この回折パターンは、中心部のエアリデイ
スクと呼ばれる円盤とそれを取り囲み明暗環により形成
され、その位置関係は、単色平面波の波長λとレンズの
Ｆ値とによって理論的に決定される。
【００１３】回折パターンの光強度Ｉは、λを光の波
長、ＦをレンズのＦ値、ｒを焦点面の半径方向の座標と
すると、下式で表される。
長、ＦをレンズのＦ値、ｒを焦点面の半径方向の座標と
すると、下式で表される。
【００１４】
【数１】
【００１５】ここで、Ｊ1 は一次のベッセル関数を表わ
す。暗環位置は、Ｊ1 （πｒ／λＦ）＝０となるｒで与
えられ、第一暗環位置（最初のゼロ位置）は、ｒ＝１．
２２λＦである。散乱体を透過した光をレンズにより受
光すると、その焦点面の強度分布は、直進透過光によっ
て形成される回折パターンと、散乱光によって形成され
る、光軸上を最大強度としその光軸から半径ｒ方向に離
れるに従って強度が緩やかに減少する背景光との重ね合
せとなる。
す。暗環位置は、Ｊ1 （πｒ／λＦ）＝０となるｒで与
えられ、第一暗環位置（最初のゼロ位置）は、ｒ＝１．
２２λＦである。散乱体を透過した光をレンズにより受
光すると、その焦点面の強度分布は、直進透過光によっ
て形成される回折パターンと、散乱光によって形成され
る、光軸上を最大強度としその光軸から半径ｒ方向に離
れるに従って強度が緩やかに減少する背景光との重ね合
せとなる。
【００１６】図２は、回折パターンに、散乱光による背
景光が重畳された状態の、レンズ焦点面上での光強度分
布を示した図である。ここで、ＩS は、直進透過光強
度、ＩN は前方散乱光強度を表わす。光軸中心の光強度
は、直進透過光と前方散乱光との和（ＩS ＋ＩN ）で与
えられる。一方、暗環位置における強度Ｉ’N は、直進
透過光の成分はなく散乱光のみの強度である。散乱光の
強度は焦点面において光軸から離れるに従って緩やかに
減少するために、暗環位置での散乱光強度、特に光軸に
最も近接した第一暗環での散乱光強度は、光軸中心にお
ける散乱光強度と同一であると見なすことができる。従
って両者の差分をとることにより、正確な直進透過光強
度を得ることができる。
景光が重畳された状態の、レンズ焦点面上での光強度分
布を示した図である。ここで、ＩS は、直進透過光強
度、ＩN は前方散乱光強度を表わす。光軸中心の光強度
は、直進透過光と前方散乱光との和（ＩS ＋ＩN ）で与
えられる。一方、暗環位置における強度Ｉ’N は、直進
透過光の成分はなく散乱光のみの強度である。散乱光の
強度は焦点面において光軸から離れるに従って緩やかに
減少するために、暗環位置での散乱光強度、特に光軸に
最も近接した第一暗環での散乱光強度は、光軸中心にお
ける散乱光強度と同一であると見なすことができる。従
って両者の差分をとることにより、正確な直進透過光強
度を得ることができる。
【００１７】本発明の透過光測定装置は、上記の視野絞
りを配置し、その視野絞りのフーリエ変換面に形成され
た回折パターンの、中央の光強度と、光量極小点（円形
開口の場合の暗環上の点）、好ましくは中央に隣接した
光量極小点の光強度とを検出し、それら双方の光強度に
基づいて被検体内を直進した光の強度を求めるものであ
り、上記のように理論上の根拠をもって、直進透過光
を、散乱光から分離して正確に検出することができる。
りを配置し、その視野絞りのフーリエ変換面に形成され
た回折パターンの、中央の光強度と、光量極小点（円形
開口の場合の暗環上の点）、好ましくは中央に隣接した
光量極小点の光強度とを検出し、それら双方の光強度に
基づいて被検体内を直進した光の強度を求めるものであ
り、上記のように理論上の根拠をもって、直進透過光
を、散乱光から分離して正確に検出することができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
３は、本発明の透過光測定装置の一実施例を用いた実験
系を示す図である。Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源１２から射出
されたレーザ光１２ａはビームエキスパンダ１３により
ビーム径が１０倍に拡張されて、散乱体が封入されたセ
ル１１に照射される。セル１１を透過した光は、ピンホ
ール板１８の、この例では１．５ｍｍφのピンホール開
口１８ａを透過し、さらに焦点距離ｆ＝３０ｍｍのレン
ズ１４、ＣＣＤカメラ１５の対物レンズ１５ａを透過
し、ＣＣＤセンサ面（図示せず）上に、ピンホール開口
１８ａの回折パターンを形成する。この回折パターン
は、例えば図２に示すような強度分布を有している。Ｃ
ＣＤカメラ１５では、ＣＣＤセンサ面上の各点の光強度
が検出され、この検出された光強度を表わす信号は、モ
ニタディスプレイ１６およびコンピュータ１７に入力さ
れる。コンピュータ１７のディスプレイ画面１７ａに
は、図２に示すような、回折パターンの光強度分布を表
示しておき、マウス１７ｂを用いて画面上のカーソル
（図示せず）を動かして、光軸の位置と、第１暗環の位
置が指定される。そうすると、コンピュータ１７内で、
それら光軸上の光強度および第１暗環上の光強度が抽出
され、そられの光強度どうしの差分が求められる。
３は、本発明の透過光測定装置の一実施例を用いた実験
系を示す図である。Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源１２から射出
されたレーザ光１２ａはビームエキスパンダ１３により
ビーム径が１０倍に拡張されて、散乱体が封入されたセ
ル１１に照射される。セル１１を透過した光は、ピンホ
ール板１８の、この例では１．５ｍｍφのピンホール開
口１８ａを透過し、さらに焦点距離ｆ＝３０ｍｍのレン
ズ１４、ＣＣＤカメラ１５の対物レンズ１５ａを透過
し、ＣＣＤセンサ面（図示せず）上に、ピンホール開口
１８ａの回折パターンを形成する。この回折パターン
は、例えば図２に示すような強度分布を有している。Ｃ
ＣＤカメラ１５では、ＣＣＤセンサ面上の各点の光強度
が検出され、この検出された光強度を表わす信号は、モ
ニタディスプレイ１６およびコンピュータ１７に入力さ
れる。コンピュータ１７のディスプレイ画面１７ａに
は、図２に示すような、回折パターンの光強度分布を表
示しておき、マウス１７ｂを用いて画面上のカーソル
（図示せず）を動かして、光軸の位置と、第１暗環の位
置が指定される。そうすると、コンピュータ１７内で、
それら光軸上の光強度および第１暗環上の光強度が抽出
され、そられの光強度どうしの差分が求められる。
【００１９】ここで、セル１１，ピンホール板１８，レ
ンズ１４，ＣＣＤカメラ１５等の配置位置を確立させた
後、セル１１内が、先ず水で充満され、回折パターンが
最も明瞭に見える状態で光軸上の位置および第１暗環の
位置が確認され、その後、セル内が、水に代えて、被測
定対象としての散乱性溶液で充満される。こうすること
により、光軸の位置および第１暗環の位置を正確に見い
出すことできる。
ンズ１４，ＣＣＤカメラ１５等の配置位置を確立させた
後、セル１１内が、先ず水で充満され、回折パターンが
最も明瞭に見える状態で光軸上の位置および第１暗環の
位置が確認され、その後、セル内が、水に代えて、被測
定対象としての散乱性溶液で充満される。こうすること
により、光軸の位置および第１暗環の位置を正確に見い
出すことできる。
【００２０】また、図３に示す実験系には、光軸を横切
る方向に移動するナイフエッジ２１がセル１１内に挿入
されており、このナイフエッジ２１は、コンピュータ１
７によって制御されるパルスステージ２０により、図の
上下方向に移動される。図４は、ナイフエッジ２１をセ
ル１１内に徐々に深く挿入しながら、上記のようにして
測定した、光強度どうしの差分、および差分演算を行な
う前の光軸上の光強度をプロットしたグラフである。
る方向に移動するナイフエッジ２１がセル１１内に挿入
されており、このナイフエッジ２１は、コンピュータ１
７によって制御されるパルスステージ２０により、図の
上下方向に移動される。図４は、ナイフエッジ２１をセ
ル１１内に徐々に深く挿入しながら、上記のようにして
測定した、光強度どうしの差分、および差分演算を行な
う前の光軸上の光強度をプロットしたグラフである。
【００２１】横軸は、ナイフエッジ２１の、セル１１内
への挿入距離、縦軸は、規格化された光強度を示してい
る。差分を行なうと、差分を行なう前の光軸上の光強度
の変化と比べ、急峻に変化し、かつ、光強度の低いとこ
ろまで下がっている。これは、差分演算を行なうことに
より、散乱光成分が有効に除去されること、すなわち直
進透過光が有効に抽出されることを意味している。
への挿入距離、縦軸は、規格化された光強度を示してい
る。差分を行なうと、差分を行なう前の光軸上の光強度
の変化と比べ、急峻に変化し、かつ、光強度の低いとこ
ろまで下がっている。これは、差分演算を行なうことに
より、散乱光成分が有効に除去されること、すなわち直
進透過光が有効に抽出されることを意味している。
【００２２】尚、上記実施例は、セル１１内部の散乱性
溶液の１点についての透過情報のみを得る実験系である
が、投光系および受光系に対し、セル１１を、図３の上
下方向、及び図３の紙面に垂直な方向に移動させなが
ら、セル１１内部の散乱体の二次元的な各点の直進透過
光成分を散乱光成分から分離して検出することもでき
る。あるいは、被検体（セル１１）を移動されることが
できないときは、投光系および受光系の方を、一定の位
置関係を保持したまま移動させてもよい。
溶液の１点についての透過情報のみを得る実験系である
が、投光系および受光系に対し、セル１１を、図３の上
下方向、及び図３の紙面に垂直な方向に移動させなが
ら、セル１１内部の散乱体の二次元的な各点の直進透過
光成分を散乱光成分から分離して検出することもでき
る。あるいは、被検体（セル１１）を移動されることが
できないときは、投光系および受光系の方を、一定の位
置関係を保持したまま移動させてもよい。
【００２３】また、上述の説明では、光軸の位置および
第１暗環の位置をマニュアルで指定する旨説明したが、
光学系が定まれば光軸の位置および第１暗環の位置も定
まるので、いちいちマニュアルで指定することなく、光
軸上の光強度および第１暗環の位置の光強度を自動的に
取り込むようにしてもよい。さらに、上記実施例では、
ＣＣＤカメラ１５を用いて、回折パターンを、多数の画
素にわたって二次元的に検出したが、上述の説明から明
らかなように、必要な情報は光軸上の光強度と第１暗環
上の光強度のみであり、しかも光学系が定まれば光軸の
位置および第１暗環の位置も定まるので、それら光軸上
の光を受光する位置と、第１暗環上の光を受光する位置
に、それぞれ光センサを１つずつ配置し、あるいはそれ
らの位置の間で移動自在な光センサを１つだけ備えるだ
けでもよい。
第１暗環の位置をマニュアルで指定する旨説明したが、
光学系が定まれば光軸の位置および第１暗環の位置も定
まるので、いちいちマニュアルで指定することなく、光
軸上の光強度および第１暗環の位置の光強度を自動的に
取り込むようにしてもよい。さらに、上記実施例では、
ＣＣＤカメラ１５を用いて、回折パターンを、多数の画
素にわたって二次元的に検出したが、上述の説明から明
らかなように、必要な情報は光軸上の光強度と第１暗環
上の光強度のみであり、しかも光学系が定まれば光軸の
位置および第１暗環の位置も定まるので、それら光軸上
の光を受光する位置と、第１暗環上の光を受光する位置
に、それぞれ光センサを１つずつ配置し、あるいはそれ
らの位置の間で移動自在な光センサを１つだけ備えるだ
けでもよい。
【００２４】さらに、上述の説明は円形開口の回折パタ
ーンを例とした説明であるが、本発明は円形開口の場合
のみに適用されるものではなく、矩形開口であってもよ
く、あるいはスリット状の開口を有し、そのスリット状
の開口の延びる方向に直交する方向に形成される回折パ
ターンを利用してもよい。
ーンを例とした説明であるが、本発明は円形開口の場合
のみに適用されるものではなく、矩形開口であってもよ
く、あるいはスリット状の開口を有し、そのスリット状
の開口の延びる方向に直交する方向に形成される回折パ
ターンを利用してもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の透過光測
定装置によれば、直進透過光による情報を散乱光による
ノイズから高精度に分離することができ、しかもその定
量性が保証される。
定装置によれば、直進透過光による情報を散乱光による
ノイズから高精度に分離することができ、しかもその定
量性が保証される。
【図１】フーリエ変換面に形成される回折パターンの一
例を示した図である。
例を示した図である。
【図２】回折パターンに、散乱光による背景光が重畳さ
れた状態の、レンズ焦点面上での光強度分布を示した図
である。
れた状態の、レンズ焦点面上での光強度分布を示した図
である。
【図３】本発明の透過光測定装置の一実施例を用いた実
験系を示す図である。
験系を示す図である。
【図４】ナイフエッジをセル内に徐々に深く挿入しなが
ら測定した、光強度どうしの差分、および差分演算を行
なう前の光軸上の光強度をプロットしたグラフである。
ら測定した、光強度どうしの差分、および差分演算を行
なう前の光軸上の光強度をプロットしたグラフである。
【図５】従来提案されている、直進透過光を散乱光から
分離して計測する手法の説明図である。
分離して計測する手法の説明図である。
【図６】従来提案されている、直進透過光を散乱光から
分離して計測するもう１つの手法の説明図である。
分離して計測するもう１つの手法の説明図である。
１１ 散乱体で充たされたセル １２ Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源 １３ ビームエキスパンダ １４ レンズ １５ ＣＣＤカメラ １６ モニタディスプレイ １７ コンピュータ １８ ピンホール板 ２０ パルスステージ ２１ ナイフエッジ
Claims (2)
- 【請求項１】 被検体内を透過した光を所定の視野に制
限する開口を有する視野絞りと、 前記開口のフーリエ変換面に配置された、少なくとも、
該フーリエ変換面に形成される前記開口の回折パターン
の、中央の光強度と所定の光量極小点の光強度とを検出
する光センサと、 これら双方の光強度に基づいて、前記被検体内を直進し
た光の強度を求める演算手段とを備えたことを特徴とす
る透過光測定装置。 - 【請求項２】 前記光センサが、前記回折パターンの中
央の光強度と、該中央に隣接した光量極小点の光強度と
を検出するものであることを特徴とする請求項１記載の
透過光測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6622895A JP2746852B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 透過光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6622895A JP2746852B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 透過光測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08261926A JPH08261926A (ja) | 1996-10-11 |
| JP2746852B2 true JP2746852B2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=13309787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6622895A Expired - Lifetime JP2746852B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 透過光測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2746852B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7102752B2 (en) * | 2001-12-11 | 2006-09-05 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Systems to view and analyze the results from diffraction-based diagnostics |
| KR20120077330A (ko) | 2010-12-30 | 2012-07-10 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 패턴드 유리기판 투과율 측정장치 |
| JP6019052B2 (ja) * | 2014-03-13 | 2016-11-02 | 富士フイルム株式会社 | 撮影システム及び撮影方法 |
-
1995
- 1995-03-24 JP JP6622895A patent/JP2746852B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08261926A (ja) | 1996-10-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980127 |