JPH0639887Y2 - 内周刃砥石 - Google Patents
内周刃砥石Info
- Publication number
- JPH0639887Y2 JPH0639887Y2 JP1987089233U JP8923387U JPH0639887Y2 JP H0639887 Y2 JPH0639887 Y2 JP H0639887Y2 JP 1987089233 U JP1987089233 U JP 1987089233U JP 8923387 U JP8923387 U JP 8923387U JP H0639887 Y2 JPH0639887 Y2 JP H0639887Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base metal
- inner peripheral
- grindstone
- peripheral edge
- stress distribution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、半導体インゴットからウエハを切り出す際な
どに使用される内周刃砥石に係わり、特に、張り上げ時
における台金の応力分布の確認が容易なものに関する。
どに使用される内周刃砥石に係わり、特に、張り上げ時
における台金の応力分布の確認が容易なものに関する。
「従来の技術」 第２図および第３図は、この種の内周刃砥石の一例を示
す平面図および断面図である。
す平面図および断面図である。
この内周刃砥石は、薄肉円環状の台金１の内周縁に、ダ
イヤモンド,CBN等の超砥粒を金属めっき相中に分散して
なる砥粒層２を電着形成したものであり、台金１の外周
部には多数の取付孔３…が形成されている。
イヤモンド,CBN等の超砥粒を金属めっき相中に分散して
なる砥粒層２を電着形成したものであり、台金１の外周
部には多数の取付孔３…が形成されている。
このような砥石は、例えば第３図に示すような上リング
４と下リング５とからなる固定治具６に装着され、前記
取付孔３…を貫通するボルト７…で外周部を固定される
とともに、テンションボルト８…により操作されるテン
ションリング９に圧迫されて張り上げられた後、使用に
供される。なお、この時の台金張り上げ量はウエハの切
断精度を左右する重要な因子であるため、例えばこの治
具６の場合は、各テンションボルト８…の締め付けトル
クを統一して台金１各部に均一な張力がかかるようにし
ている。
４と下リング５とからなる固定治具６に装着され、前記
取付孔３…を貫通するボルト７…で外周部を固定される
とともに、テンションボルト８…により操作されるテン
ションリング９に圧迫されて張り上げられた後、使用に
供される。なお、この時の台金張り上げ量はウエハの切
断精度を左右する重要な因子であるため、例えばこの治
具６の場合は、各テンションボルト８…の締め付けトル
クを統一して台金１各部に均一な張力がかかるようにし
ている。
「考案が解決しようとする問題点」 ところで、上記のようにテンションボルトの締め付けト
ルクを統一しても、実際には、台金１にかかる応力に部
分的な不均一が生じる場合が多い。
ルクを統一しても、実際には、台金１にかかる応力に部
分的な不均一が生じる場合が多い。
ところが、従来の内周刃砥石では、どの程度の応力が台
金１にかかっているかを直に知ることができないため、
局部的な応力集中に気付かずにそのまま切断に使用し、
台金が前記応力集中部分から破断する等のトラブルを生
じやすいという欠点があった。
金１にかかっているかを直に知ることができないため、
局部的な応力集中に気付かずにそのまま切断に使用し、
台金が前記応力集中部分から破断する等のトラブルを生
じやすいという欠点があった。
「問題点を解決するための手段」 本考案は上記問題点を解決するためになされたもので、
薄肉円環状の台金の内周縁に砥粒層が形成されるととも
に、前記台金の外周部には台金固定治具に固定されるべ
き被固定部が形成され、使用時には前記台金固定治具に
より前記被固定部が台金の半径方向外方へ向けて張り上
げられる内周刃砥石において、 前記台金の少なくとも一方の側面の、前記砥粒層および
前記被固定部を除く全面には、前記張り上げに伴う台金
各部の変形量を確認できるように一定の方向に向けて相
互に一定間隔を空けて配列された応力分布確認用模様が
形成されていることを特徴とする。
薄肉円環状の台金の内周縁に砥粒層が形成されるととも
に、前記台金の外周部には台金固定治具に固定されるべ
き被固定部が形成され、使用時には前記台金固定治具に
より前記被固定部が台金の半径方向外方へ向けて張り上
げられる内周刃砥石において、 前記台金の少なくとも一方の側面の、前記砥粒層および
前記被固定部を除く全面には、前記張り上げに伴う台金
各部の変形量を確認できるように一定の方向に向けて相
互に一定間隔を空けて配列された応力分布確認用模様が
形成されていることを特徴とする。
「作用」 本考案に係る内周刃砥石によれば、台金固定治具によっ
て被固定部が張り上げられると、台金各部にかかる応力
に応じて、台金側面に形成された応力分布確認用模様の
間隔が変化するから、この間隔変化を確認することによ
り、台金各部における応力分布が確認できる。
て被固定部が張り上げられると、台金各部にかかる応力
に応じて、台金側面に形成された応力分布確認用模様の
間隔が変化するから、この間隔変化を確認することによ
り、台金各部における応力分布が確認できる。
「実施例」 以下、図面を参照して本考案の実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図は一実施例の内周刃砥石の平面図であり、第２図
に示した砥石と同一の部分には、同一符号を付して説明
を省略する。
に示した砥石と同一の部分には、同一符号を付して説明
を省略する。
この砥石が前述のものと異なる点は、台金１の一方の側
面の、取付孔３を含む台金外周縁から一定幅の部分（被
固定部）および砥粒層２部分を除く全面に、縦方向およ
び横方向一定間隔毎に多数の横線および縦線が直交して
なる格子模様（応力分布確認用模様）が形成されている
ことである。前記縦線同士および横線同士の各間隔は、
台金１にかかる応力を最も検知しやすいような値（例え
ば1mm程度）とされている。
面の、取付孔３を含む台金外周縁から一定幅の部分（被
固定部）および砥粒層２部分を除く全面に、縦方向およ
び横方向一定間隔毎に多数の横線および縦線が直交して
なる格子模様（応力分布確認用模様）が形成されている
ことである。前記縦線同士および横線同士の各間隔は、
台金１にかかる応力を最も検知しやすいような値（例え
ば1mm程度）とされている。
この格子模様10は、塩化第二鉄等の薬品を用いたハーフ
エッチング法や、印刷等により形成されたものである。
なお、ハーフエッチングにより模様10を付ける場合に
は、そのエッチング深さが台金１の厚さの５％未満であ
ることが望ましく、それ以上であると、台金１の抗張力
に影響を与えるおそれが生じる。
エッチング法や、印刷等により形成されたものである。
なお、ハーフエッチングにより模様10を付ける場合に
は、そのエッチング深さが台金１の厚さの５％未満であ
ることが望ましく、それ以上であると、台金１の抗張力
に影響を与えるおそれが生じる。
このような構成からなる内周刃砥石によれば、台金１の
応力分布を、格子模様10の線と線の間隔の開き具合や歪
具合から直感的に知ることができるので、台金１を固定
治具で張り上げる際には、台金１にかかる応力分布の変
化を確かめながら作業を行なうことができる。したがっ
て、テンションボルトの締め付けトルク等によって間接
的に張り上げ量を設定していた従来の砥石に比べ、台金
１の応力分布をより正確かつ均一にし、局部的な応力集
中に起因する台金１の破損のおそれを低減し、砥石の寿
命延長を図ることが可能である。
応力分布を、格子模様10の線と線の間隔の開き具合や歪
具合から直感的に知ることができるので、台金１を固定
治具で張り上げる際には、台金１にかかる応力分布の変
化を確かめながら作業を行なうことができる。したがっ
て、テンションボルトの締め付けトルク等によって間接
的に張り上げ量を設定していた従来の砥石に比べ、台金
１の応力分布をより正確かつ均一にし、局部的な応力集
中に起因する台金１の破損のおそれを低減し、砥石の寿
命延長を図ることが可能である。
また、肉眼で直接見る代わりに、台金１の格子模様10と
全く同じ格子模様を有する透明板を用意し、この透明板
を台金１の格子模様10に重ねてモアレ縞を確認するなど
の方法を採れば、より明確かつ正確に応力分布を知るこ
とができる。
全く同じ格子模様を有する透明板を用意し、この透明板
を台金１の格子模様10に重ねてモアレ縞を確認するなど
の方法を採れば、より明確かつ正確に応力分布を知るこ
とができる。
さらに、張り上げ前の台金１の格子模様10を予めコンピ
ュータに画像入力しておき、張り上げ作業を行なう時に
は、格子模様10を間欠的あるいは連続的にコンピュータ
に入力して画像解析しつつ最適応力が得られるように調
節することも可能であり、その場合には、台金１の寿命
を最大限延長することができる。また、前記画像解析の
結果に基づいてロボットにより自動的に台金１を張り上
げていくといった方法を採ることも可能である。
ュータに画像入力しておき、張り上げ作業を行なう時に
は、格子模様10を間欠的あるいは連続的にコンピュータ
に入力して画像解析しつつ最適応力が得られるように調
節することも可能であり、その場合には、台金１の寿命
を最大限延長することができる。また、前記画像解析の
結果に基づいてロボットにより自動的に台金１を張り上
げていくといった方法を採ることも可能である。
なお、以上の実施例では、台金１に格子模様10を形成し
た例を示したが、このような格子模様10の他にも、台金
１と中心を同じくする同心円模様や、多数の点を縦横一
定間隔に画いた模様等でも同様の効果を得ることができ
る。
た例を示したが、このような格子模様10の他にも、台金
１と中心を同じくする同心円模様や、多数の点を縦横一
定間隔に画いた模様等でも同様の効果を得ることができ
る。
「考案の効果」 以上説明したように、本考案の内周刃砥石にあっては、
台金の応力分布を台金に形成された模様の周期変化等か
ら直感的に知ることができるので、この台金を固定治具
に装着する際には、応力分布の変化を確認しながら張り
上げ作業を行なうことができる。したがって、テンショ
ンボルトの締め付けトルク等によって間接的に張り上げ
量を設定しなければならなかった従来の砥石に比べ、正
確かつ均一な台金張り上げが可能であり、局部的な応力
集中などを防いで台金破損のおそれは低減し、砥石の寿
命延長を図ることが可能である。
台金の応力分布を台金に形成された模様の周期変化等か
ら直感的に知ることができるので、この台金を固定治具
に装着する際には、応力分布の変化を確認しながら張り
上げ作業を行なうことができる。したがって、テンショ
ンボルトの締め付けトルク等によって間接的に張り上げ
量を設定しなければならなかった従来の砥石に比べ、正
確かつ均一な台金張り上げが可能であり、局部的な応力
集中などを防いで台金破損のおそれは低減し、砥石の寿
命延長を図ることが可能である。
第１図は本考案の一実施例の内周刃砥石を示す平面図、
第２図は従来の内周刃砥石を示す平面図、第３図は同砥
石を固定治具の一例に取り付けた状態を示す断面図であ
る。 １……台金、２……砥粒層、３……取付孔（被固定部の
一部）、10……格子模様（応力分布確認用模様）。
第２図は従来の内周刃砥石を示す平面図、第３図は同砥
石を固定治具の一例に取り付けた状態を示す断面図であ
る。 １……台金、２……砥粒層、３……取付孔（被固定部の
一部）、10……格子模様（応力分布確認用模様）。
Claims (1)
- 【請求項１】薄肉円環状の台金の内周縁に砥粒層が形成
されるとともに、前記台金の外周部には台金固定治具に
固定されるべき被固定部が形成され、使用時には前記台
金固定治具により前記被固定部が台金の半径方向外方へ
向けて張り上げられる内周刃砥石において、 前記台金の少なくとも一方の側面の、前記砥粒層および
前記被固定部を除く全面には、前記張り上げに伴う台金
各部の変形量を確認できるように一定の方向に向けて相
互に一定間隔を空けて配列された応力分布確認用模様が
形成されていることを特徴とする内周刃砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987089233U JPH0639887Y2 (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 内周刃砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987089233U JPH0639887Y2 (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 内周刃砥石 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63197061U JPS63197061U (ja) | 1988-12-19 |
| JPH0639887Y2 true JPH0639887Y2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=30948036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987089233U Expired - Lifetime JPH0639887Y2 (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 内周刃砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639887Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5818189A (ja) * | 1981-07-24 | 1983-02-02 | 三菱電機株式会社 | ヘリカルコイルの支持装置 |
| JPS6130329A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 電解放電加工用の砥石 |
-
1987
- 1987-06-10 JP JP1987089233U patent/JPH0639887Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63197061U (ja) | 1988-12-19 |
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