JPS58208181A - 炭化ケイ素−炭素複合材料製造用支持具 - Google Patents
炭化ケイ素−炭素複合材料製造用支持具Info
- Publication number
- JPS58208181A JPS58208181A JP57092708A JP9270882A JPS58208181A JP S58208181 A JPS58208181 A JP S58208181A JP 57092708 A JP57092708 A JP 57092708A JP 9270882 A JP9270882 A JP 9270882A JP S58208181 A JPS58208181 A JP S58208181A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- carbon
- composite material
- carbon composite
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は炭化ケイ素−炭素複合材料製造用支持具に関す
る。
る。
炭化ケイ素−炭素複合材料はすぐれた摺動性能からメカ
ニカルシール材、軸受等に使用され。
ニカルシール材、軸受等に使用され。
また耐汚染性の点から電子部品用の各種治具に使用され
ている。このような炭化ケイ素−炭素複合材料を製造す
る方法はＳｉあるいはＳｉＯ含有雰囲気の空間に炭素材
料を支持し９反応させる方法である。ここで炭素材料と
いう言葉は黒鉛質、炭素質を含む広い意味で使用される
。この場合、炭素材料を支持するために炭素棒を並べそ
の上にのせるか（米国特許第２，６７７．６２７号明細
書）または吊シ下げる方法が用いられる。
ている。このような炭化ケイ素−炭素複合材料を製造す
る方法はＳｉあるいはＳｉＯ含有雰囲気の空間に炭素材
料を支持し９反応させる方法である。ここで炭素材料と
いう言葉は黒鉛質、炭素質を含む広い意味で使用される
。この場合、炭素材料を支持するために炭素棒を並べそ
の上にのせるか（米国特許第２，６７７．６２７号明細
書）または吊シ下げる方法が用いられる。
炭素棒の断面形状は円、三角、あるいは他の多角形のい
ずれでもよい。また炭素棒は１回使用すると表面がＳＩ
Ｃに変わシ、２回目以降に使用する場合は炭化ケイ素−
炭素複合材料となる。
ずれでもよい。また炭素棒は１回使用すると表面がＳＩ
Ｃに変わシ、２回目以降に使用する場合は炭化ケイ素−
炭素複合材料となる。
このような支持具を用いたときは反応後接触部が同質の
β型炭化ケイ素結晶となるため固着し。
β型炭化ケイ素結晶となるため固着し。
うまくはがれないで炭素材料のＳｉＣ層がむしれること
が多く、大きな問題である。
が多く、大きな問題である。
本発明はこのような問題のない炭化ケイ素−炭素複合材
料製造用支持具を提供することを目的とする。
料製造用支持具を提供することを目的とする。
本発明者は前記支持具について研究を重ねた結果、密度
がＺ９ｆＰ／ｉ以上で本質的にα型の炭化ケイ素からな
る焼結体を用い、断面形状に制限はないが炭素材料と接
する部分の曲面半径（Ｒ）を０．５ ｗｒｍ以上にする
ことにょシ従来の固着という問題を解決出来ることを見
出した。
がＺ９ｆＰ／ｉ以上で本質的にα型の炭化ケイ素からな
る焼結体を用い、断面形状に制限はないが炭素材料と接
する部分の曲面半径（Ｒ）を０．５ ｗｒｍ以上にする
ことにょシ従来の固着という問題を解決出来ることを見
出した。
本発明は、炭素材料をＳｉ’ｊたはＳｉＯガスと反応さ
せて表面をＳｉＣに転化する際の炭素材料を空間に支持
するための炭素材料と接する部分のＲ５が０．５訂以上
で、かつ２．９ ？／ｃｒｔ？以上の密度を有し９本質
的にα型の炭化ケイ素焼結体からなる炭化ケイ素−炭素
複合材料製造用支持具に関する。
せて表面をＳｉＣに転化する際の炭素材料を空間に支持
するための炭素材料と接する部分のＲ５が０．５訂以上
で、かつ２．９ ？／ｃｒｔ？以上の密度を有し９本質
的にα型の炭化ケイ素焼結体からなる炭化ケイ素−炭素
複合材料製造用支持具に関する。
本質的にα型の炭化ケイ素からなる焼結体とは、α型の
炭化ケイ素以外に必然的に存在する１０％以下のβ型炭
化ケイ素結晶、焼結助剤としての１０％以下のアルミニ
ウム、ホウ素、ベリリウム等の化合物、さらにその他の
不純物を含むものである。密度が２．９ Ｐ／ｃｒｙ？
未満の焼結体９本質的にβ型炭化ケイ素からなる焼結体
および気孔に８１を含む焼結体は固着し易いので適さな
い。またＲが０．５圏未満では固着はしないが製品に深
さｏ、 ｉ ｍ未満の跡がつく欠点がある。
炭化ケイ素以外に必然的に存在する１０％以下のβ型炭
化ケイ素結晶、焼結助剤としての１０％以下のアルミニ
ウム、ホウ素、ベリリウム等の化合物、さらにその他の
不純物を含むものである。密度が２．９ Ｐ／ｃｒｙ？
未満の焼結体９本質的にβ型炭化ケイ素からなる焼結体
および気孔に８１を含む焼結体は固着し易いので適さな
い。またＲが０．５圏未満では固着はしないが製品に深
さｏ、 ｉ ｍ未満の跡がつく欠点がある。
好ましくは０．５〜５Ｗ＋である。炭素材料の表面をＳ
ｉＣにするには公知の方法を採用する。
ｉＣにするには公知の方法を採用する。
次に実施例を説明する。
実施例
第１図に示すように黒鉛製ルツボ１の中にシリカ粉末と
炭素粉末との等モル比混合物からなるＳｉＯガス発生涼
料２が５００１入った黒鉛製ケース３を入れ、その上に
第１表に示す各種断面形状の支持具４を置き、その上に
外径４９ ｗ 、高さ１５１１１１の黒鉛質炭素材料５
（カサ密度１．６０ ？／ｃｒｌ ）をのせ、さらにガ
ス抜穴６のある黒鉛製フタ７をし、全体を１９００℃の
窒素雰囲気の炉に入れ１時間反応させた。その結果を第
１表に示す。
炭素粉末との等モル比混合物からなるＳｉＯガス発生涼
料２が５００１入った黒鉛製ケース３を入れ、その上に
第１表に示す各種断面形状の支持具４を置き、その上に
外径４９ ｗ 、高さ１５１１１１の黒鉛質炭素材料５
（カサ密度１．６０ ？／ｃｒｌ ）をのせ、さらにガ
ス抜穴６のある黒鉛製フタ７をし、全体を１９００℃の
窒素雰囲気の炉に入れ１時間反応させた。その結果を第
１表に示す。
比較例
材料、密度、Ｒ寸法の一つ以上が本発明の要件を満足し
ない支持具を作り、他は実施例と同じ条件で黒鉛質炭素
材料の表面をＳｉＣに転化させた。
ない支持具を作り、他は実施例と同じ条件で黒鉛質炭素
材料の表面をＳｉＣに転化させた。
支持具の種類および反応後の固着状況を第１表に示した
。
。
第１表から明らか々ように９本発明の実施例に示される
支持具を用いたものは接触部の固着または炭素材料への
支持共の跡が認められなかったが。
支持具を用いたものは接触部の固着または炭素材料への
支持共の跡が認められなかったが。
比較例の本のは接触部の固着および／または炭素材料に
支持具の跡が見られた。
支持具の跡が見られた。
本発明の炭化ケイ素−炭素複合材料製造用支持具を使用
することにより、従来見られた炭素材料に固着したシ、
跡をつけたシする問題が解決される。
することにより、従来見られた炭素材料に固着したシ、
跡をつけたシする問題が解決される。
第１図は本発明になる炭化ケイ素−炭素複合材料製造用
支持具を用いた炭化ケイ素−炭素複合材料製造装置を示
す正面断面図である。 符号の説明 １・・・ルツボ ２・・・ＳｉＯガス発生原料３
・・・ケース ４・・・支持具５・・・炭素材料
６・・・ガス抜穴７・・・フタ 代理人 弁理士 若 林 邦 彦 ％１ 口
支持具を用いた炭化ケイ素−炭素複合材料製造装置を示
す正面断面図である。 符号の説明 １・・・ルツボ ２・・・ＳｉＯガス発生原料３
・・・ケース ４・・・支持具５・・・炭素材料
６・・・ガス抜穴７・・・フタ 代理人 弁理士 若 林 邦 彦 ％１ 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 炭素材料をＳｉまたはＳｉＯガスと反応させて。 その表面を５ｉＣｉＣ転化する際の炭素材料を空間に支
持するための炭素材料と接する部分のＲが０、５１１１
１１以上で、かつ２．９Ｐ／ａｔ？以上の密度を有し本
質的にα型の炭化ケイ素焼結体からなる炭化ケイ素−炭
素複合材料製造用支持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57092708A JPS58208181A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 炭化ケイ素−炭素複合材料製造用支持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57092708A JPS58208181A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 炭化ケイ素−炭素複合材料製造用支持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58208181A true JPS58208181A (ja) | 1983-12-03 |
Family
ID=14061967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57092708A Pending JPS58208181A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | 炭化ケイ素−炭素複合材料製造用支持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58208181A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5011408A (ja) * | 1973-05-31 | 1975-02-05 | ||
| JPS5149207A (ja) * | 1974-07-29 | 1976-04-28 | Bulten Kanthal Ab |
-
1982
- 1982-05-31 JP JP57092708A patent/JPS58208181A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5011408A (ja) * | 1973-05-31 | 1975-02-05 | ||
| JPS5149207A (ja) * | 1974-07-29 | 1976-04-28 | Bulten Kanthal Ab |
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