JPH0518053Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、例えばシリコン等半導体電子材料、
磁性材料、セラミツクス等の高硬度脆性材料を環
状内刃にてウエハー状に切断するスライングマシ
ンに用いられる環状内刃張設装置に関する。

〔従来の技術〕

通常、この種の環状内刃は、リング状薄綱板の
内周縁に微細なダイヤモンド砥粒を固着して切刃
とし、外周縁に多数のボルト孔を設け、上下２個
の輪体で挟着している。この場合、環状内刃は全
面均一の張力を付与し、かつ平坦に支持せしめる
必要があり、その一つの手段として一方の輪体に
はリング状に凹溝を設け、他方の輪体に設けられ
るリングをこの凹溝に押し込むようにして環状内
刃に均等な張力を付与する構造がある（例えば実
公昭51−48060号）。その構造の概略を第５図に示
す。第６図は要部の拡大図である。

環状内刃張設装置１は、椀状のブレード受部材
２と、環状のトツプリング３とを備え、環状内刃
Ａ（以下単にブレードという）の周縁は上記ブレ
ード受部材２とトツプリング３とにより挟持さ
れ、多数の締付ボルト４により締着されている。
ブレード受部材２には環状に断面弧状の凹溝５が
刻設され、トツプリング３には、この凹溝５に対
向して下端を断面弧状としたテンシヨンリング６
が設けられ、このテンシヨンリング６は多数のビ
ス７により押圧され、ブレードＡを凹溝５側に押
し出し、所要の張力を付与するようにしたもので
ある。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかし、ブレードＡは弾性、並びに剛性を有
し、従つて第６図に示す如く屈曲部８において凹
溝５に沿つた形状には屈曲せず、浮き上がり部８
が形成され、うねり等波打つた状態で保持され
る。しかもトツプリング３は外周において締付ボ
ルト４によりブレード受台２と締結されてはいる
が、テンシヨンリング６を押圧する反力にて内周
端３ａは浮き上がりの傾向にあり、上記波打つた
状態のブレードＡを平坦状に押圧することは困難
である。

従つて第６図の状態で切断作業を行うときは、
ブレードＡにブレが生じる。上記ブレードは薄板
状に圧延される際、いわゆるメタルフローが形成
され、従つて圧延方向には抗張力は大であるが、
これと直角方向には抗張力は弱い傾向にある。こ
のため、上記屈曲部８は全周均一には引き延ばさ
れず、ブレードＡは平坦度が失われ、うねり等異
常な変形を生ずる。

このため、加工物の切断面にブレードが接触
し、切断面を傷つけ、かつ切断幅が大となり、切
断されるウエハーの厚さが不同になると共に、ブ
レードＡが破損する等の問題がある。

本考案はかかる点に鑑み、ブレードの剛性によ
る屈曲部の浮き上がりを防止し、保持を確実なら
しめることを目的とするものである。

〔問題点の解決手段〕

すなわち本考案は、環状内刃を備えたブレード
の周縁をブレード受部材とトツプリングとにより
挟持し、ブレード受部材に凹溝を設け、トツプリ
ングに設けられるテンシヨンリングを上記凹溝に
向けて押圧し、ブレードを屈曲し、張力を付与
し、上記凹溝は内部支承面と外部支承面とを備
え、外部支承面はトツプリングとの取付面に接線
状に接続される可及的に曲率半径を大とした外部
弧面部を備え、内部支承面は凹溝の内部上部に形
成される可及的に曲率半径を大とした内部弧面部
とを有する環状内刃張設装置において、取付面の
内周縁付近に形成される短小幅のブレード支持端
と、上記内部弧面部とこの支持端とを連結する案
内面とを備え、該案内面はブレードが内部弧面部
からの立ち上がりを案内しかつ該ブレードを上記
支持面に密着すべく微小角度の緩傾斜面としたこ
とを特徴とするものである。

〔実施例〕

第１図は本考案環状内刃張設装置の要部の拡大
縦断面図、第２図は全体の縦断面図である。

環状内刃張設装置１０は、軸受部材１２により
回動可能に支承されるブレード受け部材１１と、
環状のトツプリング１３とを備える。ブレード受
部材１１は椀状とし、上面をブレード取付面１５
とし、この取付面１５には多数のボルト孔１６が
穿設され、このボルト孔１６には取付ボルト１７
が螺入され、ブレードＡ及びトツプリング１３が
止着されている。

上記取付面１５とトツプリング１３との間に
は、ブレード緊張手段２０が形成されている。こ
の緊張手段２０は、取付面１５のボルト孔１６よ
り内周に位置して形成される環状の凹溝２１と、
この凹溝２１に対向してトツプリング１３に設け
られるテンシヨンリング２２及びこのテンシヨン
リング２２を押圧するビス２３とより構成され
る。テンシヨンリング２２は下端を断面弧状と
し、ビス２３により、このテンシヨンリング２２
を押圧することにより、ブレードＡは凹溝２１側
に屈曲され、所要の張力が付与される。

凹溝２１は第４図に示す如く、内部支承面２５
と外部支承面２６とを備え、両支承面２５，２６
は底面２７により接続されている。この底面２７
は、図面では直線状とした例を示したが、両支承
面２５，２６を接続する適宜の曲率半径の弧面と
してもよい。

外部承面２６は、取付面１５と接線状に接続す
る外部弧面部２８と、この弧面部２８に接続され
る傾斜面２９とよりなり、外部弧面部２８は可及
的に大きい曲率半径Rbとし、図示の如くブレー
ドＡがテンシヨンリング２２により押圧されたと
き、弧面部２８に添つて円滑に屈曲される如くな
す。

内部支承面２５は、凹溝２１の内側上部に形成
される内部弧面部３０と、取付面１５の内周縁付
近に形成される短小幅ｂのブレード支持端３１と
上記内部弧面部３０とを連結する緩傾斜の案内面
３２と、内部弧面部３０と底面２７とを接続する
傾斜面３３とよりなる。内部弧面部３０は、外部
弧面部２８と同様に、可及的に大きい曲率半径
Rcとし、傾斜面３３は外部の傾斜面２９と共に
押し込まれるブレードＡに対する逃げ部を形成す
るもので、適宜の角度で形成される。

上記案内面３２はブレードＡが内部弧面部３０
から立ち上がるとき、この弧面部３０に添つて屈
曲され、支持端３１に導かれるようにしたもの
で、その角度αは可及的に小さいことが好まし
い。ただし、その角度を０度（支持端と同一平
面）とするときは、ブレードＡはうねりを生ずる
恐れがあり、実験結果から１度ないし５度程度が
好ましい。それ以上の角度とするブレードＡは支
持端３１の上面において浮き上がり、好ましくな
い。図中３５はブレード受部材１１の上部内周縁
に形成される逃げ部であり、支持端３１より若干
引き下げてブレードＡとの間に隙間を形成し、使
用中異物が当たり、反りをを生じても、ブレード
Ａに損傷を与えないようにしたものである。

〔作用〕

まず、ブレードＡをブレード受部材１１とトツ
プリング１３とにより挟持し、取付ボルト１７に
より締め付ける。次いでビス２３によりテンシヨ
ンリング２２を押圧し、ブレードＡを凹溝２１側
に押し出し、張力を付与せしめる。

この場合、ブレードＡの屈曲部Aaは、取付ボ
ルト１７による止着部と近接しており、従つてテ
ンシヨンリング２２の外側は比較的変形を生ずる
ことがなく、外部弧面部２８に沿つて屈曲する。

テンシヨンリング２２の内側では、屈曲部Aa
は内部支承面２５の弧面部３０及び案内面３２に
圧接され、支持端３１においてトツプリング１３
により挟持される。すなわち弧面部３０には緩斜
面の案内面３２を連設した故、上記テンシヨンリ
ング２２の押し込みに際し、この案内面３２を含
む長距離、すなわち支持端３１の位置から折曲げ
が始まり、しかもその折曲げは緩斜面の案内面３
２に沿つて、まず徐々に行われ、引き続いて弧面
部３０に当接し屈曲される故、うねり等浮き上が
りを生ずることがない。なおこの場合、ブレード
Ａは支持端３１に沿い、案内面３２では挟持圧が
凹溝２１に至るに従い減少し、従つてテンシヨン
リング２２の押し込みはブレードＡの屈曲部Aa
には引つ張り応力が効果的に加わるものと思考さ
れる。

〔考案の効果〕

以上の如く本考案によるときは、ブレード受部
材に形成する凹溝の内部支承面は、テンシヨンリ
ングにより押し出されるブレードを支承する角部
を弧面部とすると共に、この弧面部に続いて緩斜
面の案内面を形成したから、ブレード自体に剛性
を有していても上記のテンシヨンリングの押し出
しによるブレードの押し曲げは支持端の位置から
始まり、まず案内面に沿つて徐々に行われ、次い
で弧面部に当接して屈曲される故、急激に屈曲さ
れることがなく、このため、うねり等浮き上がり
を生ずることがなく、かつ支持端において確実に
挟持され、従つてブレードにブレが生ずることも
なく、良好な切断加工を行うことができる利点が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本願考案の環状内刃張設装
置に関し、第１図は要部の拡大縦断面図、第２図
は全体縦断面図、第３図はブレード受部材の平面
図、第４図は要部の拡大説明図、第５図及び第６
図は従来例に関し、第５図は要部の拡大縦断面
図、第６図はその説明図である。 １０は環状内刃張設装置、１１はブレード受部
材、１３はトツプリング、２１は凹溝、２２はテ
ンシヨンリング、２５は内部支承面、３０は内部
弧面部、３１はブレード支持端、３２は案内面で
ある。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 環状内刃を備えたブレードの周縁をブレード受
   部材とトツプリングとにより挟持し、ブレード受
   部材に凹溝を設け、トツプリングに設けられるテ
   ンシヨンリングを上記凹溝に向けて押圧し、ブレ
   ードを屈曲し、張力を付与し、上記凹溝は内部支
   承面と外部支承面とを備え、外部支承面はトツプ
   リングとの取付面に接線状に接続される可及的に
   曲率半径を大とした外部弧面部を備え、内部支承
   面は凹溝の内部上部に形成される可及的に曲率半
   径を大とした内部弧面部とを有する環状内刃張設
   装置において、取付面の内周縁付近に形成される
   短小幅のブレード支持端と、上記内部弧面部とこ
   の支持端とを連結する案内面とを備え、該案内面
   はブレードが内部弧面部からの立ち上がりを案内
   し、かつ該ブレードを上記支持面に密着すべく微
   小角度の緩斜面としたことを特徴とする環状内刃
   張設装置。