JPH01210272A - スライシングマシンの内周刃張り上げ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体等の製造工程でシリコン、ゲルマニウ
ム等の塊を薄く切断するスライシングマシンのブレード
の内周刃の張り上げ装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来、この種の内周刃の張り上げ装置としては、第２図
ないし第３図に示すものが知られている。

すなわち、符号１はスライシングマシンに設けられ、ブ
レード２を回転駆動する出力軸（回転体）である。この
出力軸ｌの端面には、軸心が一致されて環状の溝１ａが
形成されており、この溝１ａを覆うようにしてブレード
２が設けられるようになっている。ブレード２は環状の
薄板状に形成されたものであり、内周にはダイヤモンド
砥石等よりなる内周刃２ａが設（Ｊられている。そして
、このブレード２は、環状に形成された固定部材３によ
り固定ボルト４を介して出力軸ｌの端面に押圧されて固
定されるようになっている。また、」二記固定部祠３に
（Ｊ、出力軸ｌの端面のｉｌｌ￥１８に対向オろ位置に
環状の溝３ａが形成されており、この溝３ａに環状の押
圧部材５が嵌合されている。また、固定部材３のｐ　３
　ａ部には、複数の緊張ボルト６か螺合されており、該
緊張ポルｈ　６を締め込むことにより押圧部材５を出力
軸Ｉの’ｔｉＩＩ？　Ｉ　ａ側に押圧して移動させるよ
うになっている。そして、この際に、ブレード２の板面
が押圧部祠４により出力軸１の溝ｌａ側に変形させられ
、ブレード２の内周刃２ａに所定の張力が生じるような
っている。

また、固定部材３とブレード２との間にｉｊ：　、　’
ｔ（Ｉｔ３ａより内周側にＯリング７が設（Ｊられでい
る。

このＯリング７は、内周刃２ａでシリコン等を切断した
際に、ノリコン等の粉塵か緊張ボルト６や固定ボルト４
のねじ部に浸入しないようにするものである。

ところが、」−記装置においては、ブレード２が高速て
回転するときの遠心力によって、粉塵が放射方向に飛散
し、緊張ボルト６や固定ボルト４の頭側から該粉塵が回
り込んで該緊張ボルト６などの２つし部に浸入してしま
うという問題がある。このため、緊張ポルｌ−６または
固定ボルト４を締めたり緩めたりしているうちに、該緊
張ボルト６などのねじ部あろい（Ｊこのねじ部が螺合さ
れるめねし部にノリコン等の粉塵が噛み込み、緊張ボル
ト６などの回動抵抗か徐々に大きくなり、ついには回ら
なくなってしまうという問題があった。

このため、緊張ボルト６および固定ボルト４のねじ部に
工業用クロムめっきを施して、ねじ部の表面硬度の向上
、Ｐｆ擦低抵抗低減等の対策を図って、回動抵抗の増加
を抑えるような工夫が考えられている。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、緊張ボルト６等のねじ部に工業用クロムめっ
きを施しても、緊張ポル）・６等の回動抵抗の増加を抑
えることについては顕著な効果を得ることができないお
それがある。これは、クロムめっきを施した場合、めっ
き部にきわめて大きな引っ＞ａりの応力が生じ、かつク
ロムかき４つめでもろいことにより、めっき表面に微細
な亀裂が無数に生じるためである。すなわち、めっき表
面の亀裂にシリコン等の粉塵が入り込み、粉塵が噛め込
んだのと同じようになるからでる。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
あって、固定ボルトおよび緊張ボルトの回動抵抗の増加
する割合を低減し得る内周刃の張り上げ装置の開発を目
的としている。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、固定ボルトおよび緊張ボルトの少なくとも一
方に、リンの含有量が６〜１２％の無電解ニッケル−リ
ン合金めっきを施すことを特徴としている。

［作用　］ 固定ボルトや緊張ボルトのねじ部に、リンの含有量が６
〜１２％の無電解ニッケル−リン合金のめっきを施すこ
とにより、前記ねし部に均一な厚さのニッケル−リン合
金のめっきが形成される。

しかも、このめっき層には、圧縮応力が生じるとともに
、このめっきの表面硬度（Ｊ、４００°Ｃで熱処理する
ことにより、８００〜９００Ｈｖになる（「合金めっき
」　２１２頁　日刊工業新聞社）。このため、めっき表
面に亀裂を生しさせることなく該わし部の表面の硬度を
きわめて高くすることができる。

［実施例］ 以下、第１図を参照して本発明の一実施例を説明する。

たたし、全体の構成は、従来例で示した第３図を参照し
て説明するとともに、従来例で示した第２図中の構成要
素と同様の要素には同一の符号を例して説明する。

第１図において、符号ｌは、スラインングマンーンの駆
動装置（図示せず）によって回転駆動される略田筒形状
の出力軸（回転体）であり、この出力軸１の端面には軸
線が一致されて環状の溝１ａが形成され、その外回りに
は、ＭＩＯのねじ穴１ｂが等間隔に複数個形成されてい
る。このねじ穴ｌｂのめねしのピソヂは、１ｍｍに形成
されている。

また、溝１ａは、その開口部がテーパ状に面取りされて
いる。

そして、この出力軸ｌには、その端面を覆うようにして
、かつ軸線が一致されてプレート２か設けられるように
なっている。ブレード２は第３図に示すように、環状の
薄板状に形成されたちのであって、内周にはダイヤモン
ド砥石等よりなる内周刃２ａか設（Ｊられでおり、また
出力軸１のねし穴１ｂに対応する位置には第１図に示す
ように、ＭＩＯのボルトが挿通し得る貫通孔２　ｂが形
成されている。そして、このブレード２は、該ブレード
２を出力軸ｌの端面に押しイτｔ　ＩＪる固定部材３に
よって、該出力軸１に固定されろｊ−うになっている。

固定部材３は、環状に形成されたものであって、出力軸
ｌの溝１ａと一致する位置には環状のｌｉｌ￥３ａが形
成され、外周縁には出力軸１の外周に嵌合する環状のリ
ブ３ｂが形成されている。また固定部材３の溝３Ｃ部に
は、１？／？　３　ａの底面から該溝３ａと反対側の面
に貫通され、ざぐり３Ｃを有するねじ穴３ｄが等間隔に
複数個形成されている。このねじ穴３ｄは、ＭＩＯでピ
ッチ１ｍｍに形成されている。さらに、ねじ穴３ｄの外
回りには、出ツノ軸ｌのねじ穴１ｂに対応する位置に、
ざぐり３ｅを有し、かつＭＩＯのボルトが挿通し得る貫
通孔３ｆが形成されている。そして、この貫通孔３ｆに
挿通され、出力軸１のねじ穴１ｂに螺合される固定ボル
ト４によって、固定部材３がブレード２を挟んだ状態で
出力軸１の端面に押接させられ、該ブレード２が該出力
軸ｌに固定されるようになっている。

固定ボルト４は、ＭＩＯでピッチ１ｍｍの穴付きボルト
であり、ＳＮ０Ｍ６（Ｊ　Ｉ　Ｓ　　’Ｇ４．１０３）
相当のものを焼き入れ焼き戻しし、引っ張り強度１３０
　ｋｇ／　ｍｍ’以上、硬度Ｈｖ３８８以上、伸び９％
以上、衝撃値４　ｋｇｍ／　０ｍ２以上を保証する材料
で形成されている。そして、固定ボルト４のねじ部には
、無電解ニッケル−リン合金めつき８が２０〜５０μｍ
の厚さで施されている。この無電解ニッケル−リン合金
めつき８は、リンの含有量が６〜１２％であり、めっき
後約４００℃で熱処理が行なわれる。

一方、固定部材３の溝３ａには、環状の押圧部〜７− 祠５が嵌合されており、ねじ穴３ｄには、該押圧部拐５
を出力軸ｌの溝ｌａ側に押圧移動させ、ブレード２を溝
１ａに湾曲させて内周刃２ａの張力を設定する緊張ボル
ト６が螺合されている。

緊張ボルト６は、ＭＩＯてピッチ１ｍｍの穴イマ］きボ
ルトにより形成されたものであり、材質およびねじ部の
めっきは固定ポル）・４と同一である。

また、固定部材３には、溝３ａの内側にＯリング溝３ｇ
が形成され、この０リング溝３ｇにはＯリング７が設け
られている。そして、０リング７によって、内周刃２ａ
で切断したシリコンの粉塵がブレード２の板面を通って
、固定ボルト４および緊張ボルト６側に浸入するのを防
止している。

次ぎに、ブレード２の取り付けおよび内周刃２ａの緊張
の方法を説明する。

まず、固定部材３の溝３ｇに０リング７を嵌合し、溝３
ａに押圧部材５を嵌合しておく。そして、ブレード２を
出力軸ｌの端面に設け、ブレード２の貫通孔２ｂを出力
軸ｌのねし穴１ｂに合わせた後、上記固定部材３を、そ
の貫通孔３ｆがブレード２の貫通孔２ｂに一致するよう
にして、該固定部材３のリブ３ｂを出力軸１の外周に嵌
合する。次いで、固定ボルト４を固定部材３の貫通孔３
ｆを通して出力軸１のねじ穴１ｂに螺合し、該固定ボル
ト４を締め込む。そうすると、固定部材３がブレード２
を挟んだ状態で出力軸ｌの端面に押し付けられ、ブレー
ド２が出力軸１の端面に固定させられる。この時、出力
軸ｌの溝１ａから内周側の端面は、Ｏリング７が位置す
る部分のブレード２に当接しているので、％ｉ　Ｉ　ａ
から内周側の端面でブレード２が固定されるようなこと
がない。次ぎに、緊張ボルト６を締め込んで行き、押圧
部材５によりブレード２の板面を溝ｌａ側に湾曲させ、
ブレード２の内周刃２ａの張力を設定する。

このようにして、内周刃２ａの張力を設定したブレード
２でノリコンを切断すると、切断時のシリコンの粉塵が
、ブレード２の回転時の遠心力により放射方向に高速で
飛散する。このとき、放射方向に飛散した粉塵は固定ボ
ルト４および緊張ボルト６の頭部から回り込んで、該固
定ボルト４、緊張ボルト６のねじ部に浸入する。

また、固定ボルト４および緊張ポルト６に施された無電
解ニッケル−リン合金めっき８は、４００℃で熱処理後
の表面硬度が８００〜９００１（ｖの高硬度になり、か
つめっき厚さが均一になるとともに、めっき表面に圧縮
の応力か生じる（「合金めっき」　２１２頁　日刊工業
新聞社）。

」−記のように構成された内周刃の張り上げ装置によれ
ば、無電解ニッケル−リン合金めっき８によって固定ボ
ルト４および緊張ポルト６のねし部の表面硬度が８００
〜９００１−１　ｖになり、シリコンの粉塵が前記ねじ
部に噛の込めにくくなる。また、めっき表面には、圧縮
の応力が生じるのでめっき面に亀裂が生じることがない
。このため、従来のクロムめっきのように亀裂部に入り
込んだノリコンの粉塵によって、該固定ボルト４などの
回動抵抗が増加するということがなくなるとともに、固
定ボルト４などのねじ部に噛み込む粉塵も少なくなるの
で粉塵の噛み込みによる回動抵抗の増加も少なくなる。

また、固定ボルト４おＪ−び緊張ポル）・６は、Ｍｌｏ
てピソヂが１ｍｍに形成されてる（、ＩＩＳにおいては
、Ｍｈｏのピソヂは並ねじで１．５ｍｍ、細目ねして］
、２５ｍｍである）。このため、リード角が細目ねしよ
りさらに小さくなるので、ボルトを回動するトルクが同
一でも、ボルトを軸方向に移動ずろ力か大きくなる。１
．たがって、Ｊ　Ｔ　Ｓ標桑の細目ねしを使う場合に比
へて、固定ボルト４などを小ざなｌ・ルクで回動するこ
とかできるようになる。

［発明の効果］ 以−１−説明したように本発明によれば、固定ボルトや
緊張ポル）・のねじ部にリンの含有量が６〜１２％の無
電解ニッケル−リン合金めっきを施したので、めっきの
表面に亀裂が生じろことがなく、従来のクロムめっきの
ように亀裂部にシリコン等の粉塵が入り込んで、固定ボ
ルトや緊張ポルトの回動抵抗か増加するということがな
くなる。また、固定ボルトや緊張ポル１−のねじ部の表
面硬度を８００〜９００Ｉ（ｖにすることができるので
、ノリコン等の粉塵が前記ねし部に噛み込みにくくなる
。

したがって、シリコン等の噛み込めによる固定ボルトな
どの回動抵抗の増加する割合を従来よりも低減すること
かできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す内周刃の張り上げ装置
の要部断面図、第２図ないし第３図（Ｊ従来例として示
した図であって、第２図は内周刃の張り」−げ装置の要
部断面図、第３図（Ｊ同装置の全体を示す断面図である
。 １　・・・出力軸（回転体）、Ｉ　ａ−−ｉ％￥、２・
　　ブレード、２ａ　　内周刃、 ３　　固定部材、４　　・固定ボルト、５−・押圧部材
、６−　緊張ポルト、 ８　　無電解ニンケルーリン合金めっき。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 端面に環状の溝が形成された回転体と、この回転体の端
   面に設けられる内周刃を有する環状で板状のブレードと
   、このブレードの板面の周縁部に当接し、固定ボルトに
   より該ブレードを前記回転体の端面に押圧して固定する
   固定部材と、前記ブレードを挟んだ状態で前記回転体の
   溝に対応する位置に設けられる環状の押圧部材と、前記
   固定部材に螺合され、先端が前記押圧部材に押接して該
   押圧部材を前記溝側に押圧移動させ、前記ブレードの板
   面を溝側に変形させて内周刃の張力を設定する緊張ボル
   トとを備えたスライシングマシンの内周刃張り上げ装置
   において、 前記固定ボルトおよび緊張ボルトの少なくとも一方に、
   リンの含有量が６〜１２％の無電解ニッケル−リン合金
   めっきが施されていることを特徴とするスライシングマ
   シンの内周刃張り上げ装置。