JPS60150828A - 金属化合物の微粉末の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は金属化合物の微粉末の製造方法に関する。

本発明により得られた金属化合物の微粉末は、焼結材料
等に好適である。

〔従来技術〕

金属化合物は一般に、該金属化合物を構成すべき金属の
溶融体と他の元素のガス体とから製造される。かかる金
属化合物の製造方法に於ては、製造された金属化合物中
に不純物が混入することが避けられないこと、金属化合
物を数μｍＪｄ下の微粉末として得ることができないこ
と、および溶融体からの急冷では１０５℃／　ｓ　ｅ　
ｃ程度の冷却速度が限度であり、このため優れた非晶質
（アモルファス）の特性を有する金属化合物を得ること
ができないなどの欠点がある。

また各種金属材料の単結晶または薄膜の製造方法として
所謂気相成長法や真空蒸着法が実用化されているが、こ
れらの方法は何れも基板上へのゆるやかな蒸着現象を利
用しているため、得られる金属材料は基板直上の非晶質
層とその上層の結晶層とよりなる混合物であること、お
よび生成速度が遅いため大量生産には不向きであるなど
の欠点があり、均一な特性を有する金属化合物の微粉末
を能率良く製造する方法としては不適当である。

これら従来の方法に於ける上述の如き種々の欠点に鑑み
、特にセラミックスなどの原料として賞月されている窒
化ケイ素の微粉末の製造方法の一つとして、金属ケイ素
粉末を形成し、該金属ケイ素粉末を窒素またはアンモニ
ア流中で加熱し、窒素ガス圧を制御しつつ１５００℃以
下の温度に於てケイ素と窒素とを化合させる方法が実用
化されている。しかしこの方法に於ては、得られる窒化
ケイ素はα型とβ型の窒化ケイ素が混在したものであり
、また微細な窒化ケイ素粉末を得ることが困難であり、
微細な窒化ケイ素粉末を得るには原料である金属ケイ素
を長時間に亙って粉砕しなければならないという欠点が
ある。また、窒化ケイ素微粉末の他の一つの製造方法と
して、ハロゲン化ケイ素とアンモニア、または含窒素シ
ラン化合物とアンモニアとの高温度（１０００〜１５０
０℃）に於ける気相反応により窒化ケイ素の粉末を製造
する方法が開発されている。しかしこの方法に於ては、
気相反応により生じる塩素や塩酸などが生成された窒化
ケイ素中に混入することがさけられないこと、および出
発原料が非常に高価であるという欠点がある。

かかる従来技術の問題点を解決するため、本件出願人は
昭和５７年３月１日付けで「金属化合物の微粉末の製造
方法」　（特願昭５７−３２１２０号）につき、出願を
行った。この発明の要旨は、少なくとも一つの金属と他
の元素の気体状混合物を末広ノズルを経て断熱膨張させ
ることにより急冷させつつ前記金属と前記他の元素とを
反応させることにある。この方法によれば、従来方法に
比べ、粒径が非常に小さく、かつ実質的に均一である高
純度の金属化合物の微粉末を能率よく低廉に製造するこ
とができた。

しかしながら、この特願昭５７−３２１２０号に係る「
金属化合物の微粉末の製造方法」は、合成率が低（（例
えば、窒化ケイ素で数％程度）、更に合成率を向上させ
ることが望まれている。

〔発明の目的〕

本発明は、上記従来技術の問題を解決するためになされ
たもので、粒径が非常に小さく、かつ実質的に均一であ
る高純度の金属化合物の微粉末を高合成率で製造するこ
とができる製造方法を提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

かかる目的は、本発明によれば、金属化合物を構成する
少なくとも一つの金属と、この金属のキャリヤガスとを
含む気体状混合物を、５０〜２０００ｍ／秒の速度で、
前記金属の融点の８割以下の温度とされた前記金属化合
物を構成する他の元素もしくは他の元素を含む気体雰囲
気中に噴出させることにより、前記金属と他の元素を急
冷させつつ反応させることを特徴とする金属化合物の微
粉末の製造方法によって達成される。

本発明による製造方法に於ける金属化合物を構成すべき
金属および他の元素は、互いに化合する任意の金属およ
び元素の組合わせであってよいが、特に金属としてはケ
イ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウムなど、若し
くはそれらの組合わせが好ましい。

また、他の元素としては窒素、炭素、酸素、更には他の
金属元素（この場合得られる金属化合物は金属間化合物
となる）を用いることができる。

またこの場合、気体状混合物の一部をなす他の元素は、
その元素自体よりなる気体のみならず当該元素を含みそ
の元素を分離し得る物質より生成したものでもよい。例
えば他の元素が窒素である場合には、窒素ガスのみなら
ず、アンモニアの如き物質を使用することができ、また
他の元素が炭素である場合には、メタン、エタン、プロ
パン等の低級脂肪族炭化水素を用いることができる。

本発明において、キャリヤガスは金属を円滑に運搬する
と共に、炉内の圧力を所定の値に調整するのに用いられ
る。このキャリヤガスとしては、アルゴン等の不活性ガ
スを用いることができるが、金属化合物を構成する他の
元素もしくは他の元素を含む気体を用いることもできる
。なお、キャリヤガスとして他の元素もしくは他の元素
を含む気体を用いた場合には、この他の元素は一部金属
と反応するため、より合成率を高めることができる。

本発明において、急冷前の金属とキャリヤガスとを含む
気体状混合物は、例えば窒化ケイ素の微粉末を製造する
場合には、温度は実質的に２０００℃以上で、かつその
圧力は１０−１気圧以下であることが望ましい。すなわ
ち、金属が蒸気として安定的に存在できる温度、気圧に
することが必要である。

この気体状混合物を、金属化合物を構成する他の元素も
しくは他の元素を含む気体雰囲気中に噴出させ、急冷差
させつつ金属と他の元素を反応させる。本発明において
、気体状混合物の急冷は、実質的に他の元素もしくは他
の元素を含む気体で行う。また気体状混合物を噴出させ
るノズルの形状も大きく寄与する。すなわち、ノズルと
して末広ノズルを用いた場合には、その急冷効果は大き
い。

急冷を他の元素もしくは他の元素を含む気体で行うため
には、この他の元素もしくは他の元素を含む気体の温度
を気体状混合物より低温にする必要がある。この場合、
温度は金属化合物を構成する金属の融点の８割以下にす
ることが望ましい。

急冷を行うと共に、金属と他の元素を反応させるために
、気体状混合物は５０〜２０００ｍ／秒の速度で他の元
素もしくは他の元素を含む気体雰囲気中に噴出すること
が必要である。このとき、噴出速度が速すぎると、十分
反応が行われず合成率が低くなる。合成率を高めるため
には、噴出速度を５０〜８００ｍ／秒とするのがより望
ましし）。

以上の如く、本発明による金属化合物の微粉末の製造方
法は金属化合物を構成すべき少なくとも一つの金属を他
の元素もしくは他の元素を含む気体中に噴出させつつそ
れらを反応させることを細大の特徴とするものである。

次に、気体状混合物を急冷することが非常に微細な金属
化合物粉末を得る上で如何に有効であるかについて、金
属ケイ素蒸気と窒素ガスとより窒化ケイ素の微粉末を製
造する場合について説明する。

金属ケイ素は比較的気化しにくい金属であり、２０００
℃の温度に於ても０．５　Ｔｏｒｒ　（６，６Ｘ　１０
−４気圧）の平衡蒸気圧しか有していない。従って、金
属ケイ素を２０００℃以上の温度に加熱して得られる金
属ケイ素蒸気をもちいて窒化ケイ素の微粉末を製造する
方法は、従来の方法に比して熱エネルギ的には得策では
ない。しかし、金属ケイ素蒸気を急冷することにより、
金属ケイ素はその蒸気の状態から固体に迅速に転換され
るので、本発明による方法によれば、０．０１μｍ程度
と非常に微細でありかつその粒径が実質的に均一である
金属化合物の微粉末を得ることができる。これに対し従
来の気相反応などを利用した方法に於ては、このように
微細で均一な金属化合物粉末を得ることができない。す
なわち、金属ケイ素および窒素ガスは９００〜１７００
℃程度の比較的低い温度に於て反応して窒化ケイ素とな
り、この窒化ケイ素は上述の温度範囲に於て安定である
。従って、例えば９００〜１７００℃の温度に於て金属
ケイ素発生ガス（シランガス（ＳｉＨ４）など、と窒素
発生ガス（アンモニアガス（ＮＨ，）など）との気相反
応により窒化ケイ素を製造する場合には、金属ケイ素と
窒素ガスとが化合して固体の窒化ケイ素となる方向に容
易に反応が進行して、極めて短時間のうちに窒化ケイ素
粒が成長し、粗大粒となってしまう。

次に、気体状混合物を急冷する手段として、いかなる冷
却手段が適切であるかについて説明する。

本発明においては、冷却については他の元素もしくは他
の元素を含む気体の温度が大きく寄与する。気体状混合
物はこの他の元素もしくは他の元素を含む気体により急
冷される。一方、気体状混合物は、他の元素もしくは他
の元素を含む気体と接触する前に、気圧の差によりノズ
ルを介して他の元素もしくは他の元素を含む気体に噴出
されることによっても急冷される。このとき、ノズルと
して第１図に示す如き細管を用いる場合は、第２図に示
す末広ノズル（ラバールノズル）を用いる場合とでは、
冷却速度に大きな差が生じる。すなわち、細管を用いた
場合は、噴出速度は５０〜８８０ｍ／秒となる。従って
、急冷という点に関しては末広ノズルを用いた方が効果
は大きいが、本発明においては冷却速度があまり大き過
ぎると金属と他の元素もしくは他の元素を含む気体が充
分反応を行う余裕がなくなるため、例えば、窒化ケイ素
の微粉末を製造する場合には、末広ノズルよりも細管を
用いた方が合成率が高い。

次に、気体状混合物の急冷前後、すなわち断熱膨張前後
に於ける温度および圧力条件としては如何なる条件が適
切であるかについて、窒化ケイ素の微粉末を製造する場
合を例にとり説明する。

如何なる温度および圧力条件下に於て窒化ケイ素が分解
しまたは化合状態に留まるかは熱力学の第二法則に従う
。すなわち、金属ケイ素蒸気と窒素ガスとの化合反応は
下記の式（１）にて表される。

３　（Ｓｔ）　＋２　（Ｎ　２　）　＝２（ＳｉｌＮ４
）−−−−（、ｌ　） この反応（１）の自由エネルギ変化ΔＦは下記の式（２
）または式（３）にて表される。

−−−−一・（２） ΔＦ。＝標準自由エネルギ変化 Ｒ：ガス定数 Ｔ　：温度じＫ） ｐｓｔ：金属ケイ素蒸気の分圧 ｐｎ、：窒素ガスの分圧 ΔＦ＝　４９５８５３−７．７５５ＴＩｏｇ　Ｔ＋２０
５．２２７−４．５７５　ＴＸ　（３１ｏｇ　Ｐｓｉ＋
２１ｏｇ　Ｐｎ　、）−−−（３） 式（３）に於て八Ｆが負の場合には固体としての窒化ケ
イ素が安定であり、ΔＦが正の場合には気体としての金
属ケイ素蒸気および窒素ガスが安定である。

第３図は窒素ガス分圧（Ｐｎｚ）が１０−２気圧（７，
６Ｔｏｒｒ）の場合の窒化ケイ素が安定である領域と金
属ケイ素蒸気および窒素ガスが気体として安定である領
域を示す反応状態図である。この第２図より、１０−２
気圧程度の真空下に於ては、温度が２０００℃以上の場
合に金属ケイ素蒸気および窒素ガスの方が窒化ケイ素に
よりも安定であることが解る。

従って、本発明による金属化合物の微粉末の製造方法に
於ては、金属蒸気の安定領域に於て金属蒸気とキャリヤ
ガスとを混合し、その気体状混合物をノズルを介して低
温の他の元素もしくは他の元素を含む気体中に噴出する
ことにより急冷して反応させ、更に粒成長させずに冷却
し続けることが望ましいことが判る。

なお、本発明において、キャリヤガスとして他の元素も
しくは他の元素を含む気体を用いる場合は、先に出願し
た特願昭５７−３２１２０号に類似の効果が生じ、更に
ノズルとして末広ノズルを用いた場合には、特願昭５’
ｌ−３２１２０号の合成率が付加され、合成率は更に向
上する。

〔発明の作用〕

本発明においては、金属とキャリヤガスの気体状混合物
を所定の速度で他の元素もしくは他の元素を含む気体に
噴出させるため、気体状混合物はノズルを通過すること
によるｔｉ熱膨張と低温の他の元素もしくは他の元素を
含む気体との接触により、金属と他の元素が反応する温
度範囲まで急冷され、そこで反応が行われるとともに、
その後更に金属化合物が安定に存在する領域まで急冷さ
れる。

〔発明の効果〕

本発明は以上の如く構成されるため、以下の効果を奏す
る。

（イ）気体状混合物を構成する金属蒸気はノズルを通過
する際の自己断熱膨張および他の元素との接触によって
、その気体状態に於ける大きさのまま固体の微粉末に急
冷され、またこれと同時に金属化合物を構成すべき他の
元素と反応するので、粒径が極めて小さく、かっ粒径が
実質的に均一である金属化合物の微粉末を得ることがで
きる。

（ロ）蒸気はノズルおよび他の元素もしくは他の元素を
含む気体との接触によって気相状態より固相状態に迅速
かつ連続的に転換されるので、高純度の金属化合物を能
率良く連続的に製造することができる。

（ハ）気体状混合物を反応させる他の元素もしくは他の
元素を含む気体に噴出させることおよび適宜な冷却速度
を得ることにより、金属化合物の合成率が大幅に向上す
る。

（ニ）ノズル通過前後における気体状混合物の温度、圧
力および他の元素もしくは他の元素を含む気体の温度、
量などを適宜に設定することにより、例えば、非晶質、
α型など所望の結晶形態にて金属化合物の微粉末を得る
ことができる。

〔実施例〕

つぎに、本発明の実施例を図面を参考にして説明する。

〔第１実施例〕 第４図は本発明の第１実施例に用いた金属化合物の微粉
末の製造装置を示す概略構成図である。

図中、１は実質的に密閉の容器をなす炉殻を示しており
、この炉殻１内は仕切壁２により上下２室３．４に分割
されている。この上室３内には、るつぼ５が配置されて
いる。るっぽ５はキャリヤガス導入ボート６を有するガ
ス予熱室７と、このガス予熱室７と連通ずる混合室８と
を有している。

るつぼ５の周りには、ガス予熱室７および混合室８内を
所定の温度Ｔ、に維持するヒータ９が配置されており、
このヒータ９により混合室８内に装入された金属が溶融
されて金属溶湯１ｏとされ、更には金属蒸気として気化
されるようになっている。

このるつぼ５の底壁には、この底壁および仕切壁２を貫
通して、混合室８と下室４を連通するφ７ｍｍの細管１
１が設けられている。また、下室４には、この細管１１
と直交する向きに金属化合物を構成する他の元素もしく
は他の元素を含む気体を下室４内に導入する反応ガス導
入管１２が取り付けられており、この反応ガス導入管１
２は、図示しないボンベ等に接続されている。

また、下室４の底部で細管１１の直下には、合成された
金属化合物の微粉末を捕集する捕集管１３が設けられて
いる。この捕集管１３は銅製のパイプからなり、内部に
は冷却水が通されている。

更に、下室４の一部は図示しない真空ポンプ等の排気手
段に接続されている。この真空ポンプにより下室４およ
び混合室８内がそれぞれＰ２およびＰ、の所定圧力に減
圧される。

かかる構成の金属化合物の微粉末の製造装置を用いて、
以下の要領にて窒化ケイ素の微粉末を製造した。

まず、金属ケイ素を混合室８内に装入し、炉壁１内を真
空ポンプにより１０−”　Ｔｏｒｒ　（１，３Ｘ　１０
−５気圧）程度まで減圧する。続いて、キャリヤガス導
入ボート６から窒素ガスをガス予熱室７を経て混合室８
内へ導入し、同時にヒータ９により炉殻８内に収容され
たるっぽ５を急速加熱し、混合室８内の温度Ｔ、を約２
２００℃とした。これにより金属ケイ素は溶融してケイ
素溶湯１０を形成した。また、窒素ガス導入量を６７！
／ｍｉｎに制御して混合室８内の圧力Ｐ１を約１５Ｔｏ
ｒｒ（２×１０１気圧）に調整した。

一方、下室４には反応ガス導入管１２を介して細管１１
と直交する向きに常温のアンモニアガス（ＮＨ，）を１
２４！／ｍｉｎの割合で導入し、下室４内圧力を約５　
Ｔｏｒｒ　（６，６Ｘ　１０−’気圧）とした。

この結果、混合室８内で形成させたケイ素蒸気と窒素ガ
スの気体状混合物は、混合室８内と下室４内の圧力の差
によって、細管１１を通って下室４に噴出した、このと
き、噴出した気体状混合物は、ケイ素蒸気を約１ｇ／ｍ
ｉｎを含み、噴出直後には１８００℃まで冷却される。

この気体状混合物は、アンモニアガスと接触して更に急
冷され、窒化ケイ素の微粉末となり、アンモニアガスに
より更に急冷し７続けられ、捕集管１３に付着した。

反応終了後、捕集管１３に付着した合成粉を採集し、内
容を調査した。この結果、この合成粉のうちの７０％が
窒化ケイ素であり、合成率が７０％であることが判明し
た。また、得られた窒化ケイ素の微粉末の平均粒径は１
００人であった。

〔第２実施例〕 第１の実施例と同じ金属化合物の微粉末の製造装置を用
い窒化ケイ素の微粉末を製造した。第２実施例では、キ
ャリヤガスとして第１実施例の窒素ガスの替わりにアル
ゴンガスを用いたことを除き、他は第１実施例と同じ条
件で窒化ケイ素の微粉末を製造した。

この結果得られた窒化ケイ素の微粉末は、平均粒径が１
００人であり、合成率は６８％であった。

〔第３実施例〕 第１の実施例と同じ金属化合物の微粉末製造装置を用い
窒化ケイ素の微粉末を製造した。第３実施例では、他の
元素を含む気体窒素として第１実施例のアンモニアガス
の替わりに窒素を用いたことを除き、他は第１実施例と
同じ条件で窒化ケイ素の微粉末を製造した。

この結果得られた窒化ケイ素の微粉末は、平均粒径が１
００人であり、合成率は６％であった。

〔第４実施例〕 第１実施例と同じ金属化合物の微粉末製造装置を用い炭
化ケイ素の微粉末を製造した。第４実施例では、他の元
素を含む気体として第１実施例のアンモニアガスの替わ
りにエタン（Ｃｆ　Ｈ６）を６１／ｌｌ１ｉｎの割合で
導入したことを除き、他は第１実施例と同じ条件で炭化
ケイ素の微粉末を製造した。

この結果得られた炭化ケイ素の微粉末は、平均粒径が１
００人であり、合成率は９０％であった。

〔第５実施例〕 第５図は本発明の第５実施例に用いた金属化合物微粉末
製造装置を示す概略構成図である。

第５図に示す金属化合物の微粉末ＭＴｉ装置の第４図に
示す金属化合物の微粉末製造装置との違いは、第４図の
細管の替わりに、スロート径がφ７ｍｍで３度のテーバ
を有するラバール管（末広ノズル）１４を用いた点のみ
であり、他は同じである。

従って、第４図と実質的に同じ部品または部分に、第４
図と同じ符号を付すことにより装置の説明を省略する。

この金属化合物の微粉末の製造装置を用いて、以下の要
領にて窒化ケイ素の微粉末を製造した。

まず、金属ケイ素を混合室８内に装入し、炉壁１内を真
空ポンプにより１０−”　Ｔｏｒｒ　（１，３Ｘ　１０
−５気圧）程度まで減圧する。続いて、キャリヤガス導
入ボート６から窒素ガスをガス予熱室７を経て混合室８
内へ導入し、同時にヒータ９により炉殻１内に収容され
たるつぼ５を急速加熱し、混合室８内の温度Ｔ１を約２
２００℃とした。これにより金属ケイ素を溶融してケイ
素熔湯１０を形成した。また、窒素ガス導入量をＩＱＡ
／ｍｉｎに制御して混合室８内の圧力Ｐ、を約２５Ｔｏ
ｒｒ（３，３Ｘ１０−”気圧）に調整した。

一方、下室４には反応ガス導入管１２を介してラバール
管１４と直交する向きに常温のアンモニアガス（ＮＨＩ
）を１２ｊ！／ｍｉｎの割合で導入し、下室４内圧力を
約５　Ｔｏｒｒ　（６，６Ｘ　１０−’気圧）とした。

この結果、混合室８内で形成させたケイ素蒸気と窒素ガ
スの気体状混合物は、混合室８内と下室４内の圧力の差
によって、ラバール管１４を通って下室４に噴出した。

このとき、噴出した気体状混合物は、ケイ素蒸気を約１
ｇ／ｍｉｎを含み、噴出直後には１６００℃まで冷却さ
れる。この気体状混合物は、アンモニアガスと接触して
更に急冷され、窒化ケイ素の微粉末となり、アンモニア
ガスにより更に急冷し続けられ、捕集管１３に付着した
。

反応終了後、捕集管１３に付着した合成粉を採取し、内
容を調査した。この結果、この合成粉のうちの６％が窒
化ケイ素であり、合成率が６％であることが判明した。

また、得られた窒化ケイ素の微粉末の平均粒径は１００
人であった。

〔第６実施例〕 第５実施例と同じ金属化合物の微粉末製造装置を用い炭
化ケイ素の微粉末を製造した。第６実施例では、他の元
素を含む気体として第５実施例のアンモニアガスの替わ
りに１２ｊ！／ｍｉｎのエタンガスを用いたことを除き
、他は第５実施例と同じ条件で炭化ケイ素の微粉末を製
造した。

この結果得られた炭化ケイ素の微粉末は、平均粒径が１
００人であり、合成率は１０％であった。

以上の結果、窒化ケイ素や、炭化ケイ素の微粉末を製造
するには、ラバール管よりも細管を用いた方が合成率が
高いことが判る。また、窒化ケイ素の微粉末を製造する
場合には、他の元素としては窒素ガスよりもアンモニア
ガスの方が合成率が高いことが判る。これは、窒素ガス
の本実施例の温度条件において比較的安定なのに対し、
アンモニアガスから分解して生じた窒素ガスは活性化さ
れたもの（発生基の窒素）であり、反応性に冨むためと
解される。

以上においては、本発明を窒化ケイ素および炭化ケイ素
の微粉末の製造に関する特定の実施例について説明した
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではなく
、例えば窒化アルミニウムや炭化チタンの如き他の種々
の金属化合物の微粉末を製造する場合についても適用可
能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に用いる細管の一例を示す断面図、 第２図は本発明に用いるラバール管の一例を示す断面図
、 第３図は窒素ガス分圧が１０−２気圧の場合の、窒化ケ
イ素が安定である領域と金属ケイ素蒸気および窒素ガス
が気体として安定である領域を示す反応状態図、 第４図は本発明の第１実施例〜第４実施例に用いた金属
化合物微粉末製造装置を示す概略構成図、第５図は本発
明の第５実施例および第６実施例に用いた金属化合物微
粉末製造装置を示す概略構成図である。 １−・−一一−炉殻 ２・−・−仕切壁 ３・−・−・−上室 ４−−−−−一下室 ５−・・・るつぼ ６−−−−・キャリヤガス導入ボート ７−・・−ガス予熱室 ８−−−−−・混合室 ９−・−−一−ヒータ １０・−・−・金属溶湯 １１−・・−・細管 １２・・−−−一反応ガス導入管 １３−−−−−一捕簗管 １４・−・・−ラバール管 出願人　トヨタ！’；ｉ−５’！”：：：、パ桧７ｊ第
４図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）金属化合物を構成する少なくとも一つの金属と、
   この金属のキャリヤガスとを含む気体状混合物を、５０
   〜２０００ｎ／秒の速度で、前記金属の融点の８割以下
   の温度とされた前記金属化合物を構成する他の元素もし
   くは他の元素を含む気体雰囲気中に噴出させることによ
   り、前記金属と他の元素を急冷させつつ反応させること
   を特徴とする金属化合物の微粉末の製造方法。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記気体状混合
   物を噴出させる速度が５０〜８８０ｍ／秒であること特
   徴とする金属化合物の微粉末の製造方法。 （３）特許請求の範囲第１項において、前記キャリヤガ
   スは金属化合物を構成する他の元素もしくは他の元素を
   含む気体であることを特徴とする金属化合物の微粉末の
   製造方法。 （４）特許請求の範囲第１項において、前記金属はケイ
   素であり、他の元素を含む気体がアンモニアガスであり
   、金属化合物は窒化ケイ素であることを特徴とする金属
   化合物の微粉末の製造方法。 （５）　特許請求の範囲第１項において、前記金属はケ
   イ素であり、他の元素を含む気体がエタンであり、金属
   化合物が炭化ケイ素であることを特徴とする金属化合物
   の微粉末の製造方法。