JPS5830104B2 - シンクウチヤツク - Google Patents
シンクウチヤツクInfo
- Publication number
- JPS5830104B2 JPS5830104B2 JP50050885A JP5088575A JPS5830104B2 JP S5830104 B2 JPS5830104 B2 JP S5830104B2 JP 50050885 A JP50050885 A JP 50050885A JP 5088575 A JP5088575 A JP 5088575A JP S5830104 B2 JPS5830104 B2 JP S5830104B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adsorbent
- article
- support
- atmosphere
- chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は物品を負圧により吸着する真空チャックに関す
るもので、その目的は物品を変形させることなくチャッ
クすることである。
るもので、その目的は物品を変形させることなくチャッ
クすることである。
従来の真空チャックは真空カップの凹陥部を真空ポンプ
に連通し、物品を真空カップの前面に凹陥部を覆うよう
に当接させて吸着している。
に連通し、物品を真空カップの前面に凹陥部を覆うよう
に当接させて吸着している。
しかしながらこれによると薄板状の物品を吸着したとき
物品が凹陥部側に撓むという不具合があった。
物品が凹陥部側に撓むという不具合があった。
本発明はかかる従来の不具合を解消するためになされた
もので、真空源に連通された多孔質材料からなる吸着体
に物品を吸着させることを要旨とするものである。
もので、真空源に連通された多孔質材料からなる吸着体
に物品を吸着させることを要旨とするものである。
以下本発明の実施例を図面に基いて説明する。
１は旋盤等の主軸台で、この主軸台１には主軸２が回転
可能に支承されている。
可能に支承されている。
主軸２の先端にはチャック本体３が固定され、このチャ
ック本体３には、例えば銅系焼結合金、多孔性鋳鉄、セ
ラミック、酸化アルミニウム等の互いに連続した気孔を
有する剛体の多孔質材料からなる吸着体４が本体３に溶
接された支持体５により挟着されている。
ック本体３には、例えば銅系焼結合金、多孔性鋳鉄、セ
ラミック、酸化アルミニウム等の互いに連続した気孔を
有する剛体の多孔質材料からなる吸着体４が本体３に溶
接された支持体５により挟着されている。
この吸着体４と支持体５との間には環状の空隙６が形成
され、この空隙６はナイス） ＩＪピユータ７を介して
真空ポンプ８（真空源）に連通されている。
され、この空隙６はナイス） ＩＪピユータ７を介して
真空ポンプ８（真空源）に連通されている。
すなわち支持体５には主軸台１に固着された外体９が相
対回転可能に嵌合され、この支持体５と外体９との間に
はシール部材１０．１１によって環状室１２が形成され
ている。
対回転可能に嵌合され、この支持体５と外体９との間に
はシール部材１０．１１によって環状室１２が形成され
ている。
そして空隙６は支持体５に穿設された通孔１３、環状室
１２および外体９に穿設されたポート１４を介して真空
ポンプ８に連通されている。
１２および外体９に穿設されたポート１４を介して真空
ポンプ８に連通されている。
また、吸着体４の支持体５より前方に突出した部分の側
面はハンダ１５によってシールされ、吸着体４の物品１
６を吸着する前端外表面および空隙６に面する外表面以
外の外表面は、この−・ンダ１５、前記チャック本体３
および支持体５によって気密を保つべくシールされてい
る。
面はハンダ１５によってシールされ、吸着体４の物品１
６を吸着する前端外表面および空隙６に面する外表面以
外の外表面は、この−・ンダ１５、前記チャック本体３
および支持体５によって気密を保つべくシールされてい
る。
よって真空ポンプ８を作動させた状態で物品１６を吸着
体４の前端外表面に当接させると、物品１６は多孔質材
料の多数の孔を介して伝達される負圧により吸着体４に
吸着され、主軸２にチャックされる。
体４の前端外表面に当接させると、物品１６は多孔質材
料の多数の孔を介して伝達される負圧により吸着体４に
吸着され、主軸２にチャックされる。
尚、１７は吸着体４の前面に固着された突起で、物品１
６を位置決めする。
６を位置決めする。
以上詳述したように、本発明は、チャック本体もしくは
これと一体をなす支持体の内孔に連続した気孔を有する
剛体の多孔質材料からなる吸着体を組込んだ構成である
ため、この吸着体に吸着保持された物品の旋削加工に際
し、前記物品に切削負荷が作用しても前記吸着体の変形
はなく、加工すべき物品を確実に保持することができる
利点を有する。
これと一体をなす支持体の内孔に連続した気孔を有する
剛体の多孔質材料からなる吸着体を組込んだ構成である
ため、この吸着体に吸着保持された物品の旋削加工に際
し、前記物品に切削負荷が作用しても前記吸着体の変形
はなく、加工すべき物品を確実に保持することができる
利点を有する。
また本発明は、吸着体の外表面の一部を前記支持体より
大気へ突出させ、この吸着体の大気への突出部分の前端
に物品を吸着保持する吸着用外表面を形成した構成であ
るため、吸着体の吸着用外表面と支持体の端面とを高精
度に一致させる必要がなく、支持体ならびに吸着体の製
作が容易となり、また吸着体に吸着される物品が支持体
に干渉するおそれもない。
大気へ突出させ、この吸着体の大気への突出部分の前端
に物品を吸着保持する吸着用外表面を形成した構成であ
るため、吸着体の吸着用外表面と支持体の端面とを高精
度に一致させる必要がなく、支持体ならびに吸着体の製
作が容易となり、また吸着体に吸着される物品が支持体
に干渉するおそれもない。
さらに本発明は、吸着用外表面以外でかつ大気へ露出す
る側方外表面をはんだ等のシール材にてシールした構成
であるため前記吸着用外表面以外の側方外表面からのエ
アの吸引が阻止され、これによって強力な吸引力が得ら
れ、物品を確実に保持することができる利点を有する。
る側方外表面をはんだ等のシール材にてシールした構成
であるため前記吸着用外表面以外の側方外表面からのエ
アの吸引が阻止され、これによって強力な吸引力が得ら
れ、物品を確実に保持することができる利点を有する。
図面は本発明に係る真空チャックの断面図である。
３・・・−・チャック本体、４・・・・・・吸着体、５
・・・・・・支持体、８・・・・・・真空ポンプ、１６
・・・・・・物品。
・・・・・・支持体、８・・・・・・真空ポンプ、１６
・・・・・・物品。
Claims (1)
- １ チャック本体もしくはこれと一体をなす支持体の内
孔に連続した気孔を有する剛体の多孔質材料からなる吸
着体を組込み、この吸着体の外表面の一部を真空源に連
通ずる室に露出させるとともに、この吸着体の他の外表
面の一部を前記支持体より大気へ突出させ、この吸着体
の大気への突出部分の前端に物品を吸着保持する吸着用
外表面を形成し、この吸着用外表面以外でかつ大気へ露
出する側方外表面をはんだ等のシール材にてシールした
ことを特徴とする真空チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50050885A JPS5830104B2 (ja) | 1975-04-25 | 1975-04-25 | シンクウチヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50050885A JPS5830104B2 (ja) | 1975-04-25 | 1975-04-25 | シンクウチヤツク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS51126584A JPS51126584A (en) | 1976-11-04 |
| JPS5830104B2 true JPS5830104B2 (ja) | 1983-06-27 |
Family
ID=12871175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50050885A Expired JPS5830104B2 (ja) | 1975-04-25 | 1975-04-25 | シンクウチヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5830104B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02262902A (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-25 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | ダイヤフラムの加工方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4930192A (ja) * | 1972-07-31 | 1974-03-18 |
-
1975
- 1975-04-25 JP JP50050885A patent/JPS5830104B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4930192A (ja) * | 1972-07-31 | 1974-03-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS51126584A (en) | 1976-11-04 |
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