JPS58186555A - 合金系軟質磁性材料の精密研摩方法 - Google Patents
合金系軟質磁性材料の精密研摩方法Info
- Publication number
- JPS58186555A JPS58186555A JP57067987A JP6798782A JPS58186555A JP S58186555 A JPS58186555 A JP S58186555A JP 57067987 A JP57067987 A JP 57067987A JP 6798782 A JP6798782 A JP 6798782A JP S58186555 A JPS58186555 A JP S58186555A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- fine powder
- soft magnetic
- polisher
- polishing
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、パーマロイ、センダスト等の合金系軟質磁
性材料の表面を精密平面に加工する研摩方法に関する。
性材料の表面を精密平面に加工する研摩方法に関する。
９日、コンピューター用を始めオーディオ用、ＶＴＲ用
等の記録再生用磁気ヘッドは、記録密度の重密度化なら
びに耐摩耗特性の改善が強く求められており、このため
ｉ、ｃ、テクノロジーを用い−Ｃ鯛造する薄膜磁気・＼
ラドが最適と稀見られている。
等の記録再生用磁気ヘッドは、記録密度の重密度化なら
びに耐摩耗特性の改善が強く求められており、このため
ｉ、ｃ、テクノロジーを用い−Ｃ鯛造する薄膜磁気・＼
ラドが最適と稀見られている。
この薄ｓｆＢ＊ヘッドには、紀婦再牛のための磁気回路
部材用材料と、スライダー必るいは耐摩耗用部材材料の
各々に、それぞれに賛求される特性を満足した１１１１
Ｉ別の材料が選定される。
部材用材料と、スライダー必るいは耐摩耗用部材材料の
各々に、それぞれに賛求される特性を満足した１１１１
Ｉ別の材料が選定される。
かかる磁気回路部材用の軟質磁性材料として、Ｍｎ −
Ｚｎフェライトｒ Ｎｉ Ｚｎフェライト、センダ
スト等が用いられており、特にセンダストは代表的なパ
ーマロイに比較して、飽和磁束密度が高く、かつ抗磁力
も低く、さらに＃！度が四〈耐摩耗性にもすぐれている
ため、いわゆるメタルテープを使用′ｒる薄＊ａ気ヘッ
ドに迩した基板材料である。
Ｚｎフェライトｒ Ｎｉ Ｚｎフェライト、センダ
スト等が用いられており、特にセンダストは代表的なパ
ーマロイに比較して、飽和磁束密度が高く、かつ抗磁力
も低く、さらに＃！度が四〈耐摩耗性にもすぐれている
ため、いわゆるメタルテープを使用′ｒる薄＊ａ気ヘッ
ドに迩した基板材料である。
筐た、薄膜磁気ヘッドの＃１に気回路部材は磁性材料で
あるため、表面加工に際して無変質−而となし表面−の
磁米特性の劣化を酌ｌＥシなけれはならない。このため
１．りλかる磁性紙板表向は表面粗さ５０Ａ以ト°の精
度に仕上げる必要がある。
あるため、表面加工に際して無変質−而となし表面−の
磁米特性の劣化を酌ｌＥシなけれはならない。このため
１．りλかる磁性紙板表向は表面粗さ５０Ａ以ト°の精
度に仕上げる必要がある。
従来の研摩方法には、ダイヤ七ンド倣粉末を砥粒とする
機械研摩方法や、う・ツピノグフイルムやＡ ＃ｔ ｏ
、倣粉禾を用いたパフ研摩法が適用されていた。しかし
、センダスト、パー／ ＬＪイ等の合金系軟質磁性材料
においては、研摩した表面層に、いわゆるピット、ディ
ンプル、梨地面の加工変形。
機械研摩方法や、う・ツピノグフイルムやＡ ＃ｔ ｏ
、倣粉禾を用いたパフ研摩法が適用されていた。しかし
、センダスト、パー／ ＬＪイ等の合金系軟質磁性材料
においては、研摩した表面層に、いわゆるピット、ディ
ンプル、梨地面の加工変形。
加工流動層、おるいは応力残留層が存在し、後上程に２
ける悪影響並ひに表面における磁気特性の劣化を招きや
すく、また、結晶方位による化学的侵蝕速度が各々異な
るため結晶段差が発生し一？ｒくなる等、多くの問題が
あった。
ける悪影響並ひに表面における磁気特性の劣化を招きや
すく、また、結晶方位による化学的侵蝕速度が各々異な
るため結晶段差が発生し一？ｒくなる等、多くの問題が
あった。
この発明は、上述の問題点を解決するもので、ヒンダス
ト等の合金系軟質磁性材料表面を、表【「１層の磁気特
性の劣化並びに応力残留層の成牛を防止し′Ｃ表面粗大
５０Ａ以下の精密平面に加工できる精密ａｆＭＪｊ法を
提案することを目的としている。
ト等の合金系軟質磁性材料表面を、表【「１層の磁気特
性の劣化並びに応力残留層の成牛を防止し′Ｃ表面粗大
５０Ａ以下の精密平面に加工できる精密ａｆＭＪｊ法を
提案することを目的としている。
すなわち、この発明は、合金系軟質磁性材料表面に、粒
径１〜３μｍのダイヤセンド微粉末を砥粒とする機械な
［摩を施した後、粒径０．０５μｍ以ト０）ＭｇＯ、Ｓ
ｉＯ□の単独又は混合微細粉末を純水中に０５〜２１１
ｗｔ％懸濁させた懸濁液中において、ポリツ／′ヤー
を用い′Ｃ加圧回転させて研摩を施こすこと（要旨とす
る合金系軟質磁性材料の精密研華力？去である。
径１〜３μｍのダイヤセンド微粉末を砥粒とする機械な
［摩を施した後、粒径０．０５μｍ以ト０）ＭｇＯ、Ｓ
ｉＯ□の単独又は混合微細粉末を純水中に０５〜２１１
ｗｔ％懸濁させた懸濁液中において、ポリツ／′ヤー
を用い′Ｃ加圧回転させて研摩を施こすこと（要旨とす
る合金系軟質磁性材料の精密研華力？去である。
具体的に＆を着力法を説明ｒると、粒径０．０５μｍ以
ＦのＭｇＯ＋ ｂ１０２の単独又は混合微細粉末を純
水中に所Ｗ割合でＭ〜ぴせた故を貯めた容器内に、例え
ば硬質クロス、５口等からなる円盤型のポリツ／ヤーを
回転ｐ」能に配設［７て、被加玉伺をこの懸濁液中でポ
リッ／ヤー表血に所定荷繊で当接させ、内省を相対的に
回転芒ぜてωｔｌ＃をイｔなう方法Ｃある。
ＦのＭｇＯ＋ ｂ１０２の単独又は混合微細粉末を純
水中に所Ｗ割合でＭ〜ぴせた故を貯めた容器内に、例え
ば硬質クロス、５口等からなる円盤型のポリツ／ヤーを
回転ｐ」能に配設［７て、被加玉伺をこの懸濁液中でポ
リッ／ヤー表血に所定荷繊で当接させ、内省を相対的に
回転芒ぜてωｔｌ＃をイｔなう方法Ｃある。
この発明においＣ１；ｊ？ リッ／ヤー材及び回転速良
、 ＊＊圧力は、微細粉本の粒径や純水中の懸濁緻、被
加工材等の兼汗により適宜選定すればよい。
、 ＊＊圧力は、微細粉本の粒径や純水中の懸濁緻、被
加工材等の兼汗により適宜選定すればよい。
また、ＭｇＯ＋ ５ｉ０２の単独又は混合微細粉末の
粒＠ｋを０．０５μｍ以トとしたのは、０．（’１５μ
ｍを超えると４ｔｌｆ摩能力が低ドシて研摩時間が艮く
なるためでめる。
粒＠ｋを０．０５μｍ以トとしたのは、０．（’１５μ
ｍを超えると４ｔｌｆ摩能力が低ドシて研摩時間が艮く
なるためでめる。
また、純水中Ｖこ懸濁させる微細粉本の縁は、０５ｗ９
％未満では研摩効果が少く、２層ｗｔ％を超えると各ｆ
ＪＩｔ細粉末による水和熱の発生めるいはゲル化し５易
くかつ粘性が犬さくなり、ωｔ＊龍率が低トＴるため、
（１５〜２０ ｗｔ％ とする。さらに、このＭ濁液は
研摩能率及び腐蝕性の点からｆルヵり性領域で用いるの
が望ましい。
％未満では研摩効果が少く、２層ｗｔ％を超えると各ｆ
ＪＩｔ細粉末による水和熱の発生めるいはゲル化し５易
くかつ粘性が犬さくなり、ωｔ＊龍率が低トＴるため、
（１５〜２０ ｗｔ％ とする。さらに、このＭ濁液は
研摩能率及び腐蝕性の点からｆルヵり性領域で用いるの
が望ましい。
次に、この発明を★施例に基づいて説明する。
まず加１する磁性材料には、Ｆｅ８５ｗｔ％、 Ａ４５
．４ｗｔ％、 Ｓｊ ９．６Ｗｔ９６からなるセンダ
スト索ｔ４を、所定形状に切断後、研摩面に粒径が２μ
ｍのダイヤモンド微粉末を砥粒としてＳｎ＠ｇをラッグ
とする７Ａ］圧力０．７ｋｆ／ｍ、回転数７Ｏｒｐｍの
ラッしングを施した。
．４ｗｔ％、 Ｓｊ ９．６Ｗｔ９６からなるセンダ
スト索ｔ４を、所定形状に切断後、研摩面に粒径が２μ
ｍのダイヤモンド微粉末を砥粒としてＳｎ＠ｇをラッグ
とする７Ａ］圧力０．７ｋｆ／ｍ、回転数７Ｏｒｐｍの
ラッしングを施した。
次いで、第１表に示す性状からなる純水中Ｍ濁液中で、
ポリッンヤーに硬質クロスを用いてｏ５ｋｙ／−の荷車
ｓ ４０ （ｐＨ）の回転数で行なうこの発明シ′こ
よる研摩方法を、上記素材のラッピング面に施した。
ポリッンヤーに硬質クロスを用いてｏ５ｋｙ／−の荷車
ｓ ４０ （ｐＨ）の回転数で行なうこの発明シ′こ
よる研摩方法を、上記素材のラッピング面に施した。
研皐後、水相表面の表面粗場と結晶段差を表１１段差測
’Ｎ ＠（Ｔｄｌｙｏｔｅｐ ＋ スタイラス先端は０
．１層ｍＲ）により測定した。その結果を第１表に示す
。
’Ｎ ＠（Ｔｄｌｙｏｔｅｐ ＋ スタイラス先端は０
．１層ｍＲ）により測定した。その結果を第１表に示す
。
なお・、第１表にνいて、試験Ａｌ〜５はこの発明に、
よる′４１！施例であり、Ａ６．７は比較方法である。
よる′４１！施例であり、Ａ６．７は比較方法である。
第１表の結果から明らかなように、この発明方法により
加工したセンダスト木材表向は、表面粗さ並びに結晶段
差が極めて小さく、すぐれた精密平面が錫られたことが
わかる。また、加工能率も良好でめった。
加工したセンダスト木材表向は、表面粗さ並びに結晶段
差が極めて小さく、すぐれた精密平面が錫られたことが
わかる。また、加工能率も良好でめった。
第 １ 表
Claims (1)
- １ 会合系軟質磁性材料表面に、ダイヤセンド微粉末を
砥粒とする機械研摩を施した後、粒径０．０５μｍ以ｆ
Ｏ，） ＭｇＯ、Ｓ＋０．の単独又は混合微細粉末を
純水中に０５〜２０Ｗｔチ懸滴させた懸濁峻中にνいて
、ボリツンヤーを用いて加圧Ｍ転させて研摩を施こすこ
とを特徴とする合金系軟質磁性材料の精密研摩方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57067987A JPS58186555A (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | 合金系軟質磁性材料の精密研摩方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57067987A JPS58186555A (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | 合金系軟質磁性材料の精密研摩方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58186555A true JPS58186555A (ja) | 1983-10-31 |
Family
ID=13360830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57067987A Pending JPS58186555A (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | 合金系軟質磁性材料の精密研摩方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58186555A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS578966U (ja) * | 1980-06-17 | 1982-01-18 | ||
| JPS5717113U (ja) * | 1980-07-01 | 1982-01-28 |
-
1982
- 1982-04-21 JP JP57067987A patent/JPS58186555A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS578966U (ja) * | 1980-06-17 | 1982-01-18 | ||
| JPS5717113U (ja) * | 1980-07-01 | 1982-01-28 |
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