JPH08294679A - 精密洗浄装置 - Google Patents

精密洗浄装置

Info

Publication number
JPH08294679A
JPH08294679A JP12559595A JP12559595A JPH08294679A JP H08294679 A JPH08294679 A JP H08294679A JP 12559595 A JP12559595 A JP 12559595A JP 12559595 A JP12559595 A JP 12559595A JP H08294679 A JPH08294679 A JP H08294679A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
gas
nozzle
cleaning
extension
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP12559595A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3530270B2 (ja
Inventor
Tetsuya Yamada
哲也 山田
Kiyoshi Shimada
清 嶋田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SPC Electronics Corp
Original Assignee
SPC Electronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SPC Electronics Corp filed Critical SPC Electronics Corp
Priority to JP12559595A priority Critical patent/JP3530270B2/ja
Publication of JPH08294679A publication Critical patent/JPH08294679A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3530270B2 publication Critical patent/JP3530270B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液体に気体とを十分に混合し、且つ十分な加
速を行う。 【構成】 洗浄室内に被洗浄物を搬送するローラを設置
し、ローラの上下に洗浄用シャワーノズルを設置し、こ
の洗浄用シャワーノズルは本体に液体と気体とを別個に
導入し、本体の延長線上に設けた延長ノズルで気液混合
させ先端の開口部から気液混合体を噴出させるように
し、気体と液体とを噴射させる個所から延長ノズルの長
さをノズル内径の１．５〜２０倍にした精密洗浄装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は一枚ずつ搬送しながら洗
浄用シャワーノズルによって液晶用基板、半導体用ウエ
ハー等の板状被洗浄物を洗浄する精密洗浄装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の此種精密洗浄装置は、ブラシ等に
よる物理的な力を利用するものや、液体と気体を混合さ
せて噴射するシャワーノズル等により、被洗浄物表面の
汚れを除去していた。
【０００３】接触式は洗浄力は高いが被洗浄物に傷をつ
けてしまったり、ブラシ等で接触する際に、逆にブラシ
の汚れを被洗浄物に付着させてしまったりしていた。
【０００４】又、液体のみのシャワーノズルや、液体と
気体とを同時に噴射させるシャワーノズルでは被洗浄物
に傷をつけたりすることはないが、洗浄力が低く、付着
力の強いパーティクル等を除去することができなかっ
た。
【０００５】例えば、図３に示す液体と気体を噴射させ
るシャワーノズル１においては本体２の一方に気体導入
口３を設け、反対側に液体導入口４を開口し、本体２に
設けた案内部材５に気体導入路６と液体導入路７を設
け、先端に設けた混合室８で気体と液体とを混合してス
リット状の開口部９から被洗浄物（図示省略）に噴射し
ていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図３においては混合室
が小さいため液体と気体とを十分に混合することができ
ず、図４においては或程度密閉された状態にあるため、
圧力のかかる混合部が存在せず、液体が加速されずに噴
射されてしまうので洗浄が不十分であった。そこで、本
発明においては十分に液体と気体とを混合し、且つ液体
に十分な加速を与えることができ装置を提供しようとす
るものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、洗浄室内に被洗浄物を搬送するローラを設
置し、ローラの上下に洗浄用シャワーノズルを設置し、
この洗浄用シャワーノズルは本体に液体と気体とを別個
に導入し、本体の延長線上に設けた延長ノズルで気液混
合させ先端の開口部から気液混合体を噴出させるように
し、気体と液体とを噴射させる個所から延長ノズルの長
さをノズル内径の１．５〜２０倍にした精密洗浄装置を
構成する。
【０００８】
【作用】本発明は前記のように構成したもので、液体と
気体とを延長ノズル間を通過させる間に混合し、気液混
合体として開口部から加速噴射して被洗浄物に付着した
パーティクルを除去する。尚、延長ノズルのノズル内径
の１．５〜２０倍にすることにより圧力及び速度が良好
となり除去を確実に行えるようにする。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図１，２に基づいて詳細に
説明する。洗浄室１２に設けた搬入口１３と搬出口１４
との間に多数の搬送用ローラ１５，１５，…を設けて被
洗浄物１を搬送する。
【００１０】そして、両搬送用ローラ１５，１５間の上
下に洗浄用シャワーノズル１７，１７を設置して、被洗
浄物１６の上下から液体と気体とを混合した気液混合体
１８，１８を噴射して洗浄し、搬出口１４側の上下に位
置を変化させてシャワーカーテン１９，１９を設けてカ
ーテン状に液体を噴出させて洗浄を行うようになってい
る。
【００１１】前記洗浄用シャワーノズル１７，１７は図
２に示す様に、本体２の一方に気体導入口３を設け、反
対側に液体導入口４を設ける。そして、本体２に設けた
案内部材５に液体導入路７を図において垂直方向の中心
に設け気体導入路６を液体導入路７の周囲に複数個（例
えば６個）を設ける。この案内部材５に２０ｍｍ〜２０
０ｍｍの長さを有する延長ノズル２０を設け、その先端
に混合室８´を設けて気体と液体とを確かに混合し、更
に先端にスリット状の開口部９を設けたものである。
【００１２】本実施例は前記のように構成したもので、
液体導入路７から出た液体と、気体導入路６，６，…か
ら出た気体が延長ノズル２０を通過する途中において混
合され、気液混合体１８が一体となって開口部９から噴
射して被洗浄物１６を洗浄する。
【００１３】尚、延長ノズルの長さはノズル内径の１．
５倍〜２０倍が良好である。１μｍ以下のパーティクル
除去率を実験した結果、内径の１．５倍以下だと水流の
加速が不十分で除去率が７５％であり、２０倍以上にな
ると、圧損が加速よりも大きくなく除去率が７５％程度
となり、１．５〜２０倍の場合には９０．１％とほぼ確
実な除去を行うことができた。
【００１４】そして、洗浄用シャワーノズル１７，１７
で洗浄された被洗浄物１６はシャワーカーテン１９，１
９から噴射するカーテン状の液体により洗浄用シャワー
ノズル１７，１７に除去され、被洗浄物１６上に浮遊し
ているパーティクルを完全に落下せしめる。
【００１５】
【発明の効果】本発明は前記のような構成、作用を有す
るから、延長ノズルにより十分な加速及び圧力で被洗浄
物に噴射させ、従来接触式の洗浄方法と同等の洗浄力を
有し、ガラス等の表面に傷を付けることなく洗浄を行う
ことができる。
【００１６】又、延長ノズルの長さをノズル内径の１．
５〜２０倍にすることにより、十分な圧力と速度を与え
ることができ、良好な洗浄を行うことができる。
【００１７】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る精密洗浄装置の配置を示す正面
図。
【図２】洗浄用シャワーノズルの縦断面図。
【図３】従来装置の一例を示す断面図。
【図４】従来装置の他の一例を示す断面図。
【符号の説明】
１ シャワーノズル １´ シャワーノズル ２ 本体 ３ 気体導入口 ４ 液体導入口 ５ 案内部材 ６ 気体導入口路 ７ 液体導入口路 ８ 混合室 ８´ 混合室 ９ 開口部 １０ 外筒 １１ 内筒 １２ 洗浄室 １３ 搬入口 １４ 搬出口 １５ 搬送用ローラ １６ 被洗浄物 １７ 洗浄用シャワーノズル １８ 気液混合体 １９ シャワーカーテン ２０ 延長ノズル

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 洗浄室内に被洗浄物を搬送するローラを
    設置し、ローラの上下に洗浄用シャワーノズルを設置
    し、この洗浄用シャワーノズルは本体に液体と気体とを
    別個に導入し、本体の延長線上に設けた延長ノズルで気
    液混合させ先端の開口部から気液混合体を噴出させるよ
    うにしたことを特徴とする精密洗浄装置。
  2. 【請求項２】 気体と液体とを噴射させる個所から延長
    ノズルの長さをノズル内径の１．５〜２０倍にしたこと
    を特徴とする請求項１記載の精密洗浄装置。
JP12559595A 1995-04-27 1995-04-27 精密洗浄装置 Expired - Fee Related JP3530270B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12559595A JP3530270B2 (ja) 1995-04-27 1995-04-27 精密洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12559595A JP3530270B2 (ja) 1995-04-27 1995-04-27 精密洗浄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08294679A true JPH08294679A (ja) 1996-11-12
JP3530270B2 JP3530270B2 (ja) 2004-05-24

Family

ID=14914043

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12559595A Expired - Fee Related JP3530270B2 (ja) 1995-04-27 1995-04-27 精密洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3530270B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002052350A (ja) * 2000-08-10 2002-02-19 Nippon Steel Corp 二流体ノズル
US6729561B2 (en) 2000-05-30 2004-05-04 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Cleaning nozzle and substrate cleaning apparatus
CN100455367C (zh) * 2004-03-23 2009-01-28 显示器生产服务株式会社 用于清洁平面显示板的装置
GB2452580A (en) * 2007-09-07 2009-03-11 Dave Edward Bickers Mix and spray nozzle arrangement
US20120247670A1 (en) * 2011-03-31 2012-10-04 Iwatani Corporation Substrate cleaning apparatus and vacuum processing system
CN115254817A (zh) * 2022-07-08 2022-11-01 江西追风压缩机有限公司 一种压缩机缸套清洗装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6729561B2 (en) 2000-05-30 2004-05-04 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Cleaning nozzle and substrate cleaning apparatus
JP2002052350A (ja) * 2000-08-10 2002-02-19 Nippon Steel Corp 二流体ノズル
JP4554782B2 (ja) * 2000-08-10 2010-09-29 新日鉄エンジニアリング株式会社 二流体ノズル
CN100455367C (zh) * 2004-03-23 2009-01-28 显示器生产服务株式会社 用于清洁平面显示板的装置
GB2452580A (en) * 2007-09-07 2009-03-11 Dave Edward Bickers Mix and spray nozzle arrangement
GB2452580B (en) * 2007-09-07 2012-04-04 Dave Edward Bickers Spraying apparatus
US20120247670A1 (en) * 2011-03-31 2012-10-04 Iwatani Corporation Substrate cleaning apparatus and vacuum processing system
US9214364B2 (en) * 2011-03-31 2015-12-15 Tokyo Electron Limited Substrate cleaning apparatus and vacuum processing system
CN115254817A (zh) * 2022-07-08 2022-11-01 江西追风压缩机有限公司 一种压缩机缸套清洗装置
CN115254817B (zh) * 2022-07-08 2024-01-02 江西追风压缩机有限公司 一种压缩机缸套清洗装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP3530270B2 (ja) 2004-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100276620B1 (ko) 세정용 2류체제트노즐 및 이것을 이용한 세정장치와 세정방법
US3990462A (en) Substrate stripping and cleaning apparatus
KR100297660B1 (ko) 기판건조장치및방법
KR100212074B1 (ko) 기판의 액제거장치
TWI443722B (zh) 基板處理裝置及基板處理方法
TW201720538A (zh) 二相流霧化噴射清洗裝置
JPH02309638A (ja) ウエハーエッチング装置
KR100982492B1 (ko) 기판 세정용 이류체 분사 노즐
KR20030040014A (ko) 세정용 2유체 분사 노즐, 세정 장치 및 이들을 이용한반도체 장치의 제조 방법
KR101941028B1 (ko) 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치
JPH08294679A (ja) 精密洗浄装置
JP2002011419A (ja) 洗浄方法およびこれに用いる洗浄装置
KR20000035132A (ko) 처리장치 및 처리방법
US6726777B1 (en) Cleaning method and apparatus using fluid spraying
JP2002158202A (ja) ウエハ洗浄装置
TWI227035B (en) Substrate processing device of transporting type
KR101499681B1 (ko) 기판 세정 장치의 챔버 배열 구조
JP2000288488A (ja) スリットノズルの洗浄装置
JPH0479326A (ja) 基板表面の洗浄装置
JP2002113430A (ja) 基板処理装置
JP3745863B2 (ja) ウエットエッチング処理方法およびその処理装置
JPH08197025A (ja) 洗浄用スプレイノズル及び洗浄方法
KR101935573B1 (ko) 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치
JPS5986226A (ja) 薄板状材の洗浄装置
KR200305052Y1 (ko) 슬릿형 유체 분사 장치

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040120

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040227

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090305

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305

Year of fee payment: 9

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305

Year of fee payment: 9

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees