JPS5814038A - 電子ビ−ムマクロアナライザを用いた鋼板分析装置 - Google Patents
電子ビ−ムマクロアナライザを用いた鋼板分析装置Info
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- JPS5814038A JPS5814038A JP56112577A JP11257781A JPS5814038A JP S5814038 A JPS5814038 A JP S5814038A JP 56112577 A JP56112577 A JP 56112577A JP 11257781 A JP11257781 A JP 11257781A JP S5814038 A JPS5814038 A JP S5814038A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- steel plate
- electron beam
- rays
- sample steel
- fluorescence
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子ビームマクロアナライザを用いた鋼板分析
装置に関し、更に詳細に述べると、鋼板試料に電子ビー
ムを照射して試料から螢光Ｘ線を放出せしめ、この螢光
Ｘ線を分光することにより鋼板試料中に含有される元素
の分布状況を分析するようにした電子ビームマ、クロア
ナライザを用いた鋼板分析装置に関する。
装置に関し、更に詳細に述べると、鋼板試料に電子ビー
ムを照射して試料から螢光Ｘ線を放出せしめ、この螢光
Ｘ線を分光することにより鋼板試料中に含有される元素
の分布状況を分析するようにした電子ビームマ、クロア
ナライザを用いた鋼板分析装置に関する。
従来のこの種の装置においては、試料から放出される螢
光Ｘ線を分光結晶に導びくため、及び分光結晶において
反射した分光Ｘ線をＸ線検出器へ導びくために、各々ソ
ーラスリットが用いられている。このソーラスリットは
、厚さ数十ミクロンの薄板を、厚さ百乃至二百ミクロン
のスペーサを介して百数十枚つみ重ねて成っており、各
薄板は相互に完全に平行であることが要求される。例え
ば、ソーラスリットにおいて重ね方向にむらがあると、
Ｘｉ検出器の出力における高次Ｘ線のレベルが増大する
ことになり、一方、スリットに積みむらがあると電子ビ
ームを試料の分析面上で走査した場合にスリン）ｔ−介
して出力されるビームの強さが変動する等の不具合いを
生ずることになる。
光Ｘ線を分光結晶に導びくため、及び分光結晶において
反射した分光Ｘ線をＸ線検出器へ導びくために、各々ソ
ーラスリットが用いられている。このソーラスリットは
、厚さ数十ミクロンの薄板を、厚さ百乃至二百ミクロン
のスペーサを介して百数十枚つみ重ねて成っており、各
薄板は相互に完全に平行であることが要求される。例え
ば、ソーラスリットにおいて重ね方向にむらがあると、
Ｘｉ検出器の出力における高次Ｘ線のレベルが増大する
ことになり、一方、スリットに積みむらがあると電子ビ
ームを試料の分析面上で走査した場合にスリン）ｔ−介
して出力されるビームの強さが変動する等の不具合いを
生ずることになる。
更に、電子ビームを数ミクロンの微小ビーム径としり場
合にスリットの影ができるという問題点も有している。
合にスリットの影ができるという問題点も有している。
これらの不具合いの１つを解消する１つの方法として、
Ｘ線検出器の出力における１次Ｘ線と高次Ｘａとの強度
比を取って、これによりスリットの重ね方向のむらによ
る不具合を解消するようにしたレシオ法と呼ばれる方法
があるがいずれにしても、ソーラスリットの製作には担
当高贋の組立技術を必要と踵手間が掛るという問題点を
有しており、完全なソーラスリットの製作は困難である
。
Ｘ線検出器の出力における１次Ｘ線と高次Ｘａとの強度
比を取って、これによりスリットの重ね方向のむらによ
る不具合を解消するようにしたレシオ法と呼ばれる方法
があるがいずれにしても、ソーラスリットの製作には担
当高贋の組立技術を必要と踵手間が掛るという問題点を
有しており、完全なソーラスリットの製作は困難である
。
本発明の目的は、従って、ソーラスリットを設けること
なく、比較的細径に絞った電子ビームで試料片の所要の
分析面を走査することにより該分析面の元素分布を高分
解能で分析することができるようにした、電子ビームマ
クロアナライザを用いた鋼板分析装置を提供することに
ある。
なく、比較的細径に絞った電子ビームで試料片の所要の
分析面を走査することにより該分析面の元素分布を高分
解能で分析することができるようにした、電子ビームマ
クロアナライザを用いた鋼板分析装置を提供することに
ある。
本発明によれば、ビーム径を１０〜２００μｍφ位に絞
った電子ビームを試料鋼板に照射する手段と、該試料鋼
板に電子ビームが照射されることにより該試料鋼板より
放出される螢光ｘａ全分光検出する非平行ダブル結晶分
光装置と、該非平行ダブル結晶分光装置から得られた出
力データを処理するデータ処理装置とを備え、電子ビー
ムの試料鋼板に対する照射位置を２次元的に変化させる
ことにより試料鋼板中の元素分布の計測を行なう。
った電子ビームを試料鋼板に照射する手段と、該試料鋼
板に電子ビームが照射されることにより該試料鋼板より
放出される螢光ｘａ全分光検出する非平行ダブル結晶分
光装置と、該非平行ダブル結晶分光装置から得られた出
力データを処理するデータ処理装置とを備え、電子ビー
ムの試料鋼板に対する照射位置を２次元的に変化させる
ことにより試料鋼板中の元素分布の計測を行なう。
鋼板分析装置が提供される。
以下、図示の実施例により本発明の詳細な説明する。
第１図には、本発明による、電子ビームマイクロアナラ
イザを用いた鋼板分析装置の一実施例が示されている。
イザを用いた鋼板分析装置の一実施例が示されている。
この鋼板分析装Ｎ１は、試料鋼板２を載置するテーブル
３と、試料鋼板２０所賛の分析面２ａに電子ビーム７を
照射する電子ビーム発生装Ｎ４とを備えている。電子ビ
ーム発生装置４は、電子銃５と、電子銃５から出力され
る電子を約１０乃至２００μｍφ程度の比較的細径のビ
ーム状に集束させるための電子レンズ６とを備え電子レ
ンズ６により集束された電子ビーム７は、偏向コイル８
に供給される偏向電流に従ってその進行方向が制御され
、分析面２ａはこの電子ビーム７により二次元的に走査
される。この結果、分析面２ａから分析面２Ｆ！Ｌの含
有元素に関する情報をもった螢光Ｘ線が放出される。
３と、試料鋼板２０所賛の分析面２ａに電子ビーム７を
照射する電子ビーム発生装Ｎ４とを備えている。電子ビ
ーム発生装置４は、電子銃５と、電子銃５から出力され
る電子を約１０乃至２００μｍφ程度の比較的細径のビ
ーム状に集束させるための電子レンズ６とを備え電子レ
ンズ６により集束された電子ビーム７は、偏向コイル８
に供給される偏向電流に従ってその進行方向が制御され
、分析面２ａはこの電子ビーム７により二次元的に走査
される。この結果、分析面２ａから分析面２Ｆ！Ｌの含
有元素に関する情報をもった螢光Ｘ線が放出される。
分析面２ａからの螢光ｘｍを分光、検出するため、試料
鋼板２の近傍には、非平行ダブル結晶分光装Ｎ９が配設
されている。この分光装置９は、ハウジング１０内に相
互に非平行状態となるように２枚の平板状分光結晶板１
１．１２が設けられて成り、ハウジング１０内に進入し
てきた螢光Ｘ線１５は、平板状分光結晶板１１．１２に
より反射され、所要の決長の螢光Ｘ線がＸ線検出器１４
に入射される。これらの分光結晶１１．１２は、例えば
グラファイト等の材料から成っており、試料鋼板２中に
含まれている分析すべき元素に応じて適宜選択すること
ができる。分光装置９は、上述の如く、ソーラスリット
を用いることなく、非平行状態に配置された２枚の平板
状分光結晶によって入射螢光Ｘ＃の分光を行なえるので
、電子ビーム７を微小径（数ミクロン乃至２００ミクロ
ン程度）にまで絞っても何らの悪影響を受けること ５
− かない上に、この非平行ダブル結晶分光装置は本来的に
比較的高分解能であるから、極めて良好なスペクトル分
析を行なうことができる。この結果、本発明の装置にお
いては、試料鋼板の構成元素の状態分析も可能である。
鋼板２の近傍には、非平行ダブル結晶分光装Ｎ９が配設
されている。この分光装置９は、ハウジング１０内に相
互に非平行状態となるように２枚の平板状分光結晶板１
１．１２が設けられて成り、ハウジング１０内に進入し
てきた螢光Ｘ線１５は、平板状分光結晶板１１．１２に
より反射され、所要の決長の螢光Ｘ線がＸ線検出器１４
に入射される。これらの分光結晶１１．１２は、例えば
グラファイト等の材料から成っており、試料鋼板２中に
含まれている分析すべき元素に応じて適宜選択すること
ができる。分光装置９は、上述の如く、ソーラスリット
を用いることなく、非平行状態に配置された２枚の平板
状分光結晶によって入射螢光Ｘ＃の分光を行なえるので
、電子ビーム７を微小径（数ミクロン乃至２００ミクロ
ン程度）にまで絞っても何らの悪影響を受けること ５
− かない上に、この非平行ダブル結晶分光装置は本来的に
比較的高分解能であるから、極めて良好なスペクトル分
析を行なうことができる。この結果、本発明の装置にお
いては、試料鋼板の構成元素の状態分析も可能である。
Ｘ線検出器１４からの出力Ｓ１け、増幅器１５により増
幅さｉｉた後、波高弁別器１６に入力される。
幅さｉｉた後、波高弁別器１６に入力される。
電子ビーム７は試料鋼板２の分析面２ａ上を走査してい
るので、波高弁別器１６に入力される信号はこの走査の
結果得られる時系列信号であり、この時系列信号を分析
面２ａ上の所定の元素の分布状況のデータに変換するた
め、波高弁別器１６からの出力信号Ｓよけ演算回路１７
に入力されている。
るので、波高弁別器１６に入力される信号はこの走査の
結果得られる時系列信号であり、この時系列信号を分析
面２ａ上の所定の元素の分布状況のデータに変換するた
め、波高弁別器１６からの出力信号Ｓよけ演算回路１７
に入力されている。
この演算回路１７の回路構成は、従来のマクロアナライ
ザの構成と同じであり、演算回路１７により得られた分
析データは、図示しない表示装置においてブラウン管上
に表示することができる。
ザの構成と同じであり、演算回路１７により得られた分
析データは、図示しない表示装置においてブラウン管上
に表示することができる。
第２図には、第１図に示した装置により得られたパルス
の波高値Ｈと、Ｘ線の強度工との関係が示されている。
の波高値Ｈと、Ｘ線の強度工との関係が示されている。
Ｈ＝ＨＬＫ相当する部分が着目した ６−
元素による１次の螢光Ｘａの波高値であり、Ｈ−Ｈ６に
相当する部分が２次の螢光Ｘ線の波高値を示している。
相当する部分が２次の螢光Ｘ線の波高値を示している。
第２図から判るように、２次のｘ＃Ｊはほとんど零であ
ね、１次のＸ線を確実に検出することができる。また、
非平行ダブル結晶分光装置を用いているので、第２図の
ピークの値■。と、バックグラウンドよりとの比が大き
く、従って、検出限界が向上する。この結果、元素の含
有量が少ないため従来の分析装置では分析不可能であっ
たものでも分析が可能となる場合が多々生じ、極めて高
性能の鋼板分析装置を実現することができる。
ね、１次のＸ線を確実に検出することができる。また、
非平行ダブル結晶分光装置を用いているので、第２図の
ピークの値■。と、バックグラウンドよりとの比が大き
く、従って、検出限界が向上する。この結果、元素の含
有量が少ないため従来の分析装置では分析不可能であっ
たものでも分析が可能となる場合が多々生じ、極めて高
性能の鋼板分析装置を実現することができる。
本発明によれば、上述の如く、ソーラスリットが不要で
あるため製造上の煩雑さが解消され、またソーラスリッ
トの不使用と非平行ダブル結晶分光装置の採用とにより
細いビーム径の電子ビームで試料鋼板を細密に走査する
と共に螢光Ｘ線を高分解能で分光できるので、試料鋼板
の構成元素の状態分析も可能となる等の優れた効果を奏
する。
あるため製造上の煩雑さが解消され、またソーラスリッ
トの不使用と非平行ダブル結晶分光装置の採用とにより
細いビーム径の電子ビームで試料鋼板を細密に走査する
と共に螢光Ｘ線を高分解能で分光できるので、試料鋼板
の構成元素の状態分析も可能となる等の優れた効果を奏
する。
また、検出信号のピーク／パックグランド比カ大きくな
るので、検出限界が向上するという別の優れた利点をも
有している。
るので、検出限界が向上するという別の優れた利点をも
有している。
第１図は本発明による鋼板分析装置の一実施例を示す概
略構成図、第２図は第１図に示した装置により検出され
ｆ（ハルスの波高値ＨとＸ線強度■との関係の一例を示
すグラフである。 １・・・鋼板分析装置 ２・・・試料鋼板２ａ・・・
分析面 ３・・・ラープル７・・・電子ビーム
８・・・偏向コイル９・・・非平行ダブル結晶分光
装置 １１．１２・・・平板状分光結晶板 １４・・・Ｘ＠検出器 １７・・・演算回路 以 上 出願人 株式会社第二精工舎
略構成図、第２図は第１図に示した装置により検出され
ｆ（ハルスの波高値ＨとＸ線強度■との関係の一例を示
すグラフである。 １・・・鋼板分析装置 ２・・・試料鋼板２ａ・・・
分析面 ３・・・ラープル７・・・電子ビーム
８・・・偏向コイル９・・・非平行ダブル結晶分光
装置 １１．１２・・・平板状分光結晶板 １４・・・Ｘ＠検出器 １７・・・演算回路 以 上 出願人 株式会社第二精工舎
Claims (1)
- 比較的細径の電子ビームを試料鋼板に照射する手段と、
該試料鋼板に前記電子ビームが照射されることにより該
試料鋼板より放出される螢光Ｘ線を分光検出する非平行
ダブル結晶分光装置と、該非平行ダブル結晶分光装部か
ら得られた出力データを処理するデータ処理装置とを備
え、電子ビームの試料鋼板に対する照射位置を２次元的
に変化させることにより試料鋼板中の元素分布の計測を
行なうことを％徴とする電子ビームマクロアナライザを
用いた鋼板分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56112577A JPS5814038A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 電子ビ−ムマクロアナライザを用いた鋼板分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56112577A JPS5814038A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 電子ビ−ムマクロアナライザを用いた鋼板分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814038A true JPS5814038A (ja) | 1983-01-26 |
Family
ID=14590197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56112577A Pending JPS5814038A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 電子ビ−ムマクロアナライザを用いた鋼板分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814038A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108956658A (zh) * | 2017-05-27 | 2018-12-07 | 上海西门子医疗器械有限公司 | X射线系统和校准x射线管的偏转电流的方法 |
-
1981
- 1981-07-17 JP JP56112577A patent/JPS5814038A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108956658A (zh) * | 2017-05-27 | 2018-12-07 | 上海西门子医疗器械有限公司 | X射线系统和校准x射线管的偏转电流的方法 |
| CN108956658B (zh) * | 2017-05-27 | 2021-10-22 | 上海西门子医疗器械有限公司 | X射线系统和校准x射线管的偏转电流的方法 |
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