JPS62156267A - 蒸着による複合線の製造方法 - Google Patents
蒸着による複合線の製造方法Info
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- JPS62156267A JPS62156267A JP29810185A JP29810185A JPS62156267A JP S62156267 A JPS62156267 A JP S62156267A JP 29810185 A JP29810185 A JP 29810185A JP 29810185 A JP29810185 A JP 29810185A JP S62156267 A JPS62156267 A JP S62156267A
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- JP
- Japan
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- crucible
- metal
- core material
- vapor deposition
- evaporation source
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- Pending
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- Wire Processing (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は複合線の製造方法に関し、特に金属蒸着を均質
にかつ効率よく行うことのできる複合線の製造方法に関
する。
にかつ効率よく行うことのできる複合線の製造方法に関
する。
〈従来の技術〉
従来の蒸着による複合線の製造方法によれば、金属蒸発
源るつぼ形状は、通常のおわん型であり、その蒸発源の
上部を横ぎるように鋼線等の芯材を通過させ、蒸着を行
っていた。
源るつぼ形状は、通常のおわん型であり、その蒸発源の
上部を横ぎるように鋼線等の芯材を通過させ、蒸着を行
っていた。
この方法では、芯材の一方向のみに金属蒸着層ができ影
になった部分には、蒸着層ができない。
になった部分には、蒸着層ができない。
このために、再度逆方向の蒸着を行わなければならない
。また蒸着層の均一化を計るためには、それぞれの蒸着
方向での蒸着層厚さを制御しながら行わなければならず
、その制御法の確立が困難である。また、少なくとも２
度の蒸着を行わなければならず装置も大型化するという
欠点があった。
。また蒸着層の均一化を計るためには、それぞれの蒸着
方向での蒸着層厚さを制御しながら行わなければならず
、その制御法の確立が困難である。また、少なくとも２
度の蒸着を行わなければならず装置も大型化するという
欠点があった。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明の目的は前記した従来技術の欠点を解消し蒸着に
よる複合線の製造を、効率よくかつ均質な金属被覆で行
うことのできる新規な製造方法を提供することにある。
よる複合線の製造を、効率よくかつ均質な金属被覆で行
うことのできる新規な製造方法を提供することにある。
く問題点を解決するための手段〉
本発明は、蒸着による複合線の製造方法において、金属
蒸発源番つぼを回転軸線のまわりに回転し、前記るつぼ
中の溶融金属を、該るつぼの回転により、該るつぼの側
壁へ押し付け、この状態で前記回転軸線上に芯材を挿通
しつつ前記芯材に金属蒸着を行うことを特徴とする蒸着
による複合線の製造方法を提供するものである。
蒸発源番つぼを回転軸線のまわりに回転し、前記るつぼ
中の溶融金属を、該るつぼの回転により、該るつぼの側
壁へ押し付け、この状態で前記回転軸線上に芯材を挿通
しつつ前記芯材に金属蒸着を行うことを特徴とする蒸着
による複合線の製造方法を提供するものである。
ここで、前記金属蒸発源るつぼを２以上用いることが好
ましい。
ましい。
〈発明の構成〉
以下に本発明を第１ａ図、第１ｂ図に示す好適実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
本発明方法は、回転式蒸発源るつぼ１と、このるつぼの
回転軸線上に芯材４が挿通されることに特徴がある。
回転軸線上に芯材４が挿通されることに特徴がある。
回転式蒸発源るつぼ１は、溶融金属２をその回転軸線上
に保持して、回転軸線のまわりに回転し、溶融金属２を
るつぼの側面１５へ押し付け、溶解金属２によって回転
軸線と好ましくはほぼ平行な壁をつくり、溶融金属面を
、るつぼの回転軸線上に挿通する芯材４とほぼ平行な面
として、この状態で、蒸着を行うεとができるものであ
れば、いかなる形状であってもよい。
に保持して、回転軸線のまわりに回転し、溶融金属２を
るつぼの側面１５へ押し付け、溶解金属２によって回転
軸線と好ましくはほぼ平行な壁をつくり、溶融金属面を
、るつぼの回転軸線上に挿通する芯材４とほぼ平行な面
として、この状態で、蒸着を行うεとができるものであ
れば、いかなる形状であってもよい。
第１ａ図に縦断面図を示し、第１ｂ図に横断面図を示す
回転式蒸発源るつぼ１は、底面１３と蓋面１４と側面１
５を有する円筒形るつぼで、この円筒形るつぼの中心軸
線位置に貫通孔１６を有し、この貫通孔１６に芯材４が
挿通され、回転軸線と一致するライン方向１２に送られ
る構成をとる回転式蒸発源るつぼ１である。
回転式蒸発源るつぼ１は、底面１３と蓋面１４と側面１
５を有する円筒形るつぼで、この円筒形るつぼの中心軸
線位置に貫通孔１６を有し、この貫通孔１６に芯材４が
挿通され、回転軸線と一致するライン方向１２に送られ
る構成をとる回転式蒸発源るつぼ１である。
回転式蒸発源るつぼ１の縦断面は、第１ａ図に示す矩形
であってもよいし、矩形以外に底面１３が蓋面１４より
大な台形でもよいし、円形その他いかなる形状であって
もよい。
であってもよいし、矩形以外に底面１３が蓋面１４より
大な台形でもよいし、円形その他いかなる形状であって
もよい。
回転式蒸発源るつぼ１は、図示しないモーター等の駆動
手段によって、ベルト等の伝導手段を介して１００〜５
００回／分回転する。回転式蒸発源るつぼ１の回転軸方
向は、第１ａ図は垂直方向とした例を示したが、縦、横
等いかなる方向であってもよい。
手段によって、ベルト等の伝導手段を介して１００〜５
００回／分回転する。回転式蒸発源るつぼ１の回転軸方
向は、第１ａ図は垂直方向とした例を示したが、縦、横
等いかなる方向であってもよい。
回転式蒸発源るつぼ１の加熱方法は抵抗加熱その他いか
なる加熱方法であってもよいが、第１ａ図、第１ｂ図に
示す水冷式ヒーター６を用いる誘導加熱によることが好
ましい。
なる加熱方法であってもよいが、第１ａ図、第１ｂ図に
示す水冷式ヒーター６を用いる誘導加熱によることが好
ましい。
芯材４は回転式蒸発源るっぽ１の回転軸線の位置に挿通
されて、回転軸線方向に一定速度で送られる。
されて、回転軸線方向に一定速度で送られる。
芯材４に用いられるのは、鋼、銅、アルミニウム、ステ
ンレス等の金属または合金材で、複合線の芯材であれば
いかなるものでもよく、また、メタルコーティング等を
行うグラスファイバー等の非金属材であってもよい。
ンレス等の金属または合金材で、複合線の芯材であれば
いかなるものでもよく、また、メタルコーティング等を
行うグラスファイバー等の非金属材であってもよい。
回転式蒸発源るつぼ１と芯材４は排気口１１より図示し
ないポンプにより真空にすることのできる真空容器７中
に設置され、芯材４と真空容器７の間はＯリング等のシ
ール材８で気密にシールされる。
ないポンプにより真空にすることのできる真空容器７中
に設置され、芯材４と真空容器７の間はＯリング等のシ
ール材８で気密にシールされる。
溶融されて芯材４に蒸着する金属素材９はワイヤー状の
素材として回転式蒸発源るつぼ１中に、１例としてるつ
ぼ１の蓋部１４等にあけた供給孔１０から供給され１回
転式蒸発源るつぼｌ中の溶融金属２の量を常に一定に保
つようにする。
素材として回転式蒸発源るつぼ１中に、１例としてるつ
ぼ１の蓋部１４等にあけた供給孔１０から供給され１回
転式蒸発源るつぼｌ中の溶融金属２の量を常に一定に保
つようにする。
金属素材９は、Ａｌｌ、 Ｚｎ、 Ｃｕ等の複合線の被
覆用金属であり、いかなる金属合金等であってもよい。
覆用金属であり、いかなる金属合金等であってもよい。
本発明方法は、銅線を芯材４として八２を被覆金属とす
るＡＳ＆ｌ （アルミ被覆鋼線）の製造に好適である。
るＡＳ＆ｌ （アルミ被覆鋼線）の製造に好適である。
本発明方法は、’：Ｊｘ １ ａ図、第１ｂ図に示した
実施例に限らず、第２図に示すように、回転式蒸発源る
つぼ１を２段階以上の多段とする構成をとれば、蒸着す
る溶融金属２を２層以上とすることができ、厚い蒸着層
をつくることができる。また２段階以上の回転式蒸発源
るつぼｉ中の溶融金属２をそれぞれ別個の金属あるいは
合金とすれば、多層蒸着層を持つ複合線を製造すること
ができる。
実施例に限らず、第２図に示すように、回転式蒸発源る
つぼ１を２段階以上の多段とする構成をとれば、蒸着す
る溶融金属２を２層以上とすることができ、厚い蒸着層
をつくることができる。また２段階以上の回転式蒸発源
るつぼｉ中の溶融金属２をそれぞれ別個の金属あるいは
合金とすれば、多層蒸着層を持つ複合線を製造すること
ができる。
第２図に示した多段るつぼを用いる本発明方法は、鋼線
を芯材４として、 ＾２とＴｉの二層蒸着層を持つ複合
線の製造に好適である。
を芯材４として、 ＾２とＴｉの二層蒸着層を持つ複合
線の製造に好適である。
〈発明の具体的作用〉
以下に本発明方法の具体的作用について詳述する。
以下の説明は、芯材４として鋼材を用い溶融金属２とし
て＾Ｕを用いたＡＳ線の製造方法について、第１ａ図、
第１ｂ図に示す装置を用いた場合について説明する。
て＾Ｕを用いたＡＳ線の製造方法について、第１ａ図、
第１ｂ図に示す装置を用いた場合について説明する。
回転式蒸発源るつぼ１中にＡＩ！、素材を入れ、排気孔
１１より真空容器７内を真空に引き、ヒーター６に高周
波電流を流し、回転式蒸発源るつぼ１とその中のｌ素材
を高周波加熱する。Ａ４素材は加熱によって徐々に溶融
する。一方回転式蒸発源るつぼ１は、加熱開始時あるい
はこの前後に図示しないモーターにより回転されており
、１素材は溶融するにつれて回転式蒸発源るつぼ１の回
転による遠心力によりるつぼ１の側面１５に押付けられ
、芯材４と平行状態の溶融ＡＩＬ壁となる。この状態で
温度をさらにあげていくと溶融Ａ２壁から蒸着金属蒸気
３であるＡｎ蒸気が発生し、芯材４に蒸着する。芯材４
はライン方向１２で、一定速度で送られているので、回
転式蒸発源るつぼｌの回転により、芯材周囲に均一な蒸
着層ができ均一なＡＩＬ被覆のｋｓ線を製造することが
できる。
１１より真空容器７内を真空に引き、ヒーター６に高周
波電流を流し、回転式蒸発源るつぼ１とその中のｌ素材
を高周波加熱する。Ａ４素材は加熱によって徐々に溶融
する。一方回転式蒸発源るつぼ１は、加熱開始時あるい
はこの前後に図示しないモーターにより回転されており
、１素材は溶融するにつれて回転式蒸発源るつぼ１の回
転による遠心力によりるつぼ１の側面１５に押付けられ
、芯材４と平行状態の溶融ＡＩＬ壁となる。この状態で
温度をさらにあげていくと溶融Ａ２壁から蒸着金属蒸気
３であるＡｎ蒸気が発生し、芯材４に蒸着する。芯材４
はライン方向１２で、一定速度で送られているので、回
転式蒸発源るつぼｌの回転により、芯材周囲に均一な蒸
着層ができ均一なＡＩＬ被覆のｋｓ線を製造することが
できる。
〈発明の効果〉
本発明方法によれば、蒸発源るつぼを回転式とし、回転
軸位置に芯材を設置して一定速度で巻取りつつ金属等の
蒸着を行うので、溶融金属が常に芯材の走行方向と平行
位置にあり、金属蒸気が芯材のまわりに均一な層となり
、芯材への金属の蒸着が均一な複合線を′ｉＡ造するこ
とができる。
軸位置に芯材を設置して一定速度で巻取りつつ金属等の
蒸着を行うので、溶融金属が常に芯材の走行方向と平行
位置にあり、金属蒸気が芯材のまわりに均一な層となり
、芯材への金属の蒸着が均一な複合線を′ｉＡ造するこ
とができる。
このため従来法のようにｉ数回の蒸着を行う必要がなく
、生産性が向上する。
、生産性が向上する。
また、複数の蒸発源るつぼを用いて本発明を行えば、金
属蒸着層の厚い複合線が製造でき、異なる種類の被覆を
持つ多層蒸着層の複合線を製造することもできる。
属蒸着層の厚い複合線が製造でき、異なる種類の被覆を
持つ多層蒸着層の複合線を製造することもできる。
第１ａ図は、本発明方法の一実施例を示す縦断面図であ
る。 第１ｂ図は、第１ａ図の横断面図である。 第２図は１本発明方法に用いる回転式蒸発源るつぼの他
の実施例を示す縦断面図である。 符号の説明 ｌ・・・回転式蒸発源るつぼ、２・−溶融金属、３−金
属蒸気、４・−芯材、５・−複合金属線、６−・ヒータ
ー、７−・真空容器、８・−シール材、９−金属素材、
１０・−供給孔、１１・−排気孔、１２−芯材のライン
方向、１３−底面、１４−・蓋面％ １５−側面、１６
−貫通孔
る。 第１ｂ図は、第１ａ図の横断面図である。 第２図は１本発明方法に用いる回転式蒸発源るつぼの他
の実施例を示す縦断面図である。 符号の説明 ｌ・・・回転式蒸発源るつぼ、２・−溶融金属、３−金
属蒸気、４・−芯材、５・−複合金属線、６−・ヒータ
ー、７−・真空容器、８・−シール材、９−金属素材、
１０・−供給孔、１１・−排気孔、１２−芯材のライン
方向、１３−底面、１４−・蓋面％ １５−側面、１６
−貫通孔
Claims (2)
- （１）蒸着による複合線の製造方法において、金属蒸発
源るつぼを回転軸線のまわりに回転し、前記るつぼ中の
溶融金属を、該るつぼの回転により、該るつぼの側壁へ
押し付け、この状態で前記回転軸線上に芯材を挿通しつ
つ前記芯材に金属蒸着を行うことを特徴とする蒸着によ
る複合線の製造方法。 - （２）前記金属蒸発源るつぼを２以上用いる特許請求の
範囲第１項に記載の蒸着による複合線の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29810185A JPS62156267A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 蒸着による複合線の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29810185A JPS62156267A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 蒸着による複合線の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62156267A true JPS62156267A (ja) | 1987-07-11 |
Family
ID=17855167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29810185A Pending JPS62156267A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 蒸着による複合線の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62156267A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015192551A1 (zh) * | 2014-06-17 | 2015-12-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种用于oled蒸镀的旋转蒸发源装置 |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP29810185A patent/JPS62156267A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015192551A1 (zh) * | 2014-06-17 | 2015-12-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种用于oled蒸镀的旋转蒸发源装置 |
| US9970097B2 (en) | 2014-06-17 | 2018-05-15 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Rotary evaporation source apparatus for OLED evaporation |
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