JP2651282B2 - 流体制御装置 - Google Patents
流体制御装置Info
- Publication number
- JP2651282B2 JP2651282B2 JP2402495A JP40249590A JP2651282B2 JP 2651282 B2 JP2651282 B2 JP 2651282B2 JP 2402495 A JP2402495 A JP 2402495A JP 40249590 A JP40249590 A JP 40249590A JP 2651282 B2 JP2651282 B2 JP 2651282B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- switching
- valves
- switching valve
- controller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Multiple-Way Valves (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体の流路を開閉する
開閉弁を切換弁の切り換えに基づいて切り換えるように
した流体制御装置に係り、例えば半導体製造業等に利用
される液体供給装置のための流体制御に適用可能な流体
制御装置に関するものである。
開閉弁を切換弁の切り換えに基づいて切り換えるように
した流体制御装置に係り、例えば半導体製造業等に利用
される液体供給装置のための流体制御に適用可能な流体
制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造工程においては、半
導体ウェハを現像処理するために、半導体ウェハ上に多
種の薬液を供給する必要がある。そして、その薬液を供
給するための液体供給装置には薬液の供給ポンプと、そ
のポンプを駆動制御する駆動制御部とが備えられ、これ
らを備えた液体供給装置が薬液の種類だけ配置されてい
た。
導体ウェハを現像処理するために、半導体ウェハ上に多
種の薬液を供給する必要がある。そして、その薬液を供
給するための液体供給装置には薬液の供給ポンプと、そ
のポンプを駆動制御する駆動制御部とが備えられ、これ
らを備えた液体供給装置が薬液の種類だけ配置されてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記駆動制御部は、薬
液の流路を開閉する開閉弁と、該開閉弁にそれぞれ設け
られて開閉弁を開又は閉に切り換える切換弁とから構成
されている。 そのため、薬液の種類だけ同じ装置を何個
も配置しなければならず、全体が大型化して非常にスペ
ース効率が悪いとともに、部品点数が増大してコストが
かかるという問題がある。この問題は、上記液体供給装
置に限らず、流体の流路を開閉する開閉弁を切換弁の切
り換えに基づいて切り換えるようにした流体制御装置全
般において存在する。すなわち、この種の流体制御装置
では個々に流体を供給するための流路（配管）が流体の
供給源から個々に必要となるからである。本発明は上記
問題点を解消するためになされたものであり、その目的
は複数の開閉弁を少ない流路構成で容易に切換制御で
き、全体を小型化して省スペース化を図ることのできる
流体制御装置を提供することにある。
液の流路を開閉する開閉弁と、該開閉弁にそれぞれ設け
られて開閉弁を開又は閉に切り換える切換弁とから構成
されている。 そのため、薬液の種類だけ同じ装置を何個
も配置しなければならず、全体が大型化して非常にスペ
ース効率が悪いとともに、部品点数が増大してコストが
かかるという問題がある。この問題は、上記液体供給装
置に限らず、流体の流路を開閉する開閉弁を切換弁の切
り換えに基づいて切り換えるようにした流体制御装置全
般において存在する。すなわち、この種の流体制御装置
では個々に流体を供給するための流路（配管）が流体の
供給源から個々に必要となるからである。本発明は上記
問題点を解消するためになされたものであり、その目的
は複数の開閉弁を少ない流路構成で容易に切換制御で
き、全体を小型化して省スペース化を図ることのできる
流体制御装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めにこの発明では、流体の流路を開閉する開閉弁を、切
換弁の切り換えに基づいて当該切換弁から供給される流
体を作用させることにより切り換えるようにした流体制
御装置であって、電磁駆動式の切換弁に電磁駆動式の多
方弁を介して複数の開閉弁を流体管路にて接続するとと
もに、切換弁及び多方弁には当該切換弁及び多方弁を切
換制御するコントローラを電気接続してなる流体制御装
置をその要旨とする。
めにこの発明では、流体の流路を開閉する開閉弁を、切
換弁の切り換えに基づいて当該切換弁から供給される流
体を作用させることにより切り換えるようにした流体制
御装置であって、電磁駆動式の切換弁に電磁駆動式の多
方弁を介して複数の開閉弁を流体管路にて接続するとと
もに、切換弁及び多方弁には当該切換弁及び多方弁を切
換制御するコントローラを電気接続してなる流体制御装
置をその要旨とする。
【０００５】
【作用】従って、本発明によれば、複数の開閉弁は、切
換弁との接続を多方弁により選択され、その切換弁及び
多方弁は１つのコントローラで制御される。その結果、
各開閉弁のための切換弁に対応する流路（管路）は多方
弁よりも開閉弁側にのみ設ければよいため、流路（管
路）構成が極めて簡素化される。又、切換弁及び多方弁
を１つのコントローラで制御するので、各開閉弁を開閉
するときにどの切換弁及び多方弁を切り換えればよいか
を予め設定しておけばコントローラによって容易に所望
の開閉弁を切換制御できる。
換弁との接続を多方弁により選択され、その切換弁及び
多方弁は１つのコントローラで制御される。その結果、
各開閉弁のための切換弁に対応する流路（管路）は多方
弁よりも開閉弁側にのみ設ければよいため、流路（管
路）構成が極めて簡素化される。又、切換弁及び多方弁
を１つのコントローラで制御するので、各開閉弁を開閉
するときにどの切換弁及び多方弁を切り換えればよいか
を予め設定しておけばコントローラによって容易に所望
の開閉弁を切換制御できる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を液体供給装置に具体化した一
実施例を図面に従って説明する。図１に示すように、液
体供給ポンプとしてのダイヤフラムポンプ１は２つ設け
られている。ダイヤフラムポンプ１は、第１ハウジング
２、第２ハウジング３、及び両ハウジング２，３間にボ
ルト締めされたダイヤフラム膜４より構成され、オーリ
ング５により内部の気密が保持されている。
実施例を図面に従って説明する。図１に示すように、液
体供給ポンプとしてのダイヤフラムポンプ１は２つ設け
られている。ダイヤフラムポンプ１は、第１ハウジング
２、第２ハウジング３、及び両ハウジング２，３間にボ
ルト締めされたダイヤフラム膜４より構成され、オーリ
ング５により内部の気密が保持されている。
【０００７】ダイヤフラム膜４と共に液圧送室６を区画
形成する第１ハウジング２には吸入薬液を吸入する薬液
吸入口コネクタ７が接続されており、この薬液吸入口コ
ネクタ７には脱泡用オリフィス８が形成されている。
又、第１ハウジング２の中央部には気泡トラップ部９が
上方に突設されており、この気泡トラップ部９の上端に
は気泡除去口コネクタ１０が接続されていると共に、気
泡トラップ部９より若干下位位置には薬液吐出口コネク
タ１１が接続されている。
形成する第１ハウジング２には吸入薬液を吸入する薬液
吸入口コネクタ７が接続されており、この薬液吸入口コ
ネクタ７には脱泡用オリフィス８が形成されている。
又、第１ハウジング２の中央部には気泡トラップ部９が
上方に突設されており、この気泡トラップ部９の上端に
は気泡除去口コネクタ１０が接続されていると共に、気
泡トラップ部９より若干下位位置には薬液吐出口コネク
タ１１が接続されている。
【０００８】薬液吸入口コネクタ７には薬液容器１２が
薬液吸入配管１３を介して接続されており、薬液吸入配
管１３上にはエア・オペレート駆動式の吸入開閉弁１４
が介在されている。尚、各ダイヤフラムポンプ１の薬液
容器１２にはそれぞれ異なった薬液が収容されている。
気泡除去口コネクタ１０に接続された気泡除去配管１５
上には絞り弁１６及びエア・オペレート駆動式の気泡除
去開閉弁１７が介在されている。絞り弁１６は手動操作
で開口面積を調整して気泡除去量を制御するものであ
る。薬液吐出口コネクタ１１に接続された薬液吐出配管
１８上にはエア・オペレート駆動式の吐出開閉弁１９が
介在されている。ダイヤフラム膜４と共に駆動制御室２
０を区画形成する第２ハウジング３には駆動エア取口コ
ネクタ２１が接続されている。
薬液吸入配管１３を介して接続されており、薬液吸入配
管１３上にはエア・オペレート駆動式の吸入開閉弁１４
が介在されている。尚、各ダイヤフラムポンプ１の薬液
容器１２にはそれぞれ異なった薬液が収容されている。
気泡除去口コネクタ１０に接続された気泡除去配管１５
上には絞り弁１６及びエア・オペレート駆動式の気泡除
去開閉弁１７が介在されている。絞り弁１６は手動操作
で開口面積を調整して気泡除去量を制御するものであ
る。薬液吐出口コネクタ１１に接続された薬液吐出配管
１８上にはエア・オペレート駆動式の吐出開閉弁１９が
介在されている。ダイヤフラム膜４と共に駆動制御室２
０を区画形成する第２ハウジング３には駆動エア取口コ
ネクタ２１が接続されている。
【０００９】一方、エア供給源２２には電磁駆動式の３
つの切換弁２３，２４，２５、開閉弁２６及び電子レギ
ュレター２７が並列接続され、切換弁２３，２４，２５
には電磁駆動式の三方弁２８，２９，３０がそれぞれ接
続されている。三方弁２８には前記各ダイヤフラムポン
プ１の吸入開閉弁１４が接続され、各吸入開閉弁１４は
三方弁２８を介して切換弁２３で開閉制御される。そし
て、三方弁２９，３０には各ダイヤフラムポンプ１の気
泡除去開閉弁１７、吐出開閉弁１９がそれぞれ接続さ
れ、各気泡除去開閉弁１７及び各吐出開閉弁１９は同じ
く三方弁２９，３０を介して切換弁２４，２５でそれぞ
れ開閉制御される。
つの切換弁２３，２４，２５、開閉弁２６及び電子レギ
ュレター２７が並列接続され、切換弁２３，２４，２５
には電磁駆動式の三方弁２８，２９，３０がそれぞれ接
続されている。三方弁２８には前記各ダイヤフラムポン
プ１の吸入開閉弁１４が接続され、各吸入開閉弁１４は
三方弁２８を介して切換弁２３で開閉制御される。そし
て、三方弁２９，３０には各ダイヤフラムポンプ１の気
泡除去開閉弁１７、吐出開閉弁１９がそれぞれ接続さ
れ、各気泡除去開閉弁１７及び各吐出開閉弁１９は同じ
く三方弁２９，３０を介して切換弁２４，２５でそれぞ
れ開閉制御される。
【００１０】開閉弁２６及び電子レギュレター２７は切
換弁３１に接続され、その切換弁３１には三方弁３２が
接続されている。そして、三方弁３２には各ダイヤフラ
ムポンプ１の駆動エア取口コネクタ２１が接続されてい
る。三方弁２８，２９，３０，３２はその切り換え状態
に応じてそれぞれ切換弁２３，２４，２５，３１と接続
される開閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネク
タ２１を択一的に選択する。又、開閉弁２６と切換弁３
１との間には真空発生部３３が介在され、電子レギュレ
ター２７とエア供給源２２との間にはレギュレータ３４
が介在されている。
換弁３１に接続され、その切換弁３１には三方弁３２が
接続されている。そして、三方弁３２には各ダイヤフラ
ムポンプ１の駆動エア取口コネクタ２１が接続されてい
る。三方弁２８，２９，３０，３２はその切り換え状態
に応じてそれぞれ切換弁２３，２４，２５，３１と接続
される開閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネク
タ２１を択一的に選択する。又、開閉弁２６と切換弁３
１との間には真空発生部３３が介在され、電子レギュレ
ター２７とエア供給源２２との間にはレギュレータ３４
が介在されている。
【００１１】電磁駆動式の各切換弁２３，２４，２５，
３１、開閉弁２６、各三方弁２８，２９，３０，３２及
び電子レギュレター２７はコントローラＣの制御を受
け、コントローラＣは、入力装置３５によって入力され
る薬液供給量、薬液供給時間等の入力情報に基づいて各
切換弁２３，２４，２５，３１、開閉弁２６、各三方弁
２８，２９，３０，３２、電子レギュレター２７を統合
制御する。そして、これらのコントローラＣ、入力装置
３５、切換弁２３，２４，２５，３１、開閉弁２６、三
方弁２８，２９，３０，３２、電子レギュレター２７、
エア供給源２２、レギュレータ３４、真空発生部３３で
駆動制御部Ｋが構成されている。
３１、開閉弁２６、各三方弁２８，２９，３０，３２及
び電子レギュレター２７はコントローラＣの制御を受
け、コントローラＣは、入力装置３５によって入力され
る薬液供給量、薬液供給時間等の入力情報に基づいて各
切換弁２３，２４，２５，３１、開閉弁２６、各三方弁
２８，２９，３０，３２、電子レギュレター２７を統合
制御する。そして、これらのコントローラＣ、入力装置
３５、切換弁２３，２４，２５，３１、開閉弁２６、三
方弁２８，２９，３０，３２、電子レギュレター２７、
エア供給源２２、レギュレータ３４、真空発生部３３で
駆動制御部Ｋが構成されている。
【００１２】図２に示すように、コントローラＣは主制
御部３６と、多方弁制御部３７と、切換弁制御部３８
と、記憶部３９とを有し、記憶部３９は各ダイヤフラム
ポンプ１を作動させるためのプログラムを有している。
ここで、記憶部３９内のＣＨ１が一方のダイヤフラムポ
ンプ１を作動させるためのプログラムであり、ＣＨ２が
他方のダイヤフラムポンプ１を作動させるためのプログ
ラムである。
御部３６と、多方弁制御部３７と、切換弁制御部３８
と、記憶部３９とを有し、記憶部３９は各ダイヤフラム
ポンプ１を作動させるためのプログラムを有している。
ここで、記憶部３９内のＣＨ１が一方のダイヤフラムポ
ンプ１を作動させるためのプログラムであり、ＣＨ２が
他方のダイヤフラムポンプ１を作動させるためのプログ
ラムである。
【００１３】以上のように構成された液体供給装置の概
略を説明すると、図３に示すようにコントローラＣの制
御により、三方弁２８，２９，３０，３２が切り換えら
れて何れか一方のダイヤフラムポンプ１が選択され、切
換弁２３，２４，２５，３１はコントローラＣの制御に
基づいて、選択された一方のダイヤフラムポンプ１を駆
動制御する。
略を説明すると、図３に示すようにコントローラＣの制
御により、三方弁２８，２９，３０，３２が切り換えら
れて何れか一方のダイヤフラムポンプ１が選択され、切
換弁２３，２４，２５，３１はコントローラＣの制御に
基づいて、選択された一方のダイヤフラムポンプ１を駆
動制御する。
【００１４】次に、この液体供給装置の動作について説
明する。コントローラＣに所定の情報が入力されて始動
すると、コントローラＣの制御により三方弁２８，２
９，３０，３２が切り換えられて一方の開閉弁１４，１
７，１９及び駆動エア取口コネクタ２１が選択され、各
切換弁２３，２４，２５は一方のダイヤフラムポンプ１
の各開閉弁１４，１７，１９を開閉制御する。切換弁３
１は三方弁３２の切り換えにより、一方のダイヤフラム
ポンプ１の駆動エア取口コネクタ２１に連通される。
明する。コントローラＣに所定の情報が入力されて始動
すると、コントローラＣの制御により三方弁２８，２
９，３０，３２が切り換えられて一方の開閉弁１４，１
７，１９及び駆動エア取口コネクタ２１が選択され、各
切換弁２３，２４，２５は一方のダイヤフラムポンプ１
の各開閉弁１４，１７，１９を開閉制御する。切換弁３
１は三方弁３２の切り換えにより、一方のダイヤフラム
ポンプ１の駆動エア取口コネクタ２１に連通される。
【００１５】初期状態では、図１に示すように各切換弁
２３，２４，２５が閉じて、吸入開閉弁１４、気泡除去
開閉弁１７、吐出開閉弁１９が閉鎖制御されると共に、
切換弁３１がａ位置に切り換えられ、エア供給源２２か
らのエアが電子レギュレター２７で加圧されて、その加
圧空気が矢印Ｅで示すように駆動制御室２０に作用して
いる。この状態から切換弁３１がｂ位置に切り換えられ
ると共に、電子レギュレター２７が作動停止し、駆動制
御室２０への加圧空気供給が停止する。そして、開閉弁
２６が開くと共に、真空発生部３３が作動して、駆動制
御室２０内の加圧空気が矢印Ｆで示すように真空排気さ
れる。
２３，２４，２５が閉じて、吸入開閉弁１４、気泡除去
開閉弁１７、吐出開閉弁１９が閉鎖制御されると共に、
切換弁３１がａ位置に切り換えられ、エア供給源２２か
らのエアが電子レギュレター２７で加圧されて、その加
圧空気が矢印Ｅで示すように駆動制御室２０に作用して
いる。この状態から切換弁３１がｂ位置に切り換えられ
ると共に、電子レギュレター２７が作動停止し、駆動制
御室２０への加圧空気供給が停止する。そして、開閉弁
２６が開くと共に、真空発生部３３が作動して、駆動制
御室２０内の加圧空気が矢印Ｆで示すように真空排気さ
れる。
【００１６】そして、駆動制御室２０が負圧となるため
にダイヤフラム膜４が駆動制御室２０側に変形し、液圧
送室６が負圧状態となると、切換弁２３が開いて吸入開
閉弁１４が開放制御される。すると、薬液容器１２内の
薬液が矢印Ｇで示すように薬液吸入配管１３、吸入開閉
弁１４及び薬液吸入口コネクタ７を経由して液圧送室６
へ吸入される。この薬液吸入時、脱泡用オリフィス８の
作用により、吸入薬液に溶け込んでいたミクロなガスが
集合成長して気泡となり、その気泡は液圧送室６の上方
部位に構成された気泡トラップ部９に集合し、トラップ
される。
にダイヤフラム膜４が駆動制御室２０側に変形し、液圧
送室６が負圧状態となると、切換弁２３が開いて吸入開
閉弁１４が開放制御される。すると、薬液容器１２内の
薬液が矢印Ｇで示すように薬液吸入配管１３、吸入開閉
弁１４及び薬液吸入口コネクタ７を経由して液圧送室６
へ吸入される。この薬液吸入時、脱泡用オリフィス８の
作用により、吸入薬液に溶け込んでいたミクロなガスが
集合成長して気泡となり、その気泡は液圧送室６の上方
部位に構成された気泡トラップ部９に集合し、トラップ
される。
【００１７】薬液吸入開始から所定時間後、切換弁２３
が閉じて吸入開閉弁１４が閉鎖制御される。その後、切
換弁３１がａ位置に切り換えられると共に、電子レギュ
レター２７が作動して加圧空気が駆動制御室２０に作用
する。そして、切換弁２４が開いて気泡除去開閉弁１７
が開放制御され、気泡トラップ部９にトラップした気泡
が矢印Ｈで示すように気泡除去配管１５を通って排出さ
れる。尚、気泡排出速度は絞り弁１６の開口面積を操作
することにより制御可能である。
が閉じて吸入開閉弁１４が閉鎖制御される。その後、切
換弁３１がａ位置に切り換えられると共に、電子レギュ
レター２７が作動して加圧空気が駆動制御室２０に作用
する。そして、切換弁２４が開いて気泡除去開閉弁１７
が開放制御され、気泡トラップ部９にトラップした気泡
が矢印Ｈで示すように気泡除去配管１５を通って排出さ
れる。尚、気泡排出速度は絞り弁１６の開口面積を操作
することにより制御可能である。
【００１８】気泡排出開始から所定時間後、切換弁２４
が閉じて気泡除去開閉弁１７が閉鎖制御されると共に、
切換弁２５が開いて吐出開閉弁１９が開放制御され、液
圧送室６内の薬液が矢印Ｉで示すように薬液吐出配管１
８から吐出される。切換弁２５は薬液吐出開始から所定
時間後に閉じて吐出開閉弁１９が閉鎖制御される。この
ような一連の動作制御によって、一方のダイヤフラムポ
ンプ１から薬液を供給した後に、コントローラＣに所定
の情報が入力されると、コントローラＣの制御により三
方弁２８，２９，３０，３２が切り換えられて他方の開
閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネクタ２１が
選択され、各切換弁２３，２４，２５は他方のダイヤフ
ラムポンプ１の各開閉弁１４，１７，１９を開閉制御す
る。切換弁３１は三方弁３２の切り換えにより、他方の
ダイヤフラムポンプ１の駆動エア取口コネクタ２１に連
通される。
が閉じて気泡除去開閉弁１７が閉鎖制御されると共に、
切換弁２５が開いて吐出開閉弁１９が開放制御され、液
圧送室６内の薬液が矢印Ｉで示すように薬液吐出配管１
８から吐出される。切換弁２５は薬液吐出開始から所定
時間後に閉じて吐出開閉弁１９が閉鎖制御される。この
ような一連の動作制御によって、一方のダイヤフラムポ
ンプ１から薬液を供給した後に、コントローラＣに所定
の情報が入力されると、コントローラＣの制御により三
方弁２８，２９，３０，３２が切り換えられて他方の開
閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネクタ２１が
選択され、各切換弁２３，２４，２５は他方のダイヤフ
ラムポンプ１の各開閉弁１４，１７，１９を開閉制御す
る。切換弁３１は三方弁３２の切り換えにより、他方の
ダイヤフラムポンプ１の駆動エア取口コネクタ２１に連
通される。
【００１９】そして、他方のダイヤフラムポンプ１から
は、前記と同様な動作制御によって別の薬液が供給され
る。以上のように、この液体供給装置は、薬液を供給す
るためのダイヤフラムポンプ１は２つ備えられている
が、三方弁２８，２９，３０，３１を切り換えて何れか
一方の開閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネク
タ２１を選択することにより、それらのダイヤフラムポ
ンプ１の各開閉弁１４，１７，１９の開閉制御及び各駆
動エア取口コネクタ２１へのエアの給排制御を１つの駆
動制御部Ｋで行うことができる。従って、複数のダイヤ
フラムポンプ１に対して、それらのダイヤフラムポンプ
１を駆動制御するための駆動制御部Ｋは１つで済むの
で、全体を小型化して省スペース化を図ることができる
と共に、部品点数を少なくしてローコスト化を図ること
ができる。
は、前記と同様な動作制御によって別の薬液が供給され
る。以上のように、この液体供給装置は、薬液を供給す
るためのダイヤフラムポンプ１は２つ備えられている
が、三方弁２８，２９，３０，３１を切り換えて何れか
一方の開閉弁１４，１７，１９及び駆動エア取口コネク
タ２１を選択することにより、それらのダイヤフラムポ
ンプ１の各開閉弁１４，１７，１９の開閉制御及び各駆
動エア取口コネクタ２１へのエアの給排制御を１つの駆
動制御部Ｋで行うことができる。従って、複数のダイヤ
フラムポンプ１に対して、それらのダイヤフラムポンプ
１を駆動制御するための駆動制御部Ｋは１つで済むの
で、全体を小型化して省スペース化を図ることができる
と共に、部品点数を少なくしてローコスト化を図ること
ができる。
【００２０】尚、この発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、例えば各三方弁２８，２９，３０，３２を
それぞれ直列に接続して三方以上の多方弁とすることに
より、１つの駆動制御部Ｋで２つ以上のダイヤフラムポ
ンプ１を駆動制御可能としたりしてもよい。この場合に
は、コントローラＣ内の記憶部３９にダイヤフラムポン
プ１の数に対応するようにプログラムを加えるだけでよ
い。
のではなく、例えば各三方弁２８，２９，３０，３２を
それぞれ直列に接続して三方以上の多方弁とすることに
より、１つの駆動制御部Ｋで２つ以上のダイヤフラムポ
ンプ１を駆動制御可能としたりしてもよい。この場合に
は、コントローラＣ内の記憶部３９にダイヤフラムポン
プ１の数に対応するようにプログラムを加えるだけでよ
い。
【００２１】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、流
体の流路を開閉する開閉弁を、切換弁の切り換えに基づ
いて当該切換弁から供給される流体を作用させることに
より切り換えるようにした流体制御装置において、複数
の開閉弁を少ない流路構成で容易に切換制御でき、全体
を小型化して省スペース化を図ることができるという優
れた効果を発揮する。
体の流路を開閉する開閉弁を、切換弁の切り換えに基づ
いて当該切換弁から供給される流体を作用させることに
より切り換えるようにした流体制御装置において、複数
の開閉弁を少ない流路構成で容易に切換制御でき、全体
を小型化して省スペース化を図ることができるという優
れた効果を発揮する。
【図１】本発明を具体化した液体供給装置の一実施例を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図２】コントローラの構成図である。
【図３】液体供給装置の概略構成図である。
１ ダイヤフラムポンプ（液体供給ポンプ） １４ 吸入開閉弁（開閉弁） １７ 気泡除去開閉弁（開閉弁） １９ 吐出開閉弁（開閉弁） ２３ 切換弁 ２４ 切換弁 ２５ 切換弁 ２８ 三方弁（多方弁） ２９ 三方弁（多方弁） ３０ 三方弁（多方弁） Ｃ コントローラ
Claims (1)
- 【請求項１】 流体の流路を開閉する開閉弁を、切換弁
の切り換えに基づいて当該切換弁から供給される流体を
作用させることにより切り換えるようにした流体制御装
置であって、電磁駆動式の切換弁に電磁駆動式の多方弁
を介して複数の開閉弁を流体管路にて接続するととも
に、切換弁及び多方弁には当該切換弁及び多方弁を切換
制御するコントローラを電気接続してなる流体制御装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402495A JP2651282B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 流体制御装置 |
| US07/798,619 US5297119A (en) | 1990-11-30 | 1991-11-26 | Data storage apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402495A JP2651282B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 流体制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04215420A JPH04215420A (ja) | 1992-08-06 |
| JP2651282B2 true JP2651282B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=18512314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2402495A Expired - Lifetime JP2651282B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-12-14 | 流体制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2651282B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2592717Y2 (ja) | 1993-01-14 | 1999-03-24 | 旭光学工業株式会社 | 双眼鏡の調整機構 |
| JP4550373B2 (ja) * | 2003-04-11 | 2010-09-22 | 那須 ▲丈▼夫 | ポンプ |
| JP4668027B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2011-04-13 | シーケーディ株式会社 | 薬液供給システム |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5565775A (en) * | 1978-07-20 | 1980-05-17 | Toyota Motor Corp | Change-over valve device |
| JPS5815234A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-28 | Seiko Epson Corp | スピンコ−タのノズル構造 |
| JPS61142689A (ja) * | 1984-12-15 | 1986-06-30 | 日立マクセル株式会社 | エレクトロルミネセンス装置とその駆動方法 |
| JPS62221465A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-09-29 | Hitachi Ltd | 塗布装置 |
| JPH0659021B2 (ja) * | 1986-08-01 | 1994-08-03 | 朝日音響株式会社 | オルタネートスイッチの切換回路 |
| JP2585784B2 (ja) * | 1989-02-03 | 1997-02-26 | 株式会社東芝 | 自動現像装置および方法 |
-
1990
- 1990-12-14 JP JP2402495A patent/JP2651282B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04215420A (ja) | 1992-08-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101132118B1 (ko) | 약액 공급 시스템 | |
| US9878267B2 (en) | Solution treatment apparatus and solution treatment method | |
| JP3890229B2 (ja) | 薬液供給装置および薬液供給装置の脱気方法 | |
| KR970706856A (ko) | 가변 압력 구동기를 갖는 복막 투석 시스템(Peritoneal Dialysis System with Variable Pressuer Drive) | |
| WO2006027909A1 (ja) | 薬液供給用ポンプユニット | |
| US4545735A (en) | Diaphragm pump having a valve sheet with inlet and outlet flaps and having antisiphoning capability during pump shutdown | |
| CN110088473A (zh) | 隔膜泵装置和具有隔膜泵装置和操作装置的隔膜泵 | |
| KR950704580A (ko) | 진공식 양변기 시스템과 이것의 배출밸브 | |
| JP2651282B2 (ja) | 流体制御装置 | |
| US6206644B1 (en) | Compact dual pump | |
| JPS60228800A (ja) | 流体圧送装置 | |
| JPS6125382B2 (ja) | ||
| JP2005514561A (ja) | 流体の搬送装置及びベースプレート | |
| KR20200068037A (ko) | 기판 처리 장치 | |
| JPH04122403A (ja) | 液体供給装置及び脱泡方法 | |
| JPH05144709A (ja) | 減圧装置 | |
| DE69829546D1 (de) | Pumpsystem für Flüssigkeiten | |
| JP3943251B2 (ja) | オゾンおよびイオンの発生装置 | |
| JPH086559Y2 (ja) | オゾン水の製造装置 | |
| JP3472646B2 (ja) | 流体切換装置 | |
| JPH01244200A (ja) | 液体用ポンプ | |
| JP3970417B2 (ja) | オゾンおよびイオンの発生装置 | |
| JPH08131909A (ja) | 基板処理装置用処理液供給装置 | |
| JPH0239264B2 (ja) | ||
| JP2023140530A (ja) | 処理液供給装置、基板処理装置および基板処理方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080516 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090516 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090516 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100516 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516 Year of fee payment: 14 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516 Year of fee payment: 14 |