JPS5821230A - 液晶表示セル用基板 - Google Patents
液晶表示セル用基板Info
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- JPS5821230A JPS5821230A JP12038081A JP12038081A JPS5821230A JP S5821230 A JPS5821230 A JP S5821230A JP 12038081 A JP12038081 A JP 12038081A JP 12038081 A JP12038081 A JP 12038081A JP S5821230 A JPS5821230 A JP S5821230A
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- JP
- Japan
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- film
- substrate
- liquid crystal
- crystal display
- films
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本侮明は液蟲麦示セル用基板に関すｈ４のであって、更
に＃しくは１板素材として特定のポリマー７４ルム（又
はシート）を用いｂことにようて良好な表示特性を有す
る液晶表示セル用基板を提供す為ものである。
に＃しくは１板素材として特定のポリマー７４ルム（又
はシート）を用いｂことにようて良好な表示特性を有す
る液晶表示セル用基板を提供す為ものである。
液晶表示セルを用いてなる液晶表示装置は、時計、卓上
電子計算機、計Ｓなどの表示に汎用されて−ｈＪＩ。
電子計算機、計Ｓなどの表示に汎用されて−ｈＪＩ。
波轟麦示セルを構成する透明導電体としては、これまて
一般に釣６．Ｂ〜１．５■のガラス板の＊面に、透明導
電＊１設けてな為ものが汎用されて−す龜 波轟貴示セｊ＆／ｖｔＩＩＩａすゐ透明導電体としては
、これまで一般に釣６．５〜１．！＄１ｇのガラス板の
ａｉｍに、１明導電ｌＫを設けて１に為ものが乳喝され
て一為壽 し嘉して、近時液晶表示セル（又は液晶表示装置）の小
型化及び軽量化嚇指向されてい為が、ガラスｊｌｉを曙
−てｊｋゐ透明導電体では、自づと成算かあり、ガラス
板に代為基板素材が種々検討され１ｊｋ１１もされて％
Ａ為。
一般に釣６．Ｂ〜１．５■のガラス板の＊面に、透明導
電＊１設けてな為ものが汎用されて−す龜 波轟貴示セｊ＆／ｖｔＩＩＩａすゐ透明導電体としては
、これまで一般に釣６．５〜１．！＄１ｇのガラス板の
ａｉｍに、１明導電ｌＫを設けて１に為ものが乳喝され
て一為壽 し嘉して、近時液晶表示セル（又は液晶表示装置）の小
型化及び軽量化嚇指向されてい為が、ガラスｊｌｉを曙
−てｊｋゐ透明導電体では、自づと成算かあり、ガラス
板に代為基板素材が種々検討され１ｊｋ１１もされて％
Ａ為。
これまで提案されて％／％為基板基板素材ては、ポリス
チレン、ポリアクリル峻メチル、ポリ倉−ポネート、ポ
リ塩化ビニル、アセテート、ポｑエーテルスルホン、ポ
リスルホン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポｑアｌ
ド、ポリテトラフロロエナレン、ポリエステルなどのグ
ツスナック類が挙げられている。
チレン、ポリアクリル峻メチル、ポリ倉−ポネート、ポ
リ塩化ビニル、アセテート、ポｑエーテルスルホン、ポ
リスルホン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポｑアｌ
ド、ポリテトラフロロエナレン、ポリエステルなどのグ
ツスナック類が挙げられている。
しかして、基板素材としてのこれらの市販のプラスチッ
ク７４ルム（又はシート）は、物理的強度を有するよう
に、縦横方向に延伸されて％Ａ為ため（、光学的に異方
性であり、そのために液晶表示セルに用いると干渉色が
惣〈現われ、セルの表示能を著しく損うと＾う問題があ
り、また他の問題として耐液晶性（耐薬品性）が不充分
でありたり、耐熱性に欠は為といった問題があり、実用
化されＡ［至りていないのが現状であ為。
ク７４ルム（又はシート）は、物理的強度を有するよう
に、縦横方向に延伸されて％Ａ為ため（、光学的に異方
性であり、そのために液晶表示セルに用いると干渉色が
惣〈現われ、セルの表示能を著しく損うと＾う問題があ
り、また他の問題として耐液晶性（耐薬品性）が不充分
でありたり、耐熱性に欠は為といった問題があり、実用
化されＡ［至りていないのが現状であ為。
本発明者達はかかｂ従来技術の情況に鎌み、基板素材と
して使用し得ゐポリマーフィルム（又ハシート）Ｋつい
て鋭意研究を重ねた結果、ポリメチルペンテンフィルム
（又はシート）が、液晶表示セル喝基板の基板素材とし
て使用できゐことを知見し、本発明に至りたものである
。
して使用し得ゐポリマーフィルム（又ハシート）Ｋつい
て鋭意研究を重ねた結果、ポリメチルペンテンフィルム
（又はシート）が、液晶表示セル喝基板の基板素材とし
て使用できゐことを知見し、本発明に至りたものである
。
即ち本発明は、一方向の゛みに少なくともＳ哄延伸して
な為ポリメチルペンテンフィルム（又ハシート）の−力
の面に、透明導電膜を設けてなる液晶表示セル用基板′
に１／！供すＡ−のである。
な為ポリメチルペンテンフィルム（又ハシート）の−力
の面に、透明導電膜を設けてなる液晶表示セル用基板′
に１／！供すＡ−のである。
本発明によれば、透明導電膜相互が相対するように配置
す為と共に、周囲にスペーを會介在してシールを打込、
中に液晶組成物を′封入すｂことに、よりて、嵩低く且
″：）＠い、しかも耐液晶性、耐躊剤性及び耐熱性【優
れる、ｊＬ好な表示能を有す為液晶表示セルが得られる
。
す為と共に、周囲にスペーを會介在してシールを打込、
中に液晶組成物を′封入すｂことに、よりて、嵩低く且
″：）＠い、しかも耐液晶性、耐躊剤性及び耐熱性【優
れる、ｊＬ好な表示能を有す為液晶表示セルが得られる
。
本発明を実施すゐに当りて用いられゐポリメチルペンテ
ンフィルム（又はシート）とは、グロビレンを二重化し
て得られる４−メチルペンテン−ｉｔチーｙラ−ｔッ＊
ｉｍ媒で重合してなるポリメチルペンテンからなる、厚
さ約１０〜８００声厘、好ましくは約５ｏ−ｓ００／ｌ
鱈のフィルム又はシート状物であって、一方向の４に少
なく２４３囁、好オしくはＩＧ−１０００％％寅用的に
）１８６〜７００％の［囲で延伸し、且り１２ｔ”ｒｓ
ｏ分ｓｉ 〜ｚｉｏｃｆ１分ｔｌ、好マシくハｌｓ・℃
で３０分Ｒ〜２２０セで２分間ヒートセットして１にる
ものである。
ンフィルム（又はシート）とは、グロビレンを二重化し
て得られる４−メチルペンテン−ｉｔチーｙラ−ｔッ＊
ｉｍ媒で重合してなるポリメチルペンテンからなる、厚
さ約１０〜８００声厘、好ましくは約５ｏ−ｓ００／ｌ
鱈のフィルム又はシート状物であって、一方向の４に少
なく２４３囁、好オしくはＩＧ−１０００％％寅用的に
）１８６〜７００％の［囲で延伸し、且り１２ｔ”ｒｓ
ｏ分ｓｉ 〜ｚｉｏｃｆ１分ｔｌ、好マシくハｌｓ・℃
で３０分Ｒ〜２２０セで２分間ヒートセットして１にる
ものである。
前記の延伸率は、フィルム（又はシーｋ）［光学＃Ｊ１
に等力性を付与すること、耐纜晶性及び耐熱性を付与す
ること、及び適度１３：耐引裂性を有するこきなどの諸
要件ｔＳ足するようＫ１１ｌｉ択され、またヒートセッ
トの温度及び時間は、主として寸法安定性の点から選択
されてｖｂ）ｂ％のである。
に等力性を付与すること、耐纜晶性及び耐熱性を付与す
ること、及び適度１３：耐引裂性を有するこきなどの諸
要件ｔＳ足するようＫ１１ｌｉ択され、またヒートセッ
トの温度及び時間は、主として寸法安定性の点から選択
されてｖｂ）ｂ％のである。
ポリメチルペンテンフィルム（又はシート）の表面に形
ｖＬされる透明導電膜としては、金属インジａりムと金
属スズ七の酸化物、金属アン争モンと金属スズとの一化
物、金属力Ｆミｔムと金属スズとの酸化物などが挙げら
れるが、前記インジ暴りムとスズとの姐み合せが導電性
付与、皮膜強度、基材への密着性などの点で好ましいも
のであ為。
ｖＬされる透明導電膜としては、金属インジａりムと金
属スズ七の酸化物、金属アン争モンと金属スズとの一化
物、金属力Ｆミｔムと金属スズとの酸化物などが挙げら
れるが、前記インジ暴りムとスズとの姐み合せが導電性
付与、皮膜強度、基材への密着性などの点で好ましいも
のであ為。
透明導電膜は、上記フィルム（又はシート）の表１ｆｆ
ｉに低温で形成され為。
ｉに低温で形成され為。
好資しい形成方法は、ＤＣ−プレーナマグネトロンスパ
ッタリング法によるスパッタ蒸着てあゐが、例えば金属
インリークムと金属スズとｔ蒸尭法、インジークムとス
ズとの酸化物Ｖｔｘ発源とし、電子ビーム加熱法などで
蒸着して得られ為これらの低級酸化物膜ｔ−熱駿化処馬
などの酸化地理をする方法、或いは高周波イオンプレー
ディング法などの蒸着手段を用いて低温（３０〜１２Ω
℃）で行って龜よいものであ為。
ッタリング法によるスパッタ蒸着てあゐが、例えば金属
インリークムと金属スズとｔ蒸尭法、インジークムとス
ズとの酸化物Ｖｔｘ発源とし、電子ビーム加熱法などで
蒸着して得られ為これらの低級酸化物膜ｔ−熱駿化処馬
などの酸化地理をする方法、或いは高周波イオンプレー
ディング法などの蒸着手段を用いて低温（３０〜１２Ω
℃）で行って龜よいものであ為。
透明導電膜の厚みは、概して５Ｏ−２００ＯＡの範Ｈが
好ましｈが、その目的により、とれよ争薄くしえり、ま
た厚くした喜参して−よいものであり０ 本発明の液晶表示セル用基板は、上述の如く、ポリメチ
ルペンテンフィルム（又はシート）の一方の表面に、透
明導電膜が所望の厚さて形成されて％／％為ものである
が、フィルム（又はシート）の表面には、スパッタエツ
チング又は峻化嶋理に代表され為処理層％ ｄｌｒは有
機ケイ素又は有機チタネート単量体に代表され為表面Ｉ
＆ｉｌ剤を楡家して１に為地理層を設けることは好まし
Ｖ％仁とであふ。
好ましｈが、その目的により、とれよ争薄くしえり、ま
た厚くした喜参して−よいものであり０ 本発明の液晶表示セル用基板は、上述の如く、ポリメチ
ルペンテンフィルム（又はシート）の一方の表面に、透
明導電膜が所望の厚さて形成されて％／％為ものである
が、フィルム（又はシート）の表面には、スパッタエツ
チング又は峻化嶋理に代表され為処理層％ ｄｌｒは有
機ケイ素又は有機チタネート単量体に代表され為表面Ｉ
＆ｉｌ剤を楡家して１に為地理層を設けることは好まし
Ｖ％仁とであふ。
前記のスパッタエツチングＩＩＪ１ｍ！法としては、絢
ｏ 、ｏｏｏｓ〜０．５ Ｔｏｒｒの雰囲気下で高周波
又は直流放電を起し、雰囲気ガスの−ＩＩｋイオン化し
、イオン原子をポリメチルペンテンフィルム（又はシ−
ト）の表面に衝突させることにより行う方法が−ＩＩ＆
的で島為。
ｏ 、ｏｏｏｓ〜０．５ Ｔｏｒｒの雰囲気下で高周波
又は直流放電を起し、雰囲気ガスの−ＩＩｋイオン化し
、イオン原子をポリメチルペンテンフィルム（又はシ−
ト）の表面に衝突させることにより行う方法が−ＩＩ＆
的で島為。
酸化処１ｌｔ１にとは、フィルム（又はシート）の表面
を酸化させて結合性を向上させ為化学的または物蓋釣処
１ｌｔＩｋであ争、例えば硫酸または熱槽−中でのタロ
ム駿ＩＩＪ１ｉｌ、衰■の例えば１００℃以上でのオゾ
ン曝露、表面のコロナ゛処理を伴う高圧電撃曝露などの
書法がありが、その効果のあ為ことと作置の審鳥さの点
で、コロナ高圧電撃曝露！Ｉ＆理がＷましいもので島為
。
を酸化させて結合性を向上させ為化学的または物蓋釣処
１ｌｔＩｋであ争、例えば硫酸または熱槽−中でのタロ
ム駿ＩＩＪ１ｉｌ、衰■の例えば１００℃以上でのオゾ
ン曝露、表面のコロナ゛処理を伴う高圧電撃曝露などの
書法がありが、その効果のあ為ことと作置の審鳥さの点
で、コロナ高圧電撃曝露！Ｉ＆理がＷましいもので島為
。
また表ｍＩ＆理剤としての有機ケイ素又は有機チタネー
ト単量体には、シリアルコキシシラン、ナタネート化合
物などが挙げられ為。
ト単量体には、シリアルコキシシラン、ナタネート化合
物などが挙げられ為。
ξれもの処理層は、予めポリメチルペンテンフィルム（
又はシート）の−力又は両方の表面に形成してシ論、形
成面に透明導−電膜を形威す為こともで膜島、″゛ □ かか為処理層は、本発明の液晶表示セルＩ基板１喝いて
形成してなる液晶表示セルの一方又は両方の麦ＵｊＪＫ
配置される装置用物品との接着強度の向上、耐湿性の向
上及び耐薬品性の同上などに寄与する。
又はシート）の−力又は両方の表面に形成してシ論、形
成面に透明導−電膜を形威す為こともで膜島、″゛ □ かか為処理層は、本発明の液晶表示セルＩ基板１喝いて
形成してなる液晶表示セルの一方又は両方の麦ＵｊＪＫ
配置される装置用物品との接着強度の向上、耐湿性の向
上及び耐薬品性の同上などに寄与する。
該物品としては、偏光子の片面又は両面に保護層を設け
てな晶偏光板、反射板、光拡散板或いは補強Ｉ［など、
またはこれらの組み杏せ品などがある。
てな晶偏光板、反射板、光拡散板或いは補強Ｉ［など、
またはこれらの組み杏せ品などがある。
これらの物品は、液晶表示セル用基板の非逓明専電膜形
ａｌｌ［％接着剤（感圧タイプを含む）１１１着などの
接着手段を用いて形成することは、切断加工時の工程短
縮、実装時の作業性向上などの点から好オしいものであ
る。
ａｌｌ［％接着剤（感圧タイプを含む）１１１着などの
接着手段を用いて形成することは、切断加工時の工程短
縮、実装時の作業性向上などの点から好オしいものであ
る。
前記の物品について説明すす、偏光板は、ポリビニルア
ルコール系フィルム、部分ホルマール化ポリビニルアシ
プール系フィルム、エチレン−酸ビニル共重合体系ケン
化フィルムの如き親水性高什子系フィルムに、沃素及び
／又は二色性染料を吸着して配向せしめた沃素又は染料
系偏光子、或いはポリ塩化ビニルフィルムを脱ｍ１ＤＩ
理すｂか、またはポリビニルアルコール系フィルムを膨
水処理してポリエンを形成してなるポリエン系偏光子の
片面又は両面に、保１ＩＩＩｔ−設けて１ｋＪ１もので
あ為・ 保護層は、予めポリマーをフィルム化しておいて、接着
剤、−一、連着などの接着手段ｔ１１１いて偏光子表面
に形成されるほかに、塗布硬化し得為５ｓｉｔｔ−硼光
子麦面に塗設して加篠硬化、紫外線または電子線硬化な
どの硬化手段ｔｍ％Ａて樹脂膜を作りて形威すｈこｔも
で膜島。
ルコール系フィルム、部分ホルマール化ポリビニルアシ
プール系フィルム、エチレン−酸ビニル共重合体系ケン
化フィルムの如き親水性高什子系フィルムに、沃素及び
／又は二色性染料を吸着して配向せしめた沃素又は染料
系偏光子、或いはポリ塩化ビニルフィルムを脱ｍ１ＤＩ
理すｂか、またはポリビニルアルコール系フィルムを膨
水処理してポリエンを形成してなるポリエン系偏光子の
片面又は両面に、保１ＩＩＩｔ−設けて１ｋＪ１もので
あ為・ 保護層は、予めポリマーをフィルム化しておいて、接着
剤、−一、連着などの接着手段ｔ１１１いて偏光子表面
に形成されるほかに、塗布硬化し得為５ｓｉｔｔ−硼光
子麦面に塗設して加篠硬化、紫外線または電子線硬化な
どの硬化手段ｔｍ％Ａて樹脂膜を作りて形威すｈこｔも
で膜島。
接着手段１喝いて偏光子表面に形成されて保護層とされ
るフィルムとしては、セルロース系フィルムが代衰鈎で
あ為が、ポリアクリル系、ポリカーボネート系、ポリエ
ステル系、ポリスにホン系、ポリエーテルスルホシ系、
ポリイミド系、ポリメチルペンテン系の如きプラスチッ
クからなるツ４ルムも使用され為、オた樹脂膜を構成す
る樹脂としては、ポリタレタン系樹脂、アクリル系重合
極１１１にどがあ為。
るフィルムとしては、セルロース系フィルムが代衰鈎で
あ為が、ポリアクリル系、ポリカーボネート系、ポリエ
ステル系、ポリスにホン系、ポリエーテルスルホシ系、
ポリイミド系、ポリメチルペンテン系の如きプラスチッ
クからなるツ４ルムも使用され為、オた樹脂膜を構成す
る樹脂としては、ポリタレタン系樹脂、アクリル系重合
極１１１にどがあ為。
反射板にはアルミニ暴クム箔、金属蒸着フィルムなどが
使用され、光拡散板には表面エンボス加工しえプラスチ
ックシート、光拡散性物質を分数したプラスチックシー
トなどが使ｊＩされ為。
使用され、光拡散板には表面エンボス加工しえプラスチ
ックシート、光拡散性物質を分数したプラスチックシー
トなどが使ｊＩされ為。
本発明の液晶表示セル用基板を用いて構成した液晶表示
セルは、光学特性（ｑ視覚線透過率８０哄以上）耐熱性
（融点Ｘ５Ｏ−意４０℃）、耐薬品性、熱安定性などに
優れしかも低密度（Ｏ，ａＳ ）であるポリメチルペン
テンフィルム（又ハシート）を基板素材ｔして構成され
てい為ので、セル自体が液晶組成物の影響を受けて化学
変化す為ことがないこと、セル全体を可撓性含有するフ
ィルム（又はシート）で構成されてＬＡＸので金体を嵩
低く且つ軽くでき、従って液晶表示装置を小製化で膜島
という特徴を有す為。
セルは、光学特性（ｑ視覚線透過率８０哄以上）耐熱性
（融点Ｘ５Ｏ−意４０℃）、耐薬品性、熱安定性などに
優れしかも低密度（Ｏ，ａＳ ）であるポリメチルペン
テンフィルム（又ハシート）を基板素材ｔして構成され
てい為ので、セル自体が液晶組成物の影響を受けて化学
変化す為ことがないこと、セル全体を可撓性含有するフ
ィルム（又はシート）で構成されてＬＡＸので金体を嵩
低く且つ軽くでき、従って液晶表示装置を小製化で膜島
という特徴を有す為。
１また上記基板と偏光板の如き装置用物品とを予め組与
番せると、切断加工時の工＠短縮、実装時の作業性の向
上などの利点が得られ為。
番せると、切断加工時の工＠短縮、実装時の作業性の向
上などの利点が得られ為。
次に本発明の実施例を示す。
一施例１
縦方向のみ［１５０哄延伸し且つ１８０℃で５分間ヒー
トセットしたポリメチルペンテンフィルムＣ厚さ１００
声鯛）を２極高周波スパッタ装置の一方の電極に固定し
、装置内雰囲気をアルゴンガスで＃たし５Ｘ１０Ｔｏｒ
ｒ［保持す為。次にＩＢ、Ｓ６ Ｍ ｋｉｇの高周波電
圧を印加し、款電電力ｔＯ，！！ Ｗ／ｄ Ｋ ｌｋ為
ように調整して２秒間スパッタエツチング＠ｌｌｌを施
し、基板素材を得為。
トセットしたポリメチルペンテンフィルムＣ厚さ１００
声鯛）を２極高周波スパッタ装置の一方の電極に固定し
、装置内雰囲気をアルゴンガスで＃たし５Ｘ１０Ｔｏｒ
ｒ［保持す為。次にＩＢ、Ｓ６ Ｍ ｋｉｇの高周波電
圧を印加し、款電電力ｔＯ，！！ Ｗ／ｄ Ｋ ｌｋ為
ように調整して２秒間スパッタエツチング＠ｌｌｌを施
し、基板素材を得為。
次に該フィルムの非処理面にＤＣ−プレーナマグネトロ
ンスパッタリング法にて、４００Ａｊｌの透明導電膜ｔ
−ＷＩＦｉＬする。 。
ンスパッタリング法にて、４００Ａｊｌの透明導電膜ｔ
−ＷＩＦｉＬする。 。
なおスバ！り蒸着は、金属インジ島りムを金属スズとか
らなるターグット（金属スズ含量１０重量哄）を用い、
３Ｘ１０Ｔｏｒｒの混合ガス（酸素：アルゴン冨意：８
一体積比一）雰−気中で、−Ａ／秒の１着遍度で行った
。
らなるターグット（金属スズ含量１０重量哄）を用い、
３Ｘ１０Ｔｏｒｒの混合ガス（酸素：アルゴン冨意：８
一体積比一）雰−気中で、−Ａ／秒の１着遍度で行った
。
このようにして得られ九本尭明の液晶表示セル用基板は
、シート抵抗４００Ω／口、可視光線透過率Ｓ２哄であ
りた。
、シート抵抗４００Ω／口、可視光線透過率Ｓ２哄であ
りた。
実施例！ ・ ・ 。
縦方向の４Ｋｍ・０哄延伸し且つ２３０℃で１分間ヒー
トセットしたポリメチルペンテンフィルム（厚１ｋ１２
６声調）の一方の面に、コロナ高圧電撃曝露処理を施し
、＆板素材を得為。
トセットしたポリメチルペンテンフィルム（厚１ｋ１２
６声調）の一方の面に、コロナ高圧電撃曝露処理を施し
、＆板素材を得為。
次に該フィルムの非６運面に、電子ビーム加飾法にて、
５００Ａ厚の透明導電膜をｆＶｓ成する。
５００Ａ厚の透明導電膜をｆＶｓ成する。
なお蒸着は、酸化インジ−タム９０重量部と酸化スズ１
０重量部とからなる混合物Ｙｒ蒸発源とし、ｌ Ｘ １
＠ ”Ｔ＠ｒｒの酸素雰囲気中で、８λ／秒の蒸着
速度で行い、これ［１２０℃で４８時間酸化蛛理して行
９た。
０重量部とからなる混合物Ｙｒ蒸発源とし、ｌ Ｘ １
＠ ”Ｔ＠ｒｒの酸素雰囲気中で、８λ／秒の蒸着
速度で行い、これ［１２０℃で４８時間酸化蛛理して行
９た。
得られた液晶表示セル用基板は、シート抵抗４３０Ω／
口、可視光線透過率８３哄でありた。
口、可視光線透過率８３哄でありた。
実施例３
縦方向のみに１５０哄延伸し且つ１８０℃で暴分間ヒー
トセットしてなるポリメチルペンテンフィルム（厚さ１
００μｍ、 ）の一方の面に、実施例１と同様の操作に
てスパッタエツチングＩＪ＆理を行い、基板素材ｔ＃為
。
トセットしてなるポリメチルペンテンフィルム（厚さ１
００μｍ、 ）の一方の面に、実施例１と同様の操作に
てスパッタエツチングＩＪ＆理を行い、基板素材ｔ＃為
。
次に該フィルムの非処理面に、スパッタリング法−て・
厚さ３！５ＯＡＩＦ）透明導電ｌＩＩを形威すふ・なお
蒸着は、ヘンジャー内ｔｌＸ１０ Ｔｏｒｒに排気し
た後、酸素ガスＩＭ体積哄とアルゴンガス体！哄とから
な今混合ガス倉本槽に通して豹ｇｏ哄Ｒ，Ｈ，の加温ガ
スとして導入し１、Ｚ Ｘ Ｉ Ｏ−”Ｔａｒｔ ＃）
Ａ 空度［ＪＩＩＩＬ、次にタングステンボードＫｓ
Ｉ填された金属インジークムと金属スズとからな為１発
ｊ［（金属スズ含量１０重＊Ｓ）からなる抵抗加熱によ
って蒸発源から３０為Ｑ距＊にセットした上記フィルム
に３Ａ／秒の蒸着速度で行い、これを１２０℃で４８時
ＩＩＩ駿化熱処ｊＩｔ行２＊。
厚さ３！５ＯＡＩＦ）透明導電ｌＩＩを形威すふ・なお
蒸着は、ヘンジャー内ｔｌＸ１０ Ｔｏｒｒに排気し
た後、酸素ガスＩＭ体積哄とアルゴンガス体！哄とから
な今混合ガス倉本槽に通して豹ｇｏ哄Ｒ，Ｈ，の加温ガ
スとして導入し１、Ｚ Ｘ Ｉ Ｏ−”Ｔａｒｔ ＃）
Ａ 空度［ＪＩＩＩＬ、次にタングステンボードＫｓ
Ｉ填された金属インジークムと金属スズとからな為１発
ｊ［（金属スズ含量１０重＊Ｓ）からなる抵抗加熱によ
って蒸発源から３０為Ｑ距＊にセットした上記フィルム
に３Ａ／秒の蒸着速度で行い、これを１２０℃で４８時
ＩＩＩ駿化熱処ｊＩｔ行２＊。
、得られた液晶表示セＪ４／眉基板は、シート抵抗４８
０Ω／口、可視光橡瀘道率８４％であった。
０Ω／口、可視光橡瀘道率８４％であった。
実施例４
ポリビニルアルコール系フ（ルム會沃索濃ｆｆ１１重量
哄、沃化カリａクム濃度２ＸＩＪｌｉ％及びホク酸濃度
４重ｔＳＫ−隻した水浴中に浸漬して約３倍Ｋｊ＠−延
伸し、その後水洗して風乾し、偏光度８ｚ哄、厚さ２３
声喝の１光子を得す。
哄、沃化カリａクム濃度２ＸＩＪｌｉ％及びホク酸濃度
４重ｔＳＫ−隻した水浴中に浸漬して約３倍Ｋｊ＠−延
伸し、その後水洗して風乾し、偏光度８ｚ哄、厚さ２３
声喝の１光子を得す。
次にこの偏光子の両面に、縦方向のみに２００哄延伸し
且つ１６０哄で１０分間ヒートセットし九ポリメチルペ
ンテンフィルム（厚さ１００μＳ）をアクリル系接着剤
１１いて貼り会せ、偏光板とすふ。
且つ１６０哄で１０分間ヒートセットし九ポリメチルペ
ンテンフィルム（厚さ１００μＳ）をアクリル系接着剤
１１いて貼り会せ、偏光板とすふ。
次にこの偏光板の一方の面に％実施例１で用いた方法に
より、厚さ４５０Ａの透明導電１１１′に形成し、偏光
板付き液晶表示セｔ＆／ｙｓ基板會得る。
より、厚さ４５０Ａの透明導電１１１′に形成し、偏光
板付き液晶表示セｔ＆／ｙｓ基板會得る。
実施例５
実施例４の偏光子の両面にアクリル系重合樹脂を塗設し
て、大々厚さ１５０μ−の婁ｍ１ｌＩｔ形直し、偏光板
を得る。
て、大々厚さ１５０μ−の婁ｍ１ｌＩｔ形直し、偏光板
を得る。
次にこの偏光板の一方の面に、縦方向のみにｌ藤Ｏ哄延
伸し且つ１８０℃で５分間ヒートセットした薄匹ポリメ
チルペンテンフィルム（厚さｓＯ声ＩＩＩ）ｔポリエス
テル系接着剤を用いて貼伽杏せ、次にこのポリメチルペ
ンテンフィルム＃Ｊ＃ｃ１実施例１で用いた方法により
、厚さ４５０Ａの透明導電膜を形成し、偏光板にて支持
された液晶表示セル用基板を得る。
伸し且つ１８０℃で５分間ヒートセットした薄匹ポリメ
チルペンテンフィルム（厚さｓＯ声ＩＩＩ）ｔポリエス
テル系接着剤を用いて貼伽杏せ、次にこのポリメチルペ
ンテンフィルム＃Ｊ＃ｃ１実施例１で用いた方法により
、厚さ４５０Ａの透明導電膜を形成し、偏光板にて支持
された液晶表示セル用基板を得る。
特許出願人
日東電気工業株式会社
代表者土方三部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）一方向のみに少なくと１３哄延伸してなる〆リメナ
ルベンテンフィルム（又はシー））の一方の’ＭＫ％遍
明導電ＩＩＩＩを設けて′１にゐ液晶表示セル用基板。 １）ポ１Ｊメチルベンテンフ（ルム・（又はシート）の
延伸率事１ａ〜ｍ）Ｏｆｉ＄であゐ特許請求の範ａｌｆ
ｌｌｉｌＪＪＩ記職の櫃轟−麦示セル用基板。 ３） 特許請求の範囲第１項記霞の蝋晶麦示セル層基板
の他力の面に、偏光板ｔ−設けて′１に１亀の。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12038081A JPS5821230A (ja) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | 液晶表示セル用基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12038081A JPS5821230A (ja) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | 液晶表示セル用基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5821230A true JPS5821230A (ja) | 1983-02-08 |
Family
ID=14784767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12038081A Pending JPS5821230A (ja) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | 液晶表示セル用基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5821230A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009163232A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-23 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 画像表示装置 |
-
1981
- 1981-07-30 JP JP12038081A patent/JPS5821230A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009163232A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-23 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 画像表示装置 |
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