JPS582170B2 - 光機能素子用母材の製造方法 - Google Patents
光機能素子用母材の製造方法Info
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- JPS582170B2 JPS582170B2 JP54083505A JP8350579A JPS582170B2 JP S582170 B2 JPS582170 B2 JP S582170B2 JP 54083505 A JP54083505 A JP 54083505A JP 8350579 A JP8350579 A JP 8350579A JP S582170 B2 JPS582170 B2 JP S582170B2
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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- C03C2201/30—Doped silica-based glasses containing metals
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光機能素子用母材の製造方法に関するものであ
り、詳しくは不要の不純物の混入の少ない高性能の光機
能素子用母材の製造方法に関するものである。
り、詳しくは不要の不純物の混入の少ない高性能の光機
能素子用母材の製造方法に関するものである。
ガラスを母体とした光機能素子として代表的なものは、
バリレム・クラウン・ガラス（ＳｉＯ２：５９％、Ｂａ
Ｏ：２６％、Ｋ２Ｏ：１５％）中に、Ｎｄ２Ｏ３を微量
（３〜６％程度）添加したＮｄガラスレーザであり、前
記のＳｉＯ２−ＢａＯ−Ｋ２Ｏガラス中にＮｄ２Ｏ３の
形で添加されたＮｄはガラス中でＮｄ３＋イオンになっ
ており、螢光体における活性体となっている。
バリレム・クラウン・ガラス（ＳｉＯ２：５９％、Ｂａ
Ｏ：２６％、Ｋ２Ｏ：１５％）中に、Ｎｄ２Ｏ３を微量
（３〜６％程度）添加したＮｄガラスレーザであり、前
記のＳｉＯ２−ＢａＯ−Ｋ２Ｏガラス中にＮｄ２Ｏ３の
形で添加されたＮｄはガラス中でＮｄ３＋イオンになっ
ており、螢光体における活性体となっている。
従来、この種の光機能素子用母材は、ＳｉＯ２，ＢａＯ
，Ｋ２Ｏ，Ｎｄ２Ｏ３等の微粒子粉末を適量づつ混合し
た後、石英ガラス、白金、アルミナ等高融点材料で製造
した容器中に入れ、高温（１０００〜１５００℃）に加
熱熔融して、ＳｉＯ２，ＢａＯ，Ｋ２Ｏ，Ｎｄ２Ｏ３が
結合したガラス体とすることにより製造されていた。
，Ｋ２Ｏ，Ｎｄ２Ｏ３等の微粒子粉末を適量づつ混合し
た後、石英ガラス、白金、アルミナ等高融点材料で製造
した容器中に入れ、高温（１０００〜１５００℃）に加
熱熔融して、ＳｉＯ２，ＢａＯ，Ｋ２Ｏ，Ｎｄ２Ｏ３が
結合したガラス体とすることにより製造されていた。
このような方法で光機能素子用母材を製造する場合、原
料となるＳｉＯ２，ＢａＯ，Ｋ２Ｏ，Ｎｄ２Ｏ３の微粉
末は高純度のものを得にくいため、製造された光機能素
子用母材中にＦｅ２＋，Ｃｒ３＋，Ｃｕ２＋等の遷移金
属、あるいはＯＨ−基等が混入し、現在光通信に利用さ
れている０．５〜１．５μｍの波長領域の光吸収が増加
すると言う欠点がある。
料となるＳｉＯ２，ＢａＯ，Ｋ２Ｏ，Ｎｄ２Ｏ３の微粉
末は高純度のものを得にくいため、製造された光機能素
子用母材中にＦｅ２＋，Ｃｒ３＋，Ｃｕ２＋等の遷移金
属、あるいはＯＨ−基等が混入し、現在光通信に利用さ
れている０．５〜１．５μｍの波長領域の光吸収が増加
すると言う欠点がある。
特に、Ｆｃ２＋が混入した場合、Ｎｄ３＋イオンの１．
０６μｍ発光波長において吸収係数が大となり、光機能
素子としての使用に重大な欠点を生ずる。
０６μｍ発光波長において吸収係数が大となり、光機能
素子としての使用に重大な欠点を生ずる。
まだ高温で加熱熔融する際、石英ガラス、白金等のるつ
ぼを使用するため、高温下で石英ガラス中の不純物ある
いは白金自体が混入する欠点があるのに加え、ＳｉＯ２
，Ｎｄ２Ｏ３等高融点（１４００℃以上）の組成の母材
を製造できないという欠点があった。
ぼを使用するため、高温下で石英ガラス中の不純物ある
いは白金自体が混入する欠点があるのに加え、ＳｉＯ２
，Ｎｄ２Ｏ３等高融点（１４００℃以上）の組成の母材
を製造できないという欠点があった。
本発明はかかる欠点のない光機能素子用母材の製造方法
を提供せんとするものであり詳しくは、不純物が混入せ
ず、しかも高融点の光機能素子用母材を製造しえる方法
を提供することを目的とする。
を提供せんとするものであり詳しくは、不純物が混入せ
ず、しかも高融点の光機能素子用母材を製造しえる方法
を提供することを目的とする。
したがって本発明による光機能素子用母材の製造方法は
、カラス微粒子を焼結、堆積させて得られた多孔質ガラ
ス母材を高温下に微量成分原料ガスに曝し、多孔質ガラ
ス母材中に前記微量成分原料を拡散させた後、高温の酸
化ガスおよび脱水ガス中で前記多孔質ガラス母材を透明
ガラス化することを特徴とするものである。
、カラス微粒子を焼結、堆積させて得られた多孔質ガラ
ス母材を高温下に微量成分原料ガスに曝し、多孔質ガラ
ス母材中に前記微量成分原料を拡散させた後、高温の酸
化ガスおよび脱水ガス中で前記多孔質ガラス母材を透明
ガラス化することを特徴とするものである。
かかる本発明による光機能素子用母材の製造方法によれ
ば、高温下に微量成分原料ガス（たとえばＮｄＣｌ３な
ど）に曝し、微量成分原料を拡散させ、その後酸化物と
するため、まだ、るつぼを用いないため、たとえば遷移
元素などの不純物が混入せず、更に、脱水用ガスに曝す
ためＯＨ基の混入が防止しえる。
ば、高温下に微量成分原料ガス（たとえばＮｄＣｌ３な
ど）に曝し、微量成分原料を拡散させ、その後酸化物と
するため、まだ、るつぼを用いないため、たとえば遷移
元素などの不純物が混入せず、更に、脱水用ガスに曝す
ためＯＨ基の混入が防止しえる。
またるつぼを用いず、気相反応を用いるだめ高融点の光
機能素子用母材も容易に製造しえる。
機能素子用母材も容易に製造しえる。
本発明を更に詳しく説明すると、本発明はガラス微粒子
を焼結、堆積させて多孔質ガラス母材を得る。
を焼結、堆積させて多孔質ガラス母材を得る。
かかる多孔質ガラス母材はＳｉＯ２のほか一般に光ファ
イバ用材料の副成分として用いられるＧｅ，Ｂ，Ｐ，Ｋ
，Ｔｉ，Ａ１，Ｐｂ，Ｓｂ，Ｚｎなどの酸化物の一種以
上を所望により混入しえる。
イバ用材料の副成分として用いられるＧｅ，Ｂ，Ｐ，Ｋ
，Ｔｉ，Ａ１，Ｐｂ，Ｓｂ，Ｚｎなどの酸化物の一種以
上を所望により混入しえる。
微量成分として、Ｎｄ２Ｏ３を混入させる場合、Ｎｄ元
素間の相互作用をおさえ、高濃度添加においても機能を
低減化しないように、Ｐ２Ｏ２を添加するのが好ましい
。
素間の相互作用をおさえ、高濃度添加においても機能を
低減化しないように、Ｐ２Ｏ２を添加するのが好ましい
。
まだ多孔質ガラス母材を得るとき、主ガラス原料ＳｉＣ
ｌ４ と共にＧｅＣｌ４，ＰＯＣｌ３，ＢＢｒ３等の一
種以上を混合し、加水分解することにより、半径方向に
屈折率分布を有する光導波構造の母材とすることもでき
、これにより光を閉じ込める効果を増加させ、光機能性
を同上させることも可能である。
ｌ４ と共にＧｅＣｌ４，ＰＯＣｌ３，ＢＢｒ３等の一
種以上を混合し、加水分解することにより、半径方向に
屈折率分布を有する光導波構造の母材とすることもでき
、これにより光を閉じ込める効果を増加させ、光機能性
を同上させることも可能である。
かかるように、多孔質ガラス母材の組成は特に限定され
るものではなく、製造される光機能素子の性能等により
、機能的に変化させることができる。
るものではなく、製造される光機能素子の性能等により
、機能的に変化させることができる。
このような多孔質ガラス母材を製造するにあたって、た
とえば第１図に模式図を示す装置を用いることができる
。
とえば第１図に模式図を示す装置を用いることができる
。
第１図は本発明に用いる多孔質ガラス母材を製造するだ
めの装置の一例を示す模式図であって、図中、１は回転
引上げ装置、２は出発基板、３は保護容器、４は多孔質
ガラス母材、５は排気調整装置、６はガラス微粒子合成
トーチ（以下合成トーチと言う）、７は原料供給管、８
は火炎およびガラス微粒子流である。
めの装置の一例を示す模式図であって、図中、１は回転
引上げ装置、２は出発基板、３は保護容器、４は多孔質
ガラス母材、５は排気調整装置、６はガラス微粒子合成
トーチ（以下合成トーチと言う）、７は原料供給管、８
は火炎およびガラス微粒子流である。
第１図より明かなように、回転引上げ装置１は出発基板
２と接続しており、出発基板２はこの回転引上げ装置１
０作用により、保護容器３内を多孔質ガラス母材４を堆
積させて回転しながら引上げられるようになっている。
２と接続しており、出発基板２はこの回転引上げ装置１
０作用により、保護容器３内を多孔質ガラス母材４を堆
積させて回転しながら引上げられるようになっている。
この保護容器３は排気調整装置５と合成トーチ６を有し
ており、合成トーチ６は原料供給管７と接続している。
ており、合成トーチ６は原料供給管７と接続している。
原料供給管７により、ガラス原料（ＳｉＣｌ４等はＨ２
，Ｏ２，Ｈｅ，Ａｒなどと共に合成トーチ７に送られ、
火炎８によって加水分解されてガラス微粒子を生ずる。
，Ｏ２，Ｈｅ，Ａｒなどと共に合成トーチ７に送られ、
火炎８によって加水分解されてガラス微粒子を生ずる。
ガラス微粒子は出発基板２上に焼結、堆積し、多孔質ガ
ラス母材４を軸方向に成長させる。
ラス母材４を軸方向に成長させる。
これと同時に出発基板２を回転引上げ装置１により回転
しつつ引上げる。
しつつ引上げる。
これにより、丸棒状多孔質ガラス母材４を形成させるの
である。
である。
この際、排気調整装置５により、保護容器３内で生じた
排気ガスおよび余分のガラス微粒子を排気すると共に、
保護容器３内の圧を調整し、多孔質ガラス母材４の成長
等を制御する。
排気ガスおよび余分のガラス微粒子を排気すると共に、
保護容器３内の圧を調整し、多孔質ガラス母材４の成長
等を制御する。
このようにして製造された多孔質ガラス母材を高温下に
微量成分原料ガスに曝し、多孔質ガラス母材中に微量成
分原料を拡散せしめる。
微量成分原料ガスに曝し、多孔質ガラス母材中に微量成
分原料を拡散せしめる。
本発明に用いられる微量成分としては前述のＮｄ２Ｏ３
のほか、鉄族イオン、３価ランタニドイオン（Ｐｒ３＋
，Ｅｕ３＋，Ｈｏ３＋，Ｅｒ３＋，Ｔｍ３＋，Ｙｂ３＋
）、２価ランタニドイオン（Ｓｍ２＋，Ｄｙ２＋，Ｔｍ
２＋）およびアクチニドイオンの酸化物の一種以上であ
る。
のほか、鉄族イオン、３価ランタニドイオン（Ｐｒ３＋
，Ｅｕ３＋，Ｈｏ３＋，Ｅｒ３＋，Ｔｍ３＋，Ｙｂ３＋
）、２価ランタニドイオン（Ｓｍ２＋，Ｄｙ２＋，Ｔｍ
２＋）およびアクチニドイオンの酸化物の一種以上であ
る。
ここで、微量成分とは微量成分原料を後述の酸化ガスに
よって酸化されたものを指し、微量成分原料は酸化前の
、たとえばハロゲン化物を指す。
よって酸化されたものを指し、微量成分原料は酸化前の
、たとえばハロゲン化物を指す。
この微量成分原料の多孔質ガラス母材の拡散は高温下に
おいて行なわれるが、これは多孔質ガラス母材中に微量
成分原料を拡散せしめるためのものであるから、多孔質
ガラス母材が収縮せず拡散の容易な温度で行なうのが好
ましい。
おいて行なわれるが、これは多孔質ガラス母材中に微量
成分原料を拡散せしめるためのものであるから、多孔質
ガラス母材が収縮せず拡散の容易な温度で行なうのが好
ましい。
即ち、透明ガラス化の生じる温度未満の温度を上限とす
る。
る。
前記上限以下の温度のうち微量成分原料の拡散が効率的
に行なわれる温度を選択するのが好ましい。
に行なわれる温度を選択するのが好ましい。
通常ＮｄＣｌ３の場合は７００〜１３００℃であるのが
よい。
よい。
７００℃未満であると、ＮｄＣｌ３は液化せず、キャリ
ャガスによって移送されず１３００℃であると、多孔質
ガラス母材が透明ガラス化するからである。
ャガスによって移送されず１３００℃であると、多孔質
ガラス母材が透明ガラス化するからである。
次に、かかる多孔質ガラス母材を高温にし透明ガラス化
するものであるが、この際酸化ガスおよび脱水ガスと接
触させる。
するものであるが、この際酸化ガスおよび脱水ガスと接
触させる。
酸化ガスは微量成分原料を酸化し、微量成分（酸化物）
とするものであり脱水ガスはＯＨ基を除去するだめのも
のである。
とするものであり脱水ガスはＯＨ基を除去するだめのも
のである。
酸化ガスとしてはたとえば酸素ガス、を用いることがで
き、脱水ガスとしてはハロゲンガス（たとえばＣｌ２，
Ｂｒ２，Ｆ２）ＳＯＣｌ２などを用いることができる。
き、脱水ガスとしてはハロゲンガス（たとえばＣｌ２，
Ｂｒ２，Ｆ２）ＳＯＣｌ２などを用いることができる。
かかる工程における温度は通常１３００〜１６５０℃が
好ましい。
好ましい。
１３００℃未満であると、多孔質ガラス母材は透明ガラ
ス化しにくく、１６５０℃を超えると、通常多孔質ガラ
ス母材が軟化してしまうからである。
ス化しにくく、１６５０℃を超えると、通常多孔質ガラ
ス母材が軟化してしまうからである。
かかる温度は多孔質ガラス母材、微量成分などの諸条件
の変化により機能的に変化させることができる。
の変化により機能的に変化させることができる。
これらの工程はたとえば第２図に示すような装置で実施
することが可能である。
することが可能である。
第２図は本発明を実施するための装置の一例を示す模式
図であり、９は回転装置、１０は発熱体（および保温材
）、１１は炉心管、１２は微量成分原料（たとえばＮｄ
Ｃｌ３）、１３は加熱槽、１４は線状発熱体、１５は導
管、１６はバルブ、１７は酸化ガス供給部、１８は脱水
ガス供給部、４は第１図同様多孔質ガラス母材を指す。
図であり、９は回転装置、１０は発熱体（および保温材
）、１１は炉心管、１２は微量成分原料（たとえばＮｄ
Ｃｌ３）、１３は加熱槽、１４は線状発熱体、１５は導
管、１６はバルブ、１７は酸化ガス供給部、１８は脱水
ガス供給部、４は第１図同様多孔質ガラス母材を指す。
第２図より明かなように、回転装置９は発熱体１０に囲
まれた炉心管１１内の多孔質ガラス母材４と接続してお
り、これを回転させるようになっている。
まれた炉心管１１内の多孔質ガラス母材４と接続してお
り、これを回転させるようになっている。
一方、微量成分原料１２は加熱槽１３中に溜められてお
り、線状発熱体１４の設けられた導管１５を通って炉心
管１１内に導入される。
り、線状発熱体１４の設けられた導管１５を通って炉心
管１１内に導入される。
またバルプ１６を介し酸化ガス供給部１７（たとえばＯ
２ ガス供給部）、脱水ガス供給部１８（たとえばＣｌ
２ガス供給部）はこの導管１５と接続している。
２ ガス供給部）、脱水ガス供給部１８（たとえばＣｌ
２ガス供給部）はこの導管１５と接続している。
たとえば第１図による装置で製造した多孔質ガラス母材
４を発熱体１０で８００〜９００℃に加熱された炉心管
１１内に入れ、回転装置９で回転させながら、Ｈｅガス
によって導管１５を経て炉心管１１内に導入される微量
成分原料１２と接触させ、多孔質ガラス母材４中に微量
成分原料１２を充分に拡散させる。
４を発熱体１０で８００〜９００℃に加熱された炉心管
１１内に入れ、回転装置９で回転させながら、Ｈｅガス
によって導管１５を経て炉心管１１内に導入される微量
成分原料１２と接触させ、多孔質ガラス母材４中に微量
成分原料１２を充分に拡散させる。
その後バルブ１６を開いて、酸化ガスおよび脱水ガスを
導入し、炉心管１１内の温度を１５００℃程度まで上昇
させて、多孔質ガラス母材４を透明ガラス化し、微量成
分（酸化物）を含む光機能素子用母材を得る。
導入し、炉心管１１内の温度を１５００℃程度まで上昇
させて、多孔質ガラス母材４を透明ガラス化し、微量成
分（酸化物）を含む光機能素子用母材を得る。
次いでたとえば、この光機能素子用母材を直径１００〜
１５０μｍ程度に線引し、光ファイバ状の光機能素子と
する。
１５０μｍ程度に線引し、光ファイバ状の光機能素子と
する。
実施例
第１図における装置を用いて得だ太さ５０ｍｍφ、長さ
４００ｍｍの多孔質ガラス母材４を発熱体１０および炉
心管１１で構成される電気炉内に入れ、密閉する。
４００ｍｍの多孔質ガラス母材４を発熱体１０および炉
心管１１で構成される電気炉内に入れ、密閉する。
次いでこの電気炉内に加熱槽１３によって約９００℃に
加熱され、溶解しだＮｄＣｌ３を毎分１ｌのＨｅガスに
よって輸送し、炉心管１１内の多孔質ガラス母材４を約
１０００℃の高温下でＮｄＣｌ３雰囲気に曝し、多孔質
ガラス母材４中にＮｄＣｌ３を充分拡散させる。
加熱され、溶解しだＮｄＣｌ３を毎分１ｌのＨｅガスに
よって輸送し、炉心管１１内の多孔質ガラス母材４を約
１０００℃の高温下でＮｄＣｌ３雰囲気に曝し、多孔質
ガラス母材４中にＮｄＣｌ３を充分拡散させる。
１０００℃の温度では多孔質ガラス母材４は収縮せず、
ＮｄＣｌ４の内部への拡散は容易である。
ＮｄＣｌ４の内部への拡散は容易である。
次にバルブ１６を開いてそれぞれ毎分１ｌのＯ２，Ｃｌ
２を電気炉内に導き、炉内温度を１５００℃まで上昇さ
せた。
２を電気炉内に導き、炉内温度を１５００℃まで上昇さ
せた。
多孔質ガラ哀母材４は収縮し、脱泡されて０．５〜１％
のＮｄＣｌ３を含む光機能素子用母材が得られた。
のＮｄＣｌ３を含む光機能素子用母材が得られた。
製造された光機能素子用母材は、Ｆｅ２＋，Ｃｕ２＋，
Ｃｒ３＋等の遷移金属の混入は極めて微量（１ｐｐｂ未
満）で、かつ混入するＯＨ基の量も０．１１ｐ未満と少
なく、０．５〜１．５μｍで光吸収は２０ｄＢ／ｋｍ以
下であった。
Ｃｒ３＋等の遷移金属の混入は極めて微量（１ｐｐｂ未
満）で、かつ混入するＯＨ基の量も０．１１ｐ未満と少
なく、０．５〜１．５μｍで光吸収は２０ｄＢ／ｋｍ以
下であった。
本実施例においては微量成分としてＮｄ２Ｏ３の場合を
示したが、この装置において加熱槽１３および発熱体１
０の温度を調整することにより、鉄族イオン、３価ラン
タニドイオン（Ｐｒ３＋，Ｅｕ３＋，Ｈｏ３＋，Ｅｒ３
＋，Ｔｍ３＋，Ｙｂ３＋）、２価ランタニドイオン（Ｓ
ｍ２＋，Ｄｙ２＋，Ｔｍ２＋）およびアクチニドイオン
の酸化物を含む光機能素子用母材も容易に得られる。
示したが、この装置において加熱槽１３および発熱体１
０の温度を調整することにより、鉄族イオン、３価ラン
タニドイオン（Ｐｒ３＋，Ｅｕ３＋，Ｈｏ３＋，Ｅｒ３
＋，Ｔｍ３＋，Ｙｂ３＋）、２価ランタニドイオン（Ｓ
ｍ２＋，Ｄｙ２＋，Ｔｍ２＋）およびアクチニドイオン
の酸化物を含む光機能素子用母材も容易に得られる。
第１図は本発明において用いる多孔質ガラス母材を製造
するだめの装置の一例を示す模式図であり、第２図は本
発明における光機能素子用母材の製造方法を実施するた
めの装置の一例を示す模式図である。 １・・・回転引上げ装置、２・・・出発基板、３・・・
保護容器、４・・・多孔質ガラス母材、５・・・排気調
整装置、６・・・合成トーチ、７・・・原料供給管、８
・・・火炎、９・・・回転装置、１０・・・発熱体、１
１・・・炉心管、１２・・・微量成分原料、１３・・・
加熱槽、１４・・・線状発熱体、１５・・・導管、１６
・・・バルブ、１７・・・酸化ガス供給部、１８・・・
脱水ガス供給部。
するだめの装置の一例を示す模式図であり、第２図は本
発明における光機能素子用母材の製造方法を実施するた
めの装置の一例を示す模式図である。 １・・・回転引上げ装置、２・・・出発基板、３・・・
保護容器、４・・・多孔質ガラス母材、５・・・排気調
整装置、６・・・合成トーチ、７・・・原料供給管、８
・・・火炎、９・・・回転装置、１０・・・発熱体、１
１・・・炉心管、１２・・・微量成分原料、１３・・・
加熱槽、１４・・・線状発熱体、１５・・・導管、１６
・・・バルブ、１７・・・酸化ガス供給部、１８・・・
脱水ガス供給部。
Claims (1)
- １ ガラス微粒子を焼結、堆積させて得られた多孔質ガ
ラス母材を高温下にＣｒ３＋，Ｐｒ３＋，Ｅｎ３＋，Ｈ
ｏ３＋，Ｅｒ３＋，Ｔｍ３＋，Ｙｂ３＋，Ｎｄ３＋，Ｓ
ｍ３＋，Ｄｙ３＋，Ｔｍ２＋およびアクチニドイオンを
含む化合物の群より選択された一種以上より成る微量成
分原料ガスに曝し、多孔質ガラス母材中に前記微量成分
原料を拡散させた後、高温の酸化ガスおよび脱水ガス中
で前記多孔質ガラス母材を透明ガラス化することを特徴
とする光機能素子用母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54083505A JPS582170B2 (ja) | 1979-07-03 | 1979-07-03 | 光機能素子用母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54083505A JPS582170B2 (ja) | 1979-07-03 | 1979-07-03 | 光機能素子用母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS569250A JPS569250A (en) | 1981-01-30 |
| JPS582170B2 true JPS582170B2 (ja) | 1983-01-14 |
Family
ID=13804330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54083505A Expired JPS582170B2 (ja) | 1979-07-03 | 1979-07-03 | 光機能素子用母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582170B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6243020U (ja) * | 1985-09-04 | 1987-03-14 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60151242A (ja) * | 1984-01-17 | 1985-08-09 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光伝送用ガラス母材の製造方法 |
| CN105152535A (zh) * | 2015-09-18 | 2015-12-16 | 中国计量学院 | 荧光玻璃陶瓷及其制备方法和在制备激光光源中的应用 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50149356A (ja) * | 1974-04-22 | 1975-11-29 | ||
| JPS53123940A (en) * | 1977-04-05 | 1978-10-28 | Fujikura Ltd | Production of mother material of fibers for optical communication |
| JPS55144429A (en) * | 1979-04-24 | 1980-11-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Quartz glass for light transmission fiber and its manufacture |
-
1979
- 1979-07-03 JP JP54083505A patent/JPS582170B2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50149356A (ja) * | 1974-04-22 | 1975-11-29 | ||
| JPS53123940A (en) * | 1977-04-05 | 1978-10-28 | Fujikura Ltd | Production of mother material of fibers for optical communication |
| JPS55144429A (en) * | 1979-04-24 | 1980-11-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Quartz glass for light transmission fiber and its manufacture |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6243020U (ja) * | 1985-09-04 | 1987-03-14 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS569250A (en) | 1981-01-30 |
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