JP2501366B2 - 物体の保持装置 - Google Patents

物体の保持装置

Info

Publication number
JP2501366B2
JP2501366B2 JP2127389A JP12738990A JP2501366B2 JP 2501366 B2 JP2501366 B2 JP 2501366B2 JP 2127389 A JP2127389 A JP 2127389A JP 12738990 A JP12738990 A JP 12738990A JP 2501366 B2 JP2501366 B2 JP 2501366B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
valve
diameter
hole
chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2127389A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0425335A (ja
Inventor
公禧 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FSK Corp
Original Assignee
FSK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FSK Corp filed Critical FSK Corp
Priority to JP2127389A priority Critical patent/JP2501366B2/ja
Priority to EP19900119332 priority patent/EP0456884A3/en
Priority to US07/595,357 priority patent/US5048804A/en
Priority to US07/734,638 priority patent/US5177857A/en
Publication of JPH0425335A publication Critical patent/JPH0425335A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2501366B2 publication Critical patent/JP2501366B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/005—Vacuum work holders

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば工作機械の加工テーブル上にワーク
を固定するために使用することができる物体の保持装置
に関するものである。
（従来の技術） 工作機械の加工テーブル上に物体を固定する装置とし
ては、機械的なチャック装置や、磁力を利用して固定す
る装置が普通である。しかし前者の装置は構造が複雑で
高価となるうえ、物体を傷付けるおそれがある。また後
者の装置は物体が非磁性体である場合には使用できない
欠点がある。
そこでこれらの欠点を解決するために、多数の吸引孔
をテーブル面に設けておき、真空圧を利用して物体を保
持させる装置が考えられている。ところがこの装置では
物体の形状によって多数の吸引孔が開放されたままとな
り、それらの吸引孔から大気圧の空気が吸引され吸引力
が低下するという問題があった。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は上記したような従来の問題を解決して、物体
の形状にかかわらず物体の接触面にのみ確実に吸引力を
作用させ、開放された吸引孔からの空気の吸引を防止し
て吸引力の低下を防止することができ、しかも構造が比
較的簡単で故障の少ない物体の保持装置を提供するため
に完成されたものである。
（課題を解決するための手段） 上記の課題を解決するためになされた本発明の物体の
保持装置は、内部に真空室を備えた保持具の表面に多数
の吸引孔を形成し、各吸引孔をその下部に設けられた大
径の拡径室及びこの拡径室の底面中心に開口する細径の
連通孔を介して前記真空室に気密に連通させるととも
に、各拡径室の内部には、ゴム製の平板の裏面端部に拡
径室の底面に向かって突設する脚を持ち、また裏面中央
にゴム製の平板が差圧により撓んだときに前記連通孔を
閉塞するための突起を持ち、脚と突起との間に細孔を持
つゴム製の弁を、それぞれ封入したことを特徴とするも
のである。
（実施例） 以下に本発明を図示の実施例によって更に詳細に説明
する。
第１図において、（１）は内部に真空室（２）を備え
た保持具であり、その保持面となる上部の表面（３）に
は多数の吸引孔（４）が形成されている。各吸引孔
（４）の下部には大径の拡径室（５）が形成されてお
り、この拡径室（５）の底面中心に開口する細径の連通
孔（８）を介して各吸引孔（４）は真空室（２）に気密
に連通している。そして各拡径室（５）の内部にはゴム
製の弁（６）がそれぞれ封入されている。弁（６）は、
その外側と内側の圧力差によって生じた気体の流れに応
じて開閉することができるものである。
第２図に拡大して示したように、この弁（６）はゴム
製のもので、表裏を貫通する細孔（12）を備えている。
またその裏面端部に拡径室（５）の底面に向かって突設
する脚（11）を持つとともに、裏面の中央にゴム製の平
板が差圧により撓んだときに拡径室（５）の底面に開口
している連通孔（８）を閉塞するための断面三角形状の
突起（13）を備えている。なお、細孔（12）は脚（11）
と突起（13）との間に設けられている。
この弁（６）は吸引孔（４）が物体（10）により封鎖
された場合には拡径室（５）内の気体の流れが少ないの
で弾力により実線のように開いているが、吸引孔（４）
が開放されている場合には気体の流れにより想像線のよ
うに変形して突起（13）が真空室（２）との連通孔
（８）を閉じることとなる。
即ち、吸引孔（４）のうち物体（10）に封鎖されてい
るものは、保持面（３）と物体（10）との隙間から流入
する空気量が少ないので細孔（12）を通じて弁（６）の
内外の差圧はほとんどゼロとなり、図２に実線で示した
ように弁（（６）は平板状の形状を保つ。このため突起
（13）は脚（11）の働きにより連通孔（８）から離れ、
吸引孔（４）の内部を真空に保つ。これに対して吸引孔
（４）のうち上部に物体（10）がなく開放されたもので
は、吸引孔（４）の上面から多量の空気が流入し、細孔
（12）で絞りを掛けられた状態となる。その結果、弁
（６）の上部は大気圧となるのに対して弁（６）の下部
には真空室（２）内の真空圧が作用し、弁（６）の内外
の差圧が大きくなって弁（６）は第２図に想像線で示す
ように中央がくぼむように変形し、突起（13）が真空室
（２）との連通孔（８）を閉じることとなる。
このようにして、吸引孔（４）が物体（10）により封
鎖されている場合には弁（６）は開き、吸引孔（４）が
開放されている場合には弁（６）が閉じることとなる。
このため、表面（３）に物体（10）を載せて真空室
（２）を通じて吸引すれば、多数の吸引孔（４）のうち
の物体（10）により封鎖されている吸引孔（４）では弁
（６）が開いて物体（10）を吸引するが、物体（10）が
なく表面が開放された吸引孔（４）では弁（６）が閉
じ、吸引圧の損失を防止することができる。このような
弁（６）の開閉は物体（10）の形状に応じて自動的に行
われるので、どのような形状の物体（10）をも確実に吸
着して保持することができる。
（発明の効果） 以上に説明したように、本発明によれば物体の形状に
かかわらず物体の接触面にのみ確実に吸引力を作用さ
せ、開放された吸引孔からの空気の吸引を防止して吸引
力の低下を防止することができる。このため、本発明に
よれば物体を確実に保持することができる。また真空室
からの吸引を停止すれば物体に作用する力はただちにゼ
ロとなり、保持が解除されることとなる。さらに本発明
によれば弁をゴム製としたので弁の構造が簡単となり、
スプリングを組み込む必要がないので故障が少ないとい
う利点もある。
このため、本発明は工作機械の加工テーブル上にワー
クを固定する場合をはじめ、各種物体の保持装置として
広く利用することができるものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例を示す断面図、第２図は要部の
拡大断面図である。 （１）：保持具、（３）：表面、（４）：吸引孔、
（６）：弁、（８）：連通孔、（10）：物体、（11）：
脚、（12）：細孔、（13）：突起

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】内部に真空室（２）を備えた保持具（１）
    の表面（３）に多数の吸引孔（４）を形成し、各吸引孔
    （４）をその下部に設けられた大径の拡径室（５）及び
    この拡径室（５）の底面中心に開口する細径の連通孔
    （８）を介して前記真空室（２）に気密に連通させると
    ともに、各拡径室（５）の内部には、ゴム製の平板の裏
    面端部に拡径室（５）の底面に向かって突設する脚（1
    1）を持ち、また裏面中央にゴム製の平板が差圧により
    撓んだときに前記連通孔（８）を閉塞するための突起
    （13）を持ち、脚（11）と突起（13）との間に細孔（1
    2）を持つゴム製の弁（６）を、それぞれ封入したこと
    を特徴とする物体の保持装置。
JP2127389A 1990-05-17 1990-05-17 物体の保持装置 Expired - Fee Related JP2501366B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2127389A JP2501366B2 (ja) 1990-05-17 1990-05-17 物体の保持装置
EP19900119332 EP0456884A3 (en) 1990-05-17 1990-10-09 Method of holding objects and apparatus therefor
US07/595,357 US5048804A (en) 1990-05-17 1990-10-09 Apparatus for holding an object to a surface using valve controlled vacuum force
US07/734,638 US5177857A (en) 1990-05-17 1991-07-23 Method for holding an object to a surface using valve controlled vacuum force

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2127389A JP2501366B2 (ja) 1990-05-17 1990-05-17 物体の保持装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0425335A JPH0425335A (ja) 1992-01-29
JP2501366B2 true JP2501366B2 (ja) 1996-05-29

Family

ID=14958786

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2127389A Expired - Fee Related JP2501366B2 (ja) 1990-05-17 1990-05-17 物体の保持装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5048804A (ja)
EP (1) EP0456884A3 (ja)
JP (1) JP2501366B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103448044A (zh) * 2013-09-23 2013-12-18 南京帝鼎数控科技有限公司 组合式吸附加工平台

Families Citing this family (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5432429A (en) 1990-10-23 1995-07-11 Benchmarq Microelectronics, Inc. System for charging/monitoring batteries for a microprocessor based system
US5334130A (en) * 1992-05-13 1994-08-02 Savant Instruments, Inc. Centrifugal vacuum concentration with holder assembly
US5284719A (en) 1992-07-08 1994-02-08 Benchmarq Microelectronics, Inc. Method and apparatus for monitoring battery capacity
IL103906A (en) * 1992-11-27 1996-05-14 Orbotech Ltd Vacuum holder particularly useful as a vacuum table
BE1006476A3 (nl) * 1992-12-28 1994-09-06 Coillie Germaan Van Werkwijze voor het vervaardigen van een chocolade-artikel met het uiterlijk uitzicht van een friet en aldus bekomen chocolade-artikel.
FR2706798A1 (en) * 1993-06-25 1994-12-30 Couval Sa Device for positioning a workpiece and holding it in position using an air vacuum
US5647265A (en) * 1993-06-30 1997-07-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Tool and system for machining a round strand
US5429460A (en) * 1994-03-09 1995-07-04 Campian; Jonathon Machine for cutting a workpiece made of styrofoam or like material
US5522478A (en) * 1994-04-19 1996-06-04 Smartech Llc Method of elevating a workpiece
US5580415A (en) * 1994-04-19 1996-12-03 Diekwisch; Hartmut Membrane press work base
GB2320282A (en) * 1994-08-02 1998-06-17 Tobias Michael Cardew Vacuum securing arrangements
US5685513A (en) * 1995-05-17 1997-11-11 Nihon Biso Co., Ltd. Vacuum-suction attachment pad
US5950670A (en) * 1996-12-05 1999-09-14 Rayco Manufacturing Inc. Vacuum cup safety device
DE19746497C2 (de) * 1997-10-22 2000-04-06 Schmalz J Gmbh Vakuumspannsystem
US6080050A (en) 1997-12-31 2000-06-27 Applied Materials, Inc. Carrier head including a flexible membrane and a compliant backing member for a chemical mechanical polishing apparatus
US5993302A (en) * 1997-12-31 1999-11-30 Applied Materials, Inc. Carrier head with a removable retaining ring for a chemical mechanical polishing apparatus
US6264185B1 (en) * 2000-04-19 2001-07-24 Shoda Iron Works Co., Ltd. Suction pad
TWI222423B (en) * 2001-12-27 2004-10-21 Orbotech Ltd System and methods for conveying and transporting levitated articles
US7377605B2 (en) * 2002-08-22 2008-05-27 Mvm Technologies, Inc. Universal inkjet printer device and methods
TWI230110B (en) * 2004-01-19 2005-04-01 Ji-Wang Liang Suction device
JP4733929B2 (ja) * 2004-04-20 2011-07-27 株式会社ディスコ 半導体ウエーハの切断方法
US20060032037A1 (en) * 2004-08-13 2006-02-16 Dar-Wen Lo [assembling method and device thereof]
US7584947B2 (en) * 2005-05-20 2009-09-08 The Boeing Company Reconfigurable workpiece support fixture
US7434453B2 (en) * 2005-07-08 2008-10-14 General Electric Company Vacuum-assisted fixture for holding a part
US20070194511A1 (en) * 2006-02-17 2007-08-23 Dana Neer Water-tight seal and attachment apparatus
US8336188B2 (en) * 2008-07-17 2012-12-25 Formfactor, Inc. Thin wafer chuck
IL203353A (en) * 2010-01-17 2015-10-29 Orbotech Ltd Empty grip system
DE102010000526A1 (de) 2010-02-24 2011-08-25 Krones Ag, 93073 Unterdruck-Greifervorrichtung
SE538312C2 (sv) * 2012-03-22 2016-05-10 Xerex Ab Objektavkännande ventil för vakuumgripdon.
DE102012206469A1 (de) 2012-04-19 2013-10-24 Krones Aktiengesellschaft Unterdruck-Greifvorrichtung
CN103904011B (zh) * 2012-12-28 2016-12-28 上海微电子装备有限公司 翘曲硅片吸附装置及其吸附方法
US8746438B1 (en) * 2013-02-19 2014-06-10 Nulabel Technologies, Inc. Labeling apparatus using vacuum based label transport
CN103639797A (zh) * 2013-11-28 2014-03-19 江西洪都航空工业集团有限责任公司 双曲度型面的真空吸附台及加工双曲度蒙皮厚度的方法
KR101469688B1 (ko) 2014-03-21 2014-12-05 한국뉴매틱(주) 진공 시스템용 체크-밸브 어셈블리
CN105082165B (zh) * 2014-05-14 2017-08-25 宁夏巨能机器人系统有限公司 一种机械臂夹具
CN104097158A (zh) * 2014-06-20 2014-10-15 苏州拓科仪器设备有限公司 一种三次元测量用底座
DE102014224833A1 (de) * 2014-12-04 2016-06-09 Heidelberger Druckmaschinen Ag Saugfläche
CN105114440A (zh) * 2015-07-31 2015-12-02 苏州市玄天环保科技有限公司 一种负压强力吸附装置
KR101710299B1 (ko) * 2016-02-22 2017-02-28 강희창 석재 원판
JP2018079545A (ja) * 2016-11-17 2018-05-24 株式会社 動研 吸着機能を備えた載置テーブル
CN106392944A (zh) * 2016-12-01 2017-02-15 无锡市创恒机械有限公司 工件吸附平台
DE202016107328U1 (de) * 2016-12-23 2018-03-26 Krones Ag Flexible Vakuumleiste
DE102017106936B4 (de) * 2017-03-31 2020-09-10 J. Schmalz Gmbh Saugvorrichtung
US11059197B2 (en) * 2017-08-24 2021-07-13 Cozzini Llc Method of slicing a food item and slicing mechanism employing a gripping element that generates a vacuum grip
IT201700123759A1 (it) * 2017-10-31 2019-05-01 Scm Group Spa Macchina utensile con sistema perfezionato per il bloccaggio di pezzi da lavorare.
IT201700123747A1 (it) * 2017-10-31 2019-05-01 Scm Group Spa Macchina utensile con sistema perfezionato per il bloccaggio di pezzi da lavorare.
IT201700123766A1 (it) * 2017-10-31 2019-05-01 Scm Group Spa Macchina utensile con un sistema di bloccaggio di pezzi da lavorare dotato di un sistema perfezionato di alimentazione elettrica.
CN108356782A (zh) * 2017-12-29 2018-08-03 段先平 一种新型的划线机
IT201900016838A1 (it) * 2019-09-20 2021-03-20 Scm Group Spa Macchina utensile con sistema perfezionato per il bloccaggio di pezzi.
CN111391005B (zh) * 2020-03-25 2024-06-25 南京工业职业技术学院 一种阵列阀承台
CN113213153B (zh) * 2021-05-06 2022-12-27 扬州快乐机械有限公司 一种吸盘装置与一种人造板生产设备
CN113333866B (zh) * 2021-06-21 2022-12-27 广东艾普升智能装备有限公司 一种数控金属切削机床
EP4509282A1 (en) * 2023-08-16 2025-02-19 Imec Vzw A self-closing valve
CN117509156A (zh) * 2023-11-27 2024-02-06 东莞市神州视觉科技有限公司 自锁阀、真空吸附部件及真空吸附设备
EP4624093A1 (en) * 2024-03-27 2025-10-01 SCM Group S.p.A. Working center for working a piece to be positioned on a sacrificial board placed on a working plane

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2680994A (en) * 1951-10-22 1954-06-15 Boeing Co Suction holding device
US2782574A (en) * 1954-09-16 1957-02-26 Gen Dynamics Corp Work holder
US2855653A (en) * 1955-10-07 1958-10-14 Tile Council Of America Apparatus for making tile panels
US3307819A (en) * 1965-04-12 1967-03-07 Cocito Joe Michael Disc valve for vacuum board
US3460822A (en) * 1965-10-23 1969-08-12 E & E Eng Co Vacuum workholder
US3489093A (en) * 1968-09-11 1970-01-13 Cav Ltd Liquid fuel pumping apparatus
US3907268A (en) * 1974-03-29 1975-09-23 Thomas F Hale Valve means for vacuum holding device
JPS5215082U (ja) * 1975-07-22 1977-02-02
US4221356A (en) * 1978-11-09 1980-09-09 Fortune William S Vacuum operated holding fixture
DD141661A1 (de) * 1979-02-26 1980-05-14 Heinz Buehn Vakuumspanneinrichtung zum transport von halbleiterscheiben
FR2472441A1 (fr) * 1979-09-26 1981-07-03 Kis France Sa Dispositif de maintien de plaques, notamment pour une machine a graver les plaques planes
DE3140882A1 (de) * 1980-10-17 1982-05-27 Dai Nippon Insatsu K.K., Tokyo Vorrichtung zum befestigen einer offset-druckplatte oder einer aehnlichen platte in ebenem zustand durch unterdruck
JPS618250A (ja) * 1984-06-23 1986-01-14 Mitsubishi Electric Corp 真空吸着台
GB8815553D0 (en) * 1988-06-30 1988-08-03 Mpl Precision Ltd Vacuum chuck

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103448044A (zh) * 2013-09-23 2013-12-18 南京帝鼎数控科技有限公司 组合式吸附加工平台

Also Published As

Publication number Publication date
EP0456884A3 (en) 1992-04-15
US5048804A (en) 1991-09-17
EP0456884A2 (en) 1991-11-21
JPH0425335A (ja) 1992-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2501366B2 (ja) 物体の保持装置
US5177857A (en) Method for holding an object to a surface using valve controlled vacuum force
JPS58206335A (ja) 真空ワ−クピ−スホルダ−
JPH03213676A (ja) 真空ポンプにおける吸引系切換装置
US5607268A (en) Vacuum vice for bowling balls and method
JP2546652B2 (ja) チヤツクテ−ブル
JPS62215116A (ja) 多カツプ式負圧吸着装置
JPH02116488A (ja) 吸着ヘッド及びワーク吸着装置
JPH05329731A (ja) 真空チャック及びそれを用いた吸着保持方法
JP2002144270A (ja) 吸着ジグ及び被搬送物の搬送方法
CN216971262U (zh) 抓取装置
JPH028910Y2 (ja)
JPH07314370A (ja) 真空チャック及び真空チャックにおける被吸着物の吸着方法
KR102807449B1 (ko) 모방 장치
CN110509205A (zh) 一种吸板
JPS6120361Y2 (ja)
JPH0537939Y2 (ja)
JPS588463Y2 (ja) グリップ用シリンダの構造
JPH03187239A (ja) ウエーハハンドリング装置
JPH0738778U (ja) ショックアブソーバのリーフバルブ
JPH055342U (ja) 真空チヤツク
JPH0330355Y2 (ja)
JPS60141444A (ja) 真空チヤツク
JPS61249238A (ja) 真空吸着台
JPH0218063Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080313

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090313

Year of fee payment: 13

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees