JPS58171839A - 半導体装置のパツケ−ジ及び実装方法 - Google Patents

半導体装置のパツケ−ジ及び実装方法

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JPS58171839A
JPS58171839A JP58048064A JP4806483A JPS58171839A JP S58171839 A JPS58171839 A JP S58171839A JP 58048064 A JP58048064 A JP 58048064A JP 4806483 A JP4806483 A JP 4806483A JP S58171839 A JPS58171839 A JP S58171839A
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semiconductor device
pad
plane
tip
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ジヨン・ダブリユ・オ−カツト
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は、半導体装置の実装方法に関し、さらに詳しく
はプラスチックカプセル封止全行う為のリードフレーム
の製造に関す名。
従来技術の説明 例えばデュアルインライン型パッケージのような(以下
DIPパッケージと呼ぶ)典型的な半導体パッケージは
、お互いに電気的には絶縁されていてプラスチックのカ
プセル封止包囲体を通って伸び、例えばプリント回路板
上の個々のリードのような電気回路の他の構成部に対し
電気的な接続を形成する複数のリードを有している。プ
リント回路板上のリードはD工Pパッケージと例えは出
力供給部又はその他のIIIPパッケージのような他の
構成部とを接続する。D工Pパッケージは、典型的には
、例えば集積回路のような半導体装置がその上にとり付
けられるバーパッドを有している。半導体装置のバーパ
ッドへのと9付けは合金又はエポキシ樹脂で半導体装置
とバーパラぜの間を接着することによって行われる。バ
ーパッドはたいたい平坦な面を有していて、この上に半
導体装置の一方の面がとシつけられる。半導体装置の反
対側の面は典型的に複数の電極パッドを有している。半
導体装置上の各々の電極パッドは、複数のリードのうち
の1本のり−げに設けられた電極パッドにとりつけられ
る。これによって半導体装置とIJ −ドの騎で必要な
電気的な接続が与えられる。上記で示したリードはお互
いに電気的に絶縁されていて、半導体装置上の電極パッ
ドと他の回路との間を別個に電気的に接続している。パ
ーパッドa 一般に、典型的に接地に接続する1本のり
−rに接続している。
D工Pパッケージの構成では、リードフレームはフォト
リトグラフ技術又はスタンピングによって製造される。
リードフレームは金属製であって、平坦な金属板の所定
区域を打ち抜くといった標準的な技術によってこのスタ
ンピング工程が行われる。フォトリトグラフ技術では、
浸食材(corroaive)の作用に対し耐浸食性の
材料で所定区域をおおう。この浸食材はリードフレーム
を構成している金属を溶かす仁とができる物質である。
所定区域はおおわれないままで残っていて例えば浸食物
質の入った水槽の中に入れてリードフレームを浸食材に
さらすと、何もおおわれて込ない部分の金属は浸食され
て浴けてしまって、耐浸食性の物質におおわれた部分の
金属のみが残る。次いで耐浸食性の物質が残った金属か
らとシ除かれる。
バーパラVに付属した状態でリードが形成される場合、
バーパッドとリードフレームの間にすきまができるよう
な穴をあけるパンチングが行われパーパッドからリード
は分離される。それからパーパッドは、リードによって
占められる平面から他の平面に移される。更に半導体装
置はパーパッドにとりつけられる。半導体装置内の各々
の電極パッドは複数のリードの中の一本のリードの先端
付近に接続される。この接続は、例えばテープ自動ボン
ディング、イヤングボンデイング、ポールボンディング
又はステッチがンデイングを用いて行うことができる。
電気的な接続が形成された後でパーパッドYC近接する
部分のリード、バーパッド及び半導体装置はプラスチッ
クによってカプセルそれから適宜な方向に曲げられる。
例えば、デュアルインライン型パッケージの一方の側面
から出る全てのリードは時計回シの方向に曲げられ、デ
ユアルインライン型パッケージの反対側の側面から出る
リードは(パッケージの同じ方向から見て)時計回シと
逆の方向におシ曲けられる。
金床を用意し、その中に包囲体が入れられることによっ
てリードはおシ曲けられる。包囲体からのびるリードと
接触している金床の縁部はリードで形成したい形とほぼ
同じ形をしている。金床の上方位置に締め具が移動され
る。締め具は、リードの一部と接触していて、またリー
ドは金床とも接触しているのでしつかプとリードが締め
つけられる。形成用パンチ器具は、金床と締め具の間で
保護さ朴ている区域かられずかに離れ九位置でリーYに
接触するように位置される。リードを曲げ丸い方向に形
成パンチ器具を動かしこれによってリードは金床の縁と
同じ形に折れ曲が9所望の形状となる。いくつかの実施
例では、ボンディングオペレーションの間リードが物理
的に相互に接続されていることが望ましい。リードフレ
ームの包囲体が形成された時に包囲体の外側になる位置
でリードは物理的に相互に接続している。個々のリード
間の物理的な相互接続部は包囲体を形成する前に切断さ
れる。リード間の物理的な接続を分断した後で包囲体が
形成され、更にこれは金床と締め具の間に入れられて上
述のようにリードを所望の形状に折シ曲げる1徊が行わ
れる。
従来構造でパーパラPからリードのうちの少くとも1本
のリードを切断するリードフレームを示すものはなかっ
た。更に従来構造でリードフレームに機械的に弱い区域
を持ち、この機械的な強度を低下させた区域に沿ってリ
ードを折シ曲げるようにしたものを示すものはなかった
発明の概要 本発明社、半導体装置を実装及びカプセル封止する為に
作られたリードフレームを示している。
リードフレームは、パーパッドとパーパッドに一方の先
端で接続される少くとも1本のリードを含んで形成され
る。リードは、リードフレームの外部フレームにもとシ
つけられている。外部リードは、リードの形成工程及び
例えば半導体装置をパーパッドにつ)つける工程のよう
なその他の種々の工程の間%’)−)’フレームを構造
的に支えている。一方の先端でパーパッドと接続してい
るリードは、接続していたパーパッドから切断される。
リードフレーム扛、平坦な金属板から作られ、外部フレ
ーム、リード及びパーパッド祉同一平面内にある。それ
からパーパッドはこの平面から他のへと移されパーパッ
ドから切断された9  pの先端とパーパッドの間には
必要な分離が与えられ、パー°パッドとリードの間が偶
然電気的に接続されることを防ぐ。リーPには横方向に
弱くシ゛である区域がある。□この区域は、カプセル封
止の後でゾ2スナック包囲体のちょうど外側に位置する
。機械的な強度を低下させた区域を折シ曲げたい位置に
設けて確実に所望の位置でリードが曲がるようチックの
包囲体を形成した後でパーパラPに遅筆する方のリード
の先端にかけて包囲体の中に含まれる広くなった区域を
有している。この広くなっている区域は、プラスチック
の包囲体内にWするようにリードを固定し保護していて
、外部的な力によってリードがひき出される事故の発生
を防いでいる。
半導体装置及び外部との電気的な接続を提供するリード
をカプセル封止する方法は、リードフレームの形成から
始まる。リードフレームは、平坦な金属板から形成され
、所望のリード及び支持部のパターンは、標準的表フォ
トリトグラフ技術又は標準的なスタンプ技術のいずれか
を用いて形成される。リード及びバーパラYが形成され
た後で少くとも1本のリードはパーについた11残る。
このリードと同様パーパッドについているこの他のいず
れのリードもパーパッドから切シ離される。
それからパーパッドはリードフレームの存る平面からそ
れと平行な他の平面に移される。更に、半導体装置がエ
ポキシ樹脂又は合金によってパーパッドに接着される。
リードと半導体装置のバーパッ゛ドと接着してaる面と
反対側の面の上に設けられた適当な電極パッドとの間に
必要な電気的接続が形成される。次にリードフレーム及
び半導体装置はモールドの中に置かれ、その周辺をおお
ってプラスチックのカプセル封止包囲体が形成される。
リードのバーパッドと近接する部分はカプセル封止され
るが、機械的な強度を低くした狭くなった区域は、包囲
体の外側表面と非常に近接するが外側に位置する。リー
ドは、広くなった区域を有していて、この区域は、カプ
セル封止包囲体の中にあって、リーrを包囲体の中に留
まるように保護し、固定している。カプセル封止工程の
間、リードを他のリードのような他の構成部と接続して
おくことができる。これらの相互接続部は、カプセル封
止される区域の外側にあってパンチの操作によってトリ
ムされリードはその他全ての構成部から切シ離される。
この切断には、もしあれば、リードフレームの外部フレ
ームが含まれる。ここでリーyは、半導体装置との電気
的な接続及び包囲体との機械的な接続を残し、完全に切
シーされ絶縁される。包囲体の外にあるり−ドの先端は
さらに外形を整える1穐にかけられる。形成パンチ装置
は包囲体の外側にでているリードに接解していてリード
を望みの方向に曲げる。機械的な強度を低下させた区域
は、包囲体の外側にあるのでリードはこの区域で変形し
たり曲がったりしやすい。
故に金床や締め具を使わなくて吃り−ドの曲がる位置を
予め決めることができる。リードを先細シの形状で作る
こともできる。この場合、パンチ装置は機械的な強度を
低下させた区域も包む9−Fのだんだん広くなっている
区−に触れている。リードは、包囲体の外側にあるリー
ドの先端に近づくにつれて先が細くなるような形状で作
られる。
本発明に従うと、リーYがバーパッドから切シ離される
切断工程の間にリードの先端は上又は下方向のいずれか
におし曲げられリーrはバーパッドと絶縁される。この
リードを曲げる工程によってパーパラぜに近接する方の
リードの先端とバーパッドとの間で必要な物理的な分離
を提供することができる。上記で記した残ルの工程鉱、
バーパッドを、リードフレームの残りの部分が占める平
面から他の平面に移す必要がないこと以外は同じである
本発明の他の利点は、リードをプラスチックカプセル封
止包囲体から出ないよう固定し保護することを可能にす
る広くなった区域を提供することである。
本発明の他の利点は、リードが所定区域で曲がるように
する為の機械的な強度を低下させた区域をプラスチック
のカプセル封止包囲体の外側に設は九半導体装置のパッ
ケージの為のリードを提供している点である。
更に本発明の利点は、切断工程によってバーパッドから
少くとも1本のリードを切断するために利用することが
できることである。
本発明の他の利点は、D工Pパッケージの幅に比例して
現在の製造方法で用いられる幅より幅を広くした半導体
装置を使用することができるデユアルーイン−ライン型
パッケージを提供することである。
本発明の他の利点は、リードを切断工程によっテ/+−
パッドから切シ離した後でリードのある平面と平行する
が間隔をおいた異る平面にバーパッドを移すことによっ
てリードの先端とバーパラVの間を物理的に分離するこ
とである。
本発明の他の利点は、リードを切断し、リードの先端及
びバーパラrに近い部分を所望の方向に押し曲げること
によってリードの残シ部分及びバーパッドがある平面の
外へ出し、故にバーパラPとリードのバーパッドに近接
する先端の間に物理的な分離を提供することである。
好ましい実施例の説明 以下、図を参照しながら好ましい実施例に関連し本発明
の詳細な説明する。
図面を参照すると、特にその中の第1図を参照するとリ
ードフレーム20が示されている。リードフレーム20
は外側フレーム22を持ちこれは、この中にリードフレ
ーム20の残ル部分が形成され、外枠となる。外側フレ
ーム22は、適尚な領で他の別個のリードフレームと接
続し例えば自動装置を通過する為、印をつけるのに適し
−hv−ドフレームのストリップ(帯)を形成するよう
にすることもできる。ストリップ内の全てのリードフレ
ームは実質的に同一である為リードフレーム20を詳細
に説明することによって全てが説明される。
外側フレーム22は支持部25.27によってバーパッ
ド29に接続される。支持部21は、突出部32によっ
てリード34に接続される。突出部32及び支持部27
によってリード34はバーパッド2Sに接続されバーパ
ッド29を所望の電圧レベルに維持している。リード3
4は、デュアルインライン型パッケージ36(第6図)
が他の回路(図示せず)K接続された後では接地電位に
接続されない。リードフレーム20はリーP4〇−54
も有している。D工Pパッケージ36(第6図)は16
本のビンを持つパッケージであって、これらのぜンはリ
ードを通して半導体装置60上の16の異る電極パッド
にアクセスしている。リード41−44及び49−52
は、第1図で示す通シバーパッド29と接続している。
リード344G、45,46.47.48.53及び5
11バーパツド29と接続していない。リード及びリー
ドとバーパッド間の種々の開口を形成するスタ/ゾ工程
の間にこれらのリードはバーパッド29の材料から切り
離される。リード34及び4〇−54は全て第1図で示
す通シ先端67−78でそれぞれ外側フレーム22から
切)離される。これらの先端は外部リードフレームと接
続したまま維持され、カプセル封止されたデュアルイン
ライン型パッケージを形成する工程の期間中ならいつで
も切断される。リード34及び40−54は、それぞれ
先端63−7..8からバーパッド29に近接または接
続している内側の先端84−991でのびている。いく
つかの実施例では、一連の相互接続結合部110−11
8によってリードを相互に接続することによって各々の
リード34及び4〇−54をさらに支えることが望まし
い場合がある。
例えば結合部110は外側フレーム22をリード34と
接続し、結合部111はリード34をリード40と接続
している。結合部110−118はり−ド34及び40
−46を相互に接続し、外側フレーム22の一方の端か
ら他方の端までのびる連続するストリップを形成する。
例えば、リード46は結合部118によって外側フレー
ム22に接続し結合部117によってリード45に接続
する。同様にして、結合部119−127はリード47
−54を相互に接続し外側7レームに接続している。例
えばリード50は結合部122によってリード49に接
続し結合部123によってリーr51に接続する。第1
図に示すリードフレーム20も、標準的なフォトリトグ
ラフ技術によって形成される。
各々のり−ド34及び40−54はそれぞれ機械的な強
度が低下された区域150−166を有している。機械
的強度を低下させた区域社、全て同様であって、区域1
65.164に関する詳しい説明をすれば全てにあては
まる。まず第1に結合部11G−126によって作られ
九相互接続部を除き全てのリードは隣接するリードから
、またバーパッドと接続するリード41−42及び49
−52を除く他の全てのリードから分離されていること
を明記しておく。区域164は水平方向にリード52に
わたって伸びている。区域164は、開口175.17
6にそれぞれ切込み178及び172をつけることによ
って形成される。開口175は、リード51及び52を
バーパッド29に近い結合部124から切シ離すのに必
要な物理的な公理を提供している。開口175は、バー
パッド29の一辺まで伸びる指状の切込み178を有し
ている。切込み17Bの機能については、以下で説明す
る。
開口176は、バーパッド2Sと結合部125の聞及び
リード52と53を分ける為に必要な分離を提供してい
る。切込み170及び172は、それぞれの開口175
,176からはハ45°の角度でリード52の中央線に
向かってリード52の中に入シこむちょっと手前までの
びている。開口176もリード53の中央線に向かって
のびるほぼ45°の角度にのびる切込み180fr有し
ている。
リード53と54を分離する他の開口182は、これら
のリードの先端98.99からこれらが接続する結合部
126tで広がっている。開口182には、はぼ45°
の角度でリード53の中央線に向かって伸びる切込み1
84が設けられている。機械的な強度を低下させた区域
165を形成する為こζに示す特定の開口の配置は、単
なる一例として示すものである。機械的な強度を低減さ
せた区域を形成する標準的な方法ならいずれも使用可能
である。例えば、区域165内のり−ド53の材料に水
平に切り溝(キズ)を入れてそこに含まれている材料自
体の強度を弱くする方法も利用できる。区域165内の
材料に入れた切シ溝は、材料が切り離されてしまう程深
くて紘いけないが総体的にみて弱い区域を作る深さであ
れば充分である。
リード52.53は、開口185によって結合部125
とこれらリードの先端76及び7Tの間において分離さ
れている。リーy53及び54は開口18Bによって結
合部126とこれらリードの先端77.78の間におい
て分離されている。
リード54は、外側フレームに接続する結合部とリード
54の先端18の間の開口190によって外側フレーム
22から分離される。他のリード34−52は開口18
5.188及び190と同様の開口によって他のり−P
との結合部及び外側フレーム22との結合部から分離さ
れる。さらに、リード34及び40−54は開口175
.176及び182と同様の複数の開口によって分離さ
れる。リード41−44及び49−52とバーパッド2
9とが接続する部分を除き、リードが結合部110−1
27だけで他の構成部と接続するようにする為に必要な
分離をリード間に提供する為、これらの開口が設けられ
る・ 切断工程の間、リ−)”41−44の先端86−89は
それぞれ点線210に沿ってバーパッド29から切シ離
される。更に切断工程の間にリー)”49−52は、そ
れぞれ、その先端94−17で点IK212に沿ってバ
ーパッド29から切シ離される。カプセル封止が行われ
、バーパッド2&半導体装置60(第6図)及び点線2
16−219で囲まれた長方形□内に含まれる部分のリ
ードは、プラスチック材料でこの区域をカプセル封止す
ることによってできた包囲体の中に含まれてしまう。
カプセル封止は例えばトランスファーモールディング又
は注入モールディングのような標準的技術のいずれかに
よって行うことができる。
弱くしである区域15G−166はカプセル封止をする
包囲体の外側にあシ、結合部11〇−121もカプセル
封止する包囲体の外側にあることに注意しなくてはなら
ない。リードフレーム20の他の特徴は、各々のリード
34及び40−54が広くなつ九区域230−245を
有していることである。ここで示した広くなった区域は
リードの一部分がリードの本体部分からその両側の開口
の中に向かってのび広くなっている部分を指す。カプセ
ル封止された後で広くなっている区域の付近まで開口は
包囲体222のプラスチック材料でおおわれる為、広く
なっている区域は、開口の内側に入りこんで広くなって
いるので例えば出荷又はプリント回路板やD工Pソケッ
トに挿入する間に加わる外部からの機械的な圧力によっ
てリードが包囲体222(第6図)からひつば)出され
ることがないように固定し又は保−する為の機構あるい
は錨として働いている。広くなっている区域は全てのリ
ード34及び40−54とだいたい同一であるので広く
なった区域23G及び232の詳細な説明管行えに全て
にあてはまる。
広くなっている区域232は、リード41と42の間の
開口250の中に突き出た小さなホック(鉤状部>1有
している。故にこの広く々つ九区域に於るリ−Pの幅は
カプセル封止される部分の限界を示す第1図の点線21
6に近い区域の幅よりいくらか広くなっている。故に広
くなっている区域は、リード34が包囲体222(第1
図)内に留まるようにする支え又は保護の機能全果たし
ている。同様にして、リード41の広くなっている区域
232tlj:点線21Bに沿った部分のり一ド41の
幅よシずりと広い幅を持っている。更に2つのホック2
53.254は、それぞれ開口256と250の中まで
のびている。少くともホック253と254に近接する
部分の開口は、包囲体222のプラスチック材料でおお
われる。包咄体222の材料は、ホック253.254
といつしよになって外部の機械的な圧力が加わることに
よってリード41が包囲体222から引つばシだされる
のを防いでいる。例えばリード41を包囲体222から
引き出そうとじ九場合、ホック253及び254は、ホ
ラA近の包囲体の材料にひつかかシこれによってリード
41が包囲体の外へ出てしまうのを防いでいる。
第2図で示す通シ、リード42,51aバーパツド29
と接続している。切断装置260は、リード42及び5
1の先端・87.96の方向にそれぞれ向けられる。切
断装置260には2枚の鋭利な切断用の刃263及び2
64がついている。鋭利な刃263及び264は、バー
パッド29の幅と同じ間隔でとルつけられている。鋭利
な刃263゜264はそれぞれり−1”42及び51の
先端8T。
86でリードフレーム20の材料と触れ合つ七いる。実
際は、鋭利な刃263及び264a、点−210及び2
12(第1図)、の全長に沿って9−rフレーム20の
材料と触れあっていて、リード41−44及び49−5
2は全てパーパッド29から切)離される。点線210
.212(第1図)に浴ったり−ドフレーム20の材料
の切断を容易にする為、切断装置260が最も有効に切
断を実行でき点線210.212にきちんと沿って材料
を切断できるようにリードフレームは、平らな切断用の
平面の上に位置される。D工Pパッケージを形成する工
程では、まず第1図で示したリードフレームが形成され
、次に第2図で示す切断工程が行われる。切断工程とは
、即ち無駄や廃物を作らずに材料を鋭い刃で切開するこ
とを意味している。
これは、無駄な材料部分を発生させるパンチやスタンプ
による形式の操作と区別される。
第5図で示す様に1第2図に関連して上記で説明した切
断工程を行つ死後でパーパッドは、例えばパンチ装置に
よってリード34及び40−54のある平面からは間隔
があるが平行な平面に移される。リード41−44及び
49−52をパーパッド29から切断した後で、パーパ
ッド29はリードのある平面から移される。その後で支
持部25.27(第1図)は変形され支持部25 、2
7の所定部分がリード34及び40−54のある平面に
残る。リード34及び40−54のある平面からパーパ
ッド29をパンチ装置で移した後で半導体装置60が例
えば合金又はエポキシ樹脂による接着技術のような標準
的技術を用いてパーパラP29にとシ□つけられる。半
導体装置6oをパーパッド29にと如つける為にはバー
パッド290表面266(第3図)と半導体装置60の
表面268の間に電気的接続がなされていることが一般
に望ましい□。電気的な接続を与える材料が、2つの表
面266と268を接着する材料に加えられる。半導体
装置60のパーパッド29と接着する面と反対側の表面
270は、例えば電極パッド272及び274のような
複数の電極パッド管有している。ワイヤ280によって
電極パッド272とリード42の間には、電気的な接続
が形成される。電極パッド272は特に高くなっている
部分という訳ではないが、一般に電極パッドと呼ばれる
リード42の先端87に近接する位置との間にワイヤ2
80がと)つけられる。ワイヤ280は、例えばゴール
ボンディング又はステッチポンディングのような標準的
技術によってとりつけられる。
更に、テープ自動ざンデイング又はヤヤングボンデイン
グとして知られる技術を用いて電気的な接続を形成する
こともできる。ワイヤ282はリ−1−”51の先端9
6付近の電極パッドと半導体装置60上の電極パッド2
740間に接続される。パーパッドの辺290と292
はそれぞれ一般にリード42の先端8T及びリード51
の先端96と近接するが間隔のあいた位置にある。リー
ド42゜51の平坦な上側の表面153は、平面295
の中にある。パーパッド29の平坦な上側表面266は
平面297内にある。平面295及び297は、実質上
平行に位置する。先端BT及び辺290は、一般に平面
295及び287に対し実質上垂直な平面306の中に
ある。同様に辺292と先端96は平面295及び29
7に対し実質上垂直な平面302内にある。第3図に示
すように包囲体222は、半導体装置60とパーパッド
29を完全にカプセル封止し、さらにリード42及び5
1をおおって区域153及び163に近接する点まで外
側に広がっている。機械的な強度を低下させた区域15
3及び183は包囲体222の外側表面305の外側で
あるが非常に近接して位置する。
リード42及び51の広くなっている区域233及び2
42t;tそれぞれ包囲体222内に位置され、図で示
す通シワイヤ280.282によって電気的な接続が形
成されている。
第4図で示す通夛、包囲体222は面307に接して位
置され支えられている。各々のリードは、細い縁部を持
つ2つの平坦な表面を有している。
形成パンチ装置309は、第4図のようにリード42だ
けでなく他のり−ド34及び40−46の方に下向きに
位置あわせされ接触するようにセットされ、これらリー
ドは包囲体222に対し時計回シの方向に動かされ曲げ
られる。パンチ装置はリードの平坦な面と接触している
。リード紘第4図の点線で示す過多の位置まで曲げられ
る。区域153は機械的な強度を低下させである部分で
あるからここで折れ曲が〕これによってリード42が(
実線の)第1の位置から時計回シの方向に菖4図の点線
で示す第2の位置までくるように、リード42の曲がる
部分を精密に制御することができる。同様にして第4図
にはリード51だけしか示されていないがリード46−
54も、パンチ装置の反対側の接触部によってリードに
接触し第4図に示す通夛時計回りと反対方向に力を加え
リードを押しまけることによって(実線で示す)初めの
位置からその位置に対し実質上90°回転した位置まで
曲けられる。第4図のパンチ装置30902つの接触部
は、もともと安定性を与える為に結合されているもので
ある。さらに包囲体222は、パンチ装置が操作される
間、さらにしつかシと固定しておく為第4図で示すよう
な表面307の中にわずかに挿入される。機械的強度を
低下させた区域を設けた時にはり−ド34及び40−5
4を締め金でとめる必要はないということに注意しなく
てはならない。リード51は、区域163で折れ曲がる
こと拡重要であり注意してほしい。強度を低下させた区
域を設けることによって上記の従来技術で示し説明した
ような締金による操作(クランーング)を必要としない
のでリードを包囲体222の外側表面に非常に近接した
位置で曲げることができるようになる。
第5図を参照すると、リードフレーム20と同様のリー
ドフレーム31(19−)”フレーム20のり−)’4
2.51と同様のリード313,312を有している。
リードフレーム310はバーパッド29と同様のバーパ
ッド317も有している。
リード313の先端319はバーパッド311にとりつ
けられている。さらにリード312の先端321もパー
パラ1’317にとシつけられている。
先端319及び321は切断装置323によって切断さ
れ、バーパッド317から切り離される。
切断装置323はバーパッド317から先端319゜3
21を切シ離し、さらに第5図に示す通夛上方におし曲
げることによってリード312.313の残余部分及び
バーパッド317が占める平面325の外に、これらの
先端は出される。
バーパッド317上に位置される半導体装置とリード3
12及び313の間に電気的接続を形成したい時には、
例えばポールポンディングによって接続される場合、リ
ードに対する接続電極は通常リード313及び312上
のそれぞれ参照番号328及び329で示す位置に作ら
れる。この形式のリードフレーム成形で紘、リードの先
端とパーパラPの間は、リードの先端をリード及びバー
パッド317がもともとあった平面の外に押し出すこと
Kよって物理的に分離される。この構成では、他の理由
で移した方が望ましい場合を除き、バーパッドを平面3
25の外へ移す必要はない。
半導体装置60(第6図)と同様な半導体装置はバーパ
ッドを平面325の外へ移さなくてもバーパッド317
の上にとりつけ得る。バーパッド317の上にとシつけ
られた半導体装置とリードフレーム310のリードとの
間に所望の電気的な接続を形成した後で、半導体装置、
バーパッド及びバーパッドに近接する部分のリードはカ
プセル封止される。次に、リードは、リード42 、5
1(第4図)と同様にリードフレーム310を蟻初に形
成するときに作られた弱くしである区域t−片いて押し
曲げられる。
ここではD工Pパッケージが示されているが本発明は、
例えば四方にリードが伸びるプラスチックチップキャリ
アのような適宜なキャリアのいずれにおいても利用でき
る。
以上のようにして、切断によってパーパッドを残りのリ
ードフレーム部分がある平面に移すことによって資材の
無駄上最小にした半導体装置パッケージを提供すること
ができる。本発明のリードフレームのリードは機械的強
度を弱くした区域を設けであるので特別の道具を使わず
に正確にリードを所定方向におし曲げることができる。
更にリードの包囲体の中に入る部分は幅が広くなってい
るので、外部的な力によって中のリードパッド等がひき
出されることはなく保護されている。このように種々の
利点を持つパッケージ実装法を用いることによって半導
体装置の歩留まシを向上させることができ故に価格の低
減に関しても有効な実装方法及びパッケージを提供する
ことができる。
本発明祉特定の実施例に関し説明したが当分野に通常の
知識を有する者であれば自づがら改変も示唆するもので
あることは明白でおる。このような改変は、特許請求の
範囲の趣旨に基づき包含されることを意図するものであ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に従って構成されたリードフレームの平
面図である。 第2図は、リードフレームのリードをリードフレームの
パーパッドから切)離す切断工程を示す側面図である。 第6図は、所望の方向にリニドをおシ曲ける前の本発明
に従って構成されたデユアルーイン−ライン型パッケー
ジである。 第4図は、本発明に従って行われるリードを曲ける操作
を示す側面図である。 第5図は、切断工程でリードの先端及びそれに隣接する
部分が切シ離されパーパッドから離れておシ曲げる切断
操作を横から見た図である。 Fig、I Ft夕5

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1バa) 中央に位置するパーパッドを持つ実質上平
    坦な金属フレームと、一方の端でパーパッドにとりつけ
    られ、上記パーパッドから外に向かって反対側の先端ま
    でのびる少くとも1つのリードを形成し; (1))  上記リードを上記パーパッドから切断する
    ;工程を含む9−Wフレームを形成する方法。 (2)  上記(→の工程の後で上記パーパッドを上記
    リードとの関係で上記パーパッドが第1の平面内にTo
    シ、上記リードが上記第1の平面に平行な第2の平面に
    あるように移す工mを含む特許請求の範囲第1項の方法
    。 (3)(a)  半導体装置の周囲をおおい外側表面を
    持つプラスチック包囲体と: (b)  上記プラスチック包囲体内部の第1の平向に
    位置され縁部を持つ上記半導体装置がと〕つゆられるパ
    ーパッドと; (0)  上記包囲体内の上記第1の平面に実質上平行
    な第2の平面に位置する第1の先端から上記外側表面を
    通って第2の先端までのびる少くとも1つのリードとを
    有し、上記縁部及び上記第1の先端が上記第1及び第2
    の平面に実゛質上垂直な第5の平面内に位置する半導体
    装置の為のパッケージ。 (4)上記リードが上記包囲体の外部の上記外側表面に
    近接する位置に機械的な強度を低減させた横方向に狭く
    なった区域管有すゐ特許請求の範囲第3]Jのパッケー
    ジ。 (5)  上記リードが上記包囲体の外部の上記区域に
    溢って上記第2の平面から曲げられる特許請求の範囲第
    4項のパッケージ。 (6)上記パッケージがさらに上記包囲体の中に上記リ
    ードと上記半導体装置の間の電気的な接続を有する特許
    請求の範囲第6項のパッケージ。 (7)  上記電気的な接続が上記半導体装置上の電極
    パッドから上記第1の先端付近の上記リード上の電極パ
    ッドまでのびるワイヤを含む特許請求の範囲第6項のパ
    ッケージ。 (8)上記リードは、上町包囲体内から出ないように上
    記リードを保護する幅が増えて広くなっている区域を含
    んでいる特許請求の範囲第6項のパッケージ。 (9)(SL)  上記半導体装置の周囲をおおい外側
    表面を持つプラスチック包囲体と; (b)2上記半導体装置にとシつけられ、上町包囲体内
    の第1の平面に位置するバーパッドと;(0)  上記
    包囲体内の上記バーパッドに近接する第1の先端から外
    側表面を通って第2の先端までのびるリーPであって、
    上記リードは第1及び第2の部分を有し、上記第1の部
    分は、上記第1の平面内を上記外側表面から上記第2の
    部分までのび一1上記第2の部分は、上記第1の平面か
    ら出て上記バーパッドの方にのび上記第1の先端を含む
    所定距離の長さを持ち上記外側表面と反対側の上記第1
    部分が終わる先端の位置で上記第1の部分はバーパッド
    から上記所定距離だけ間隔がおいているこのようなリー
    ドを少くとも1つは持つ半導体装置の為のパッケージ。 Qtll  上記第1の部分が上記リードを上記包囲体
    内に保持する為の広くなった区域を有する特許請求の範
    囲第9項のパッケージ。 aO上記リードが上記包囲体外部の上記外側表面に非常
    に接近して位置する機械的な強度を低減させた横方向に
    狭くなった区域を有する特許請求の範囲第9項のパッケ
    ージ。 a3  上記リードが上記包囲体の外で上記区域に清っ
    て上記第1の平面からおシまげられている特許請求の範
    囲第11項のパッケージ。 (13(a)  中央にバーパラPが配置された実質上
    平坦な金属フレームと一方の先端で上記バーパッドにと
    りつけられ、上記バーパッドから離れてもう一方の反対
    側の先端までのびる少くとも1つのリードを形成し; (b)  上記リードを上記バーパッドから切断し;(
    C)  上記リードに対して上記バーパッドを第1の平
    面に位置させ、上記リードは上記第1の平面、と実質上
    工性7第20平面内に置き;(d)  上記半導体装置
    を上記バーパッドにとシつけ; (e)  上記半導体装置上の電極パッドと上記リード
    の間に電気的接続を形成し; (f)  上記電気的接続を含み上記半導体装置、上記
    バーパッド及び上記リードの上記バーパッドに近接する
    部分をカプセル封止する 工程を含む半導体装置を実装する方法。 α荀 上記工程(1))及び<Q)を同時に行う特許請
    求の範囲第16項の方法。 QS(IL)  バーパッドと一方の先端はバーパッド
    にとシつけられ、#g1の平面内でもう一方の反対側の
    先端までのびる少くとも1つのリードを持つリードフレ
    ームを形成し; (1))  上記バーパッドから上記一方の先端を切断
    し、上記一方の先端及び上記リードの先端付近を曲げて
    上記第1の平面の外に出し;(C)  上記半導体装置
    を上記バーパッドにとシつけ; (、l)  上記半導体装置上の電極パッドと上記リー
    ドの上記一方の先端付近の間に電気的な接続を形成し; (e)  上記電気的な接続を有し上記半導体装置、上
    記バーパッド及び上記リードの上記一方の先端付近の部
    分をカプセル封止する工程とを有する半導体装置の実装
    方法。 tte  上記工程(b)及び(0)を同時に行う特許
    請求の範囲第15項の方法。 αn (a)  バーパッドと一方の先端で上記バーパ
    ッドにクシつけられもう一方の反対側先端までのび、上
    記一方の先端と上記もう一方の先端の中間に機械的な強
    度を低減させた横方向の区域を持ち上記区域と上記一方
    の先端の中間に幅が広くなっている区域をもつ少くなと
    も1つのリードを持つリードフレームを形成し;(1)
    )  上記リードの上記一方の先端で上記リードを上記
    バーパッドから切断し; (0)  上記リードに対し上記バーパッドを第1の平
    面に位置させ、上記リードを第1の平面に平行な第2の
    平面内に位置させ; (+1)  上記半導体装置を上記バーパッドにとりつ
    け; (e)  上記半導体装置上の電極パッドと上記一方の
    先端に近接する上配り−vの間に電気的な接続を形成し
    ; (f)  上記半導体装置上記バーパッド、及び上記リ
    ードの上記区域付近から上記一方の先端までの部分をカ
    プセル封止し; (g)  上記区域に沿って上記IJ −Fを上i第2
    の平面から出るように曲ける工程を含む半導体装置の実
    装方法。
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