JPS5827978A - 線状体の金属メツキ方法 - Google Patents
線状体の金属メツキ方法Info
- Publication number
- JPS5827978A JPS5827978A JP56126503A JP12650381A JPS5827978A JP S5827978 A JPS5827978 A JP S5827978A JP 56126503 A JP56126503 A JP 56126503A JP 12650381 A JP12650381 A JP 12650381A JP S5827978 A JPS5827978 A JP S5827978A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- tube
- heating tube
- holes
- wire
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空蒸着による線状体の金属メツ生方法に関
する。
する。
光ファイバに金属メッキを施す手段として、１）電気メ
ッキ（無電解メッキ、電解メッキ）、（１）ディッピン
グ、１ｉｉ）真空メッキ等が有力であるが、夫々は次の
ような欠点を有している。
ッキ（無電解メッキ、電解メッキ）、（１）ディッピン
グ、１ｉｉ）真空メッキ等が有力であるが、夫々は次の
ような欠点を有している。
即ち、１）においては、光ファイノくが水分にさらされ
るので伝送ロスが増す、１１）においては被覆１１９が
偏肉し、ひび割れが生ずる、そして１１１）の場合、膜
厚が充分な厚さにならず、従ってメッキ速度を上げるこ
とができず、また蒸発金属の歩留シが悪い０ 上記１）及びＩＩ）の欠点は本質的な問題であシ、現段
階での技術的解決は困難と思われる０この点、ｍ）にお
ける欠点は、本質的なものではなく、技術的に解決可能
であシ、従って本発明は上記３つの手段の中、最後の１
１１）を対象とするものである０ ところで、真空メッキは一般に、るつぼ内の金属を蒸発
させ、この蒸発金属を線状体等に付着させるのであるが
、上記１１１）の欠点は、るつぼ内の金属を蒸発させる
、という点に根ざしている〇 即ち、かかる方法においては、るつぼからの蒸発金属を
線状体上に絞ることは難しく、換言すれば、蒸発金属を
粉状体」二に集中させることは蕪しく、このため、蒸発
金属の無駄が多く、歩留りが悪かった。
るので伝送ロスが増す、１１）においては被覆１１９が
偏肉し、ひび割れが生ずる、そして１１１）の場合、膜
厚が充分な厚さにならず、従ってメッキ速度を上げるこ
とができず、また蒸発金属の歩留シが悪い０ 上記１）及びＩＩ）の欠点は本質的な問題であシ、現段
階での技術的解決は困難と思われる０この点、ｍ）にお
ける欠点は、本質的なものではなく、技術的に解決可能
であシ、従って本発明は上記３つの手段の中、最後の１
１１）を対象とするものである０ ところで、真空メッキは一般に、るつぼ内の金属を蒸発
させ、この蒸発金属を線状体等に付着させるのであるが
、上記１１１）の欠点は、るつぼ内の金属を蒸発させる
、という点に根ざしている〇 即ち、かかる方法においては、るつぼからの蒸発金属を
線状体上に絞ることは難しく、換言すれば、蒸発金属を
粉状体」二に集中させることは蕪しく、このため、蒸発
金属の無駄が多く、歩留りが悪かった。
特に線状体が、直径１２５μｍという細い光ファイバの
場合には、上記とあい寸ってさらに欠点が助長されるこ
とになっていた。
場合には、上記とあい寸ってさらに欠点が助長されるこ
とになっていた。
本発明は、真空容器の内部に加熱管を設け、該加熱管の
周囲から金属を送入可能にしておき、該加熱管の温度を
上記金属の融点以上に設定し、同加熱管の内部に線状体
を走行させるようにすることによって、上記問題点を解
決しようというもので、これを図面に示す実施例を参照
しながら説明すると、第１図に示すように、周壁（１１
に送入孔＋２１ （２１ｆ２１・・・・・が形成された
加熱管（３）を真空容器（３）′内に設置する。
周囲から金属を送入可能にしておき、該加熱管の温度を
上記金属の融点以上に設定し、同加熱管の内部に線状体
を走行させるようにすることによって、上記問題点を解
決しようというもので、これを図面に示す実施例を参照
しながら説明すると、第１図に示すように、周壁（１１
に送入孔＋２１ （２１ｆ２１・・・・・が形成された
加熱管（３）を真空容器（３）′内に設置する。
上記ＩＪ１１熱管（３）の外周に、同加熱管（３）を加
熱するための発熱体（４）を設け、さらにその外周に熱
効率を良くするための断熱（旧５ｊを配置する。
熱するための発熱体（４）を設け、さらにその外周に熱
効率を良くするための断熱（旧５ｊを配置する。
この断熱胴（５）にも、加熱管（３）の送入孔（２１（
２） （２＋・・・・・の位置に対応して、孔（６１（
６１（６）・・・・・が形成されておシ、これらの孔（
２） （２） （２＋・・・・・・、（Ｇｌ （Ｇ）（
６）・・・・・には、第２図に示すように、外側に断熱
ＩＡ’ ＋７１ Ｃ−有するガイド管（８）が、加熱管
（３）とその外周の断熱胴（５）とを渡架するように、
嵌合されている。
２） （２＋・・・・・の位置に対応して、孔（６１（
６１（６）・・・・・が形成されておシ、これらの孔（
２） （２） （２＋・・・・・・、（Ｇｌ （Ｇ）（
６）・・・・・には、第２図に示すように、外側に断熱
ＩＡ’ ＋７１ Ｃ−有するガイド管（８）が、加熱管
（３）とその外周の断熱胴（５）とを渡架するように、
嵌合されている。
このガイド管（８）から、金属線等の金属（９）が送入
されるのであるが、同ガイド管（８）の存在にょシ、金
属（９）は加熱管（３）の内周面でのみ蒸発または溶融
し、加熱管（３）の外周面で蒸発、溶融することはなく
、たとえそこで蒸発、溶融しても、加熱管（３）とその
外周の断熱材（５）との間隙に漏れることはなく、従っ
て金属の無駄がなくなる。
されるのであるが、同ガイド管（８）の存在にょシ、金
属（９）は加熱管（３）の内周面でのみ蒸発または溶融
し、加熱管（３）の外周面で蒸発、溶融することはなく
、たとえそこで蒸発、溶融しても、加熱管（３）とその
外周の断熱材（５）との間隙に漏れることはなく、従っ
て金属の無駄がなくなる。
金属（９）の送入される速さは、同金属の蒸発または加
熱管（３）の内周面沿いに拡散する早さに応じて制御さ
れる。
熱管（３）の内周面沿いに拡散する早さに応じて制御さ
れる。
金属（９）の数には、特に制限はなく、必要とされるメ
ッキの厚さに応じて適宜選ばれる〇メッキすべき線状体
θＱは、加熱管（３）内部のほぼ中央部を走行するよう
設定される。
ッキの厚さに応じて適宜選ばれる〇メッキすべき線状体
θＱは、加熱管（３）内部のほぼ中央部を走行するよう
設定される。
上記構成において、加熱管（３）の温度を金属（９）の
融点以上に設定し、金属（９）をある速度で送入すると
、加熱管（３）の内周面に達した金属（９）の先端は、
加熱管（３）によって加熱され、第２図及び第３図に示
すように、蒸発金属（１１）となシあるいは加熱管（３
）の内周面沿いに拡散する溶融金属（喝となる。
融点以上に設定し、金属（９）をある速度で送入すると
、加熱管（３）の内周面に達した金属（９）の先端は、
加熱管（３）によって加熱され、第２図及び第３図に示
すように、蒸発金属（１１）となシあるいは加熱管（３
）の内周面沿いに拡散する溶融金属（喝となる。
かかる状態で、線状体０〔を走行させると、上記蒸発金
属（１１）と、拡散中の溶融金属（１２１が蒸発した蒸
発金属（Ｉｌｌ’ が、線状体Ｑ１１に側蓋する。
属（１１）と、拡散中の溶融金属（１２１が蒸発した蒸
発金属（Ｉｌｌ’ が、線状体Ｑ１１に側蓋する。
ここでより具体的な例について述べると、１）真空容器
（３）′内の圧力を１０−５〜］ ０ ’ｔｏｒｒとし
、金属（９）としてニッケルを用いた。
（３）′内の圧力を１０−５〜］ ０ ’ｔｏｒｒとし
、金属（９）としてニッケルを用いた。
加熱管（３）の材質は窒化ケイ素系のセラミックとし、
その内面温度を約１５００℃に設定した。
その内面温度を約１５００℃に設定した。
加熱管（３）の」法は、内径２０閾、高さ３００調とし
、ニッケルは、加熱管（３）の内周面上で相互に均等の
距離を有するよう６箇所に送入した。
、ニッケルは、加熱管（３）の内周面上で相互に均等の
距離を有するよう６箇所に送入した。
１１）線条体ＯＱとして、ナイロン被覆が施された光フ
ァイバに、アルミニウムを被覆厚数百オングストローム
で被覆させるために本装置を用いた。
ァイバに、アルミニウムを被覆厚数百オングストローム
で被覆させるために本装置を用いた。
光ファイバの線速を数拾ｍ／分とし、加熱管（３）の温
度を約９００℃に設定した。
度を約９００℃に設定した。
真空容器（３）′内の圧力を１０−４〜］、 Ｏ”ｔｏ
ｒｒとし、加熱管（３）上方には、光ファイバを取り囲
む図示しない高周波電極を設置し、１３．５６ＭＩＪｚ
で放電させた。
ｒｒとし、加熱管（３）上方には、光ファイバを取り囲
む図示しない高周波電極を設置し、１３．５６ＭＩＪｚ
で放電させた。
この放電によシ伺着力が大なるアルミニウムメッキが得
られた。
られた。
以−Ｌのように、本発明においては、真空容器の内部に
加熱管を設け、該加熱管の周囲から金属を同管内部に送
入可能にしておき、該加熱管の温度を上記金属の融点以
上に設定し、同加熱管の内部に線状体を走行させるよう
にしたので、蒸発金属を加熱管によって絞ることが可能
になり、線状体の線速を上げることができるようになっ
た。
加熱管を設け、該加熱管の周囲から金属を同管内部に送
入可能にしておき、該加熱管の温度を上記金属の融点以
上に設定し、同加熱管の内部に線状体を走行させるよう
にしたので、蒸発金属を加熱管によって絞ることが可能
になり、線状体の線速を上げることができるようになっ
た。
１だ蒸発金属が線状体の半径方向から飛散してくるので
、均−ｈノ［７さの被覆がイ（Ｊられる。
、均−ｈノ［７さの被覆がイ（Ｊられる。
第１図は本発明に係る装置の−ｊη１；ヲ示す断面図、
第２図は同装置の要部拡大断面図、第３図は第１図にお
けるＡ、−、Ａ断面図である。 （３）１・・・加熱管 （３）′ ・・・・・Ｌ′（空容器 （１０） ・・・・・線状体 ｔｌ ＋） （１１１’・・・・・蒸発金属ｔ１寺許出
願人 代理人 弁理］−斎 藤 義 雄 ７− ｉ
第２図は同装置の要部拡大断面図、第３図は第１図にお
けるＡ、−、Ａ断面図である。 （３）１・・・加熱管 （３）′ ・・・・・Ｌ′（空容器 （１０） ・・・・・線状体 ｔｌ ＋） （１１１’・・・・・蒸発金属ｔ１寺許出
願人 代理人 弁理］−斎 藤 義 雄 ７− ｉ
Claims (2)
- （１） 真空容器の内部に加熱管を設け、該加熱管の
周囲から金属を該管内部に送入可能にしておき、該加熱
管の温度を上記金属の融点以上に設定し、該加熱管の内
部に線状体を走行させるようにしたことを特徴とする線
状体の金属メッキ方法。 - （２）加熱管の周壁に送入孔を設け、該送入孔から金属
線を送入するようにしたことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記戦の線状体の金属メッキ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56126503A JPS5827978A (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | 線状体の金属メツキ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56126503A JPS5827978A (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | 線状体の金属メツキ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5827978A true JPS5827978A (ja) | 1983-02-18 |
| JPH0210224B2 JPH0210224B2 (ja) | 1990-03-07 |
Family
ID=14936814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56126503A Granted JPS5827978A (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | 線状体の金属メツキ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5827978A (ja) |
-
1981
- 1981-08-12 JP JP56126503A patent/JPS5827978A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0210224B2 (ja) | 1990-03-07 |
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