JPS61153208A - 高融点金属を媒体とした金属超微粉の製造法 - Google Patents
高融点金属を媒体とした金属超微粉の製造法Info
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- JPS61153208A JPS61153208A JP27401484A JP27401484A JPS61153208A JP S61153208 A JPS61153208 A JP S61153208A JP 27401484 A JP27401484 A JP 27401484A JP 27401484 A JP27401484 A JP 27401484A JP S61153208 A JPS61153208 A JP S61153208A
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- powder
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- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、高融点金属の共存下、つまり高融点金属と溶
質金属(超微粉を製造しようとする金属)とを少なくと
も含む合金を原料として、プラズマ・アーク加熱溶融す
ることにより、効率的に金属超微粉を製造する方法に関
するものである。本発明で得られた金属超微粉は、磁性
材料、焼結用金属粉末、耐食性材料、触媒材料等の有用
な機能性材料である。
質金属(超微粉を製造しようとする金属)とを少なくと
も含む合金を原料として、プラズマ・アーク加熱溶融す
ることにより、効率的に金属超微粉を製造する方法に関
するものである。本発明で得られた金属超微粉は、磁性
材料、焼結用金属粉末、耐食性材料、触媒材料等の有用
な機能性材料である。
(従来の技術)
従来の金属超微粉の製造方法は、物理的方法としてはア
トマイズ法、ガス中蒸発法等があり、アトマイズ法では
、溶融金属を気体、液体等の冷媒で飛散冷却する方法で
あるが、粒径1μm以下の超微粉を得ることは極めてむ
ずかしい方法である。
トマイズ法、ガス中蒸発法等があり、アトマイズ法では
、溶融金属を気体、液体等の冷媒で飛散冷却する方法で
あるが、粒径1μm以下の超微粉を得ることは極めてむ
ずかしい方法である。
ガス中蒸発法は真空もしくは低圧気中で金属を蒸発・凝
縮させる方法であるが、鉄などの蒸気圧が低く、融点の
高い金属の超微粉製造は、極めてむずかしい方法である
。
縮させる方法であるが、鉄などの蒸気圧が低く、融点の
高い金属の超微粉製造は、極めてむずかしい方法である
。
化学的方法としては、熱分解法、ガス還元法、気相反応
法が知られている。熱分解法は金属のカーボニル塩を一
酸化炭素気流中で熱分解する方法であるが、カーボニル
塩を原料とするため、製造可能な対象金属が極めて限定
される欠点がある。
法が知られている。熱分解法は金属のカーボニル塩を一
酸化炭素気流中で熱分解する方法であるが、カーボニル
塩を原料とするため、製造可能な対象金属が極めて限定
される欠点がある。
ガス遣元法、気相反応法は、金属塩化物を融点以下の温
度又は気化した蒸気を水素又は−酸化炭素により還元し
て、超微粉を得る方法で、この方法は連続操業が可能な
反面、水素−酸化炭素の還元力が弱く、超微粉化し得る
対象金属が限定される欠点がある。又、物理、化学的方
法として、水素プラズマ−金属反応法があり、この方法
は本発明と同じく水素プラズマにより、活性化した水素
を溶融金属と反応させ、溶融金属に過飽和に溶解した水
素の再結合、放出過程において、溶融金属を強制蒸発、
凝縮させる方法である。そのためガス中蒸発法に比べ、
溶解水素が触媒の作用としてより一層蒸発速度が早くな
るため、各種金属超微粉の製造が可能である。(大野
悟、宇田雅広:日本金属学会誌 第48巻 第6号(1
984)P640〜p646) し力)しながら、水素プラズマ−金属反応法における超
微粉発生速度は、溶解水素の触媒作用を利用していると
はいえ、やはり金属の蒸発現象であるため、その金属個
有の沸点、蒸気圧等の物理的因子に依存している。その
ため、水素プラズマ−金属反応法は、金属超微粉生成速
度の面より実用的には、対象金属がマンガン、アルミニ
ウム、クロムに限定される欠点がある。
度又は気化した蒸気を水素又は−酸化炭素により還元し
て、超微粉を得る方法で、この方法は連続操業が可能な
反面、水素−酸化炭素の還元力が弱く、超微粉化し得る
対象金属が限定される欠点がある。又、物理、化学的方
法として、水素プラズマ−金属反応法があり、この方法
は本発明と同じく水素プラズマにより、活性化した水素
を溶融金属と反応させ、溶融金属に過飽和に溶解した水
素の再結合、放出過程において、溶融金属を強制蒸発、
凝縮させる方法である。そのためガス中蒸発法に比べ、
溶解水素が触媒の作用としてより一層蒸発速度が早くな
るため、各種金属超微粉の製造が可能である。(大野
悟、宇田雅広:日本金属学会誌 第48巻 第6号(1
984)P640〜p646) し力)しながら、水素プラズマ−金属反応法における超
微粉発生速度は、溶解水素の触媒作用を利用していると
はいえ、やはり金属の蒸発現象であるため、その金属個
有の沸点、蒸気圧等の物理的因子に依存している。その
ため、水素プラズマ−金属反応法は、金属超微粉生成速
度の面より実用的には、対象金属がマンガン、アルミニ
ウム、クロムに限定される欠点がある。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明は従来の水素プラズマ−金属反応法では生成速度
が遅いため、生産性の面より実用的でなかった金属でも
本発明により極めて生成速度が上昇するため、金属超微
粉の製造が実用的となり、しかも従来製造困難であった
多種の金属を超微粉とすることが可能となる。
が遅いため、生産性の面より実用的でなかった金属でも
本発明により極めて生成速度が上昇するため、金属超微
粉の製造が実用的となり、しかも従来製造困難であった
多種の金属を超微粉とすることが可能となる。
(問題点を解決する方法)
本発明の要旨は、高融点金属の共存下つまり高融点金属
と溶質金属(超微粉の製造を目的とする金属)とを含む
合金を原料とすることにより、合金中の高融点金属が触
媒の作用をして、従来の水素プラズマ−金属反応法に比
べ、金属の蒸発速度が数倍以上早くなり、極めて生産性
の高い高純度の金属超微粉の製造法にあり、以下詳細に
ついて説明する。
と溶質金属(超微粉の製造を目的とする金属)とを含む
合金を原料とすることにより、合金中の高融点金属が触
媒の作用をして、従来の水素プラズマ−金属反応法に比
べ、金属の蒸発速度が数倍以上早くなり、極めて生産性
の高い高純度の金属超微粉の製造法にあり、以下詳細に
ついて説明する。
(作 用)
本発明における高融点金属は溶質金属より融点が高けれ
ばよく、元素周期表のVA、MA族の金属があり、さら
に好ましくはニオブ、タンタル。
ばよく、元素周期表のVA、MA族の金属があり、さら
に好ましくはニオブ、タンタル。
モリブデン、タングステンといった融点が2000℃以
上の金属がよい。又、溶質金属は、元素周期表IB、I
!IB、IVB、MA、■A、■族の金属があり、この
ような金属として、銅、アルミニウム、ケイ素、クロム
、マンガン、鉄、コバルト、ニッケルがあげられる。
上の金属がよい。又、溶質金属は、元素周期表IB、I
!IB、IVB、MA、■A、■族の金属があり、この
ような金属として、銅、アルミニウム、ケイ素、クロム
、マンガン、鉄、コバルト、ニッケルがあげられる。
本発明の原料としては、高融点金属を一種以上含み、超
微粉を得ようとする金属、つまり溶質金属をも含む合金
であれば特に制限されない。原料にはフェロニオフッフ
ェロタンタル、7エロモリブデン、フェロタングステン
などの高融点金属のフ二口・アロイも含まれる。また、
溶融高融点金属と溶質金属との混合溶融浴からも金属超
微粉の製造が可能である。合金組成としては、プラズマ
・ア−りによる加熱温度や蒸発速度の関係で、通常は溶
質金属を2 wt%以上含まれているものを用いること
が好ましい。又その形状は特に制限されない。
微粉を得ようとする金属、つまり溶質金属をも含む合金
であれば特に制限されない。原料にはフェロニオフッフ
ェロタンタル、7エロモリブデン、フェロタングステン
などの高融点金属のフ二口・アロイも含まれる。また、
溶融高融点金属と溶質金属との混合溶融浴からも金属超
微粉の製造が可能である。合金組成としては、プラズマ
・ア−りによる加熱温度や蒸発速度の関係で、通常は溶
質金属を2 wt%以上含まれているものを用いること
が好ましい。又その形状は特に制限されない。
本発明では、プラズマ・アークの作動ガスとして、水素
を含むガスを用いるが、この作動ガス中の水素濃度は、
2 wt4以上であればよく、水素濃度が高いほど溶出
金属の蒸発速度は早くなる。水素以外のガスとしては、
アルゴン、ヘリウムが用いられる。プラズマ・アークに
よる溶解温度は、高融点金属と溶質金属との合金組成に
より融点が変わるため変動するが必要以上に高温度にす
ることはエネルギーロスが多くなるので好ましくなく、
経済的には融点から融点+200°Cの範囲で溶解する
。プラズマ・アーク溶解は通常大気圧で行なうが、製造
目的の金属超微粉によっては、減圧もしくは加圧で行な
ってもよい。
を含むガスを用いるが、この作動ガス中の水素濃度は、
2 wt4以上であればよく、水素濃度が高いほど溶出
金属の蒸発速度は早くなる。水素以外のガスとしては、
アルゴン、ヘリウムが用いられる。プラズマ・アークに
よる溶解温度は、高融点金属と溶質金属との合金組成に
より融点が変わるため変動するが必要以上に高温度にす
ることはエネルギーロスが多くなるので好ましくなく、
経済的には融点から融点+200°Cの範囲で溶解する
。プラズマ・アーク溶解は通常大気圧で行なうが、製造
目的の金属超微粉によっては、減圧もしくは加圧で行な
ってもよい。
高融点金属の蒸気圧は、通常の溶解温度では、低いため
蒸発ロスは少なく生成金属超微粉の純度は非常に高いも
のが得られる。本発明で蒸発した金属を通常のガス、水
冷等の冷却手段により冷却し、サイクロン、バックフィ
ルター、電気集塵機等の捕集手段により捕集回収する。
蒸発ロスは少なく生成金属超微粉の純度は非常に高いも
のが得られる。本発明で蒸発した金属を通常のガス、水
冷等の冷却手段により冷却し、サイクロン、バックフィ
ルター、電気集塵機等の捕集手段により捕集回収する。
捕集された金稿粉は粒径が数nm〜IQOnmの粒度分
布の狭い均一な金属超微粉である。得られた金属超微粉
は、磁性材料、焼結用金嬉粉末、触媒材料、耐食材料等
の用途に利用出来る。
布の狭い均一な金属超微粉である。得られた金属超微粉
は、磁性材料、焼結用金嬉粉末、触媒材料、耐食材料等
の用途に利用出来る。
本発明によれば、高融点金用と溶質金属とを含む合金を
水素プラズマ・アークで溶解すること罠より、合金中の
高噌点金属が媒体(触媒の作用)となり、従来の水素プ
ラズマ−金属反応に比べ、金属の蒸発速度(超微粉生成
速度)が数倍以上も早くなり、より効率的な高純度超微
粉の製造が可能となった。本発明に使用する装置は、パ
ッチ式でも連続式でも構わない。好ましくは第1図に示
すような溶質金属を連続的に供給する装置を用いること
が望ましい。
水素プラズマ・アークで溶解すること罠より、合金中の
高噌点金属が媒体(触媒の作用)となり、従来の水素プ
ラズマ−金属反応に比べ、金属の蒸発速度(超微粉生成
速度)が数倍以上も早くなり、より効率的な高純度超微
粉の製造が可能となった。本発明に使用する装置は、パ
ッチ式でも連続式でも構わない。好ましくは第1図に示
すような溶質金属を連続的に供給する装置を用いること
が望ましい。
具体的に連続金属超微粉製造装置の操業法を説明すると
次のようKなる。
次のようKなる。
最初に水冷銅ルツボ上(6)に母合金と溶質金属を乗せ
る。鉄ロッド(8)を連続供給袋!(7)K取付ける。
る。鉄ロッド(8)を連続供給袋!(7)K取付ける。
次に炉体(1)、超微粉回収装置(9)を真空排気装置
にて1〜Q、IPaの真空度まで排気後炉内の圧力を水
素−アルゴンの混合ガスにて大気圧まで戻す。その後ガ
ス循環精製装置00にてガスを循環させる。プラズマ・
フレーム(4)は、プラズマ・トーチ(3)にプラズマ
作動ガスを流しながら高周波電源の補助により、プラズ
マ・アークを発生させ安定したプラズマeフレームを得
る。このプラズマ拳フレーム照射により、水冷銅ルツボ
上の母合金は、約2分にて全量溶解するが、プラズマ・
フレーム照射直後より溶質金属の蒸気は少量ではあるが
発生してくる。金属浴(5)の形成とともに溶質金属の
蒸気の発生が激しくなるため、溶質金属ロッド(8)を
プラズマ・フレーム内の連続的に供給し、溶質金属蒸気
発生量と溶質金属ロッド供給量を調整しながら操業を続
ける。溶質金属蒸気はサイクロン・バックフィルターQ
!1にて回収される。回収した超微粉は別室にて安定化
処理を施し、装置より取出す。
にて1〜Q、IPaの真空度まで排気後炉内の圧力を水
素−アルゴンの混合ガスにて大気圧まで戻す。その後ガ
ス循環精製装置00にてガスを循環させる。プラズマ・
フレーム(4)は、プラズマ・トーチ(3)にプラズマ
作動ガスを流しながら高周波電源の補助により、プラズ
マ・アークを発生させ安定したプラズマeフレームを得
る。このプラズマ拳フレーム照射により、水冷銅ルツボ
上の母合金は、約2分にて全量溶解するが、プラズマ・
フレーム照射直後より溶質金属の蒸気は少量ではあるが
発生してくる。金属浴(5)の形成とともに溶質金属の
蒸気の発生が激しくなるため、溶質金属ロッド(8)を
プラズマ・フレーム内の連続的に供給し、溶質金属蒸気
発生量と溶質金属ロッド供給量を調整しながら操業を続
ける。溶質金属蒸気はサイクロン・バックフィルターQ
!1にて回収される。回収した超微粉は別室にて安定化
処理を施し、装置より取出す。
鉄ロッド供給終了後、直ちにプラズマ・アークを停止す
る。溶出金属ロッドを再補充後、同一操作にて金属超微
粉を製造する。
る。溶出金属ロッドを再補充後、同一操作にて金属超微
粉を製造する。
(発明の効果)
以上の説明より明らかなように本発明によれば(1)
高融点金属の共存下、つまり高融点金属と溶質金属と
の合金を水素プラズマ・アーク加熱溶融すること圧より
、従来の水素プラズマ−金属反応法に比べ数倍以上の速
度で金属超微粉が得られる。
高融点金属の共存下、つまり高融点金属と溶質金属と
の合金を水素プラズマ・アーク加熱溶融すること圧より
、従来の水素プラズマ−金属反応法に比べ数倍以上の速
度で金属超微粉が得られる。
(2)従来の水素プラズマ−金属反応法では、製造が実
用的に困難であった鉄、ケイ素、ニッケル等の蒸気圧の
低い金属でも、超微粉が効率よく製造できる。
用的に困難であった鉄、ケイ素、ニッケル等の蒸気圧の
低い金属でも、超微粉が効率よく製造できる。
(3)得られた超微粉は高融点金属をほとんど含まない
ため、高純度で、その粒径は数nm〜10Qnmである
ため、磁性材料、焼結用金属粉末、耐食性材料、触媒材
料等の用途に使用することが出来る。
ため、高純度で、その粒径は数nm〜10Qnmである
ため、磁性材料、焼結用金属粉末、耐食性材料、触媒材
料等の用途に使用することが出来る。
次に実施例及び比較例で更に詳細に説明するが、本発明
はこれらに限定されるものではない。
はこれらに限定されるものではない。
(実施例)
実施例1
(母合金の作成法)
市販の金属ニオブ140gと金属鉄60gとを出力10
0需のプラズマ・アーク炉にて、水冷銅ルツボを用いて
、アルゴンのプラズマ作動ガスにて表、実名1回、各2
分間溶解した。溶解後ニオブ鉄合金を化学分析した結果
、ニオブ7Q、1wtチ、鉄29.9 wtチであった
。
0需のプラズマ・アーク炉にて、水冷銅ルツボを用いて
、アルゴンのプラズマ作動ガスにて表、実名1回、各2
分間溶解した。溶解後ニオブ鉄合金を化学分析した結果
、ニオブ7Q、1wtチ、鉄29.9 wtチであった
。
とのニオブ鉄合金2(LIFを別の出力20KWのプラ
ズマ・アーク炉にて最初はアルゴンの作動ガスを使用し
て、水冷銅ルツボ上にて溶解し直ちにアルゴンに水素を
50vo1%混合して、1分間溶解を続けた。溶解の際
蒸発した鉄(実施例5.6ではクロム、実施例7ではケ
イ素、実施例8ではニッケル)の微粒子は排ガスと共に
、プラズマ・アーク炉に接続したサイクロンパックフィ
ルターに導き、捕集回収した。実験の結果、プラズマ・
アーク炉の水冷銅ルツボ上には164gの未反応のニオ
ブ鉄母合金が残り、この母合金の化学分析の結果、ニオ
ブ85.9 wt係、鉄14.1 wtチであった。
ズマ・アーク炉にて最初はアルゴンの作動ガスを使用し
て、水冷銅ルツボ上にて溶解し直ちにアルゴンに水素を
50vo1%混合して、1分間溶解を続けた。溶解の際
蒸発した鉄(実施例5.6ではクロム、実施例7ではケ
イ素、実施例8ではニッケル)の微粒子は排ガスと共に
、プラズマ・アーク炉に接続したサイクロンパックフィ
ルターに導き、捕集回収した。実験の結果、プラズマ・
アーク炉の水冷銅ルツボ上には164gの未反応のニオ
ブ鉄母合金が残り、この母合金の化学分析の結果、ニオ
ブ85.9 wt係、鉄14.1 wtチであった。
又、サイクロンバックフィルターにて回収した微粒子は
159で螢光X線の解析では鉄のみが検出され、ニオブ
は検出されなかった。化学分析の結果、ニオブは2 p
pmであった。また得られた鉄粉の結晶粒子形状を示す
ために電子顕微鏡写真を第2図として示す。その粒径は
数nm〜1100nであり鉄超微粉が製造されたことが
確認された。
159で螢光X線の解析では鉄のみが検出され、ニオブ
は検出されなかった。化学分析の結果、ニオブは2 p
pmであった。また得られた鉄粉の結晶粒子形状を示す
ために電子顕微鏡写真を第2図として示す。その粒径は
数nm〜1100nであり鉄超微粉が製造されたことが
確認された。
実施例2.翫45.へ7,8
実施例1と同様に、予め所定濃度の母合金を溶解作成し
、化学分析によりその組成を確認後、金属超微粉製造を
実施した。
、化学分析によりその組成を確認後、金属超微粉製造を
実施した。
比較例1.2.44
金属鉄(金属クロム、金属ケイ素、金属ニッケル)を用
いて、水素−アルゴンプラズマによる鉄等の超微粉製造
実験を本発明と比較するため実施例1と同様の方法で実
施した。
いて、水素−アルゴンプラズマによる鉄等の超微粉製造
実験を本発明と比較するため実施例1と同様の方法で実
施した。
実施例9.10
原料の母合金の変わりにフェロアロイ(フェロニオブ、
フェロモリブデン)を用いて水素−アルゴンプラズマに
よる鉄超微粉製造実験を実施例1と同様の方法で実施し
た。実施例2〜8.9〜10、比較例1〜4の結果を第
1表にまとめた。
フェロモリブデン)を用いて水素−アルゴンプラズマに
よる鉄超微粉製造実験を実施例1と同様の方法で実施し
た。実施例2〜8.9〜10、比較例1〜4の結果を第
1表にまとめた。
実施例2〜10、比較例1〜4で得られた金属超微粉は
、いずれも実施例1と同様に螢光X線解析では不純物は
検出されず、電子顕微鏡観察でもその粒径は数nm〜1
100nであった。
、いずれも実施例1と同様に螢光X線解析では不純物は
検出されず、電子顕微鏡観察でもその粒径は数nm〜1
100nであった。
実施例11
第1図に示す様な連続金属超微粉製造装置を作製し各種
高融点金属と溶質金属との合金を用いて実験を行なった
。
高融点金属と溶質金属との合金を用いて実験を行なった
。
水冷銅ルツボには、市販の金属モリブデン5209、金
属鉄809を予め乗せておき、出力100KWのプラズ
マトーチにて作動ガスをアルゴンにして溶解した。溶解
後直ちに作動ガスに水素を混合しアルゴン50v01e
IP、j水素50 yo’14のガスにて鉄蒸気を発生
させた。
属鉄809を予め乗せておき、出力100KWのプラズ
マトーチにて作動ガスをアルゴンにして溶解した。溶解
後直ちに作動ガスに水素を混合しアルゴン50v01e
IP、j水素50 yo’14のガスにて鉄蒸気を発生
させた。
鉄蒸気の発生と同時に鉄ロッドを209/Mの供給速度
にて連続的に溶融合金浴中に供給した。
にて連続的に溶融合金浴中に供給した。
連続的に蒸発する鉄微粒子は、超微粉回収装置で捕集回
収した。プラズマ作動ガスもガス精製装置にて精製後循
環再使用した。実験は5時間行なった結果、炉内の水冷
銅ルツボにはモリブデン鉄合金が404g残り、化学分
析ではモリブデン79、1 wt係、鉄2[L7wtチ
であった。又回収装置に捕集された鉄超微粉は5696
9でありその回収率は95チであった。又その回収鉄超
微粉の化学分析ではモリブデン5 ppmであった。電
子顕微鏡観察でもその粒径は数nm〜1100nであっ
へ
収した。プラズマ作動ガスもガス精製装置にて精製後循
環再使用した。実験は5時間行なった結果、炉内の水冷
銅ルツボにはモリブデン鉄合金が404g残り、化学分
析ではモリブデン79、1 wt係、鉄2[L7wtチ
であった。又回収装置に捕集された鉄超微粉は5696
9でありその回収率は95チであった。又その回収鉄超
微粉の化学分析ではモリブデン5 ppmであった。電
子顕微鏡観察でもその粒径は数nm〜1100nであっ
へ
第1図は本発明の一実施例で用いる反応製蓋の概略図で
あり、第2図は本発明の一実施例で得られた鉄超微粉の
結晶形状を表わす電子顕微鏡写真(5[1,Q、(1゛
、0倍猜示すものである。 第1図において、各記号は次の内容を示す。 1・・・炉体 2・0.プラズマ炉電源 3・・・プラズマ・トーチ 4・・・プラズマ・フレーム 5・・・溶融金属浴 6・・・水冷銅ルツボ 7・・・鉄ロッド連続供給装置 8・・・鉄ロッド ?・・・超微粉回収装置 10・・・ガス循環精製装置 特許出願人 東洋置達工業株式会社 第 1 図
あり、第2図は本発明の一実施例で得られた鉄超微粉の
結晶形状を表わす電子顕微鏡写真(5[1,Q、(1゛
、0倍猜示すものである。 第1図において、各記号は次の内容を示す。 1・・・炉体 2・0.プラズマ炉電源 3・・・プラズマ・トーチ 4・・・プラズマ・フレーム 5・・・溶融金属浴 6・・・水冷銅ルツボ 7・・・鉄ロッド連続供給装置 8・・・鉄ロッド ?・・・超微粉回収装置 10・・・ガス循環精製装置 特許出願人 東洋置達工業株式会社 第 1 図
Claims (3)
- (1)高融点金属と溶質金属との共存下で、プラズマ・
アーク加熱溶融することを特徴 とする金属超微粉の製造法。 - (2)高融点金属としてVA及びVIA族に属する1種以
上の金属を用いる特許請求の範囲第1項記載の製造法。 - (3)VA及びVIA族に属する金属として、ニオブ、タ
ンタル、モリブデン、タングステンからなる群から選ば
れた1種以上の金属を用いる特許請求の範囲第2項記載
の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27401484A JPS61153208A (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 高融点金属を媒体とした金属超微粉の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27401484A JPS61153208A (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 高融点金属を媒体とした金属超微粉の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61153208A true JPS61153208A (ja) | 1986-07-11 |
JPH0472884B2 JPH0472884B2 (ja) | 1992-11-19 |
Family
ID=17535753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27401484A Granted JPS61153208A (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 高融点金属を媒体とした金属超微粉の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61153208A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010084199A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Nisshin Seifun Group Inc | Ni−W系合金微粒子の製造方法並びにNi−W合金微粒子の製造方法 |
JP2013189705A (ja) * | 2012-02-16 | 2013-09-26 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 微粒子生成装置および微粒子生成方法 |
-
1984
- 1984-12-27 JP JP27401484A patent/JPS61153208A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010084199A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Nisshin Seifun Group Inc | Ni−W系合金微粒子の製造方法並びにNi−W合金微粒子の製造方法 |
JP2013189705A (ja) * | 2012-02-16 | 2013-09-26 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 微粒子生成装置および微粒子生成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0472884B2 (ja) | 1992-11-19 |
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