JPS58133628A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS58133628A JPS58133628A JP57014631A JP1463182A JPS58133628A JP S58133628 A JPS58133628 A JP S58133628A JP 57014631 A JP57014631 A JP 57014631A JP 1463182 A JP1463182 A JP 1463182A JP S58133628 A JPS58133628 A JP S58133628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- oxidized
- magnetic recording
- cobalt chromium
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本冑−はコバルトクロミウム垂Ｗ１ｐ什１録膜の表面を
酸化した被膜を形成し六Ｍ！襲記録媒体に関する。
酸化した被膜を形成し六Ｍ！襲記録媒体に関する。
近年ＶＴＩ’ｌの発展及びコンビシータ−の大象什に伴
ない瀞気虻餉テープ、磁気配録ディスクの高密度什が塵
、速に進展している。中でも最も注目されているのは垂
直５（Ｖ−配−録と呼ばれる磁気記録方式である・垂自
磁什記録方式に用いられる記録媒体Ｆｉｌ’ｌｌ！’に
示す如（ＰｙｒＴ勢のフレキシブルあるいはアルミニラ
五等の１＋ジツドな基ｆ１５にパーマロイＷｉ２ｆ約５
ｏｏｏＸの厚みに形成【７更にその上に々ロミウムを２
０アトξツタパーセント含有し大コバルト々ロミ〜ム合
金＠Ｓが形成されている・最・上部に形成されているコ
バルトクロミ゛ウム合金膜５は１枡１に対して垂直に礎
什しやすい特性を有している。この新しい【録媒体への
１鰺再生は新しい構造の＄気ヘッドが用いられる・゛そ
のａｔを第２図に示す・コバルトク″ロミリム合金記鎌
媒体４０上部に主礎１＃５と称するタンザ々状パターン
のパーマロイ展が構成さね、その反対側には補助Ｓ極６
と称する棒状のフェライトにコイルを巻きつけた磁極が
Ｉｌ：′置される◎このＷ造の磁気ヘット０によりコバ
ルト々ロミウム合金記録媒体への記録拘止が行なわれる
。
ない瀞気虻餉テープ、磁気配録ディスクの高密度什が塵
、速に進展している。中でも最も注目されているのは垂
直５（Ｖ−配−録と呼ばれる磁気記録方式である・垂自
磁什記録方式に用いられる記録媒体Ｆｉｌ’ｌｌ！’に
示す如（ＰｙｒＴ勢のフレキシブルあるいはアルミニラ
五等の１＋ジツドな基ｆ１５にパーマロイＷｉ２ｆ約５
ｏｏｏＸの厚みに形成【７更にその上に々ロミウムを２
０アトξツタパーセント含有し大コバルト々ロミ〜ム合
金＠Ｓが形成されている・最・上部に形成されているコ
バルトクロミ゛ウム合金膜５は１枡１に対して垂直に礎
什しやすい特性を有している。この新しい【録媒体への
１鰺再生は新しい構造の＄気ヘッドが用いられる・゛そ
のａｔを第２図に示す・コバルトク″ロミリム合金記鎌
媒体４０上部に主礎１＃５と称するタンザ々状パターン
のパーマロイ展が構成さね、その反対側には補助Ｓ極６
と称する棒状のフェライトにコイルを巻きつけた磁極が
Ｉｌ：′置される◎このＷ造の磁気ヘット０によりコバ
ルト々ロミウム合金記録媒体への記録拘止が行なわれる
。
コバルトタロミウム合金はその結晶５ｌｌａは六方最答
構造であり、それ管αＯＩＴ・ｏ ｒ ｒ’”程度のア
ルゴン圧・力でスパッタ法により薄ＩＩ？形成すると基
板面に対し垂直に立った円柱状の構造となり、垂直磁気
異方性が生じる・その様子ｆ第３図に示す。０軸方向に
長い円柱状微結晶７が基管８上に立っている・このＣ軸
が基鈑の垂直方向に沿っているほど！ｐ気異方性が高く
Ｖ録も容具で再休出力も高い・この垂直方向力・らのず
ｔｌは！線間様によ沙測定することができロッキングカ
ーブと称されΔθ５０６る特性で呼ばれているＯ即ち第
４ｖに示す如きロッキングカーブで通常コバルト々ロミ
ウム薄膜はΔθ５０け５度以下となる０即ち円柱状微結
晶のｅとんどがその（軸の１樹垂直方向からの傾きが５
度以内に揚っていることになる・通常ＰＫＴ基枡もしく
はアルミニウム基蓼上にスパッタ法でν成したコバルト
々ロミウム合金薄膜の場合には△θ５０は３度以下にな
るＯ 通常は更にコバルト々ロミウム合金薄膜の下に抗磁力の
小なる磁性膜、−１えはパーマロイ勢の薄膜を形成して
高−変１伽を可能とし、低ノイズ高貴＃：比力を実現し
ているＯ従って通常−Ｉえばｐｇテ本のフレキシブルな
基ψの上にパーマロイ、コＩ（ルトクロミウム合金の薄
膜が約５０００オングストロームづつ形成さｔｌｋ形と
なってお抄、記録媒体の表面は金属表面がＰ−き邑しの
ままとなっている・この様な構造となっている為に従来
のｒＦ６１０＝を用いたＳ気配録媒体の表面とは全くＪ
ｌ！なつ六現象を示す・％に表面を記録再生ヘッドが摺
かしていった場合に従来の磁気１録媒体よ抄も傷がつき
易く、長期信頼性に不安がある・友発甲はこの欠点を除
去し信頼性の高いｌＩ密ｆ磁気１録謀体を完故した亀の
である。
構造であり、それ管αＯＩＴ・ｏ ｒ ｒ’”程度のア
ルゴン圧・力でスパッタ法により薄ＩＩ？形成すると基
板面に対し垂直に立った円柱状の構造となり、垂直磁気
異方性が生じる・その様子ｆ第３図に示す。０軸方向に
長い円柱状微結晶７が基管８上に立っている・このＣ軸
が基鈑の垂直方向に沿っているほど！ｐ気異方性が高く
Ｖ録も容具で再休出力も高い・この垂直方向力・らのず
ｔｌは！線間様によ沙測定することができロッキングカ
ーブと称されΔθ５０６る特性で呼ばれているＯ即ち第
４ｖに示す如きロッキングカーブで通常コバルト々ロミ
ウム薄膜はΔθ５０け５度以下となる０即ち円柱状微結
晶のｅとんどがその（軸の１樹垂直方向からの傾きが５
度以内に揚っていることになる・通常ＰＫＴ基枡もしく
はアルミニウム基蓼上にスパッタ法でν成したコバルト
々ロミウム合金薄膜の場合には△θ５０は３度以下にな
るＯ 通常は更にコバルト々ロミウム合金薄膜の下に抗磁力の
小なる磁性膜、−１えはパーマロイ勢の薄膜を形成して
高−変１伽を可能とし、低ノイズ高貴＃：比力を実現し
ているＯ従って通常−Ｉえばｐｇテ本のフレキシブルな
基ψの上にパーマロイ、コＩ（ルトクロミウム合金の薄
膜が約５０００オングストロームづつ形成さｔｌｋ形と
なってお抄、記録媒体の表面は金属表面がＰ−き邑しの
ままとなっている・この様な構造となっている為に従来
のｒＦ６１０＝を用いたＳ気配録媒体の表面とは全くＪ
ｌ！なつ六現象を示す・％に表面を記録再生ヘッドが摺
かしていった場合に従来の磁気１録媒体よ抄も傷がつき
易く、長期信頼性に不安がある・友発甲はこの欠点を除
去し信頼性の高いｌＩ密ｆ磁気１録謀体を完故した亀の
である。
ν下に図について本発明を駁−する・
第５図は氷見−の基本を説−する図であるｌ−１＃１の
上に小技ξ力磁性Ｓなるパーイロイ＃２及び垂直磁片記
録膜なるコバルトクロミウム合金膜３が構成されている
ことは従来の基本構造と同一であるが、＊発甲ではコバ
ルト々ロミウム合金角膜の表面を酸化処理した７１１１
９をＹ成することによ抄耐摩耗特性を改善し、信頼性を
飛躍かＩに向上せしめている−即ちコバルトクロミウム
の酸化ｐＩＩＩｆ５００オングストローム＠度付着せし
めるだけで同一トラツタ上１００万パス以上の傷′軸性
をｉｉＩ保することができた。基ｌ１ｉ１はアルミニウ
ムの様なリジッドな場合でもＰｖＴやボＩＩイミドの様
なフレキシブルの場合でも同様にコバルトクロミウム表
面酸ｆ？被膜の効果があった・Ｐ録媒体の両面には主Ｓ
極５と補助１１ｆ６がチタパリ岬の材負のスライダー１
０により固定されて記動媒体表面との摺−會滑らかなも
のとする構成となっている・酸什被−の厚みは厚くする
１！傷頼性は向上するが、厚（ｆ！りすぎると垂直磁化
配碌ｌＩ２と主磁極５の先端との距離が遠くなり再生信
号出力が弱くなり、ノイズが多（なる勢のトラブルが発
生するので酸化被膜の厚みは垂―磁什記録８Ｉ２とヘッ
ドの特性ｆ考慮して決定される・第５図においてヘッド
は主磁極５、補助磁極６ｆ向かい合わせた基本タイプで
配し大が本発明の効果はこの基本タイプ９外にも改良タ
イプや従来のリングヘッドタイプに対しても同様に発揮
されることはいうまでもない。
上に小技ξ力磁性Ｓなるパーイロイ＃２及び垂直磁片記
録膜なるコバルトクロミウム合金膜３が構成されている
ことは従来の基本構造と同一であるが、＊発甲ではコバ
ルト々ロミウム合金角膜の表面を酸化処理した７１１１
９をＹ成することによ抄耐摩耗特性を改善し、信頼性を
飛躍かＩに向上せしめている−即ちコバルトクロミウム
の酸化ｐＩＩＩｆ５００オングストローム＠度付着せし
めるだけで同一トラツタ上１００万パス以上の傷′軸性
をｉｉＩ保することができた。基ｌ１ｉ１はアルミニウ
ムの様なリジッドな場合でもＰｖＴやボＩＩイミドの様
なフレキシブルの場合でも同様にコバルトクロミウム表
面酸ｆ？被膜の効果があった・Ｐ録媒体の両面には主Ｓ
極５と補助１１ｆ６がチタパリ岬の材負のスライダー１
０により固定されて記動媒体表面との摺−會滑らかなも
のとする構成となっている・酸什被−の厚みは厚くする
１！傷頼性は向上するが、厚（ｆ！りすぎると垂直磁化
配碌ｌＩ２と主磁極５の先端との距離が遠くなり再生信
号出力が弱くなり、ノイズが多（なる勢のトラブルが発
生するので酸化被膜の厚みは垂―磁什記録８Ｉ２とヘッ
ドの特性ｆ考慮して決定される・第５図においてヘッド
は主磁極５、補助磁極６ｆ向かい合わせた基本タイプで
配し大が本発明の効果はこの基本タイプ９外にも改良タ
イプや従来のリングヘッドタイプに対しても同様に発揮
されることはいうまでもない。
酸什被展を形成する手段としては陽極酸化、酸素プラズ
マ処理等が用いられる・記録媒体において小抗＄力礎性
体膜はパーマロイ以外の磁性膜の場合でも同様の効果を
示し、あるいは小抗磁力磁性体展が全く存在しない場合
でも全（同様の効果を示し六〇 以下に実施−について氷見甲を説明する。
マ処理等が用いられる・記録媒体において小抗＄力礎性
体膜はパーマロイ以外の磁性膜の場合でも同様の効果を
示し、あるいは小抗磁力磁性体展が全く存在しない場合
でも全（同様の効果を示し六〇 以下に実施−について氷見甲を説明する。
実施９１１１
５０ミクロン厚の１１丁基板上にパーマロイ膜５０００
オングストローム、コバルトクロミウム合金膜６０００
オンゲスドロームシ威し、プラズマ処理炉中でＩＴｏｒ
ｒの酸素雰囲気で５００Ｗの高周波プラズマ中で５分間
処理し７ｔ、工Ｍ五により表面酸化被膜の厚み管測定す
ると６００オングストロームあつ大・この記録媒伏でヘ
ッドを装着したところ通常１０万パス位で信号出力゛が
低下するのが１００万パスを起えても信号比力の低下は
鯵められなかった。
オングストローム、コバルトクロミウム合金膜６０００
オンゲスドロームシ威し、プラズマ処理炉中でＩＴｏｒ
ｒの酸素雰囲気で５００Ｗの高周波プラズマ中で５分間
処理し７ｔ、工Ｍ五により表面酸化被膜の厚み管測定す
ると６００オングストロームあつ大・この記録媒伏でヘ
ッドを装着したところ通常１０万パス位で信号出力゛が
低下するのが１００万パスを起えても信号比力の低下は
鯵められなかった。
第１図は従来の垂直＄化紀鈴媒体を説明する図である・
第２図は主Ｓ極七補助任棒を有する磁気ヘッドを説明す
る図である・ｐｇ ５ Ｉ＋はコバルトクロミウム合金
薄膜の結晶構造管説明する知である・鴎４図はロッキン
グカーブを１明する図であるＯ第５図１ｉｔ本発−をＩ
ｌＩ＋明する図である０１・・・基型 ２・・・パーマロイ膜 ３・・・垂Ｗｉ磁イビ膜 ４・・・を気配＃媒体 ５・・・主磁極 ６・・・補助磁極 ７・・・円柱状微°結晶 ８・・・基板 ９・・・酸ｆ？被被 膜０・・・スライダー 以上 出願人 株式会社 軸訪精工舎 察１已 寥２ｍ 寥 ３ 旧 名 ダＸり
第２図は主Ｓ極七補助任棒を有する磁気ヘッドを説明す
る図である・ｐｇ ５ Ｉ＋はコバルトクロミウム合金
薄膜の結晶構造管説明する知である・鴎４図はロッキン
グカーブを１明する図であるＯ第５図１ｉｔ本発−をＩ
ｌＩ＋明する図である０１・・・基型 ２・・・パーマロイ膜 ３・・・垂Ｗｉ磁イビ膜 ４・・・を気配＃媒体 ５・・・主磁極 ６・・・補助磁極 ７・・・円柱状微°結晶 ８・・・基板 ９・・・酸ｆ？被被 膜０・・・スライダー 以上 出願人 株式会社 軸訪精工舎 察１已 寥２ｍ 寥 ３ 旧 名 ダＸり
Claims (1)
- コバルトとクロミウムの合金を主体成分とする膠気ｉｉ
：′伽媒体において該コバルト々ロミウム′ｆ＃膜層の
表面を酸化処理したことを特徴どする磁気１伽一体・
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57014631A JPS58133628A (ja) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57014631A JPS58133628A (ja) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58133628A true JPS58133628A (ja) | 1983-08-09 |
Family
ID=11866540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57014631A Pending JPS58133628A (ja) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58133628A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6050622A (ja) * | 1983-08-29 | 1985-03-20 | Teijin Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| US4729924A (en) * | 1984-12-21 | 1988-03-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Metallic thin film magnetic recording medium having a hard protective layer |
| US4803130A (en) * | 1984-12-21 | 1989-02-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Reactive sputtering process for recording media |
-
1982
- 1982-02-01 JP JP57014631A patent/JPS58133628A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6050622A (ja) * | 1983-08-29 | 1985-03-20 | Teijin Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| JPH0364932B2 (ja) * | 1983-08-29 | 1991-10-09 | ||
| US4729924A (en) * | 1984-12-21 | 1988-03-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Metallic thin film magnetic recording medium having a hard protective layer |
| US4803130A (en) * | 1984-12-21 | 1989-02-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Reactive sputtering process for recording media |
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