JPS5815234A - スピンコ−タのノズル構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はスピンコータに於けるレジスト吐出ノズルの構
造に関する。

従来のスピンコータは第１図に示す様に複数のノズルを
もち、工０製造の各工程において必要なレジストを別々
のノズルから供給するものであった。このスピンコータ
はノズル数だけの数のレジストを簡単に選択供給できる
長所をもっている。

しかしながら、上記スピンコータは実際に量産工場で使
用するに従がい、次の欠陥が明らかになってきた。

（１）　　ある特定のノズルは半導体基板中心にレジス
トを供給できるが、その他のノズルは半導体基板中心に
レジストを供給することができない。このためレジスト
供給量を多しして半導体基板中心までレジストが供給で
きる様にしなければならない。

（２）長時間ある特定のノズルを使用した後に他のノズ
ルを使用する場合そのノズルの吐出口がつまりレジスト
が供給されない。

等の欠陥が明らかになってきた。

すなわち、その原因としては第１図に示す様にノズルの
太さがあるためノズル３が半導体基板中心にあると他の
ノズル２，４はノズル３とぶつかる為に半導体基板中心
に位置することができない。

そのためノズル２．４は半導体基板中心にレジストを供
給できなくなる。又、レジストは長時間空気中に放置す
ると溶剤が蒸発して固形化するためノズル吐出口におい
て空気と触れたレジストが固形化してノズルをつまらせ
ることが判明した。

本発明はかかる欠点を除去したもので、その目的はノズ
ルの構造に改良を加え複数のレジストを一つの吐出口か
ら吐出させることを可能にするノズル構造を与えること
にある。

第２図は本発明の一実施例でありａｔのレジスト流入ロ
ア、８．９より流入したレジストを一つのレジスト吐出
口１０より吐出することを可能にしたものである。

本発明は以上の実施例によって説明したように複数のレ
ジスト流入口と一つのレジスト吐出口とから構成したこ
とにより次の様な効果を有している。まず第一に、どの
レジストも一つの吐出口から吐出されるためこの吐出口
を半導体基板の中心に位置させておけばどのレジストも
半導体基板中心に供給できるため少量のレジストでも半
導体基板中心に供給できるためレジストの使用量を削減
できる。

ても同じ吐出口が常に使用されているため吐出口でのレ
ジストの固形化によるノズルの吐出口のつまりがなく、
レジストを切換えてもただちに使用できるため極めて有
効なものがある。

尚、レジスト流入口を図面上３種類として説明したが、
これ以上の場合も同様であることはいうまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のスピンコータのノズル構造とウェハーの
関係を示す図面であり、（、）は平面図、（ｂ）は側面
図である。 第２図は本発明によるスピンコータのノズル構造とウェ
ハーの関係を示す図面であり、（α）は平面図、（ｈ）
は側面図である。 １．５は半導体基板 ２．５．４は従来のノズル ６は本発明によるノズル ７．８．９は本発明によるノズルのレジスト流人口 １０は本発明によるノズルのレジスト吐出日課　　上 出願人　　株式壷社諏訪精工舎 代理人　　弁理士　最上　　務

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　レジ、ストを半導体基板上に供給し、半導体
   基板を回転してやることにより半導体基板全面にレジス
   トを塗布するスピンコータに於いて、複数のレジスト流
   入口とひとつのレジスト吐出口から構成されたことを特
   徴とするスピンコータのノズル構造。