JPS5831414Y2

JPS5831414Y2 - テ−プ伸長装置

Info

Publication number: JPS5831414Y2
Application number: JP8165277U
Authority: JP
Inventors: 成市竹村
Original assignee: 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority date: 1977-06-20
Filing date: 1977-06-20
Publication date: 1983-07-12
Also published as: JPS548366U

Description

【考案の詳細な説明】本考案は半導体装置製造に用いられるテープ伸長装置に
関し、更に詳しくは、ウェハーが接着したテープを、よ
り均一な伸び率で引き伸ばすための装置である。

通常、半導体装置のペレットは１枚のウェハーに数十、
数百が一括して形成され、そして個々に分割されて、取
出されていく。

このウェハーからペレットの取出しまでの工程には、ペ
レットの散乱防止等の目的で、次のようなテープが利用
されている。

即ち、第１図に示すように、まずスクライブしたウェハ
ー１は伸長自在のテープ２上に例えば静電的に接着され
、この状態でウェハー１をブレーキングして、第２図に
示すように、ペレット３に分割する。

そして、次にテープ２を左右に引き伸ばして、第３図に
示すように、ペレット３を適当な間隔をもって配列し、
この状態を保持させておいて、各ペレット３を１個毎に
テープ２から剥がして取出す。

ところで、ペレット３の取出しは、光学センサー等の手
段でペレット位置を探って、吸着ノズル等で行うのが通
例であるが、その際に、問題となるのは第３図状態での
ペレット配列（適当な間隔と並行性）と、テープ面への
ペレット接着の安定性である。

つまり、ペレット配列が均一でなく、大きなバラツキが
あると、ペレット位置を探るに多大な時間を要し、自動
化が難しくなる。

またテープ面へのペレット接着強度に強弱のバラツキが
あれば、弱いところのものがテープ２の振動で剥れて、
裏返しになったり、配列を乱す。

従って、テープ２の引き伸ばしは、上記問題点に十分注
意して行う必要がある。

ところが、従来のテープ伸長装置に於ては、上記問題点
が十分に解決されていなかった。

例えば、従来は第４図に示すように、テープ２をヒータ
ー４で単に加熱して、引き伸ばしていた。

このヒーター４によるテープ２の加熱は、テープ２の伸
びを良くする効果があるが、しかし、ウェハー１のある
テープ部分も、ウェハーのないテープ部分も同じように
ヒーター４で均一加熱すると、ウェハー１のないテープ
部分の方が、より高温度となって、伸び率がかなり大き
くなる。

又、テープ２上のウェハー１のある部分とない部分とで
は、ウェハー１とテープ２の、面の接着まさつのあるな
しの差により、ウェハー１のない部分の方が伸び率がよ
り大きくなる。

そのため、ウェハー１の中心部で、のペレット３′はど
間隔が狭くなり、ウェハー１の周辺部でのペレット３は
と間隔が広くなって、全体としてみれば大きく歪んだ配
列になってしまう。

従って、ペレット配列の並行性が悪くなり、ペレット取
出しが非常に難しくなる欠点があった。

また配列の歪みによって、ペレット接着強度も不安定と
なり、自然剥離等のトラブルが絶えなかった。

本考案は上記従来の欠点に鑑み、これを解決したもので
、テープ２への加熱温度を部分的に違えて、テープ２の
伸び率や伸び方向を最良にするテープ伸長装置を提供す
る。

以下、本考案の構成を図面を参照して説明する。

本考案はウェハー１のあるテープ部分をより高く加熱し
、ウェハー１のない部分をより低く加熱する後述の加熱
体を構成ポイントにしたもので、その各実施例を順次説
明すると次のようになる。

第５図及び第６図に示す加熱体ａは上面下央部に凸部５
を設け、内部にビータ−６を収納したものである□。

この加熱体ａの凸部５の外径りはテナプ２に接着したウ
ェハー１の外径ｌ・より、やや太き目とする。

また加熱体ａの外周に嵌着したテープ止め用のリング７
の上端面は凸部５の上面とほぼ一致させておく。

上記構成によるテープ２の伸長は、まずヒーター６′に
通電して、加熱体ａを加熱し、□而して、第′５図に示
すようにテープ２を加熱体ａ上（二載せ、リング７を利
用して、四方六方へと引き伸ばしていく。

すると、テープ２はウェハー１のある部分２″が凸部５
で直接に加熱され、またウェハー１のない部分２“は加
熱体ａとの間の隙間ｍを介して、間接的に加熱されるた
め１．前者部分２′が後者部分２宜り高く加熱されて引
き伸ばされていく。

換言すれば、ウェハー１、或はペレット３の接着で伸び
率の悪い部分２′が、より高く加熱され、ウェハー１、
或いはペレット３のない、伸び率の良い部分２″がより
低く加熱され、従って、テープ２は全面的に均一な伸び
率となって、引き伸ばされる。

尚、このテープ２の全面的な伸び率や、伸び方向は凸部
５の高さや、その外径の調節によって、常に最良とする
ことが可能である。

テープ２の伸長が完了すると、第６図に示すように、テ
ープ２の周縁部をリング７の外周面に沿わせ、その上か
らゴムリング８を嵌着して、固定化すればよい。

□次に第７図の加熱体すについで述べると、これはフラ
ット状の上面にリング状必溝９を設け、この溝９の内側
内部にヒーター１０を取付けた。

ものである。

また、溝９の内径Ｌ′はウェハー１の外径１よりやや太
き目になし、溝９の幅や深さ、は溝・９内外の加熱体、
ｂ′の温度が充分に異なるだけの大、きさに調節してお
、く。

即ち、ヒーター１０に通電すると、加熱体すの中央部１
１がまず加熱されてから、周辺部１２へと伝導、してい
く。

このとき、溝９．により、熱の伝導は妨げられ、結局、
周辺部１１２は中央部１１より低温となる。

そのため、デニプ２はウェハー１のある部分２′がより
高く加熱され、ウェハー１のない部分２″はより低く加
熱されることになる。

上記の各加熱体ａ、ｌ）はヘッドタイプのものを示した
が、これらとは別タイプのものとして、例えば第８図に
示すような２種のヒーターブロック１３．１４からなる
加熱体Ｃでもよい。

この第８図のヒーターブロック１３．１４は夫々の加熱
温度が異なり、中央のヒーターブロック１３が高く、周
辺のヒーターブロック１４が低い温度に設定する。

そして、中央のヒーターブロック１３はウェハー１の外
径よりやや太き目になし、そして、各ヒーターブロック
１３．１４上に沿ってチー・プ２を引き伸ばすようにす
る。

すると、テープ２への加熱温度分布は上記加熱体ａ・、
ｂの場合ど同様になる。

尚、以上の説明から判明するように、本考案は、テープ
のウェハ−１接着部分を高く、ウェハー１のない部分を
低く加熱することにより、ウェハーブレラキング時のペ
レット散乱防止を図るものであり、ウェハーありの部分
となしの部分との温度高低を逆にすることは意味がなく
、含む必要もない。

以上説明したように、本考案によればテープの伸び率の
悪いところが高く加熱され、伸び率の良いところが低く
加熱されるため、全体の伸び率が均一化して、伸び方向
も均等にな１す、従って、テープ上のペレットの伸び配
列の間隔が均等になって、並行性が良くなり、ペレット
の取出し作業性が著しく改善される。

またペレットの伸び配列の改善のため、ペレットのテー
プ面への接着強度のバラツキ力ｆなくなり、テープから
自然剥離といったトラブルが解消される。

【図面の簡単な説明】第１図乃至第３図はテープを利用したペレット取出しの
、概略断面説明図、第４図は従来のテープ伸長装置の要
部断面図、第５図は本考案に、係る装置の実施例を示す
要部断面図、第６図は第５図のテープ伸長完了時での断
面図、第７図、及び第８図は本考案に係る装置の他の各
実施例を示す要部断面図である。１・・・・・・ウェハー、２・・・・・・テープ、ａ、
ｌ）、ｃ・・・・・・加熱体。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

ブレーキングしたウェハーが接着したテープの伸長装置
に於て、ウェハーのあるテープ部分を高温に加熱し、ウ
ェハーのないテープ部分を低温に加熱する加熱体を有し
、この加熱体上に沿って、テープを引き伸ばしていくよ
うにしたことを特徴とするテープ伸長装置。