JPS58153533A

JPS58153533A - 合金微粉末製造装置

Info

Publication number: JPS58153533A
Application number: JP3702882A
Authority: JP
Inventors: Hirohisa Miura; 三浦　宏久; Hiroshi Sato; 博佐藤; Toshio Natsume; 夏目　敏夫; Shusuke Katagiri; 片桐　秀典
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 1982-03-09
Filing date: 1982-03-09
Publication date: 1983-09-12
Also published as: JPS6330963B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、合金の微粉末の製造方法に係り、更に詳細に
は合金を構成すべき気体状態の少なくとも一つの金属と
他の元素とを末広ノズルによって急冷させることにより
合金の微粉末を製造する方法に係る。

本川゛細書に於て、〔合金」とは２以上の元素よりなり
その少なくとも一方は金属である物質、即も固溶体、金
属元素と他の元素との混合物、金属開化合物、金属−非
金属化合物、又はこれらの８１−合物などを広く指称す
るものとする。

合金は一般に、鉄合金を構成すべき金属の溶融元素のガ
ス体とから製造される。かかる合金の製造方法に於ては
、製造された合金中に不純物が混入することが避けられ
ないこと、合金を数μ−以下の微粉末として得ることが
できないこと、及び溶一体からの急冷では１０５℃／　
Ｓｅｅ程度の冷却速度が限度であり、このため優れた非
晶質（アモルファス）の特性を有する合金を得ることが
できないなどの欠点がある。

また各種金属材料の単結晶又は薄膜の製造方法として所
謂気相或艮法や真空蒸着法が実用化されているが、これ
らの方法は何れも基板上へのゆるやかな隔着澗象を利用
しているため、得られる金属材料は基板直上の非昌賀閣
とその上層の結晶層とよりなる混合物であること、及び
生成速度が遅いため大量生産には不向きであるなどの欠
点があり、均一な特性を有する合金の微粉末を能率良く
＠造する方法としては不適当で、ある。

これら従来の方法に於ける上□述の如き種々の欠点に鑑
み、特にセラミックスなどの原料として賞月されている
窒化ケイ素の微粉末の製造方法の一つとして、金属ケイ
素粉末を形成し、該金属ケイ素粉末を窒素又はアンモニ
ア気流中で加熱し、窒素ガス圧を制御しつつ１５００℃
以下の温度に於てケイ素と窒素とを化合させる方法が実
用化されている。しかしこの方法に於ては、得られる窒
化ケイ素はα型とβ型の窒化ケイ素が混在したものであ
り、また微細な窒化ケイ素粉末を得ることが困難であり
、微細な窒化ケイ素粉末を得るには原料である金属ケイ
素を長時間に厘って粉砕しなければならないという欠点
がある。また、窒化ケイ素微粉末の他の一つの製造方法
として、ハロゲン化ケイ素とアンモニア、又は含窒素シ
ラン化合物とアンモニアとの＾１ｌｌ（１０００〜１５
００℃）に於ける気相反応により窒化ケイ素の粉末を製
造する方法が開発されている。しかしこの方法に於ては
、気相反応により生じる塩素や塩酸などが生成された窒
化ケイ素、、中に混入する仁とが避けられないこと、及
び得られる窒化ケイ素粉末は３μ−以下の種々の粒径の
粉末が混在したものであり、粒径１μ−以下の整粒微粉
を得るためには、粉砕及び分級の後処理を必要とすると
いう欠点がある。

本願発明者等は、上述の如き従来の合金粉末の製造方法
に於ける畝上の如き欠点に鑑み、種々の実験的研究を行
なった＠栗、合金を構成すべき金属と麹の元素の気体状
混合物を末広ノズルによって急冷しその急冷過程に於て
それらを反応させることにより、従来の製造方法に於け
る上述の如き種々の欠点を解消し得ることを見出し、本
願出願人と同一の出願人の出願に係る特願昭５７−号に
於て、粒径が非常に小さく且実質的に均一である高純度
の合金微粉末を能率良く低廉に製造することのできる方
法として、少なくとも一つの合金を構成すべき少なくと
も一つの金属と他の元素の気体状混合物を末広ノズルを
経て断熱膨張させることにより急冷させつつ前記金属と
前記他の元素とを反応させることにより前記合金の微粉
末を製造する方法、及び少なくとも一つの合金を構成す
べき少なくとも一つの気体状金属を第一の末広ノズルを
経て断熱膨張させることにより急冷させ、これに更に前
記合金を構成すべき他の元素を気体状態にて混合し、そ
の混合ガスを第二の末広ノズルを経て断熱膨張させるこ
とによって急冷させつつ前記金属と前記他の元素とを反
応させることにより前記合金の微粉末を製造する方法を
提案した。尚上述の特許出願に於ては、本願に於ける「
合金」に対応する用語として「金属化合一」なる用語が
使用されている。

上述の特許出願に係る合金微粉末の製造方法によれば、
気体状混合物を構成する金属蒸気は、末広ノズルを通過
する際の自己断熱膨張によって、その気体状態に於ける
大きさのまま固体の微粉末に急冷され、これと同時に合
金を構成すべき他の元素と反応するので、粒径が極めて
小さく且粒径が実質的１均一である合金微粉末を従来の
方法に比して高純度にて能率良く連続的に製造すること
ができる。

しかし、上述の特許出願に係る方法は合金を構成すべき
金属と他の元素の気体状混合物を末広ノズルによって急
冷させ、その急冷過程に於てそれらを反応させることを
特徴とするものであり、末広ノズルによる冷却速度は１
　’Ｏ”Ｃ／ｓｅａ　＠度ト極めて迅速であるため、自
己断熱膨張による冷却が維持され得る程度の過膨張〜適
正膨張条件下に於ては、気体状混合物の一部は充分に合
金釘し得ないまま連続的に冷却されるので、上述の特許
出願に係る方法に於ても、所望の合金微粉末を高純度に
て彎ることは国難である。例えば上述の方法により製造
された窒化ケイ素微粉末の窒素含有―は、理論値の３９
．９４％に対し、３７．８〜３８．９％であり、対理論
値％では９４．６〜９７゜４％である。

本願発明者等は、上述の特許出願に係る方法によれば非
常に微報な合金粉末を能率良く連続的に製造することが
できるという利点を活かしつつ、所望の合金微粉末を高
純度にて製造、するための手段について種々の実験的研
究を行なった結果、通常の末広ノズルではなく、少なく
；とも二つの膨張部を有する末広ノズル、即ち通常の末
広ノズルが複数個直列に連結された如き末広ノズルを使
用することにより、生成される合金粉末の粒成長を抑る
ことができ、これにより所望の合金微粉末を高純度にて
製造し轡ることを見出した。

本発明は、本願発明者等が行なった種々の実験的研究の
結果得られた知見に基き、上述の特許出願に係る方法に
よる場合よりも一■高純度にて、粒径が非常に小さく且
寅質的に均一である所望の合金微粉末を能率良く低廉に
製造することのできる方法を提供することを目的として
いる。

かかる目的は、本発明によれば、少なくとも一つの合金
を構成すべき少なくとも一つの金属の蒸気を末広ノズル
を経て断熱膨張させることにより急冷させつつこれと前
記合金を構成すべき他の気体状元素とを合金化させるこ
とにより前記合金の微粉末を一部する方法に於て、前記
末広ノズルは少なくとも二つの膨張部を有することを特
徴とする方法、及び少なくとミ一つの合金を構成すべき
少なくとも一つの金属の熱気を第一の末広ノズルを経て
断熱膨張させることにより急冷させ、これに更に前記合
金を構成すべき他の元素を気体状ｌにて混合し、その混
合ガスを第二の末広ノズルをｗ！Ｌ工断無断熱膨張るこ
とによって急冷させつつ前記金属と前記他の元素とを合
金化させることにより前記合金の微粉末を製造する方法
に於て、前記第−及び第二の末広ノズ元のうちの少なく
とも前記第二の末広ノズルは少なくとも二つの膨張部を
有することを特徴とする方法によって達成される。

かかる本発明による合金微粉末の製゛造方法によれば、
合金を構成すべき金属の蒸気及び他の元素のガスは、第
一の膨張部に於て生じた衝撃波により生起された周期性
の強い圧力変化を伴いつつ第二の膨張部に於て急冷され
るので、粒径が極めて小さく且粒径が実質的に均一であ
るのみならず、従来の方法や上述の特許出願に係る方法
に比して高純度の合金微粉末を能率良く連続的に製造す
ることができる。特に本発明の方法により金属−非金属
化合物の微粉末を製造する場合には、１００％に近いｌ
ｌｌ１１度にて金属−非金属化合物の微粉末を製造する
ことができる。また本発明による合金微粉末の一部方法
によれば、末広ノズル通過前後に於けるａｍ及び圧力、
各膨張部に於ける膨張部　　。

件、各膨張部間の間隔などを適宜に設定することにより
、合金微粉末を非晶質、α型結晶など所望の形態にて得
ることができる。

尚、本発明による一部方法に於ける合金を構成すべき金
属及び他の元素は、互いに合金化する任意の金属及び元
素の組合せであってよいが、特に金属としてはケイ素、
アルミニウム、チタンなど、若しくはそれらの組合せが
好ましく、また他の元素としては窒素、炭素、酸素、更
には他の金属元素（この場合得られる合金は金属開化合
物となる）であってよい。またこの場合、合金を構成す
べき他の元素は、その元素自体よりなる気体のみならず
当咳元粂を含みその元素を分離し得る物質より生成した
ものであってよい。例えば他の元素が窒素である場合に
は、窒素ガスのみならず、アンモニアの如き物質が使用
されてよい。

また末広ノズルの作動条件としては、不足膨張条件、適
正膨張条件、過膨張条件の三種類があるが、上述の特許
出願に係る方法の場合と同様、本発明による合金微粉末
の製造方法に於ても末広ノズルは適正膨張条件若しくは
過膨張条件にて作動されることが好ましい。また本発明
による合金微粉末の製造方法に於ても、金属蒸気の安定
領域に於て金属蒸気と他の元素の気体とを混合しその混
合ガスを末広ノズルによって合金の安定領域まで粒成長
させずに急冷させることが好ましい。

以下に添付の図を参照しつつ、本発明を実施例について
詳細に説明する。

まず、本発明による合金微粉末の製造方法に於て使用さ
れてよい第１図乃至第４図に示され・た末広ノズルを第
５図に示された通常の末広ノズルと対比して説明する。

尚これら第１図乃至第５図に於て、相互に実質的に同一
の部分には同一の符号が付されている。

第５図に示されている如く、通常の末広ノズル１は入口
部２とのど部３と膨張部４とよりなっている。これに対
し第１ａｌｌ乃至第４図に示された末広ノズル１は入口
部２、最小断面部３、膨張部４に加えて、少なくとも他
の一つの膨張部４’　　（及び４１）を有している。

特に第１図に示された末広ノズル１は、第５図に示され
た通常の末広ノズルと同様のノズルセクション６及び７
が二個直列に連結された如き構成を有しており、二つの
のど部３及び３′と二つの膨張部４及び４′を有してい
る。第２図に示された末広ノズル１は、通常の末広ノズ
ルと同様のノズルセクション６．７．８が三個直列に連
結された如き構成を有しており、三つののど部３．３′
、３″、三つの膨張部４．４’　、４’とを有している
。また第３図に示された末広ノズル１は、一つののど−
３と二つの膨張部４及び４′とを有しており、膨張部４
及び４′は一定断面部５にて接続されている。更に第４
図に示された末広ノズル１は、一つののど部３と、三つ
の膨張部４．４′１４″とを有しており、膨張部４と膨
張部４′及び膨張部４′と膨張部４１とはそれぞれ一定
断面部５及び５′にて接続されている。尚、製造される
　　゛べき合金微粉末の特性などに応じて、３つ以上の
膨張部を有する末広ノズルが使用されてよい。

これらの末広ノズルの入口部２に金属蒸気と他の元素の
気体との混合ガスを導入し、末広ノズルの先端側より真
空吸引すると、第１図及び第２図に示された末広ノズル
の場合には、澱み点圧力（入口部圧力）と背圧との圧力
比が適宜に調整されれば、混合ガスは第二ののど部３′
の直前に於て生じたＷ撃波により、第；のノズルセクシ
ョン７内に於て周期性の強い圧力変化を伴う乱れた流終
を生起し、しかる後膨張部４′　（及び４”）により急
冷される。また第３図及び第４図に示された末広ノズル
に於ては、よどみ点圧力（入口部圧力）と−圧との圧力
比が適宜に調整されれば、混合ガスは一定断面部５の直
前で生じた衝撃波により一定断面部５内に於τ周期性の
弱い圧力変化を伴う乱れた流れを生起し、しかる後膨張
部４′に於て急冷される。また衝撃波を生じない場合に
は、混合ガスは膨張部４に於ける冷却途上の状態が一定
断一部５に於て一時的（維持され、しかる後膨張部４′
、に於て急冷される。尚第２図及び第４図に示された末
広ノズルの如く、複数の膨張部を有す−る末広ノズルに
於ては、上述のプロセスがその膨張部の数に応じて繰返
される。

第６図に示されている如く、各種金属の発生蒸気圧は金
属毎に大きく興なる。また例えば各種金属蒸気と酸素、
窒素、炭素との反応のし易さや、各種金属蒸気が無気と
して又は酸化物、窒化物、炭化物として安定である圧力
及び温度条件はそれぞれ互いに異なる。更に例えば真空
技術窮座第９巻「真空冶金」（日刊工業新聞社）の第５
９頁〜第６１頁に記載されている如く、同一のｍ度条件
下に於ても各種化合物の生成自由エネルギは互いに興な
っており、従って同一のｍ度条件下に於ても各種の化合
物の分解や化合などの挙動はそれぞれ互いに異なる。

従って、＾濃の混合ガスを上述の如き少なくとも二つの
膨張部を有する末広ノズルによって急冷させつつそれら
を合金化させる場合には、その金属と他の元素との合金
化のし易さや、それらが混合ガスとして又は合金とじて
安定である濃度及び圧力条件などに応じて、末広ノズル
前後に於ける圧力及び温度条件のみならず、各膨張部に
於ける膨張条件などを適宜に選定すれば、上述の如き少
なくとも二つの膨張部を有する末広ノズルが持つ上述の
如き機能を発揮させて、混合ガスを構成する金属を他の
元素と充分に合金化させることができ、これにより高純
度の合金微粉末を得ることができる。

次に本発明による合金微粉末の製造方法の幾つかの実施
例を第６図に示された合金微粉末−造装置を用いて実施
される場合について説明する。

第７図に於て、１０は炉殻を示しており、該炉殻内には
ポート１１及び１２を有しｗＡ度Ｔ１に維持されるよう
構成された第一の室１３と、ポート１４を有し濃度Ｔ２
に維持されるよう構成された第二の室１５とが配置され
ている。第一の室１３と第二の室１５とは第一の末広ノ
ズル１６により連通接続されており、第二の室４・１．
５の内部は第二□ｌ（：９の末広ノズル１７により炉殻１０内の粉未回収ゾーン１
８と連通接続されている。これら第−及び第二の末広ノ
ズルは、−造されるべき合金微粉末図に示されている如
ｉなくとも二つの膨張部を有する末広ノズルである。

第二の末広ノズル１７の下方には咳第二の末広ノズルよ
り噴出した噴流を減速させる衝突板１９が設けられてい
る。また炉殻１０の下端にはｌＩ２０が連通接続されて
おり、該導管２ｏを経て図には示されていない真空ポン
プによって第一の室１３内、第二の室１５内、及び粉未
回収ゾーン１８の圧力がそれぞれＰｓ　ｓ　Ｐｇ　、Ｐ
ａに減圧されるようになっている。

この合金微粉末−造装置を用いて行なわれる合金微粉末
の製造方法に於ける主要な基本操作としては、下記の三
つの方法がある。

（イ）ポート１１を経て第一の室１３内へ導入され又は
第一の室１３内に於て蒸発により生成されえＡ７ｊ２　
（金属無気）′滅、ポート１２８１−Ｃ第一の室１３内
へ導入されたＢガスとを第一の室１３内に於て混合し、
その混合ガスを第一の末広ノズル１６によって急冷させ
つつそれらを合金化させ、更に第二の末広ノズル１７に
よって冷却させる（この場合第二の室１５及び第二の末
広ノズル１７は省略されても良い）。

（０）第一の室１３内のＡガス・（金属蕉気）のみを第
一の末広ノズル１６によって急冷させ、これとポート１
４を経て第二の室１５内へ導入されたＣガスとを第二の
室内に於て混合し、その混合ガスを第二の末広ノズル１
７によって急冷させつつそれらを合金化させる。

（ハ）第一の室１３内に於てＡガスと８ガスとを混合し
、その混合ガスを第一の末広ノズル１６によって急冷さ
せつつそれらを合金化させ、これとポート１４を経て第
二の室１５内へ導入され又は第二の室１５内に於て生成
されたＣガスとを第二の室内に於て混合し、その混合ガ
スを第二の末広ノズル１７によって急冷させつつ更にそ
れらを合金化させる。

本発明による合金微粉末の製造方法に於ては、製造すべ
き合金微粉末の特性に応じ、上述の基本操作の何れかを
採用する。

（１）金属の混合物又は金属間化合物の微粉末の製造基本的には上述の操作（ロ）を使用する。即ちそれぞれ
の金属の蒸気圧Ｐｒ及びＰｔを勘案して第一の室及び第
二の室内の濃度Ｔ＋及びＴＩを設定し、それらを合金化
させる。

（２）金属−非金属化合物の微粉末の鞍部金属−非金属
化合物の生成１１度輌域に応じて上述の操作（イ）又は
（０）の何れかを使用する。

即ち製造されるべき金属−非金属化合物の生成濃度領域
が第一の室内の温度Ｔ＋と第二の室内の温度Ｔ２との間
にある場合には上述・の操作（イ）を使用し、金属−非
金属化合物の生成濃度領域が王！又はＴＪ以下であ全場
合には上述の操作（ロ）を使用し、第一の室１３内のＡ
ガスを第一の末広ノズル１６によって一旦急冷させた後
、これとポート１４を経て第二の室１５内へ導入された
Ｃガス（非金属元素のガス）とを混合し、その混合ガス
を第二の末広ノズル１７によって急冷させつつ化合させ
る。

（３）金属と金属−非金属化合物との混合物の微粉末の
製造上述の操作（ハ）を使用する。即ち第一の室１３内のＡ
ガス（金属蒸気）と８ガス（非金属ガス）とよりなる混
合ガスを第一の末広ノズル１６によって急冷させつつ化
合させ、これとポート１４を軽で第二の室１５内へ導入
されたＣガス（金属蒸気）とを混合し、その混合ガスを
第二の末広ノズル１７によって急冷させつつ合金化させ
る。

（４）金属開化合物と金属−非金属化合物との混合物の
微粉末の製造同じく上述の操作（ハ）を使用する。即ち第一の室１３
内のＡガスと８ガス（両者共金属蒸気）よりなる混合ガ
スを第一の末広ノズル１６によって急冷させつつ化合さ
せ、これとポート１４を経て第二の室−１５内へ導入さ
れたＣガス（非金属元素のガス）とを混合し、その現金
ガスを第二の末広ノズル１７によって急冷させつつ合金
化させる。

上記何れかの方法によれば、所望の合金微粉末を高純直
にて且非晶賀又は帖感質の何れかの形態にで製造するこ
とができる。また各種ガスの組合せによっては、上述り
金属間化合物の固溶体などをも製造することができる。

尚第８図に示されている如く、第一の末広ノズル１６と
第二の末広ノズル１７”とを互いに近接して配置し、そ
れらの間に環状のガス導入ポート２１を設ければ、第二
の室１５を省略することができ、またノズルの作動条件
を適宜に選定すれば温ＩＩ！　Ｔ　ｔを所要の濃度とす
ることができるので、合金微粉末製造装置は簡便なもの
となる。同様に末広ノズル１６として、その通路の途中
にＣガスを導入するためのポートが開口している末広ノ
ズルを使用すれば、第７図に示された合金微粉末製造装
置に於ける第二の室１５及び第二の末広ノズル１７を省
略することができる。

次に本発明による合金微粉末の製造方法に従って実施さ
れた具体的・一部側について説明する。

第９図はこの具体的実施例に於て使用された合金粉末製
造装置を示す概略構成図である。図に於て３１は実質的
に密閉の容器をなす炉殻を示しており、該炉１ｉ１３１
内にはるつは３２が配置されている。るつぼ３２はガス
導入ボート３３を有するガス予熱室３４と、咳ガス予熱
室と連通する反応室３５とを有している。るつＧｆ３２
の周りにはガス予熱室３４及び反応室３５内を所定の濃
度ＴＩに維持するヒータ３６が配置されており、このヒ
ータ３６により反応室３５内゛に装入された金属が溶融
されて金属溶湯３７とさ４れ、更には金属蒸気として蒸
発化されるようになっている。

るつぼ３２の底！３８には反応室３５と炉殻３１内の回
収ゾーン３９とを連通接続する導管４０が設けられてお
り、咳導管の下端には末広ノズル４１が設けられている
。この末広ノズル４１は第１図に示された末広ノズル１
と同様に構成されており、二つの膨張部４１及び４１′
を有している。

回収ゾーン３９には末広ノズル４１より噴出した噴流４
２を減速する衝突板４３が配置されており、また回収ゾ
ーン３９は導１１４４により粉末捕集室４５に連通接続
されている。

粉末捕集室４５は一管４６にｊり開閉弁４７を介して真
空ポンプ４８に接続されており、この真空ポンプにより
粉末捕集室４５内が減圧され、更には回収ゾーン３９及
び反応室３５内がそれでれＰ！及びＰｌの所定圧力に減
圧されるようになっている。また粉末捕集室４５の下方
部は、鉄粉末補集室内に於て捕集された合金粉末４９を
貯容する粉末リザーバ５０が設けられており、二つの開
閉弁５１及び５２を適宜に操作することにより、粉末捕
集室４５内の減圧状態を損ねることなく、合金粉末４９
を外部に取出し得るようになっている。

かくして構成された合金粉末製造装置を用いて、以下の
要領にて窒化ケイ素粉末を製造した。まず金属ケイ乗を
反応室３５内に装入し、ガス導入ボート３３より窒素ガ
スをガス予熱室３４を経て、反応室３５内へ導入し、ヒ
ータ３６により炉殻３１内に収容されたるつぼ３２を急
速加熱し、反応室３５内の濃ａ　Ｔ　ｔを２３００℃と
することにより金属ケイ素を溶−させてケイ素溶湯３７
を形成し、更に窒素ガス導入量を制御して反応室３５内
の圧カＰ＋を２０　Ｔ　ｏｒｒになるよう調整した。

次いで反応室３５内の混合ガス、即ちケイ素溶湯３７よ
り蒸発することにより生成したケイ素蒸気と窒素ガスと
よりなる混合ガスを、圧力Ｐ！＝５〜５　Ｔ　ｏｒｒに
維持された回収ゾーン３９内へ末広ノズル４１を経て噴
出させた。この場合ケイ素蒸気とｗ１素ガスとよりなる
混合ガスは、末広ノズル４１による自己断熱膨張により
濃度Ｔｇ＝８’００℃以下にまで急冷され、その急冷途
中に於て窒化ケイ素の微粉末となり、余剰の１１県ガス
と共に回収ゾーン３９へ移行した。

次いでかくして生成した微粉状の窒化ケイ素を衝突板４
３によって減速させ、真空ポンプ４８により窒素ガスと
共に粉末捕集室４５内へ導き、粉末捕集室内に於て捕集
し粉末リザーバ５０内に回収した。また粉末捕集室４５
内より真空ポンプ４８により窒素ガスを吸引することに
より、窒素ガスを図には示されていない窒素ガス回収室
内に回収した。

尚、合金粉末製造装置内に導入°された金属ケイ素及び
窒素ガスの純度及び導入量はそれぞれ９９２％、　１０
０ｇ　、　９・９．９９％、　１６４／鵬ｉｎ　　であ
り、反応時間は１３分であった。

かくして−造された窒化ケイ素粉末の特性を下記の表１
に示す。この表１より、特に窒素含有量は前述の特許出
願に係る方法により親還された窒化ケイ素の窒素含有量
３７．８〜３８．９％よりも＾く、理論値の３９．９４
％に近い値であることが解る。

ｊ− 窒素含有量：　　　　３９．２％平均粒径：　　　　　０．７２μ■ 結晶形［：　　はとんどがアモルファス粒子形状：　　
　　均質な丸形が主以上に於ては本発明を窒化ケイ素の微粉末の製１１１造に関する具体的実施例について詳細に説明したが、本
発明はこれらの実施例に限定されるものではなく、本発
明の範囲内にて他の種々の実施例が可能であることは当
業者にとって明らかであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図はそれぞれ本発明による合金微粉末の
一部方法に於て使用されてよい一定断面部を有する末広
ノズルを示す解重的縦断面図、第５図は通常の末広ノズ
ルを示す第１図乃至第４！ＩＩと同様の解重的断ｍｇ、
第６図は各種金属の平衡蒸気圧を示すグラフ、第７図は
本発明による合金微粉末の親造方法を実施するに好適な
合金微粉末製造装置を示す解重、第８図は二つの末広ノ
ズルの位置関係を示す解重、第９図は具体的実施例に於
て使用された合金微粉末―造装鐙を示す概略構成図であ
る。１・・・末広ノズル、２・・・入口部、３・・・のど部
、４・・・膨張部、５・・・一定断面部、６，７．８・
・・ノズルセクシミン、１０・・・炉殻、１１．１２・
・・ポート。１３・・・第一の室、１４・・・ボート、１５・・・第
二の室。１６・・・第一の末広ノズル、１７・・・第二の末広ノ
ズル、１８・・・粉末回収ゾーン、１９・・・衝突板、
２０・・・導管、２１・・・ガス導入ポート、３１・・
・炉殻、３２・・・るつぼ、３３・・・ガス導入ボート
、３４・・・ガス予熱室、３５・・・反応室、３６・・
・ヒータ、３７・・・溶湯、３８・・・底壁、３９・・
・回収ゾーン、４０・・・導管。４１・・・末広ノズル、４１’　、４１’・・・膨張部
、４２・・・噴流、４３・・・衝突板、４４・・・導管
、４５・・・粉末補集室、４６・・・専管、４７・・・
開閉弁、４８・・・真空ポンプ、４９・・・合金粉末、
５０・・・粉末リザーバ。５１．５２・・・開閉弁特　許　出　願　人　トヨタ自動串工業株式会社代　　
　　　理　　　　　人　　弁理士　　　明　　′Ｅｉ　
　　昌　　毅図面の浄書て内容に変更なし）第１図　　　　東金１図第３図　　　第４図第５図第９図Ｎ２（方　式）１、事件の表示　昭和５７年特許験第３７０２８号２、
発明の名称合金徴勅末の製造方法３、補正をする者事件との関係　　特許出願人住　所　　愛知県會田市トヨタ町１番地名　称　　（３
２Ｇ　＞　トヨタ自動車工業株式会社代表者森田俊夫４、代理人

Claims

【特許請求の範囲】

（１）少なくとも一つの合金を構成すべき少なくとも一
つの金属の蒸気を末広ノズルを経て断熱膨張させること
により急冷させつつこれと前記合金を構成すべき他の気
体状元素とを合金化させることにより前記合金の微粉末
を製造する方法に於て、前記末広ノズルは少なくとも二
つの膨張部を有することを特徴とする方法。
（２）少なくとも一つの合金を構成すべき少なくとも一
つの金属の蒸気を第一の末広ノズルを経て断熱膨張させ
ることにより急冷させ、これに更に前記合金を構成すべ
き他の元素を気体状態にて混合し、その混合ガスを第二
の末広ノズルを経て断熱□膨張させることによって急冷
させつつ前記金属と前記他の元素とを合金化□させるこ
とにより前記合金の微粉末を製造する方法に於て、前記
第−及の末広ノズルは少なくとも二つの膨張部を有する
ことを特徴とする方法。
（３）特許請求の範囲第２項の方法に於て、前記第−及
び第二の末広ノズルは互いに近接して配置されそれらの
圀に前記他の元素を気体状態にて導入するためのポート
が郭定されていることを特徴とする方法。