JPS5814582A - 高効率のアモルフアスシリコン系太陽電池 - Google Patents
高効率のアモルフアスシリコン系太陽電池Info
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- JPS5814582A JPS5814582A JP56112571A JP11257181A JPS5814582A JP S5814582 A JPS5814582 A JP S5814582A JP 56112571 A JP56112571 A JP 56112571A JP 11257181 A JP11257181 A JP 11257181A JP S5814582 A JPS5814582 A JP S5814582A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L31/20—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof such devices or parts thereof comprising amorphous semiconductor materials
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- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明灯、高効率のアモルファスシリコン系太陽電池に
関する。
関する。
シラン(81H4)のプラズ!゛分解法で得られるアモ
ルファスシリコンt’is W、Ee8pear 尋p
c工って、P1!、やn、 n、でドープする事に工り
、その伝導縦を太き(変える事ができる仁とが発見され
(1976年) 、D、1.0arlson4%によっ
てアモルファスシリコンを用いた太陽電池が試作(19
76年)されて以来注@管集め、アモルファスシリコン
薄膜太陽電池の効率を改善する研究が活発に行なわれて
いる。
ルファスシリコンt’is W、Ee8pear 尋p
c工って、P1!、やn、 n、でドープする事に工り
、その伝導縦を太き(変える事ができる仁とが発見され
(1976年) 、D、1.0arlson4%によっ
てアモルファスシリコンを用いた太陽電池が試作(19
76年)されて以来注@管集め、アモルファスシリコン
薄膜太陽電池の効率を改善する研究が活発に行なわれて
いる。
これまでの研究に工り、アモルファスシリコン薄膜光電
素子の構造としてはショットキーバリヤー型、 pin
型、MIS型、ヘテロ接合型があり、そのうち前王者が
高効率太陽電池として有望視されている。すな、わちシ
ョットキーバリヤー溜で5.5% (D、!、カールソ
ン他、1977年)、Mis型で4.8% (J、■、
B、クィルソン他%1978)、Pjn131で4.5
%i浜川圭用 197g)の変換効率が達成されている
。
素子の構造としてはショットキーバリヤー型、 pin
型、MIS型、ヘテロ接合型があり、そのうち前王者が
高効率太陽電池として有望視されている。すな、わちシ
ョットキーバリヤー溜で5.5% (D、!、カールソ
ン他、1977年)、Mis型で4.8% (J、■、
B、クィルソン他%1978)、Pjn131で4.5
%i浜川圭用 197g)の変換効率が達成されている
。
p1nジャンクション型太陽電池の場合、光を入射する
側に透明電極をつける必要があり、透明電極として工T
o(In、03+JinO1)や8nO,が用いらhて
きた。しかしながら、I丁00場合灯フイルファクター
は良いが開放電圧が低(,8nO1の場合は開放電圧は
大きいが、フィルファクターが悪いという欠点があった
。
側に透明電極をつける必要があり、透明電極として工T
o(In、03+JinO1)や8nO,が用いらhて
きた。しかしながら、I丁00場合灯フイルファクター
は良いが開放電圧が低(,8nO1の場合は開放電圧は
大きいが、フィルファクターが悪いという欠点があった
。
本発明考は、pin m光電変換の効率を改善する為に
鋭意研究した結果、ITO−8nO,−p−1−n 又
はXテ0−8nO1−n−1−pの構造で、かつ8nO
1の厚みが約50ムから500ムであるアモルファスシ
リコン系太陽電池の構造を用いる事KAリフィルファク
ターと開放電圧と−を大巾に改善できることを見い出し
几もので、太陽電池や光スィッチ等の光起電力素子とし
て用いることができる。
鋭意研究した結果、ITO−8nO,−p−1−n 又
はXテ0−8nO1−n−1−pの構造で、かつ8nO
1の厚みが約50ムから500ムであるアモルファスシ
リコン系太陽電池の構造を用いる事KAリフィルファク
ターと開放電圧と−を大巾に改善できることを見い出し
几もので、太陽電池や光スィッチ等の光起電力素子とし
て用いることができる。
以下にその詳細を説明する。
不発明のアモルファスシリコンは、シラン(stn、)
又ヰその誘導体又はフッ化シラン又はその誘導体、又汀
これらの混合物と、水素又は水素で希釈し几アルゴン、
ヘリウム等の不活性ガスとの混合ガスを、容量結合法又
は誘導結合法による高周波グロー分解又は直流グロー放
電分解するCとに工り得られる。混合ガス中のシランの
濃K1−1.通常0.5〜SO1,*lしくat 〜2
0%”tab。
又ヰその誘導体又はフッ化シラン又はその誘導体、又汀
これらの混合物と、水素又は水素で希釈し几アルゴン、
ヘリウム等の不活性ガスとの混合ガスを、容量結合法又
は誘導結合法による高周波グロー分解又は直流グロー放
電分解するCとに工り得られる。混合ガス中のシランの
濃K1−1.通常0.5〜SO1,*lしくat 〜2
0%”tab。
基板の−[tlj200〜30G’Cが好ましく、透明
電極を蒸着したガラス中高分子フィルム、金属等、太陽
電池の構IItK必要なあらゆる基板が含まれる。
電極を蒸着したガラス中高分子フィルム、金属等、太陽
電池の構IItK必要なあらゆる基板が含まれる。
太陽電池の基本構Iltは、図−1の(a) a (b
3 K代表例が示される。(a)tjp側から光管照射
するタイプで、例えばガラス−ITO−8nO1−p−
1−n−ム1の構成、(旬はnll1から光を照射する
タイプで1例えばステンレス−p−1−n−8nO1−
!!00構成である。その他、p層と透明電極の間に薄
い絶縁層をっけたり。
3 K代表例が示される。(a)tjp側から光管照射
するタイプで、例えばガラス−ITO−8nO1−p−
1−n−ム1の構成、(旬はnll1から光を照射する
タイプで1例えばステンレス−p−1−n−8nO1−
!!00構成である。その他、p層と透明電極の間に薄
い絶縁層をっけたり。
薄い金属層をつけた構造でも工い。llIは■To−8
nO,−p−1−n又はエテ0−8nO1−n−4−p
の構造で、:!)” り8 nOOF2厚みが約5oA
tlhら500 A?あるアモルファスシリコン系太陽
電池を基本とするものであればいかなる構成でもよい。
nO,−p−1−n又はエテ0−8nO1−n−4−p
の構造で、:!)” り8 nOOF2厚みが約5oA
tlhら500 A?あるアモルファスシリコン系太陽
電池を基本とするものであればいかなる構成でもよい。
シラン若しくはその誘導体、又はフッ化シラン若しくr
iその誘導体、Xachらの混合物のグロー放電分解で
得られる約10’″1秒以上のキャリヤー寿命て約10
”ex−” eマー1以下の局在単位密度および10″
”as”71以上の異動度をtつ真性アモルファスシリ
コン(以下、 、 i fil a−5iという)を1
層として%PI!とnJllドープ半導体で接合し7t
pin接合構造にするわけであるが、本発明では好まし
くflp層xHn層の少なくとも一方、すなわち、すく
なくと48nO1j接する側に1好ましくは^般式%式
% a−81(、−7)17で示されるアモルファス半導体
(以下、特定アモルファス半導体という)音用いるのが
1い、勿論p層とn層の両方に用いてt1埴。
iその誘導体、Xachらの混合物のグロー放電分解で
得られる約10’″1秒以上のキャリヤー寿命て約10
”ex−” eマー1以下の局在単位密度および10″
”as”71以上の異動度をtつ真性アモルファスシリ
コン(以下、 、 i fil a−5iという)を1
層として%PI!とnJllドープ半導体で接合し7t
pin接合構造にするわけであるが、本発明では好まし
くflp層xHn層の少なくとも一方、すなわち、すく
なくと48nO1j接する側に1好ましくは^般式%式
% a−81(、−7)17で示されるアモルファス半導体
(以下、特定アモルファス半導体という)音用いるのが
1い、勿論p層とn層の両方に用いてt1埴。
仁れらの特定アモルファス半導体については。
本発明省らの発明に係り、本EIFIJ時に出願した特
鵬1856− 号、並びに先に出願した特願昭
56−12313 ”j *特願昭56−22690号
音参照のこと。又特定アモルファス半導体を用本発明の
ITOI[ri3〜l 5 wt % f) BnOB
f含むXrsgOgf電子ビーム蒸着又ねスパッタS
着して作られる。又本発明の8nO1膜は虐當少量の8
bをドープしたもので、電子ビーム蒸着、スパッタ蒸着
又灯(ffD K 、、Uつで製膜さ九る。
鵬1856− 号、並びに先に出願した特願昭
56−12313 ”j *特願昭56−22690号
音参照のこと。又特定アモルファス半導体を用本発明の
ITOI[ri3〜l 5 wt % f) BnOB
f含むXrsgOgf電子ビーム蒸着又ねスパッタS
着して作られる。又本発明の8nO1膜は虐當少量の8
bをドープしたもので、電子ビーム蒸着、スパッタ蒸着
又灯(ffD K 、、Uつで製膜さ九る。
第1図(−の透明基板IKつける場合輻、例えばガラス
板の上にエテ0膜を蒸着し、さらに8nO1膜を30ム
l〜5GOAの厚みにりけて用いられる。
板の上にエテ0膜を蒸着し、さらに8nO1膜を30ム
l〜5GOAの厚みにりけて用いられる。
エテallの厚みは任意であるが600ム〜4000X
が好ましい。特に60G−4000ムが好ましい。
が好ましい。特に60G−4000ムが好ましい。
第1図(鴫の金属基板13を用いる場合には、12゜1
1.10のアモルファス半導体をつけ7tlll、その
上[3G N600ムのBnOlkつけ、さらK IT
Oを蒸着する。
1.10のアモルファス半導体をつけ7tlll、その
上[3G N600ムのBnOlkつけ、さらK IT
Oを蒸着する。
次に比較試験の結果を用いて本発明の効果を説明する。
〈比較試験1〉
アモルファス半導体を堆積すべき基板として灯、■ガラ
ス/工To(100OA、isnん)。
ス/工To(100OA、isnん)。
■ガラx/ Bno、 (2500ムe 25 n/’
O) *■ガラス/ X To (10001)/&l
O1(30A ) (15Q/’O) *■カ5 x/
xto (IGOOA)/&IO,(60A)(16
fl/Q ) 10ガラス/ ITO(1000ム)/
&へ(1層m)(1507口)。
O) *■ガラス/ X To (10001)/&l
O1(30A ) (15Q/’O) *■カ5 x/
xto (IGOOA)/&IO,(60A)(16
fl/Q ) 10ガラス/ ITO(1000ム)/
&へ(1層m)(1507口)。
0ガラス/ ITO(1000ム)/Boom(300
A) (15Ω10)。
A) (15Ω10)。
■ガラx / ITO(100OA)/&Oz(500
A )(l 5o10 )のymsiを用いた。これら
の工T0,8nO,灯いずれtスパッター法により蒸着
したものである。
A )(l 5o10 )のymsiを用いた。これら
の工T0,8nO,灯いずれtスパッター法により蒸着
したものである。
内径11cm+の石英反応管を用い、基板11度を25
0℃に保って、13.56Ml−の高周波でグルー放電
分解を行い、アモルファス半導体を下記の条件に従りて
p、i、nの順に堆積し、最後K l clIF)面積
にム11蒸着してpin I!太陽電池を製作した。
0℃に保って、13.56Ml−の高周波でグルー放電
分解を行い、アモルファス半導体を下記の条件に従りて
p、i、nの順に堆積し、最後K l clIF)面積
にム11蒸着してpin I!太陽電池を製作した。
Pal;n層の製造条件は次のとおりである。
O真p−シワ〉シ勺コン(1,a−81:H)BlB、
7M、 3〒orr、厚45oooム0011アモ
ルファスシリコン(n、a−st:n)PHI/BLH
IS−5% m 3Torr 、厚み5001o p
j117eシフ7Xシリコン(p、a−111:B)B
^/BIH4=0 ・2% −T o rr 、厚みt
ooムo p#1°アモルファスシリコン・カー/イト
(p、a−410:PI)1hHm’/ (81B4+
aB4)=0.1’16B1Ha /QHam”/7.
3Torr、IIvP10020 )ト朔:=yン、ナ
イトライド(p、a−8111:if)”s”s/(組
−十覇m)==o、x%−614/HH,gK @ 3
Torr *廖4100ム製作したpin I!太陽電
池の変換効率が基板の相違に一応じて如何に具なゐtP
t、AlAl11−1(100/csz”)のソーラー
シエミレーターtmいて測定したーその結果は1表1−
1 、1−2 、1−3に示すとおりである。これらの
’INにおいてJ8c、Woe、IFF及びv灯、夫々
短絡電流、R放電圧、フィルファクター反び変換効率を
示す。
7M、 3〒orr、厚45oooム0011アモ
ルファスシリコン(n、a−st:n)PHI/BLH
IS−5% m 3Torr 、厚み5001o p
j117eシフ7Xシリコン(p、a−111:B)B
^/BIH4=0 ・2% −T o rr 、厚みt
ooムo p#1°アモルファスシリコン・カー/イト
(p、a−410:PI)1hHm’/ (81B4+
aB4)=0.1’16B1Ha /QHam”/7.
3Torr、IIvP10020 )ト朔:=yン、ナ
イトライド(p、a−8111:if)”s”s/(組
−十覇m)==o、x%−614/HH,gK @ 3
Torr *廖4100ム製作したpin I!太陽電
池の変換効率が基板の相違に一応じて如何に具なゐtP
t、AlAl11−1(100/csz”)のソーラー
シエミレーターtmいて測定したーその結果は1表1−
1 、1−2 、1−3に示すとおりである。これらの
’INにおいてJ8c、Woe、IFF及びv灯、夫々
短絡電流、R放電圧、フィルファクター反び変換効率を
示す。
表171
但し、これH8層のIIIIIitが p、a−81:
H/i 、a−81:B /n、a−81:Hである太
陽電池の場合のデータである。
H/i 、a−81:B /n、a−81:Hである太
陽電池の場合のデータである。
(9頁KIN<)
表1−2
但し、これrt各層のwaが p、a−810:、H/
i、a−81:H/n、a−81:II″′Cある太
陽電池の場合のデータである。
i、a−81:H/n、a−81:II″′Cある太
陽電池の場合のデータである。
$1−3
fflL、これfli層の―虞が p、aJiM:B/
i、a−81:H/■、a−81:Hである太陽m池
の場合のデータである。
i、a−81:H/■、a−81:Hである太陽m池
の場合のデータである。
上ffi表1−IK工れd、p層Km−111:II會
用いたpinWk合太陽電池の場合でも、基板■すなわ
ちガラス/エテ0(1000ム)78!log(100
ム)(ISΩ10 )會P@吟ると変換効率ダーの向上
するこが判かるが。
用いたpinWk合太陽電池の場合でも、基板■すなわ
ちガラス/エテ0(1000ム)78!log(100
ム)(ISΩ10 )會P@吟ると変換効率ダーの向上
するこが判かるが。
この郊率ダの肉上効果飢ガラス/zTo/sno、zイ
ブの基板tν1la−810:IIやp渥亀−B1菖:
Hに直後接触させた場合に特KIIIIK生じるもので
ある(表1−2.及びl−3参照)、またl!tl−2
から。
ブの基板tν1la−810:IIやp渥亀−B1菖:
Hに直後接触させた場合に特KIIIIK生じるもので
ある(表1−2.及びl−3参照)、またl!tl−2
から。
同じ〃ラス/″ITO/8nO@タイプの基板であって
も。
も。
8nO3の厚みが50ム以上ある基11jL(■■■)
の方が、50ム工り薄い基板(■)よりも好ましいこと
がま究8no、の厚みがsooムの基板(Φ)f)判か
る0 場合、変換動−がや\低下すること%41明した。
の方が、50ム工り薄い基板(■)よりも好ましいこと
がま究8no、の厚みがsooムの基板(Φ)f)判か
る0 場合、変換動−がや\低下すること%41明した。
〈比較試験2〉
金属基板としてステンレススチール板t−用い、比較試
験lと同様のダルー放電分解管行い、下記!、A/77
X半導体Vtp −i −n f)ljの条件に従って
ア VCXt7VXXチー#Il#)上に堆積し、@tn”
t’n層KIIL、て透明鬼極會電子ビーム蒸着し、て
インノ(−テッドpin II!太陽電#kt調作した
。
験lと同様のダルー放電分解管行い、下記!、A/77
X半導体Vtp −i −n f)ljの条件に従って
ア VCXt7VXXチー#Il#)上に堆積し、@tn”
t’n層KIIL、て透明鬼極會電子ビーム蒸着し、て
インノ(−テッドpin II!太陽電#kt調作した
。
透明電極としては
Φ ITO(100OA * xsnlo )
@ 8nO1(2500ム 、 25Ω/口)θ
8nO1(100ム)+ITO(1000ムバ1501
0)を用いた。但し、θの場合り層と接するのは工TO
膜ではな(て、1!lnog膜である。
@ 8nO1(2500ム 、 25Ω/口)θ
8nO1(100ム)+ITO(1000ムバ1501
0)を用いた。但し、θの場合り層と接するのは工TO
膜ではな(て、1!lnog膜である。
各層の製造条件は次のとおりである・
o 夛Wrアモルファスシ僧:iン(1e&−Bi:H
)厚み4000ム Oν濶i1^クアスシリコン(pms−81”B)Bl
!I@ /81H4=It 091 g厚み300ムo
n1117tyiフ)シ勺コy (n、a−!li:
11)PH,/8111. !0.5* J4100A
o !1ト朔コン・カーIQ ) (n、a−1!io
:II)pas/ (81114+ Cit、 )=Q
、 t%811に47CI1.=しl 、厚み100ム
ロ31型7毫ルフフンシ僧コン・ナイトライド(n、a
−811:B)Pus/(stm、+mn5)=o、s
%5in4/mu、=イ 、厚み100ム製作した逆p
injl太陽電池の変換効率が、透明電極の相違に応じ
て如何K141にるか管11述のツーラージ:L建し−
ターを用りて測定した。その結果は表!−1,2−2,
2−3に示す通りである。
)厚み4000ム Oν濶i1^クアスシリコン(pms−81”B)Bl
!I@ /81H4=It 091 g厚み300ムo
n1117tyiフ)シ勺コy (n、a−!li:
11)PH,/8111. !0.5* J4100A
o !1ト朔コン・カーIQ ) (n、a−1!io
:II)pas/ (81114+ Cit、 )=Q
、 t%811に47CI1.=しl 、厚み100ム
ロ31型7毫ルフフンシ僧コン・ナイトライド(n、a
−811:B)Pus/(stm、+mn5)=o、s
%5in4/mu、=イ 、厚み100ム製作した逆p
injl太陽電池の変換効率が、透明電極の相違に応じ
て如何K141にるか管11述のツーラージ:L建し−
ターを用りて測定した。その結果は表!−1,2−2,
2−3に示す通りである。
![2−1
但し、これね%層の構成がp、a−111:II/ i
、a−81:H/n、a−81:IIである迦pin
II太腸電亀の一合のデー!である。
、a−81:H/n、a−81:IIである迦pin
II太腸電亀の一合のデー!である。
濠2−2
但し、ξれ韓令島のII属がp、a−81:II/i、
a−Eii: n/n、a−810:IIである逆pi
n瀝太−亀池の一合のデータである。
a−Eii: n/n、a−810:IIである逆pi
n瀝太−亀池の一合のデータである。
表2−3
但し、cttri各層のsgが p、a−81:11/
i、a−81:II/n、a−811:Hである逆p
in[太陽電池の場合のデータである。
i、a−81:II/n、a−811:Hである逆p
in[太陽電池の場合のデータである。
上記表2−1.2−2 、2−3によれば、n層側から
光管入射する逆pinllの太陽電@においてt。
光管入射する逆pinllの太陽電@においてt。
n 、@ f) −K 8nO,膜管つけたのち、IT
O管つけた構造の透明電極(θ)管用いること一工す、
著しい効・率の向上全実現できることが認められる。
O管つけた構造の透明電極(θ)管用いること一工す、
著しい効・率の向上全実現できることが認められる。
以上を費するに1本発明灯台種のてモルファスシリコン
系太陽電池の変換効率管極めて容易に向上させ得る点で
斯界に画期的な寄与管なすものである。 ′ 第1図(荀、(b)灯、いずれt本発明に係−太陽電池
の基本構IiL管示す略示側向図であって、岡(−は透
明電極を用いるタイプの基本構成、同(t+) ij金
属基板を用いるタイプの基本構sr示すものである。
系太陽電池の変換効率管極めて容易に向上させ得る点で
斯界に画期的な寄与管なすものである。 ′ 第1図(荀、(b)灯、いずれt本発明に係−太陽電池
の基本構IiL管示す略示側向図であって、岡(−は透
明電極を用いるタイプの基本構成、同(t+) ij金
属基板を用いるタイプの基本構sr示すものである。
l…透明基板 2・・弓TO膜 3・・・8nO1膜4
・・・pHアモルファス半導体 5・・・真性アモルフ
ァスシリコン 6・・・nIiア毫ルファスシリ、″:
1ンフ・・・アル電ニューム亀@ 8・・・ITO膜
9・・・8nO,膜lO・・・nliアモルファス半導
体 11・・・真性アモルファスシリコン 12・・・’ p atア毫ルファスシリコン13・・
・金属基板 特許出願人 鑓淵化学工業株式会社 代理人 弁坤士円田敏鉢
・・・pHアモルファス半導体 5・・・真性アモルフ
ァスシリコン 6・・・nIiア毫ルファスシリ、″:
1ンフ・・・アル電ニューム亀@ 8・・・ITO膜
9・・・8nO,膜lO・・・nliアモルファス半導
体 11・・・真性アモルファスシリコン 12・・・’ p atア毫ルファスシリコン13・・
・金属基板 特許出願人 鑓淵化学工業株式会社 代理人 弁坤士円田敏鉢
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 p−1−n接合アモルファスシリコン系太陽電池
において、゛I〒0−8nO,−p−1−n又灯!TO
−f?n0l−n−1−pの構造で、tPつ8no、膜
の厚みが約30ムから500ムであることを特徴とする
高効率のアモルファスシリコン系太陽電池。 2 前記の電池構造において、8nO1膜と接するp層
又tin層のアモルファス半導体が、一般式5式% a −81(□−,−,)(!xNyであることを特徴
とする特許請求の範囲第11iに記載の高効率のアモル
ファスシリコン系太陽電池。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56112571A JPS5814582A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 高効率のアモルフアスシリコン系太陽電池 |
DE8888117644T DE3280418T2 (de) | 1981-07-17 | 1982-07-14 | Amorpher halbleiter und photovoltaische vorrichtung aus amorphem silizium. |
DE8282106293T DE3280112D1 (de) | 1981-07-17 | 1982-07-14 | Amorpher halbleiter und photovoltaische einrichtung aus amorphem silizium. |
EP88117644A EP0309000B1 (en) | 1981-07-17 | 1982-07-14 | Amorphous semiconductor and amorphous silicon photovoltaic device |
EP82106293A EP0070509B2 (en) | 1981-07-17 | 1982-07-14 | Amorphous semiconductor and amorphous silicon photovoltaic device |
US06/399,312 US4450316A (en) | 1981-07-17 | 1982-07-19 | Amorphous silicon photovoltaic device having two-layer transparent electrode |
US06/552,952 US4491682A (en) | 1981-07-17 | 1983-11-17 | Amorphous silicon photovoltaic device including a two-layer transparent electrode |
US06/552,951 US4499331A (en) | 1981-07-17 | 1983-11-17 | Amorphous semiconductor and amorphous silicon photovoltaic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56112571A JPS5814582A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 高効率のアモルフアスシリコン系太陽電池 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5814582A true JPS5814582A (ja) | 1983-01-27 |
JPH0122991B2 JPH0122991B2 (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=14590036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56112571A Granted JPS5814582A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 高効率のアモルフアスシリコン系太陽電池 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5814582A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58151073A (ja) * | 1983-02-08 | 1983-09-08 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 光電変換素子及びその製造方法 |
JPS58151072A (ja) * | 1983-02-08 | 1983-09-08 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 光電変換素子及びその製造方法 |
JPS5958874A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-04 | Toshiba Corp | アモルフアスシリコン太陽電池 |
JPS59161881A (ja) * | 1983-03-07 | 1984-09-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光電変換装置作製方法 |
JPS6084888A (ja) * | 1983-07-28 | 1985-05-14 | エナージー・コンバーション・デバイセス・インコーポレーテッド | 半導体デバイス |
JPS60103683A (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-07 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 半導体装置用基板 |
JPS61168272A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 非単結剤珪素太陽電池作製方法 |
JPS6472570A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-17 | Sanyo Electric Co | Photovoltaic device |
-
1981
- 1981-07-17 JP JP56112571A patent/JPS5814582A/ja active Granted
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5958874A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-04 | Toshiba Corp | アモルフアスシリコン太陽電池 |
JPS58151073A (ja) * | 1983-02-08 | 1983-09-08 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 光電変換素子及びその製造方法 |
JPS58151072A (ja) * | 1983-02-08 | 1983-09-08 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 光電変換素子及びその製造方法 |
JPH0512870B2 (ja) * | 1983-02-08 | 1993-02-19 | Konishiroku Photo Ind | |
JPH0516198B2 (ja) * | 1983-02-08 | 1993-03-03 | Konishiroku Photo Ind | |
JPS59161881A (ja) * | 1983-03-07 | 1984-09-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光電変換装置作製方法 |
JPH0558268B2 (ja) * | 1983-03-07 | 1993-08-26 | Handotai Energy Kenkyusho | |
JPS6084888A (ja) * | 1983-07-28 | 1985-05-14 | エナージー・コンバーション・デバイセス・インコーポレーテッド | 半導体デバイス |
JPS60103683A (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-07 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 半導体装置用基板 |
JPS61168272A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 非単結剤珪素太陽電池作製方法 |
JPS6472570A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-17 | Sanyo Electric Co | Photovoltaic device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0122991B2 (ja) | 1989-04-28 |
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