JPS5818213B2 - スライシング用内周刃 - Google Patents
スライシング用内周刃Info
- Publication number
- JPS5818213B2 JPS5818213B2 JP56040477A JP4047781A JPS5818213B2 JP S5818213 B2 JPS5818213 B2 JP S5818213B2 JP 56040477 A JP56040477 A JP 56040477A JP 4047781 A JP4047781 A JP 4047781A JP S5818213 B2 JPS5818213 B2 JP S5818213B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slicing
- diameter
- blade
- inner peripheral
- punch holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
- B24D5/12—Cut-off wheels
- B24D5/126—Cut-off wheels having an internal cutting edge
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
- B23D61/02—Circular saw blades
- B23D61/025—Details of saw blade body
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
- B23D61/02—Circular saw blades
- B23D61/10—Circular saw blades clamped between hubs; Clamping or aligning devices therefor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/929—Tool or tool with support
- Y10T83/9372—Rotatable type
- Y10T83/9403—Disc type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体素材シリコンウェハなどのスライシング
に用いられるドーナツ形薄鋼板の内周縁に刃部を設は外
周縁部をホルダに固着するようにした内周式スライシン
グ盤用のスライシング用内周刃の改良に関する。
に用いられるドーナツ形薄鋼板の内周縁に刃部を設は外
周縁部をホルダに固着するようにした内周式スライシン
グ盤用のスライシング用内周刃の改良に関する。
従来は半導体シリコンウエノ・などのスライシングに使
われるスライシング用内周刃を張り上げるに際して、全
円周に均一な半径方向の張力を与えて張り上げても、ス
ライシング用内周刃のドーナツ形薄鋼板の素材は通常5
US304の帯状の圧延薄板材より、外内径部分および
締付ボルト孔などをプレス加工によって打抜いて成形す
るものであるため、内周刃は素材の圧延方向によって伸
び率が異なるため、その内周縁は真円とはならず、圧延
の影響による弾性係数の差により、圧延方向と直角の方
向に、□より多くの伸び率に相当した長軸の楕円となっ
て、張り上げられる。
われるスライシング用内周刃を張り上げるに際して、全
円周に均一な半径方向の張力を与えて張り上げても、ス
ライシング用内周刃のドーナツ形薄鋼板の素材は通常5
US304の帯状の圧延薄板材より、外内径部分および
締付ボルト孔などをプレス加工によって打抜いて成形す
るものであるため、内周刃は素材の圧延方向によって伸
び率が異なるため、その内周縁は真円とはならず、圧延
の影響による弾性係数の差により、圧延方向と直角の方
向に、□より多くの伸び率に相当した長軸の楕円となっ
て、張り上げられる。
例えば、ボルト締め張り上げ法では、スライシング用内
周刃を素材圧延方向には強く締め付けまた、圧延方向と
直角の方向には緩く締め付けるといった調整が不可欠で
あり、これに多大の熟練と作業時間とを要し、現場作業
の隘路となっている。
周刃を素材圧延方向には強く締め付けまた、圧延方向と
直角の方向には緩く締め付けるといった調整が不可欠で
あり、これに多大の熟練と作業時間とを要し、現場作業
の隘路となっている。
また一方、油圧張り上げ方法では、張り上げ操作は比較
的簡単で、短時間で張り上げることはできても、スライ
シング用内周刃の応力調整、即ち内周刃部の真円度調整
が出来ないのが難点となっている。
的簡単で、短時間で張り上げることはできても、スライ
シング用内周刃の応力調整、即ち内周刃部の真円度調整
が出来ないのが難点となっている。
スライシング用内周刃の張り上げ後に内周刃部が楕円と
なると、スライシングの際、刃面が片当りとなるため、
刃部の耐久寿命が著しく損なわれるなど不具合があった
。
なると、スライシングの際、刃面が片当りとなるため、
刃部の耐久寿命が著しく損なわれるなど不具合があった
。
一方、本発明の出願人により特開昭54−31684号
公報第3図で開示したように、ドーナツ形薄鋼板の内周
縁に刃部を設け、周縁部をホルダに固着するスライシン
グ用内周刃において、ホルダのテンションリングの突起
部外周縁に接する張力発生部と刃部との中間のほぼ中央
において円周方向にほぼ等間隔に刃部における円周方向
応力増大用の円形の多数の抜き穴を列設したスライシン
グ用内周刃が提供されている。
公報第3図で開示したように、ドーナツ形薄鋼板の内周
縁に刃部を設け、周縁部をホルダに固着するスライシン
グ用内周刃において、ホルダのテンションリングの突起
部外周縁に接する張力発生部と刃部との中間のほぼ中央
において円周方向にほぼ等間隔に刃部における円周方向
応力増大用の円形の多数の抜き穴を列設したスライシン
グ用内周刃が提供されている。
かかる構成により、スライシング用内周刃張り上げの際
に同一の張り上げ力に対して内周刃面に生ずる円周方向
応力が大きくなるため、比較的に小さな張り上げ力によ
って同一の円周方向応力を発生させるものとなり、実用
上も張り上げ力を小さくすることが実験結果等によりき
わめて良好な成果が確認されている。
に同一の張り上げ力に対して内周刃面に生ずる円周方向
応力が大きくなるため、比較的に小さな張り上げ力によ
って同一の円周方向応力を発生させるものとなり、実用
上も張り上げ力を小さくすることが実験結果等によりき
わめて良好な成果が確認されている。
本発明の目的は、スライシング用内周刃の内径が張り上
げ後には、圧延方向の伸びと、圧延方向に対して直角な
方向の伸びとの差を補正して真円となるように、前記抜
き穴の直径は前記スライシング用内周刃の中心から前記
薄鋼板の素材圧延方向に向けて離隔するに従って順次前
記直径を犬にした、スライシング用内周刃を提供するこ
とにある。
げ後には、圧延方向の伸びと、圧延方向に対して直角な
方向の伸びとの差を補正して真円となるように、前記抜
き穴の直径は前記スライシング用内周刃の中心から前記
薄鋼板の素材圧延方向に向けて離隔するに従って順次前
記直径を犬にした、スライシング用内周刃を提供するこ
とにある。
以下この発明の実施例を図面を参照して説明する。
第1図において、スライシング用内周刃2はドーナツ形
薄鋼板の内周縁4に刃部5が設けられている。
薄鋼板の内周縁4に刃部5が設けられている。
スライシング用内周刃2の周縁部には第2図のようなボ
ルト11による取付は用の多数の穴19が穿設されてお
り、第2図および第3図で示すホルダ21,22に固着
される。
ルト11による取付は用の多数の穴19が穿設されてお
り、第2図および第3図で示すホルダ21,22に固着
される。
各ホルダ21.220テンションリング8,140突起
部外周縁に接する張力発生部20,20と刃部5゜5と
の中間のほぼ中央において円周方向にほぼ等間隔に刃部
5における円周方向応力増大用の円形の多数の抜き穴3
が列設されている。
部外周縁に接する張力発生部20,20と刃部5゜5と
の中間のほぼ中央において円周方向にほぼ等間隔に刃部
5における円周方向応力増大用の円形の多数の抜き穴3
が列設されている。
スライシング用内周刃2のドーナツ形薄鋼板の素材は矢
印1で示すような圧延方向でもって圧延されたステンレ
ス鋼板(SUS304)を使用するのが普通である。
印1で示すような圧延方向でもって圧延されたステンレ
ス鋼板(SUS304)を使用するのが普通である。
かかるステンレス鋼板(SUS304)素材で板厚0.
1211外径φ546.1朋(いわゆる21.5インチ
用)を用いた場合、この素材の縦弾性係数は実測の結果
圧延方向1で16500kg f /cr/l、圧延方
向1に対して直角な方向では19300kgf/cyr
t程度である。
1211外径φ546.1朋(いわゆる21.5インチ
用)を用いた場合、この素材の縦弾性係数は実測の結果
圧延方向1で16500kg f /cr/l、圧延方
向1に対して直角な方向では19300kgf/cyr
t程度である。
かかる寸法の素材のスライシング用内周刃2に全円周か
ら放射状に均一な張力を与えて張り上げられると、その
内周縁4は第1図で示すような圧延方向1と直角の方向
に約0.3龍長軸の楕円となることに鑑みて、本発明で
は前記抜き穴3の直径はスライシング用内周刃2の中心
0から前記薄鋼板の素材圧延方向1に向けて離隔するに
従って順次前記直径を犬にされている。
ら放射状に均一な張力を与えて張り上げられると、その
内周縁4は第1図で示すような圧延方向1と直角の方向
に約0.3龍長軸の楕円となることに鑑みて、本発明で
は前記抜き穴3の直径はスライシング用内周刃2の中心
0から前記薄鋼板の素材圧延方向1に向けて離隔するに
従って順次前記直径を犬にされている。
即ちスライシング用内周刃2の中心0とほぼ圧延方向1
と直角の方向で同位置にある抜き穴31,31は最も直
径が小であり、中心0から圧延方向1に向けて抜き穴3
2,33゜34.35が抜き穴31に比べて段々大きい
直径にされている。
と直角の方向で同位置にある抜き穴31,31は最も直
径が小であり、中心0から圧延方向1に向けて抜き穴3
2,33゜34.35が抜き穴31に比べて段々大きい
直径にされている。
かかる構成により、スライシング用内周刃2が全円周に
均一な半径方向の張力を与えて張り上げられたとき、そ
の内周縁4は素材の圧延方向1に長径な長軸の楕円とな
って、前記した素材そのものが有する圧延方向と直角な
方向に長径な長軸の楕円と相殺されて、内周縁4は全円
周に均一な半径方向の張力を与えるときわめて正確な真
円を形成するものとなった。
均一な半径方向の張力を与えて張り上げられたとき、そ
の内周縁4は素材の圧延方向1に長径な長軸の楕円とな
って、前記した素材そのものが有する圧延方向と直角な
方向に長径な長軸の楕円と相殺されて、内周縁4は全円
周に均一な半径方向の張力を与えるときわめて正確な真
円を形成するものとなった。
上記抜き穴3(または31乃至35)の大きさや数はス
ライシング用内周刃2の寸法仕様に合わせて適宜に選ぶ
ことができるが、本来前記抜き穴は第1義的に抜き穴3
(または31乃至35)の円孔縁部に発生する円周方向
応力が刃部5の円周方向応力を大きく超しないようにし
なければならないことは当然である。
ライシング用内周刃2の寸法仕様に合わせて適宜に選ぶ
ことができるが、本来前記抜き穴は第1義的に抜き穴3
(または31乃至35)の円孔縁部に発生する円周方向
応力が刃部5の円周方向応力を大きく超しないようにし
なければならないことは当然である。
(そうでなければ抜き穴から先に破断する。
)さらに円形の抜き穴であっても形状、寸法、数、位置
により上記各円周方向応力の値が変るので、かかる最適
諸元は後述のように設計上は有限要素法による計算によ
って選定可能である。
により上記各円周方向応力の値が変るので、かかる最適
諸元は後述のように設計上は有限要素法による計算によ
って選定可能である。
なお張り上げの際に抜き穴を穿設することにより内周縁
4における半径方向の伸びの差を生じ、これによって内
径の真円度を低下させることも考えられるが、以下に述
べる好ましい実施例においてこの伸びの差は約0.00
2mm以下で、この影響はきわめて少いものであること
が確認された。
4における半径方向の伸びの差を生じ、これによって内
径の真円度を低下させることも考えられるが、以下に述
べる好ましい実施例においてこの伸びの差は約0.00
2mm以下で、この影響はきわめて少いものであること
が確認された。
さらにより好ましい具体的実施例について述べると、第
1図に示す本発明の実施例において、スライシング用内
周刃2の外径(図示せず)φs46.1mm(いわゆる
21.5インチ用)板厚0112朋、内径12184m
mとし、前記有限要素法によると、ピッチ径5338.
5mmで、16個の抜き穴を設けるとよく、各抜き穴3
1,32゜33.34.35の直径はそれぞれ13.4
5龍、18.45mm、33.45mm、、43.45
mmおよび43.45朋であるとよい。
1図に示す本発明の実施例において、スライシング用内
周刃2の外径(図示せず)φs46.1mm(いわゆる
21.5インチ用)板厚0112朋、内径12184m
mとし、前記有限要素法によると、ピッチ径5338.
5mmで、16個の抜き穴を設けるとよく、各抜き穴3
1,32゜33.34.35の直径はそれぞれ13.4
5龍、18.45mm、33.45mm、、43.45
mmおよび43.45朋であるとよい。
かかる抜き穴により、スライシング用内周刃2が全円周
に均一な半径方向の張力が与えられて張り上げられたと
きその内周縁4は極めて正確な真円を形成することが確
認された。
に均一な半径方向の張力が与えられて張り上げられたと
きその内周縁4は極めて正確な真円を形成することが確
認された。
その上に、抜き穴を穿設す・る本来の効果である刃部5
つき内周縁4に生ずる円周方向応力を増大させ、従って
抜き穴のないものに比べて張り上げ力を小さくするもの
となった。
つき内周縁4に生ずる円周方向応力を増大させ、従って
抜き穴のないものに比べて張り上げ力を小さくするもの
となった。
なお上記は外径546.1mmのスライシング用内周刃
について述べたが、外径がこれと異ると、それにほぼ比
例して上記寸法諸元を変えるとよい。
について述べたが、外径がこれと異ると、それにほぼ比
例して上記寸法諸元を変えるとよい。
この発明のスライシング用内周刃の取付使用状態につい
て、第2図および第3図により説明する。
て、第2図および第3図により説明する。
第2図において、刃具取付主軸のフレーム7の先端にテ
ンションリング8を固着し、チャックガイドリンク9と
チャック上板100間に挾さまれたスライシング用内周
刃2を、円周方向に放射状に配設された締付ボルト11
により、均等に締付けて前記刃具を張り上げると、スラ
イシング用刃部5つきの内周縁4は真円となる。
ンションリング8を固着し、チャックガイドリンク9と
チャック上板100間に挾さまれたスライシング用内周
刃2を、円周方向に放射状に配設された締付ボルト11
により、均等に締付けて前記刃具を張り上げると、スラ
イシング用刃部5つきの内周縁4は真円となる。
また、他の使用例第3図は、第2図の締付ボルトに変わ
りテンションリング14の刃具取付面にV溝15を設は
チャック上板16には油圧導入孔17を設けである。
りテンションリング14の刃具取付面にV溝15を設は
チャック上板16には油圧導入孔17を設けである。
スライシング用内周刃2は図示されない取付ボルトでテ
ンションリング14とチャック上板16でスライシング
用内周刃2の外周部を固定し、チャックのチェックバル
ブ18から粘度の高い液体を封入して内部圧力を高める
ことによりV溝15に沿ってスライシング用内周刃2を
張り上げる。
ンションリング14とチャック上板16でスライシング
用内周刃2の外周部を固定し、チャックのチェックバル
ブ18から粘度の高い液体を封入して内部圧力を高める
ことによりV溝15に沿ってスライシング用内周刃2を
張り上げる。
このようにして、前記同様に刃部つきの内周縁4を真円
にすることができるのである。
にすることができるのである。
以上述べたごと(、本発明によれば、ボルト締め張り上
げ法、および油圧張り上げ法のいづれの場合においても
、張り上げた状態においてスライシング用刃部付きの内
周縁は常に正確な真円の状態となるものであり、従来必
要とした現場作業での多大の熟練と時間とが不用となり
、これらの張り上げ作業が著しく簡潔にはかどるばかり
でなく内周刃部の片当りを除去し、内周刃の耐久寿命を
向上させるという技術的課題の達成により高い生産性を
維持し得るなど顕著な効果を奏するものである。
げ法、および油圧張り上げ法のいづれの場合においても
、張り上げた状態においてスライシング用刃部付きの内
周縁は常に正確な真円の状態となるものであり、従来必
要とした現場作業での多大の熟練と時間とが不用となり
、これらの張り上げ作業が著しく簡潔にはかどるばかり
でなく内周刃部の片当りを除去し、内周刃の耐久寿命を
向上させるという技術的課題の達成により高い生産性を
維持し得るなど顕著な効果を奏するものである。
さらに抜き穴を設けることにより上述した刃部付きの内
周縁の半径方向応力を大きくすることができる。
周縁の半径方向応力を大きくすることができる。
第1図は本発明の実施例であるスライシング用内周刃を
示す平面図、第2図と第3図は第1図のスライシング用
内周刃の使用状態を示す部分断面図である。 0・・・・・・中心、1・・・・・・圧延方向、2・・
・・・・スライシング用内周刃、3,31,32,33
,34゜35・・・・・・抜き穴、4・・・・・・内周
縁、5・・・・・・刃部、8゜14・・・・・・テンシ
ョンリング、20・・・・・・張力発生部。
示す平面図、第2図と第3図は第1図のスライシング用
内周刃の使用状態を示す部分断面図である。 0・・・・・・中心、1・・・・・・圧延方向、2・・
・・・・スライシング用内周刃、3,31,32,33
,34゜35・・・・・・抜き穴、4・・・・・・内周
縁、5・・・・・・刃部、8゜14・・・・・・テンシ
ョンリング、20・・・・・・張力発生部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 ドーナツ形薄鋼板の内周縁に刃部を設け、周縁部を
ホルダに固着するスライシング用内周刃であって、ホル
ダのテンションリングの突起部外周縁に接する張力発生
部と刃部との中間のほぼ中央において円周方向にほぼ等
間隔に刃部における円周方向応力増大用の円形の多数の
抜き穴を列設したスライシング用内周刃において、前記
抜き穴の直径は前記スライシング用内周刃の中心から前
記薄鋼板の素材圧延方向に向けて離隔するに従って順次
前記直径を犬にした、ことを特徴とするスライシング用
内周刃。 2 前記スライシング用内周刃の外径が546.1朋、
内径が184朋のとき、前記抜き穴はピッチ径を338
.511!?1!とした円周上に等配分された16個の
抜き穴であり、各抜き穴は圧延方向と直交しかつ前記中
心を通る線上に配置された直径13.45mmの二個の
抜き穴と、以下順次圧延方向に直径18.45mmの二
個づつ計4個の抜き穴と、直径33.45mmの二個づ
つ計4個の抜き穴と、直径43.45mmの三個づつ計
6個の抜き穴とが放射状に穿設されており、かつ各前記
抜き穴の各前記寸法はスライシング用内周刃の外径が増
減するときそれに比例して増減されるようされた、特許
請求の範囲第1項記載のスライシング用内周刃。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56040477A JPS5818213B2 (ja) | 1981-03-23 | 1981-03-23 | スライシング用内周刃 |
US06/338,130 US4445413A (en) | 1981-03-23 | 1982-01-08 | Slicing cutter blade |
DE3201961A DE3201961C2 (de) | 1981-03-23 | 1982-01-22 | Innenlochsägeblatt |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56040477A JPS5818213B2 (ja) | 1981-03-23 | 1981-03-23 | スライシング用内周刃 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57156210A JPS57156210A (en) | 1982-09-27 |
JPS5818213B2 true JPS5818213B2 (ja) | 1983-04-12 |
Family
ID=12581691
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56040477A Expired JPS5818213B2 (ja) | 1981-03-23 | 1981-03-23 | スライシング用内周刃 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4445413A (ja) |
JP (1) | JPS5818213B2 (ja) |
DE (1) | DE3201961C2 (ja) |
Families Citing this family (14)
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---|---|---|---|---|
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USD382786S (en) * | 1995-03-02 | 1997-08-26 | Black & Decker Inc. | Circular saw blade with heat vents |
US5896800A (en) * | 1995-09-26 | 1999-04-27 | Black & Decker Inc. | Circular saw blade |
US5758561A (en) * | 1995-09-26 | 1998-06-02 | Black & Decker Inc. | Circular saw blade and method |
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USD388318S (en) * | 1996-03-15 | 1997-12-30 | Black & Decker Inc. | Decorative vent pattern for circular saw blades |
DE19612055A1 (de) * | 1996-03-27 | 1997-10-02 | Wabaema Gmbh | Sichelmesser |
US5802947A (en) * | 1996-10-15 | 1998-09-08 | Credo Tool Company | Dimpled circular saw blade |
EP1270161A1 (en) * | 2001-06-29 | 2003-01-02 | Turbolite AG | Circular saw blade having a support disc with holes of different sizes |
FI116044B (fi) * | 2002-05-28 | 2005-09-15 | Metso Paper Inc | Paperi- tai kartonkirainan pituussuuntaisessa leikkauksessa käytettävä terä |
US20040038629A1 (en) * | 2002-08-23 | 2004-02-26 | Seh America, Inc. | Internal diameter cutting blades and methods |
US20060016315A1 (en) * | 2004-07-23 | 2006-01-26 | Zorich Timothy A | Saw cutting blade |
WO2008153424A2 (en) * | 2007-06-12 | 2008-12-18 | Carl James Peterson | Improvements in and relating to sawmills and parts therefor |
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