JPH04215420A - 流体制御装置 - Google Patents
流体制御装置Info
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- JPH04215420A JPH04215420A JP40249590A JP40249590A JPH04215420A JP H04215420 A JPH04215420 A JP H04215420A JP 40249590 A JP40249590 A JP 40249590A JP 40249590 A JP40249590 A JP 40249590A JP H04215420 A JPH04215420 A JP H04215420A
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- Japan
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- valve
- valves
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- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 29
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 3
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
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- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Multiple-Way Valves (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造業等に利用
される液体供給装置に関するものである。
される液体供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造工程においては、半
導体ウェハを現像処理するために、半導体ウェハ上に多
種の薬液を供給する必要がある。そして、その薬液を供
給するための液体供給装置には薬液の供給ポンプと、そ
のポンプを駆動制御する駆動制御部とが備えられ、これ
らを備えた液体供給装置が薬液の種類だけ配置されてい
た。
導体ウェハを現像処理するために、半導体ウェハ上に多
種の薬液を供給する必要がある。そして、その薬液を供
給するための液体供給装置には薬液の供給ポンプと、そ
のポンプを駆動制御する駆動制御部とが備えられ、これ
らを備えた液体供給装置が薬液の種類だけ配置されてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従って、薬液の種類だ
け同じ装置を何個も配置しなければならなず、全体が大
型化して非常にスペース効率が悪いとともに、部品点数
が増大してコストがかかるという問題がある。本発明は
上記問題点を解消するためになされたものであり、その
目的は多種類の薬液を供給することができ、しかも部品
点数を少なくすると共に、全体を小型化して省スペース
化、ローコスト化を図ることのできる液体供給装置を提
供することにある。
け同じ装置を何個も配置しなければならなず、全体が大
型化して非常にスペース効率が悪いとともに、部品点数
が増大してコストがかかるという問題がある。本発明は
上記問題点を解消するためになされたものであり、その
目的は多種類の薬液を供給することができ、しかも部品
点数を少なくすると共に、全体を小型化して省スペース
化、ローコスト化を図ることのできる液体供給装置を提
供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めにこの発明では、複数の液体供給ポンプと、それらの
液体供給ポンプに設けられた各開閉弁を切り換える切換
弁と、切換弁を制御するコントローラと、前記各液体供
給ポンプの開閉弁と切換弁との間に配置され、切換弁と
接続される開閉弁を選択するための多方弁とを備えた構
成としている。
めにこの発明では、複数の液体供給ポンプと、それらの
液体供給ポンプに設けられた各開閉弁を切り換える切換
弁と、切換弁を制御するコントローラと、前記各液体供
給ポンプの開閉弁と切換弁との間に配置され、切換弁と
接続される開閉弁を選択するための多方弁とを備えた構
成としている。
【０００５】
【作用】従って、本発明によれば、複数の液体供給ポン
プに設けられた各開閉弁は、切換弁との接続を多方弁に
より選択され、その切換弁は１つのコントローラで制御
される。
プに設けられた各開閉弁は、切換弁との接続を多方弁に
より選択され、その切換弁は１つのコントローラで制御
される。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面に
従って説明する。図１に示すように、１は液体供給ポン
プとしてのダイヤフラムポンプであり、そのダイヤフラ
ムポンプ１は２つ設けられている。ダイヤフラムポンプ
１は、第１ハウジング２、第２ハウジング３、両ハウジ
ング２，３間にボルト締めされたダイヤフラム膜４より
構成されている。５はオーリングである。
従って説明する。図１に示すように、１は液体供給ポン
プとしてのダイヤフラムポンプであり、そのダイヤフラ
ムポンプ１は２つ設けられている。ダイヤフラムポンプ
１は、第１ハウジング２、第２ハウジング３、両ハウジ
ング２，３間にボルト締めされたダイヤフラム膜４より
構成されている。５はオーリングである。
【０００７】ダイヤフラム膜４と共に液圧送室６を区画
形成する第１ハウジング２には吸入薬液を吸入する薬液
吸入口コネクタ７が接続されており、この薬液吸入口コ
ネクタ７には脱泡用オリフィス８が形成されている。 又、第１ハウジング２の中央部には気泡トラップ部９が
上方に突設されており、この気泡トラップ部９の上端に
は気泡除去口コネクタ１０が接続されていると共に、気
泡トラップ部９より若干下位位置には薬液吐出口コネク
タ１１が接続されている。
形成する第１ハウジング２には吸入薬液を吸入する薬液
吸入口コネクタ７が接続されており、この薬液吸入口コ
ネクタ７には脱泡用オリフィス８が形成されている。 又、第１ハウジング２の中央部には気泡トラップ部９が
上方に突設されており、この気泡トラップ部９の上端に
は気泡除去口コネクタ１０が接続されていると共に、気
泡トラップ部９より若干下位位置には薬液吐出口コネク
タ１１が接続されている。
【０００８】薬液吸入口コネクタ７には薬液容器１２が
薬液吸入配管１３を介して接続されており、薬液吸入配
管１３上にはエア・オペレート駆動式の吸入開閉弁１４
が介在されている。尚、各ダイヤフラムポンプ１の薬液
容器１２にはそれぞれ異なった薬液が収容されている。 気泡除去口コネクタ１０に接続された気泡除去配管１５
上には絞り弁１６及びエア・オペレート駆動式の気泡除
去開閉弁１７が介在されている。絞り弁１６は手動操作
で開口面積を調整して気泡除去量を制御するものである
。薬液吐出口コネクタ１１に接続された薬液吐出配管１
８上にはエア・オペレート駆動式の吐出開閉弁１９が介
在されている。ダイヤフラム膜４と共に駆動制御室２０
を区画形成する第２ハウジング３には駆動エア取口コネ
クタ２１が接続されている。
薬液吸入配管１３を介して接続されており、薬液吸入配
管１３上にはエア・オペレート駆動式の吸入開閉弁１４
が介在されている。尚、各ダイヤフラムポンプ１の薬液
容器１２にはそれぞれ異なった薬液が収容されている。 気泡除去口コネクタ１０に接続された気泡除去配管１５
上には絞り弁１６及びエア・オペレート駆動式の気泡除
去開閉弁１７が介在されている。絞り弁１６は手動操作
で開口面積を調整して気泡除去量を制御するものである
。薬液吐出口コネクタ１１に接続された薬液吐出配管１
８上にはエア・オペレート駆動式の吐出開閉弁１９が介
在されている。ダイヤフラム膜４と共に駆動制御室２０
を区画形成する第２ハウジング３には駆動エア取口コネ
クタ２１が接続されている。
【０００９】一方、エア供給源２２には電磁駆動式の３
つの切換弁２３，２４，２５、開閉弁２６及び電子レギ
ュレター２７が並列接続され、切換弁２３，２４，２５
には電磁駆動式の三方弁２８，２９，３０がそれぞれ接
続されている。三方弁２８には前記各ダイヤフラムポン
プ１の吸入開閉弁１４が接続され、各吸入開閉弁１４は
三方弁２８を介して切換弁２３で開閉制御される。そし
て、三方弁２９，３０には各ダイヤフラムポンプ１の気
泡除去開閉弁１７、吐出開閉弁１９がそれぞれ接続され
、各気泡除去開閉弁１７及び各吐出開閉弁１９は同じく
三方弁２９，３０を介して切換弁２４，２５でそれぞれ
開閉制御される。
つの切換弁２３，２４，２５、開閉弁２６及び電子レギ
ュレター２７が並列接続され、切換弁２３，２４，２５
には電磁駆動式の三方弁２８，２９，３０がそれぞれ接
続されている。三方弁２８には前記各ダイヤフラムポン
プ１の吸入開閉弁１４が接続され、各吸入開閉弁１４は
三方弁２８を介して切換弁２３で開閉制御される。そし
て、三方弁２９，３０には各ダイヤフラムポンプ１の気
泡除去開閉弁１７、吐出開閉弁１９がそれぞれ接続され
、各気泡除去開閉弁１７及び各吐出開閉弁１９は同じく
三方弁２９，３０を介して切換弁２４，２５でそれぞれ
開閉制御される。
【００１０】開閉弁２６及び電子レギュレター２７は切
換弁３１に接続され、その切換弁３１には三方弁３２が
接続されている。そして、三方弁３２には各ダイヤフラ
ムポンプ１の駆動エア取口コネクタ２１が接続されてい
る。三方弁２８，２９，３０，３２はその切り換え状態
に応じてそれぞれ切換弁２３，２４，２５，３１と接続
される開閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネク
タ２１を択一的に選択する。又、開閉弁２６と切換弁３
１との間には真空発生部３３が介在され、電子レギュレ
ター２７とエア供給源２２との間にはレギュレータ３４
が介在されている。
換弁３１に接続され、その切換弁３１には三方弁３２が
接続されている。そして、三方弁３２には各ダイヤフラ
ムポンプ１の駆動エア取口コネクタ２１が接続されてい
る。三方弁２８，２９，３０，３２はその切り換え状態
に応じてそれぞれ切換弁２３，２４，２５，３１と接続
される開閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネク
タ２１を択一的に選択する。又、開閉弁２６と切換弁３
１との間には真空発生部３３が介在され、電子レギュレ
ター２７とエア供給源２２との間にはレギュレータ３４
が介在されている。
【００１１】電磁駆動式の各切換弁２３，２４，２５，
３１、開閉弁２６、各三方弁２８，２９，３０，３２及
び電子レギュレター２７はコントローラＣの制御を受け
、コントローラＣは、入力装置３５によって入力される
薬液供給量、薬液供給時間等の入力情報に基づいて各切
換弁２３，２４，２５，３１、開閉弁２６、各三方弁２
８，２９，３０，３２、電子レギュレター２７を統合制
御する。そして、これらのコントローラＣ、入力装置３
５、切換弁２３，２４，２５，３１、開閉弁２６、三方
弁２８，２９，３０，３２、電子レギュレター２７、エ
ア供給源２２、レギュレータ３４、真空発生部３３で駆
動制御部Ｋが構成されている。
３１、開閉弁２６、各三方弁２８，２９，３０，３２及
び電子レギュレター２７はコントローラＣの制御を受け
、コントローラＣは、入力装置３５によって入力される
薬液供給量、薬液供給時間等の入力情報に基づいて各切
換弁２３，２４，２５，３１、開閉弁２６、各三方弁２
８，２９，３０，３２、電子レギュレター２７を統合制
御する。そして、これらのコントローラＣ、入力装置３
５、切換弁２３，２４，２５，３１、開閉弁２６、三方
弁２８，２９，３０，３２、電子レギュレター２７、エ
ア供給源２２、レギュレータ３４、真空発生部３３で駆
動制御部Ｋが構成されている。
【００１２】図２に示すように、コントローラＣは主制
御部３６と、多方弁制御部３７と、切換弁制御部３８と
、記憶部３９とを有し、記憶部３９は各ダイヤフラムポ
ンプ１を作動させるためのプログラムを有している。 ここで、記憶部３９内のＣＨ１が一方のダイヤフラムポ
ンプ１を作動させるためのプログラムであり、ＣＨ２が
他方のダイヤフラムポンプ１を作動させるためのプログ
ラムである。
御部３６と、多方弁制御部３７と、切換弁制御部３８と
、記憶部３９とを有し、記憶部３９は各ダイヤフラムポ
ンプ１を作動させるためのプログラムを有している。 ここで、記憶部３９内のＣＨ１が一方のダイヤフラムポ
ンプ１を作動させるためのプログラムであり、ＣＨ２が
他方のダイヤフラムポンプ１を作動させるためのプログ
ラムである。
【００１３】以上のように構成された液体供給装置の概
略を説明すると、図３に示すようにコントローラＣの制
御により、三方弁２８，２９，３０，３２が切り換えら
れて何れか一方のダイヤフラムポンプ１が選択され、切
換弁２３，２４，２５，３１はコントローラＣの制御に
基づいて、選択された一方のダイヤフラムポンプ１を駆
動制御する。
略を説明すると、図３に示すようにコントローラＣの制
御により、三方弁２８，２９，３０，３２が切り換えら
れて何れか一方のダイヤフラムポンプ１が選択され、切
換弁２３，２４，２５，３１はコントローラＣの制御に
基づいて、選択された一方のダイヤフラムポンプ１を駆
動制御する。
【００１４】次に、この液体供給装置の動作について説
明する。コントローラＣに所定の情報が入力されて始動
すると、コントローラＣの制御により三方弁２８，２９
，３０，３２が切り換えられて一方の開閉弁１４，１７
，１９及び駆動エア取口コネクタ２１が選択され、各切
換弁２３，２４，２５は一方のダイヤフラムポンプ１の
各開閉弁１４，１７，１９を開閉制御する。切換弁３１
は三方弁３２の切り換えにより、一方のダイヤフラムポ
ンプ１の駆動エア取口コネクタ２１に連通される。
明する。コントローラＣに所定の情報が入力されて始動
すると、コントローラＣの制御により三方弁２８，２９
，３０，３２が切り換えられて一方の開閉弁１４，１７
，１９及び駆動エア取口コネクタ２１が選択され、各切
換弁２３，２４，２５は一方のダイヤフラムポンプ１の
各開閉弁１４，１７，１９を開閉制御する。切換弁３１
は三方弁３２の切り換えにより、一方のダイヤフラムポ
ンプ１の駆動エア取口コネクタ２１に連通される。
【００１５】初期状態では、図１に示すように各切換弁
２３，２４，２５が閉じて、吸入開閉弁１４、気泡除去
開閉弁１７、吐出開閉弁１９が閉鎖制御されると共に、
切換弁３１がａ位置に切り換えられ、エア供給源２２か
らのエアが電子レギュレター２７で加圧されて、その加
圧空気が矢印Ｅで示すように駆動制御室２０に作用して
いる。この状態から切換弁３１がｂ位置に切り換えられ
ると共に、電子レギュレター２７が作動停止し、駆動制
御室２０への加圧空気供給が停止する。そして、開閉弁
２６が開くと共に、真空発生部３３が作動して、駆動制
御室２０内の加圧空気が矢印Ｆで示すように真空排気さ
れる。
２３，２４，２５が閉じて、吸入開閉弁１４、気泡除去
開閉弁１７、吐出開閉弁１９が閉鎖制御されると共に、
切換弁３１がａ位置に切り換えられ、エア供給源２２か
らのエアが電子レギュレター２７で加圧されて、その加
圧空気が矢印Ｅで示すように駆動制御室２０に作用して
いる。この状態から切換弁３１がｂ位置に切り換えられ
ると共に、電子レギュレター２７が作動停止し、駆動制
御室２０への加圧空気供給が停止する。そして、開閉弁
２６が開くと共に、真空発生部３３が作動して、駆動制
御室２０内の加圧空気が矢印Ｆで示すように真空排気さ
れる。
【００１６】そして、駆動制御室２０が負圧となるため
にダイヤフラム膜４が駆動制御室２０側に変形し、液圧
送室６が負圧状態となると、切換弁２３が開いて吸入開
閉弁１４が開放制御される。すると、薬液容器１２内の
薬液が矢印Ｇで示すように薬液吸入配管１３、吸入開閉
弁１４及び薬液吸入口コネクタ７を経由して液圧送室６
へ吸入される。この薬液吸入時、脱泡用オリフィス８の
作用により、吸入薬液に溶け込んでいたミクロなガスが
集合成長して気泡となり、その気泡は液圧送室６の上方
部位に構成された気泡トラップ部９に集合し、トラップ
される。
にダイヤフラム膜４が駆動制御室２０側に変形し、液圧
送室６が負圧状態となると、切換弁２３が開いて吸入開
閉弁１４が開放制御される。すると、薬液容器１２内の
薬液が矢印Ｇで示すように薬液吸入配管１３、吸入開閉
弁１４及び薬液吸入口コネクタ７を経由して液圧送室６
へ吸入される。この薬液吸入時、脱泡用オリフィス８の
作用により、吸入薬液に溶け込んでいたミクロなガスが
集合成長して気泡となり、その気泡は液圧送室６の上方
部位に構成された気泡トラップ部９に集合し、トラップ
される。
【００１７】薬液吸入開始から所定時間後、切換弁２３
が閉じて吸入開閉弁１４が閉鎖制御される。その後、切
換弁３１がａ位置に切り換えられると共に、電子レギュ
レター２７が作動して加圧空気が駆動制御室２０に作用
する。そして、切換弁２４が開いて気泡除去開閉弁１７
が開放制御され、気泡トラップ部９にトラップした気泡
が矢印Ｈで示すように気泡除去配管１５を通って排出さ
れる。尚、気泡排出速度は絞り弁１６の開口面積を操作
することにより制御可能である。
が閉じて吸入開閉弁１４が閉鎖制御される。その後、切
換弁３１がａ位置に切り換えられると共に、電子レギュ
レター２７が作動して加圧空気が駆動制御室２０に作用
する。そして、切換弁２４が開いて気泡除去開閉弁１７
が開放制御され、気泡トラップ部９にトラップした気泡
が矢印Ｈで示すように気泡除去配管１５を通って排出さ
れる。尚、気泡排出速度は絞り弁１６の開口面積を操作
することにより制御可能である。
【００１８】気泡排出開始から所定時間後、切換弁２４
が閉じて気泡除去開閉弁１７が閉鎖制御されると共に、
切換弁２５が開いて吐出開閉弁１９が開放制御され、液
圧送室６内の薬液が矢印Ｉで示すように薬液吐出配管１
８から吐出される。切換弁２５は薬液吐出開始から所定
時間後に閉じて吐出開閉弁１９が閉鎖制御される。この
ような一連の動作制御によって、一方のダイヤフラムポ
ンプ１から薬液を供給した後に、コントローラＣに所定
の情報が入力されると、コントローラＣの制御により三
方弁２８，２９，３０，３２が切り換えられて他方の開
閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネクタ２１が
選択され、各切換弁２３，２４，２５は他方のダイヤフ
ラムポンプ１の各開閉弁１４，１７，１９を開閉制御す
る。切換弁３１は三方弁３２の切り換えにより、他方の
ダイヤフラムポンプ１の駆動エア取口コネクタ２１に連
通される。
が閉じて気泡除去開閉弁１７が閉鎖制御されると共に、
切換弁２５が開いて吐出開閉弁１９が開放制御され、液
圧送室６内の薬液が矢印Ｉで示すように薬液吐出配管１
８から吐出される。切換弁２５は薬液吐出開始から所定
時間後に閉じて吐出開閉弁１９が閉鎖制御される。この
ような一連の動作制御によって、一方のダイヤフラムポ
ンプ１から薬液を供給した後に、コントローラＣに所定
の情報が入力されると、コントローラＣの制御により三
方弁２８，２９，３０，３２が切り換えられて他方の開
閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネクタ２１が
選択され、各切換弁２３，２４，２５は他方のダイヤフ
ラムポンプ１の各開閉弁１４，１７，１９を開閉制御す
る。切換弁３１は三方弁３２の切り換えにより、他方の
ダイヤフラムポンプ１の駆動エア取口コネクタ２１に連
通される。
【００１９】そして、他方のダイヤフラムポンプ１から
は、前記と同様な動作制御によって別の薬液が供給され
る。以上のように、この液体供給装置は、薬液を供給す
るためのダイヤフラムポンプ１は２つ備えられているが
、三方弁２８，２９，３０，３１を切り換えて何れか一
方の開閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネクタ
２１を選択することにより、それらのダイヤフラムポン
プ１の各開閉弁１４，１７，１９の開閉制御及び各駆動
エア取口コネクタ２１へのエアの給排制御を１つの駆動
制御部Ｋで行うことができる。従って、複数のダイヤフ
ラムポンプ１に対して、それらのダイヤフラムポンプ１
を駆動制御するための駆動制御部Ｋは１つで済むので、
全体を小型化して省スペース化を図ることができると共
に、部品点数を少なくしてローコスト化を図ることがで
きる。
は、前記と同様な動作制御によって別の薬液が供給され
る。以上のように、この液体供給装置は、薬液を供給す
るためのダイヤフラムポンプ１は２つ備えられているが
、三方弁２８，２９，３０，３１を切り換えて何れか一
方の開閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネクタ
２１を選択することにより、それらのダイヤフラムポン
プ１の各開閉弁１４，１７，１９の開閉制御及び各駆動
エア取口コネクタ２１へのエアの給排制御を１つの駆動
制御部Ｋで行うことができる。従って、複数のダイヤフ
ラムポンプ１に対して、それらのダイヤフラムポンプ１
を駆動制御するための駆動制御部Ｋは１つで済むので、
全体を小型化して省スペース化を図ることができると共
に、部品点数を少なくしてローコスト化を図ることがで
きる。
【００２０】尚、この発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、例えば各三方弁２８，２９，３０，３２を
それぞれ直列に接続して三方以上の多方弁とすることに
より、１つの駆動制御部Ｋで２つ以上のダイヤフラムポ
ンプ１を駆動制御可能としたりしてもよい。この場合に
は、コントローラＣ内の記憶部３９にダイヤフラムポン
プ１の数に対応するようにプログラムを加えるだけでよ
い。
のではなく、例えば各三方弁２８，２９，３０，３２を
それぞれ直列に接続して三方以上の多方弁とすることに
より、１つの駆動制御部Ｋで２つ以上のダイヤフラムポ
ンプ１を駆動制御可能としたりしてもよい。この場合に
は、コントローラＣ内の記憶部３９にダイヤフラムポン
プ１の数に対応するようにプログラムを加えるだけでよ
い。
【００２１】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、多
種類の薬液を供給することができ、しかも装置全体を小
型化して省スペース化を図ることができると共に、部品
点数を少なくしてローコスト化を図ることができるとい
う優れた効果を発揮する。
種類の薬液を供給することができ、しかも装置全体を小
型化して省スペース化を図ることができると共に、部品
点数を少なくしてローコスト化を図ることができるとい
う優れた効果を発揮する。
【図１】本発明を具体化した液体供給装置の一実施例を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図２】コントローラの構成図である。
【図３】液体供給装置の概略構成図である。
１ ダイヤフラムポンプ（液体供給ポンプ）１４
吸入開閉弁（開閉弁） １７ 気泡除去開閉弁（開閉弁） １９ 吐出開閉弁（開閉弁） ２３ 切換弁 ２４ 切換弁 ２５ 切換弁 ２８ 三方弁（多方弁） ２９ 三方弁（多方弁） ３０ 三方弁（多方弁） Ｃ コントローラ
吸入開閉弁（開閉弁） １７ 気泡除去開閉弁（開閉弁） １９ 吐出開閉弁（開閉弁） ２３ 切換弁 ２４ 切換弁 ２５ 切換弁 ２８ 三方弁（多方弁） ２９ 三方弁（多方弁） ３０ 三方弁（多方弁） Ｃ コントローラ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の液体供給ポンプ（１）と、それ
らの液体供給ポンプ（１）に設けられた各開閉弁（１４
，１７，１９）を切り換える切換弁（２３，２４，２５
）と、切換弁（２３，２４，２５）を制御するコントロ
ーラ（Ｃ）と、前記各液体供給ポンプ（１）の開閉弁（
１４，１７，１９）と切換弁（２３，２４，２５）との
間に配置され、切換弁（２３，２４，２５）と接続され
る開閉弁（１４，１７，１９）を選択するための多方弁
（２８，２９，３０）とを備えたことを特徴とする液体
供給装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402495A JP2651282B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 流体制御装置 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402495A JP2651282B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 流体制御装置 |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH04215420A true JPH04215420A (ja) | 1992-08-06 |
| JP2651282B2 JP2651282B2 (ja) | 1997-09-10 |
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ID=18512314
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2402495A Expired - Lifetime JP2651282B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-12-14 | 流体制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2651282B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6335825B1 (en) | 1993-01-14 | 2002-01-01 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Adjusting apparatus of binocular telescope |
| JP2004316617A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Takeo Nasu | ポンプ |
| JP2007110004A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Ckd Corp | 薬液供給システム |
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-
1990
- 1990-12-14 JP JP2402495A patent/JP2651282B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| US7686588B2 (en) | 2005-10-17 | 2010-03-30 | Octec Inc. | Liquid chemical supply system having a plurality of pressure detectors |
| JP4668027B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2011-04-13 | シーケーディ株式会社 | 薬液供給システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2651282B2 (ja) | 1997-09-10 |
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