JPS58141435A - 垂直磁化記録媒体 - Google Patents
垂直磁化記録媒体Info
- Publication number
- JPS58141435A JPS58141435A JP57023967A JP2396782A JPS58141435A JP S58141435 A JPS58141435 A JP S58141435A JP 57023967 A JP57023967 A JP 57023967A JP 2396782 A JP2396782 A JP 2396782A JP S58141435 A JPS58141435 A JP S58141435A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- vapor
- deposition
- thin film
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73923—Organic polymer substrates
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録層のほぼ厚さ方向に沿う方向の磁化に
よってその記録を行う〜いわゆる乗置磁化による垂ｍ磁
化記録媒体に係わる。
よってその記録を行う〜いわゆる乗置磁化による垂ｍ磁
化記録媒体に係わる。
従来、一般のオーディオ、ビデオ等のデープレフーダ或
いはシートレクーダ等においては゛、基体（ペース）上
に被着形成された磁気記録層に水平方向の磁化（面内方
向磁化）によってその記録を行っている。
いはシートレクーダ等においては゛、基体（ペース）上
に被着形成された磁気記録層に水平方向の磁化（面内方
向磁化）によってその記録を行っている。
ところがこの水平磁化による記録の場合、記録信号が短
波長になるにつれ、すなわち記録密度が大になるにつれ
、媒体内の反磁界が増して残留磁化の減衰とＩｊ！１転
を生じ再生出力が着しく減小す４これに比し磁気記録導
体の記録層の厚さ方向の磁化、いわゆる乗置磁化による
記録を行うときは短波長になるにつれ減磁界が小さくな
る性質をもつため、特に短波長記録においては上述した
従来一般の水平磁化による記録より垂直磁化による記録
の方が有利であることが知られている。
波長になるにつれ、すなわち記録密度が大になるにつれ
、媒体内の反磁界が増して残留磁化の減衰とＩｊ！１転
を生じ再生出力が着しく減小す４これに比し磁気記録導
体の記録層の厚さ方向の磁化、いわゆる乗置磁化による
記録を行うときは短波長になるにつれ減磁界が小さくな
る性質をもつため、特に短波長記録においては上述した
従来一般の水平磁化による記録より垂直磁化による記録
の方が有利であることが知られている。
しかしながらこの穂垂直磁化記録媒体においていまだ量
産性に優れた構成を採るものが得られていない。
産性に優れた構成を採るものが得られていない。
垂直磁化記録媒体の記録層としては、Ｃｏ −Ｃｒの蒸
着膜によるものが知られている。
着膜によるものが知られている。
Ｃｏ −Ｃｒ薄膜を垂直磁化記録層とす、るためには、
その結晶構造が６方最密構造（ヘキサゴナル構造（ｈｆ
ｅ−Ｐ、））であって且つそのζ軸が膜面に垂直な方向
に配向していなければならない、ところが通常のように
Ｃｏ−Ｃｒ膜を蒸着によって作製する場合、６方晶形の
信相の他にα相や一相が混り易く、上述の条件を満たす
ことは容易ではなく、またその条件を満たすことができ
るとしても、その基体温度、堆積逮度岬の蒸着条件が厳
密に遁走される必要があるなど生産性を阻むものである
。
その結晶構造が６方最密構造（ヘキサゴナル構造（ｈｆ
ｅ−Ｐ、））であって且つそのζ軸が膜面に垂直な方向
に配向していなければならない、ところが通常のように
Ｃｏ−Ｃｒ膜を蒸着によって作製する場合、６方晶形の
信相の他にα相や一相が混り易く、上述の条件を満たす
ことは容易ではなく、またその条件を満たすことができ
るとしても、その基体温度、堆積逮度岬の蒸着条件が厳
密に遁走される必要があるなど生産性を阻むものである
。
一方、Ｃｏ−Ｃｒ合金による記録層を形成するにスパッ
タリング法によるものが提案されている。
タリング法によるものが提案されている。
しかしながら、この場合その膜成長速度すなわち堆積速
度が遅く例えば０．９〜２．５Ｊｈ７−程度であって瀘
産性に乏しいという欠点がある。更にこのスパッタリン
グ法で多層膜を形成しようとする場合、装−が大型にな
りコスト高となり更にスパッタリング法の性質上きれい
な多層膜をつくりにくいという欠点がある。
度が遅く例えば０．９〜２．５Ｊｈ７−程度であって瀘
産性に乏しいという欠点がある。更にこのスパッタリン
グ法で多層膜を形成しようとする場合、装−が大型にな
りコスト高となり更にスパッタリング法の性質上きれい
な多層膜をつくりにくいという欠点がある。
本発明においては、このような欠点を回避し、生産性に
優れたすなわち垂直磁化記録膜の記録層の堆ｆｇｉ速度
が大で、更に多層膜の形成を容易に行うことのできる延
いてはコストの低減化を図ることのできる垂直磁化記録
媒体を提供するものである。
優れたすなわち垂直磁化記録膜の記録層の堆ｆｇｉ速度
が大で、更に多層膜の形成を容易に行うことのできる延
いてはコストの低減化を図ることのできる垂直磁化記録
媒体を提供するものである。
すなわち１本発明者はｓＨ楠の実験考察を重ねた結果、
垂直磁化記録層としてＣｏ−Ｃｒ合金層の蒸ｓ膜によっ
てｔｌＩ威するにも拘わらず、６方細密構造に優れ１相
におけるＣ軸の膜面に垂直な配向を充分に行うことがで
き〜垂直磁化特性に優れた垂直磁化記録媒体を得るに至
った。
垂直磁化記録層としてＣｏ−Ｃｒ合金層の蒸ｓ膜によっ
てｔｌＩ威するにも拘わらず、６方細密構造に優れ１相
におけるＣ軸の膜面に垂直な配向を充分に行うことがで
き〜垂直磁化特性に優れた垂直磁化記録媒体を得るに至
った。
本発明においては、第１図に示すように基体（ペース）
（り上に下地層として特にＴ＆薄膜（２）を形成し、こ
れの上にＣｏ−Ｃｒ合金の蒸着膜よりなる垂直磁化記録
層（３）を形成する０図中（４）は本発明による垂直磁
化記録媒体を全体として示す。
（り上に下地層として特にＴ＆薄膜（２）を形成し、こ
れの上にＣｏ−Ｃｒ合金の蒸着膜よりなる垂直磁化記録
層（３）を形成する０図中（４）は本発明による垂直磁
化記録媒体を全体として示す。
ここにＴ１１ｉ膜（２）は、その厚さを１００−５００
スに選定することが好ましく 、Ｃｏ −Ｃｒ合金蒸着
膜の組成は、 Ｃｒを１０〜２５原千−残部Ｃｏによっ
て構成することが好ましく、これによって垂直方向の配
向に優れたものが得られることが確められた。尚、Ｔｉ
薄膜（２）を１００１以上に選定する理由は、これ以下
ではＴ１の連＊ａが形成しに＜＜％Ｔ１の下地膜として
の効果が不充分となる場合があることを見出したことに
より、更に５ｏｏλ以下に選定する理由は、これを越え
てもＣｏ−Ｃｒ合金磁性層としての磁気的特性及び機械
的特性にこれ以上の特別の効果が得られないことを確め
たことによる。
スに選定することが好ましく 、Ｃｏ −Ｃｒ合金蒸着
膜の組成は、 Ｃｒを１０〜２５原千−残部Ｃｏによっ
て構成することが好ましく、これによって垂直方向の配
向に優れたものが得られることが確められた。尚、Ｔｉ
薄膜（２）を１００１以上に選定する理由は、これ以下
ではＴ１の連＊ａが形成しに＜＜％Ｔ１の下地膜として
の効果が不充分となる場合があることを見出したことに
より、更に５ｏｏλ以下に選定する理由は、これを越え
てもＣｏ−Ｃｒ合金磁性層としての磁気的特性及び機械
的特性にこれ以上の特別の効果が得られないことを確め
たことによる。
また、実際上基体（１）に対するＴｉｌｉＩＭ（２）及
びＣｏ −Ｃｒ蒸着膜による記録層（３）の各蒸着は同
一蒸着容器内で連続して行うものであり、このようにし
て作業の簡易化をはかると共に、Ｔｉ薄膜（２）の表面
酸化によるＣｏ−Ｃｒ蒸着膜の特性低下を回避する、す
なわち、Ｔｉ薄膜（２）の蒸着後、真空蒸着容器内の真
空を−Ｈリークさせて外気を導入する場合、Ｔｉ薄膜表
面が酸化され、このＴｉ薄膜（２）の下地層をして、こ
れの上にすぐれｆｔｃｏ−Ｏｒ膜を形成するという効果
が生じなくなる。
びＣｏ −Ｃｒ蒸着膜による記録層（３）の各蒸着は同
一蒸着容器内で連続して行うものであり、このようにし
て作業の簡易化をはかると共に、Ｔｉ薄膜（２）の表面
酸化によるＣｏ−Ｃｒ蒸着膜の特性低下を回避する、す
なわち、Ｔｉ薄膜（２）の蒸着後、真空蒸着容器内の真
空を−Ｈリークさせて外気を導入する場合、Ｔｉ薄膜表
面が酸化され、このＴｉ薄膜（２）の下地層をして、こ
れの上にすぐれｆｔｃｏ−Ｏｒ膜を形成するという効果
が生じなくなる。
尚、Ｔｉ薄膜（２）及びＣｏ −Ｃｒ蒸着膜による記録
層（３）の蒸着に際しての基体温度は１６０℃以下で充
分であり、また基体ｎ＞としてはポリイミドベース或い
は安価で表面性に優れたポリエチレンテレタタレート等
を用いることができる。
層（３）の蒸着に際しての基体温度は１６０℃以下で充
分であり、また基体ｎ＞としてはポリイミドベース或い
は安価で表面性に優れたポリエチレンテレタタレート等
を用いることができる。
尚、この基体（１）に対するＴ＆薄膜（２）と、ＣＧ−
Ｃｒ膜（３）の連続＃、着は、例えば、第２図に示すよ
うに、第１及び第２の室０υ及び←りを有する真空蒸着
容器Ｑ３ｊを設け、両室０υ及び０りに差し渡って例え
ばフィルム状の基体（１）が移行するようになされ、各
室Ｑｌ）及び０′、！Ｊにおいて夫々Ｔｉ蒸着源Ｉ及び
Ｃｏ −Ｏｒ蒸着＆（＋：舅を配して、移行する基体（
１）に対して先ずＴｉを蒸着し、その後、これの上にＣ
ｏ−Ｃｒ蒸着膜（４）を蒸着するという方法をとり得る
。ａｅは、容器Ｉよりの排気をなす排気口で図示しない
が真空ポンプに連結される。尚、この排気口（Ｔ９は云
う迄もなく、ｖ！Ｊ示の例のように両室ａυ及びＯ望に
共通に設けることもできるし、両室ａυ及び６３に個々
に設けることもできる。また、図において、ａη及び鱈
は、基体（１）の供給及び巻取り田−ルで、■及び（社
）はその移行のガイドー−ラである。
Ｃｒ膜（３）の連続＃、着は、例えば、第２図に示すよ
うに、第１及び第２の室０υ及び←りを有する真空蒸着
容器Ｑ３ｊを設け、両室０υ及び０りに差し渡って例え
ばフィルム状の基体（１）が移行するようになされ、各
室Ｑｌ）及び０′、！Ｊにおいて夫々Ｔｉ蒸着源Ｉ及び
Ｃｏ −Ｏｒ蒸着＆（＋：舅を配して、移行する基体（
１）に対して先ずＴｉを蒸着し、その後、これの上にＣ
ｏ−Ｃｒ蒸着膜（４）を蒸着するという方法をとり得る
。ａｅは、容器Ｉよりの排気をなす排気口で図示しない
が真空ポンプに連結される。尚、この排気口（Ｔ９は云
う迄もなく、ｖ！Ｊ示の例のように両室ａυ及びＯ望に
共通に設けることもできるし、両室ａυ及び６３に個々
に設けることもできる。また、図において、ａη及び鱈
は、基体（１）の供給及び巻取り田−ルで、■及び（社
）はその移行のガイドー−ラである。
実施例１
約２Ｘ１０−ゝＴ ｌ の真空蒸着容器中でボリイ
ミｒｒ ドフイルムを１８０℃に加熱し、１０ Ｘ／ｗｈの堆積
速度でＴＩを２００１蒸着した０次いで１これの上に同
様に真空蒸着容器内に連続的にＩＯ！／、、、の堆積速
度をもってＣｏ−Ｃｒ合金を０．！！Ａｍの厚さに蒸着
して垂直磁化記録媒体（４）を得た。
ミｒｒ ドフイルムを１８０℃に加熱し、１０ Ｘ／ｗｈの堆積
速度でＴＩを２００１蒸着した０次いで１これの上に同
様に真空蒸着容器内に連続的にＩＯ！／、、、の堆積速
度をもってＣｏ−Ｃｒ合金を０．！！Ａｍの厚さに蒸着
して垂直磁化記録媒体（４）を得た。
このようにして得た媒体（４）のＣｏ−Ｃｒ１ｌにおけ
るＸ線回折パターンを第３図に示す、これによれば、６
′ｊＩｊ晶形の＜０００２：＞結晶軸のビータのみがみ
られる。これはα相や一相はな（Ｃ相のみであり且つＣ
軸が膜面に垂直に配向していることを意味している。そ
してまたこの実施例１によるＣ０−Ｃｒ合金ＩｔＥ録層
の膜面に垂直な方向及び腰面内でｉａｕ印加したヒステ
リシスカーブは夫々第４図中、実線及び破線に示す、こ
れによりこのような本発明構成による磁気記録媒体は垂
直磁化に対して優れた特性を有することがわかる。すな
わち、この場合、最大飽和磁化は３９０ｅ−”／ａｉａ
で垂直方向の抗磁力は７６００ｅ 、水平方向のそれは
４２００ｅであった争 本発明の特徴を明確にするために次に比較例について説
明する。
るＸ線回折パターンを第３図に示す、これによれば、６
′ｊＩｊ晶形の＜０００２：＞結晶軸のビータのみがみ
られる。これはα相や一相はな（Ｃ相のみであり且つＣ
軸が膜面に垂直に配向していることを意味している。そ
してまたこの実施例１によるＣ０−Ｃｒ合金ＩｔＥ録層
の膜面に垂直な方向及び腰面内でｉａｕ印加したヒステ
リシスカーブは夫々第４図中、実線及び破線に示す、こ
れによりこのような本発明構成による磁気記録媒体は垂
直磁化に対して優れた特性を有することがわかる。すな
わち、この場合、最大飽和磁化は３９０ｅ−”／ａｉａ
で垂直方向の抗磁力は７６００ｅ 、水平方向のそれは
４２００ｅであった争 本発明の特徴を明確にするために次に比較例について説
明する。
比較例１
２ Ｘ １０−＠Ｔｏ、、の真空中で、ポリイミドフィ
ルムを１８０℃に熱し、これに直接的にＣｏ −Ｃｒ合
金膜ヲｌｏ！／μの堆稙速度で０．５μｍ蒸着した。
ルムを１８０℃に熱し、これに直接的にＣｏ −Ｃｒ合
金膜ヲｌｏ！／μの堆稙速度で０．５μｍ蒸着した。
比較例２
実施例１と同様の方法によるもＴｌ薄膜下地層（２）と
して１００１の蒸着を行った。
して１００１の蒸着を行った。
このようにして得た比較例１及び２による記録媒体の記
録層すなわちＣｏ−Ｃｒ膜に対するＸ線回折パターンは
第５図及び餉６図に示す、これより明らかなように１、
へ中管ゴナル権＜０００２＞結晶軸のほかに＜ １０１
０ ＞及び＜ ｌ０ＴＩ ＞にビータがみられる。これ
は８相のみではあるが、Ｃ軸の膜面にｍ＠な方向への配
向がよくないことを示している。
録層すなわちＣｏ−Ｃｒ膜に対するＸ線回折パターンは
第５図及び餉６図に示す、これより明らかなように１、
へ中管ゴナル権＜０００２＞結晶軸のほかに＜ １０１
０ ＞及び＜ ｌ０ＴＩ ＞にビータがみられる。これ
は８相のみではあるが、Ｃ軸の膜面にｍ＠な方向への配
向がよくないことを示している。
すなわち本発明による磁気記録媒体によれば、Ｔｌ薄膜
（２）もヘキサ曾ナール相構造であってこれが結晶化し
やすく且つそのＣ軸が膜面に垂直な方向に非常に配向し
やすいために、このＴｌ薄膜を予め下地層として蒸着し
、その上にＣｏ−Ｃｒ蒸着膜を形成した場合、上層のＣ
ｏ−Ｃｒ記録層は、下層−のＴＩ下地層（２）の結晶に
よる影響によって結晶化しやすく且つＣ軸が膜面に垂直
な方向によく配向するものであり、優れた垂、電磁化を
なし得るものである。しかしながらＴｌ薄膜があまり薄
い場合には、その効果が充分でないことが比較例２によ
ってわかる０、このような蒸着法によるＣｏ−Ｃｒ膜の
作親に際して下地層としてＴｌ薄膜（２）を蒸着してお
く場合、基体温度が１４０℃からの低い温度であっても
またＣｏ−０ｒ膜厚が薄くても例えば０．１μｍ以下で
あってもＣ軸が膜面に垂直な方向によ（配向す。
（２）もヘキサ曾ナール相構造であってこれが結晶化し
やすく且つそのＣ軸が膜面に垂直な方向に非常に配向し
やすいために、このＴｌ薄膜を予め下地層として蒸着し
、その上にＣｏ−Ｃｒ蒸着膜を形成した場合、上層のＣ
ｏ−Ｃｒ記録層は、下層−のＴＩ下地層（２）の結晶に
よる影響によって結晶化しやすく且つＣ軸が膜面に垂直
な方向によく配向するものであり、優れた垂、電磁化を
なし得るものである。しかしながらＴｌ薄膜があまり薄
い場合には、その効果が充分でないことが比較例２によ
ってわかる０、このような蒸着法によるＣｏ−Ｃｒ膜の
作親に際して下地層としてＴｌ薄膜（２）を蒸着してお
く場合、基体温度が１４０℃からの低い温度であっても
またＣｏ−０ｒ膜厚が薄くても例えば０．１μｍ以下で
あってもＣ軸が膜面に垂直な方向によ（配向す。
ることが確められ、従って垂直磁化記録媒体として全て
媒体を構成し得る。
媒体を構成し得る。
実施例２
実施例１と同様の方法によるも基体としてポリエチレン
テレ７タレーシを用い、その基体温度６０°Ｃにおいて
ＴＩ下地薄膜（２）を２００１の厚さに蒸着し続いてＣ
ｏ −Ｃｒ合金膜を０．５μｍの厚さに蒸着して記録層
（３）を形成した。
テレ７タレーシを用い、その基体温度６０°Ｃにおいて
ＴＩ下地薄膜（２）を２００１の厚さに蒸着し続いてＣ
ｏ −Ｃｒ合金膜を０．５μｍの厚さに蒸着して記録層
（３）を形成した。
実施例３
実施例２においてポリエチレンテレフタレート基体温度
を１００℃とした。
を１００℃とした。
実施例４
実施例２におけるポリエチレンテレフタレート基体温度
を１４０℃とした。
を１４０℃とした。
実施例５
実施例２におけるポリエチレンテレ７タレーシ基体湿度
を１００°Ｃに保ち磁性層Ｃｏ −Ｃｒ合金層の厚さを
０．１μｍとした。
を１００°Ｃに保ち磁性層Ｃｏ −Ｃｒ合金層の厚さを
０．１μｍとした。
各実施例２〜５による媒体についてもＸ線回折によって
、Ｃ軸が膜面に垂直に配向していることが確められた。
、Ｃ軸が膜面に垂直に配向していることが確められた。
上述したように本発明による磁気記録媒体によれば優れ
た垂直磁化記録を行うことができ、しかもその記録層と
してのＣｏ−Ｃｒ合金膜を蒸着法によって形成したこと
によって膜堆積速度を向上することができ、これに伴っ
て生産性の向上延いてはコストの低廉化を図ることがで
き、會た再現性に優れた磁気記録媒体を得ることができ
るという利益を有するものである。
た垂直磁化記録を行うことができ、しかもその記録層と
してのＣｏ−Ｃｒ合金膜を蒸着法によって形成したこと
によって膜堆積速度を向上することができ、これに伴っ
て生産性の向上延いてはコストの低廉化を図ることがで
き、會た再現性に優れた磁気記録媒体を得ることができ
るという利益を有するものである。
また、第１図で説明した例においては、基体（１）上に
Ｔｌ薄膜（２）を下地層とし、これの上にＣｏ −Ｃｒ
合金記録層（３）を形成した場合であるが、更にある場
合は第７図に示すように基体ｔｌ）上に低抗磁力材層（
５）を形成し、これの上にＴ＆薄膜層（２）及びＣｏ−
Ｃｒ合金記録層（３）を形成するようになすこともでき
る。
Ｔｌ薄膜（２）を下地層とし、これの上にＣｏ −Ｃｒ
合金記録層（３）を形成した場合であるが、更にある場
合は第７図に示すように基体ｔｌ）上に低抗磁力材層（
５）を形成し、これの上にＴ＆薄膜層（２）及びＣｏ−
Ｃｒ合金記録層（３）を形成するようになすこともでき
る。
この場合の抵抗磁力材層（５）はその抗磁力Ｈｃが記録
層（３）の抗磁力の１以下、好ましくはｓｏｏ ｏ・以
下に遁走され且つその厚さが０．１μｍ以上好ましくは
０．１〜３．０μｍ更に好ましくは０．２〜３．０μｍ
に選定される。
層（３）の抗磁力の１以下、好ましくはｓｏｏ ｏ・以
下に遁走され且つその厚さが０．１μｍ以上好ましくは
０．１〜３．０μｍ更に好ましくは０．２〜３．０μｍ
に選定される。
このような低抗磁力層（５）を有する構成とする場合、
巣極型ヘッドによって効率のよい記録を行うことができ
る。すなわち記録層（３）側に単極型ヘッドを配置して
その記録を行う場合、低抗磁力層内に単極ヘッドの影像
磁化が生じ、単極ヘッドから発生する磁界を強める作用
な生せしめることができる。またこの低抗磁力層によっ
て記録層の裏面の磁気回路を部分的に閉じ、減磁作用を
軽減し残ｗＩ′１ａ化を強めるという効果を生ぜしめ得
るものである。
巣極型ヘッドによって効率のよい記録を行うことができ
る。すなわち記録層（３）側に単極型ヘッドを配置して
その記録を行う場合、低抗磁力層内に単極ヘッドの影像
磁化が生じ、単極ヘッドから発生する磁界を強める作用
な生せしめることができる。またこの低抗磁力層によっ
て記録層の裏面の磁気回路を部分的に閉じ、減磁作用を
軽減し残ｗＩ′１ａ化を強めるという効果を生ぜしめ得
るものである。
第１図は本発明による垂直磁化記録媒体の一例の路線的
拡大断面図、第２図・は本発明による媒体を得る蒸着装
置の一例の構成図、第３図は本発明の一例の垂直磁化記
録媒体のＸ＠回折図、第４図は同様の媒体のヒステリシ
ス曲線図、第５図及び第６図は夫々本発明と比較される
比較例の垂直磁化記録媒体のＸ線回折図、第７図は本発
明による垂直磁化記録媒体の他の例の路線的断面図であ
る。 （１）は基体、（２）はＴＩ薄膜下地層−（３）はＣｏ
−Ｃｒ合金記録層、（５）は低抗磁力材層である。 手続補正書 昭和ｓ１年１月１１日 昭和ｓ１年特許願第 ！８９＠７ 号２・驚明″
名称 −直一化紀一媒体 ３、抽１１：、をする考 ｊＬ Ｅとの関係 特許出願人 任゛す１ 東京品質υＩｌ＋＜、１ヒ品川６丁目７番３
５号名称（２１８１ソニ・−株式会社 代表取、ｊＭｊ７没岩間和夫 ６、抽ｌｌ−４により増加する発明の数７、 ？ｄｌ
＋１’： ）に−ｆ ’ｌ ＠−書の斃−の詳
細な購−の欄及び間両。 （１） 明細書中、第５ｌｉｌ１行「細密」を「最密
」と訂正する。 （２）同、ｊ１４ｍｍ７行ｒｌ＠Ｏ〜５ｏｏｌＪ ヲｒ
ｌｓｏ 〜５００１Ｊと訂正する。 （３）同、同１ｊ１２行ｒ １００蓋」を［１８ＧＸ
Ｊと訂正する。 （４）同、第６翼１１行ｒＴｏｒｒＪを［Ｔｏｒｒ（）
ル）Ｊと訂正する。 （５）同、同頁１２行及びｇ７Ｉｆ１５行ｒｌｌｏ℃」
を夫々ｒ １１８０℃」と訂正する。 （６） 同、第１１１ｍ１１１行及び菖１１ｔ８〜４
行ｒ＜０００２＞結晶軸」をｒ （０００２）細晶画」
と訂正する。 （８） 図面中、第３ｗＡ％１ａＳ図及び菖６図を夫
々添付図面のように補正する。 以 上
拡大断面図、第２図・は本発明による媒体を得る蒸着装
置の一例の構成図、第３図は本発明の一例の垂直磁化記
録媒体のＸ＠回折図、第４図は同様の媒体のヒステリシ
ス曲線図、第５図及び第６図は夫々本発明と比較される
比較例の垂直磁化記録媒体のＸ線回折図、第７図は本発
明による垂直磁化記録媒体の他の例の路線的断面図であ
る。 （１）は基体、（２）はＴＩ薄膜下地層−（３）はＣｏ
−Ｃｒ合金記録層、（５）は低抗磁力材層である。 手続補正書 昭和ｓ１年１月１１日 昭和ｓ１年特許願第 ！８９＠７ 号２・驚明″
名称 −直一化紀一媒体 ３、抽１１：、をする考 ｊＬ Ｅとの関係 特許出願人 任゛す１ 東京品質υＩｌ＋＜、１ヒ品川６丁目７番３
５号名称（２１８１ソニ・−株式会社 代表取、ｊＭｊ７没岩間和夫 ６、抽ｌｌ−４により増加する発明の数７、 ？ｄｌ
＋１’： ）に−ｆ ’ｌ ＠−書の斃−の詳
細な購−の欄及び間両。 （１） 明細書中、第５ｌｉｌ１行「細密」を「最密
」と訂正する。 （２）同、ｊ１４ｍｍ７行ｒｌ＠Ｏ〜５ｏｏｌＪ ヲｒ
ｌｓｏ 〜５００１Ｊと訂正する。 （３）同、同１ｊ１２行ｒ １００蓋」を［１８ＧＸ
Ｊと訂正する。 （４）同、第６翼１１行ｒＴｏｒｒＪを［Ｔｏｒｒ（）
ル）Ｊと訂正する。 （５）同、同頁１２行及びｇ７Ｉｆ１５行ｒｌｌｏ℃」
を夫々ｒ １１８０℃」と訂正する。 （６） 同、第１１１ｍ１１１行及び菖１１ｔ８〜４
行ｒ＜０００２＞結晶軸」をｒ （０００２）細晶画」
と訂正する。 （８） 図面中、第３ｗＡ％１ａＳ図及び菖６図を夫
々添付図面のように補正する。 以 上
Claims (1)
- 基体上ｃＴｉ９１１ｊを有し、該’Ｉ’１ｇ膜１にＣｏ
−Ｃｒ合金よりなる垂直磁化記録層を蒸着形成した垂直
磁化記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57023967A JPS58141435A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | 垂直磁化記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57023967A JPS58141435A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | 垂直磁化記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58141435A true JPS58141435A (ja) | 1983-08-22 |
Family
ID=12125316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57023967A Pending JPS58141435A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | 垂直磁化記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58141435A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5063120A (en) * | 1988-02-25 | 1991-11-05 | International Business Machines Corporation | Thin film magentic media |
| US5167792A (en) * | 1990-12-19 | 1992-12-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Master holder of stamper electroforming apparatus and electroforming method |
| US6403203B2 (en) | 1997-05-29 | 2002-06-11 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same |
| US6562453B1 (en) | 1999-06-07 | 2003-05-13 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
| US6759148B2 (en) | 2000-09-01 | 2004-07-06 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording media and magnetic storage apparatus using the same |
-
1982
- 1982-02-17 JP JP57023967A patent/JPS58141435A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5063120A (en) * | 1988-02-25 | 1991-11-05 | International Business Machines Corporation | Thin film magentic media |
| US5167792A (en) * | 1990-12-19 | 1992-12-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Master holder of stamper electroforming apparatus and electroforming method |
| US6403203B2 (en) | 1997-05-29 | 2002-06-11 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same |
| US6447936B1 (en) | 1997-05-29 | 2002-09-10 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same |
| US6534164B2 (en) | 1997-05-29 | 2003-03-18 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same |
| US6592976B2 (en) | 1997-05-29 | 2003-07-15 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same |
| US6607849B2 (en) | 1997-05-29 | 2003-08-19 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same |
| US6716516B2 (en) | 1997-05-29 | 2004-04-06 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same |
| US6562453B1 (en) | 1999-06-07 | 2003-05-13 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
| US6770389B2 (en) | 1999-07-06 | 2004-08-03 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
| US6759148B2 (en) | 2000-09-01 | 2004-07-06 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording media and magnetic storage apparatus using the same |
| US7138195B2 (en) | 2000-09-01 | 2006-11-21 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording media and magnetic storage |
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