JPS58141099A - 電極形成法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は超音波診断装置の電子走査型超音波探触子に用
いる圧電板の電極形成法に関するものである。従来、超
音波探触子用の圧電板としては圧′屯セラミックスが用
いられており、第１図に示したような回り込み電極が形
成されている。なお、第１図において、１１は圧電体、
１２及び１３は［極である。こカような圧電振動子は電
子走査型探触子に用いる際硬質ゴムなどからなるパツキ
ン、、、、、、＜材に接着され短冊状に細く切断される
。さらに第２図に示したように、各短冊の回シ込み電極
部にリード線が半田付けされる。その際、しばしば電極
材が半田に喰われるなどの事故が発生している。なお、
第２図において、２１はバッキング材、２２は短冊状振
動子、２３はリード線である。

そこで本発明の目的は、この事故を防ぎ素子作成工程に
おける歩留シを向上させる電極形成法を提供することに
ある。

通常これらの電極は、銀ペーストなどをスクリーン印刷
によシ塗布し、焼結して形成される。このとき回）込み
電極部をどのように形成するかが問題となシ、１）スク
リーンのパターンを圧電板よシ少し大きめにして印刷時
に電極材が板の側面に回シ込むようにしたシ、１１）両
面印刷後に側面に電極材を鹸ぬシする、などの工夫がさ
れている。

しかし、このようにして電極材を塗布しても焼結後に圧
電板の縁部をみると、電極膜厚は他の部分に比較して薄
くなっている。これが、回り込み電極縁部における半田
喰われ事故発生の原因と考えられる。

そこで、印刷時に圧電板縁部に電極材が厚く塗布される
ように縁部を面取シして、上記工程で電極を形成し九と
ころ、縁部においても充分の厚みをもった回り込みぼ極
が得られた。その結果、素子作成工程における歩留シが
著しく向上した。

以下本発明を実施例によって詳しく説明する。

通常の焼成法で作成したＰＺＴ系セラミックスを７４ｍ
’Ｘ１２ｘ”Ｘ１ｍｍ　ｔの形状に切断し、０．３５　
ｍの４今に研磨した。これは周波数５ＭＨ２で駆動する
超音波探触子用の圧電板で１０ット５０枚を作成した。

このうち３０枚を１５枚ずつ２通りに分けて縁を面取り
した。面取シの程度を第３図に示す。即ち第３図囚は３
０−ｍ％第３図面は５０μｍの場合である。

このようにして作成した５０枚の圧電板にスクリーン印
刷・縁面罎ぬｐの同一工程で銀電極を焼き付けた。これ
らをバッキング材にエポキシ系の樹脂を用いて接着し、
３０μｍ厚のダイヤモンドプＶ−ドを用いて０．２８ｍ
ピッチで短冊状に切断した。さらに短冊３本を１組とし
て回シ込み電極部にリード線を半田付けで奴シ付けた後
、各チャンネルにおいて圧電体が正常に振動するかを調
べた。正常に振動しないチャンネルは、半田喰われによ
って導通がなくなっているものと判断し、歩留シを面取
シをした板としない板で全数の板について平均し比較し
た。その結果を＠４図の表に示す。

面取シの程度は２通シあるが、ます面取シをしないもの
と、したものの平均を比較すると歩留りが約８５％から
約９８％に飛躍的に上がっている。

さらに面取シの程度が大きいものでは９９．５％とほと
んどリード縁付は工程における事故がなくなっている。

以上、説明したように、超音波診断装置の電子走査型超
音波探触子に用いる圧電板に回り込みぼ極を形成する際
、該圧電板の縁部を面収シすることによシ、リード線取
り付は工程における歩留夛が著しく向上することは明ら
かである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、電子走査型超音波探触子用の圧Ｋｍ動子の電
極構造を示す図、第２図は、電子走査型超音波探触子の
構造を示す図、第３図は、圧電板の縁部の面取シ加工の
程度を示す横断面図、第４￥：Ｊ　　／　　皿 Ｚｌ ％３　　　図 （Ａ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（
Ｂ）第　４　　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電子走査型超音波探触子に用いる圧電板に回り込み＋［
   極を形成する際、該圧電板の縁を面取シしてぼ極材料を
   塗布することを特徴とした電極形成法。