JPS58153084A - 高純度物質焼成用るつぼ - Google Patents
高純度物質焼成用るつぼInfo
- Publication number
- JPS58153084A JPS58153084A JP3487582A JP3487582A JPS58153084A JP S58153084 A JPS58153084 A JP S58153084A JP 3487582 A JP3487582 A JP 3487582A JP 3487582 A JP3487582 A JP 3487582A JP S58153084 A JPS58153084 A JP S58153084A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- layer
- fired product
- unglazed
- calcium compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、高純度物質を焼成(焙焼)するのに好適なる
つぼに関するものであり、特に焼成中に発生する揮発性
物質による汚染を効果的に防止するようにしたるつぼに
関する。
つぼに関するものであり、特に焼成中に発生する揮発性
物質による汚染を効果的に防止するようにしたるつぼに
関する。
高純度物質をるつぼを用いて焙焼処理する場合に、るつ
ぼ材料が焼成品に混入する汚染−二、焼成処理中に被処
理物から発生するガスがるつぼH別と反応して揮発性物
質となりこれが内び焼成品VC付着する汚染の問題を回
避する必9がある。前者の汚染け、通常の素焼るつぼ、
At20.lるつぼ、Mgtlるつぼ、5102るつぼ
などに代えて白金るつぼを使用すれば実質」1回Mされ
るが、高価であり、′土た被処理物がハロゲンガスを発
生する場合に汀、白金が・・ロゲンガスに侵食され、後
者の汚染の問題が生ずる。1だ、目的焼成物と同一材料
でるつぼを作るかもしくに目的焼成物と同一材料を通常
のるつぼ内面に塗布(〜だものを使用すれば前者の汚染
の問題を回避できるが、やはり後者の汚染は回避するこ
とができない。すなわち、この場合にも、焼成中に発生
したガスがこのよりな[1的焼成物層圀侵入して捕促埒
れ揮発性物質を生成する場合には、焼成物がこの揮発性
物質に汚染される。
ぼ材料が焼成品に混入する汚染−二、焼成処理中に被処
理物から発生するガスがるつぼH別と反応して揮発性物
質となりこれが内び焼成品VC付着する汚染の問題を回
避する必9がある。前者の汚染け、通常の素焼るつぼ、
At20.lるつぼ、Mgtlるつぼ、5102るつぼ
などに代えて白金るつぼを使用すれば実質」1回Mされ
るが、高価であり、′土た被処理物がハロゲンガスを発
生する場合に汀、白金が・・ロゲンガスに侵食され、後
者の汚染の問題が生ずる。1だ、目的焼成物と同一材料
でるつぼを作るかもしくに目的焼成物と同一材料を通常
のるつぼ内面に塗布(〜だものを使用すれば前者の汚染
の問題を回避できるが、やはり後者の汚染は回避するこ
とができない。すなわち、この場合にも、焼成中に発生
したガスがこのよりな[1的焼成物層圀侵入して捕促埒
れ揮発性物質を生成する場合には、焼成物がこの揮発性
物質に汚染される。
本発明はこのような問題の解決を目的としたもので、カ
ルシウム化合物の層の表面に目的焼成物の層を塗布して
なる2重構造層を、目的焼成物塗布層をるつぼ内面側に
してるつぼを構成することによって、高純度物質を焼成
する場合の前記の両汚染の問題を回避I−たものである
。
ルシウム化合物の層の表面に目的焼成物の層を塗布して
なる2重構造層を、目的焼成物塗布層をるつぼ内面側に
してるつぼを構成することによって、高純度物質を焼成
する場合の前記の両汚染の問題を回避I−たものである
。
第1図は、カルシウム化合物層1と目的焼成物塗布層2
とからなる2重構造層を素焼るっぽ6の内面に形成1−
た例、第2図はこの2重構造層だけでるつぼを構成した
例を示す。いづれの場合も目的焼成物塗布層2が最内層
となるようにしである。
とからなる2重構造層を素焼るっぽ6の内面に形成1−
た例、第2図はこの2重構造層だけでるつぼを構成した
例を示す。いづれの場合も目的焼成物塗布層2が最内層
となるようにしである。
カルシウム化合物+1ij1[、酸化カルシウム、水酸
化カルシウムまたはカルシウム弱酸塩あるい(riこれ
らの混合物などで形成する。最も代表的vcげ酸化カル
シウム(CaO)を使用する。例えば第1図の場合、C
aOを混錬してこれを素焼るっぽ3の内面に塗布したあ
と約10001:で仮焼してCaO層1を形成して冷却
し、ついで、目的焼成物の粉末全混錬してこれ’1io
ao層1の内面に塗布したあと適切な温度で仮焼して目
的焼成物層2を形成する。
化カルシウムまたはカルシウム弱酸塩あるい(riこれ
らの混合物などで形成する。最も代表的vcげ酸化カル
シウム(CaO)を使用する。例えば第1図の場合、C
aOを混錬してこれを素焼るっぽ3の内面に塗布したあ
と約10001:で仮焼してCaO層1を形成して冷却
し、ついで、目的焼成物の粉末全混錬してこれ’1io
ao層1の内面に塗布したあと適切な温度で仮焼して目
的焼成物層2を形成する。
第2図の場合においてはCa0層1がるつぼ強要を得ら
れるに十分な厚さに仮焼処理する。
れるに十分な厚さに仮焼処理する。
このようにして作られた本発明に従うるつぼに、2重構
造層がある程度ポーラスとなっており、これを高純度物
質の焙焼処理用に供した場合、この焙焼処理中に・・ロ
ゲンなどの腐食性ガスが発生しても、これはカルシウム
化合vJ層1vCおいて、CaX2(X;ハロゲン元素
)の形でこの層内に固定される。このCaX21d熱的
に非常に安定な化合物であり不揮発性である。したがっ
て、前記したような二次汚染の問題は効果的に回避され
る。また、第1図のような素焼るつぼ3をるつぼ支持体
として使用した場合でも、この素焼るつぼ中のSi、A
s。
造層がある程度ポーラスとなっており、これを高純度物
質の焙焼処理用に供した場合、この焙焼処理中に・・ロ
ゲンなどの腐食性ガスが発生しても、これはカルシウム
化合vJ層1vCおいて、CaX2(X;ハロゲン元素
)の形でこの層内に固定される。このCaX21d熱的
に非常に安定な化合物であり不揮発性である。したがっ
て、前記したような二次汚染の問題は効果的に回避され
る。また、第1図のような素焼るつぼ3をるつぼ支持体
として使用した場合でも、この素焼るつぼ中のSi、A
s。
Ge、 Sbなどの重金属類がノ・ログンガスと反応し
て揮発性物質を生成したとしても、CaOが多量に存在
して塩基性を保っているCaO層にこれが固定され、被
処理物の汚染を防止する。目的焼成物の層2はカルシウ
ム化合物層のCaが被処理物に機械的に混入するのを防
止する保護被膜の役割全果たす。本発明のるつぼに、こ
のようにしてカルシウム化合物層1によるガス吸着およ
び固定作用を積極的に利用するものであり、 使用にざいしては、数回の再使用に耐え、目的焼成物層
2はほとんど汚染されない。場合によってはこの目的焼
成物12を簡単に酸洗浄して再使用すればよい。第1図
の例のように素焼るつぼ6を利用した場合には、この素
焼るつぼ3は使用されるごとにその不純物はカルシウム
化合物層に吸収されて精製されることになる。くり返し
使用によってカルシウム化合物層の吸着固定作用が弱く
なるかまたに吸着物質量が多くなった場合は、このカル
シウム化合物層2だけ全廃棄して取替えればよい。した
がって、全体としてるつぼ費用は安価なカルシウム化合
物だけとなるので、安価にして大型のるつぼを造ること
ができる。なお、素焼るつぼはこれに代えてアルミする
つぼ、石英るつぼ、マグネジするつぼなども使用できる
。
て揮発性物質を生成したとしても、CaOが多量に存在
して塩基性を保っているCaO層にこれが固定され、被
処理物の汚染を防止する。目的焼成物の層2はカルシウ
ム化合物層のCaが被処理物に機械的に混入するのを防
止する保護被膜の役割全果たす。本発明のるつぼに、こ
のようにしてカルシウム化合物層1によるガス吸着およ
び固定作用を積極的に利用するものであり、 使用にざいしては、数回の再使用に耐え、目的焼成物層
2はほとんど汚染されない。場合によってはこの目的焼
成物12を簡単に酸洗浄して再使用すればよい。第1図
の例のように素焼るつぼ6を利用した場合には、この素
焼るつぼ3は使用されるごとにその不純物はカルシウム
化合物層に吸収されて精製されることになる。くり返し
使用によってカルシウム化合物層の吸着固定作用が弱く
なるかまたに吸着物質量が多くなった場合は、このカル
シウム化合物層2だけ全廃棄して取替えればよい。した
がって、全体としてるつぼ費用は安価なカルシウム化合
物だけとなるので、安価にして大型のるつぼを造ること
ができる。なお、素焼るつぼはこれに代えてアルミする
つぼ、石英るつぼ、マグネジするつぼなども使用できる
。
本発明のるつぼ’1Ta20.の焙焼に使用した実施例
について述べると、外径160朋、高g95mmの素焼
るつぼの内面vc+、jaOf 1000 Cで仮焼し
て10關の厚さに焼付けたあと、焙焼品であるTa2O
,の粉末を151.の厚8に塗布して仮焼して第1図に
5− 示すようなるつぼを造り、これに、Fe 1.8ppm
。
について述べると、外径160朋、高g95mmの素焼
るつぼの内面vc+、jaOf 1000 Cで仮焼し
て10關の厚さに焼付けたあと、焙焼品であるTa2O
,の粉末を151.の厚8に塗布して仮焼して第1図に
5− 示すようなるつぼを造り、これに、Fe 1.8ppm
。
Si 5 ppm、 Ca 11.1 ppm以下、C
u O,1ppm以下、At1 ppm以下の品位のT
a2 ”5 ” nH20k装入し、1200Cで焙焼
処理したところ、得られたTa、、 05の品位は、F
e 1.8 ppm、 Si 6 ppm、 Ca 1
.Oppm以下、Cu O,1ppm以下、Al 1
ppm以下であった。
u O,1ppm以下、At1 ppm以下の品位のT
a2 ”5 ” nH20k装入し、1200Cで焙焼
処理したところ、得られたTa、、 05の品位は、F
e 1.8 ppm、 Si 6 ppm、 Ca 1
.Oppm以下、Cu O,1ppm以下、Al 1
ppm以下であった。
第1図は本発明の実施例を示するつぼ断面構造図、第2
図は他の実施例を示するつぼ断面構造図である。 1・・・カルシウム化合物層 2・・・目的焼成物塗布層 5・・・素焼るつは 6−
図は他の実施例を示するつぼ断面構造図である。 1・・・カルシウム化合物層 2・・・目的焼成物塗布層 5・・・素焼るつは 6−
Claims (4)
- (1)高純度物質を焼成するためのるつぼであって、カ
ルシウム化合物の層の表面に目的焼成物のIn塗布して
なる2重構造−を、目的焼成物塗布層をるつぼ内面側ニ
(、で構成した高純度物質焼成用るつぼ。 - (2)2重構造1傾が素焼るつぼの内面に形成さ!′1
6ている特許請求の範囲窮1項記載のるつぼ。 - (3) カル/ラム化合物はCaOである特許請求の範
囲第1項記載のるつぼ。 - (4) 目的焼成物がTa、+O,である特許請求の
範囲第1項記載のるつは。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3487582A JPS6039952B2 (ja) | 1982-03-05 | 1982-03-05 | 高純度物質焼成用るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3487582A JPS6039952B2 (ja) | 1982-03-05 | 1982-03-05 | 高純度物質焼成用るつぼ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58153084A true JPS58153084A (ja) | 1983-09-10 |
JPS6039952B2 JPS6039952B2 (ja) | 1985-09-09 |
Family
ID=12426316
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3487582A Expired JPS6039952B2 (ja) | 1982-03-05 | 1982-03-05 | 高純度物質焼成用るつぼ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6039952B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6189796U (ja) * | 1984-11-15 | 1986-06-11 | ||
JPS6287784A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-22 | 三井造船株式会社 | 金属の溶解炉 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6235260A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-02-16 | 普生股ふん有限公司 | 分析トレイを洗浄する方法及び装置 |
-
1982
- 1982-03-05 JP JP3487582A patent/JPS6039952B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6189796U (ja) * | 1984-11-15 | 1986-06-11 | ||
JPS6287784A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-22 | 三井造船株式会社 | 金属の溶解炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6039952B2 (ja) | 1985-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0395288A (ja) | 耐火金属酸化物被覆研摩材、および該研摩材より製作した砥石車 | |
US3385723A (en) | Carbon article coated with beta silicon carbide | |
PT85734B (pt) | Estruturas ceramicas modificadas e processos de fabricacao das mesmas | |
JPS58153084A (ja) | 高純度物質焼成用るつぼ | |
US3974322A (en) | Radioactive source | |
JPH04300994A (ja) | 改良された効率を有するタンタル酸塩x線増感リン光体の製造法 | |
GB943184A (en) | Methods of manufacturing single-crystal bodies | |
US3265528A (en) | Method of forming metal carbide coating on carbon base | |
JPS62143349A (ja) | フリツト密封型映像管用ゲツタ装置 | |
US4690813A (en) | Molybdenum oxide whiskers and a method of producing the same | |
US3343982A (en) | Coating of cobalt alloys | |
US5916377A (en) | Packed bed carburization of tantalum and tantalum alloy | |
JPH046780B2 (ja) | ||
SU1171564A1 (ru) | Способ обработки изделий | |
JPS5950086B2 (ja) | 半導体用治具 | |
JPH0797263A (ja) | 黒鉛容器及びその製造方法 | |
JPS61117200A (ja) | 酸化テルルウイスカ−およびその製造方法 | |
JPH0255283A (ja) | 酸化物単結晶の製造方法 | |
JPS6211056B2 (ja) | ||
JPH01145386A (ja) | 黒鉛るつぼ | |
US3432334A (en) | Method of applying oxidation protective coatings to columbium | |
JPS60161602A (ja) | 磁性微粒子の製造方法 | |
SU510452A1 (ru) | Способ соединени стекла со стеклом, металлом, керамикой или кристаллическими материалами | |
JPS59203773A (ja) | セラミツクスの焼成方法 | |
JPS61221364A (ja) | 薄膜形成装置 |