JPS58130437A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS58130437A JPS58130437A JP57012733A JP1273382A JPS58130437A JP S58130437 A JPS58130437 A JP S58130437A JP 57012733 A JP57012733 A JP 57012733A JP 1273382 A JP1273382 A JP 1273382A JP S58130437 A JPS58130437 A JP S58130437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- recording medium
- silicon carbide
- substrate
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はコバルトクロミウム垂直碍化膜の表面にシリコ
ンカーバイド薄膜を形成した磁気記録媒体に関する。
ンカーバイド薄膜を形成した磁気記録媒体に関する。
近年ＶＴＲｏ発展及びコンピューターの大衆化に伴ない
磁気記録テープ、磁気記録ディスクの高密度化が急速に
進展している。中でも最も注目されているのは垂直磁化
記録と呼ばれる磁気記録方式である。垂直磁化記録方式
に用いられる記録媒体は第１図に示す如（ＰＥＴ等のフ
レキシブルあ１− るいはアルミニウム等のリジッドな基板１上にパーマロ
イ膜２を約５０００Ｈの厚みに形成し更にその上にクロ
ミウムを２０アトミツクパーセント含有したコバルトク
ロミウム合金膜３が形成されている。最上部に形成され
ているコバルトクロミウム合金膜３は基板１に対して垂
直に磁化しやすい特性を有している。この新しい記録媒
体への記録再生は新しい構造の磁気ヘッドが用しられる
。
磁気記録テープ、磁気記録ディスクの高密度化が急速に
進展している。中でも最も注目されているのは垂直磁化
記録と呼ばれる磁気記録方式である。垂直磁化記録方式
に用いられる記録媒体は第１図に示す如（ＰＥＴ等のフ
レキシブルあ１− るいはアルミニウム等のリジッドな基板１上にパーマロ
イ膜２を約５０００Ｈの厚みに形成し更にその上にクロ
ミウムを２０アトミツクパーセント含有したコバルトク
ロミウム合金膜３が形成されている。最上部に形成され
ているコバルトクロミウム合金膜３は基板１に対して垂
直に磁化しやすい特性を有している。この新しい記録媒
体への記録再生は新しい構造の磁気ヘッドが用しられる
。
その概要を第２図に示す。コバルトクロミウム合金記録
媒体４の上部に主磁極５と称するタンサク状パターンの
パーマロイ膜が構成され、その反対側には補助磁極６と
称する棒状のフェライトにコイルを巻きつけた磁極が配
置される。との構造の磁気ヘッドによシコバルトクロミ
ウム合金記録媒体への記録再生が行なわれる。
媒体４の上部に主磁極５と称するタンサク状パターンの
パーマロイ膜が構成され、その反対側には補助磁極６と
称する棒状のフェライトにコイルを巻きつけた磁極が配
置される。との構造の磁気ヘッドによシコバルトクロミ
ウム合金記録媒体への記録再生が行なわれる。
コバルトクロミウム合金はその結晶構造は六方最密構造
であシ、それを０．０ＩＴｏｒ？−程度のアルゴン圧力
でスパッタ法によシ薄膜を形成すると基板面に対し垂直
に立った円柱状の構造となり、垂直磁気異方性が生じる
。その様子を第３図に水子。Ｃ２− 軸方向に長い円柱状微結晶７が基板８上に立っている。
であシ、それを０．０ＩＴｏｒ？−程度のアルゴン圧力
でスパッタ法によシ薄膜を形成すると基板面に対し垂直
に立った円柱状の構造となり、垂直磁気異方性が生じる
。その様子を第３図に水子。Ｃ２− 軸方向に長い円柱状微結晶７が基板８上に立っている。
このＣ軸が基板の垂直方向に沿っているほど磁気異方性
が高く記録も容易で再生出力も高い。
が高く記録も容易で再生出力も高い。
この垂直方向からのずれはＸ線回折によシ測定すること
ができロッキングカーブと称され△θ５ｏなる特性で呼
ばれている。即ち第４図に示す如きロッキングカーブで
通常コバルトクロミウム薄膜は△θ５ｏは５度以下とな
る。即ち円柱状微結晶のほとんどがそのＣ軸の基板垂直
方向からの傾きが５度以内に揃っているこ−どになる。
ができロッキングカーブと称され△θ５ｏなる特性で呼
ばれている。即ち第４図に示す如きロッキングカーブで
通常コバルトクロミウム薄膜は△θ５ｏは５度以下とな
る。即ち円柱状微結晶のほとんどがそのＣ軸の基板垂直
方向からの傾きが５度以内に揃っているこ−どになる。
通常ＰＥＴ基板もしくはアルミニウム基板上にスパッタ
法で形成したコバルトクロミウム合金薄膜の場合には△
θ５゜は３度以下になる。
法で形成したコバルトクロミウム合金薄膜の場合には△
θ５゜は３度以下になる。
通常は更にコバルトクロミウム合金薄膜の下に抗磁力の
小なる磁性膜、例えばパーマロイ等の薄膜を形成して気
密度記録を可能とし、低ノイズ高再生出力を実現してい
る。従って通常例えばＰＩＴ等のフレキシブルな基板の
上にパーマロイ、コバルトクロミウム合金の薄膜が約５
０００オングストロームづつ形成された形となっておシ
、記録３− 媒体の表面は金属表面がむき出しのままと彦っている。
小なる磁性膜、例えばパーマロイ等の薄膜を形成して気
密度記録を可能とし、低ノイズ高再生出力を実現してい
る。従って通常例えばＰＩＴ等のフレキシブルな基板の
上にパーマロイ、コバルトクロミウム合金の薄膜が約５
０００オングストロームづつ形成された形となっておシ
、記録３− 媒体の表面は金属表面がむき出しのままと彦っている。
この様な構造となっている為に従来のＹＦ３２０ｇを用
いた磁気記録媒体の表面とは全く異なった現象を示す。
いた磁気記録媒体の表面とは全く異なった現象を示す。
特に表面を記録再生ヘッドが摺動していった場合に従来
の磁気記録媒体よりも傷がつき易く、長期信頼性に不安
がある。本発明はこの欠点を除去し信頼性の高い高密度
磁気記録媒体を完成したものである。
の磁気記録媒体よりも傷がつき易く、長期信頼性に不安
がある。本発明はこの欠点を除去し信頼性の高い高密度
磁気記録媒体を完成したものである。
以下に図について本発明を説明する。
第５図は本発明の詳細な説明する図である。基板１の上
に小抗磁力磁性膜なるパーマロイ膜２及び垂磁化記録膜
なるコバルトクロミウム合金膜３が形成されていること
は従来の基本構造と同一であるが、本発明では更にその
上に耐摩耗層なるシリコンカーバイドＳａＣの薄膜９が
形成され、信頼性を飛躍的に向上せしめている。即ちシ
リコンカーバイドＳｉＣの薄膜を１０００オングストロ
ーム程度伺着せしめるだけで同一トラック上１００万パ
ルス以上の信頼性を確保することができた。
に小抗磁力磁性膜なるパーマロイ膜２及び垂磁化記録膜
なるコバルトクロミウム合金膜３が形成されていること
は従来の基本構造と同一であるが、本発明では更にその
上に耐摩耗層なるシリコンカーバイドＳａＣの薄膜９が
形成され、信頼性を飛躍的に向上せしめている。即ちシ
リコンカーバイドＳｉＣの薄膜を１０００オングストロ
ーム程度伺着せしめるだけで同一トラック上１００万パ
ルス以上の信頼性を確保することができた。
基板１はアルミニウムの様なリジッドの場合でも４−
ＰＥＴやポリイミドの様なフレキシブルの場合でも同様
にシリコンカーバイド膜形成の効果があった。記録媒体
の両側には主磁極５と補助磁極６がチタバリ等の材質の
スライダー１０によシ固定されて記録媒体との摺動を滑
らかなものとする構成と々っている。シリコンカーバイ
ドＳａＣの厚みは厚くする程信頼性は向上するが、厚く
なシすぎ℃と垂直磁化記録膜２と主磁極５の先端との距
離が遠く々るために１再生信号出力が小さくなシ、ノイ
ズが多く々る等のトラブルが発生するので、シリコンカ
ーバイドＳｉＣの厚みは垂直磁化記録膜２とヘッドの特
性金考慮して決定される。第５図においてヘッドは基本
的なタイプで示したが、本発明の効果は更にこの方式を
発表させた構造のものや従来のリングタイプのものに対
しても同様に発揮されることはいうまでもない。又記録
媒体においても小抗磁力磁性体膜２がパーマロイ以外の
材質であってもあるいは全くない場合でもシリコンカー
バイドＥＩｉＣ膜の効果は全く変らない。
にシリコンカーバイド膜形成の効果があった。記録媒体
の両側には主磁極５と補助磁極６がチタバリ等の材質の
スライダー１０によシ固定されて記録媒体との摺動を滑
らかなものとする構成と々っている。シリコンカーバイ
ドＳａＣの厚みは厚くする程信頼性は向上するが、厚く
なシすぎ℃と垂直磁化記録膜２と主磁極５の先端との距
離が遠く々るために１再生信号出力が小さくなシ、ノイ
ズが多く々る等のトラブルが発生するので、シリコンカ
ーバイドＳｉＣの厚みは垂直磁化記録膜２とヘッドの特
性金考慮して決定される。第５図においてヘッドは基本
的なタイプで示したが、本発明の効果は更にこの方式を
発表させた構造のものや従来のリングタイプのものに対
しても同様に発揮されることはいうまでもない。又記録
媒体においても小抗磁力磁性体膜２がパーマロイ以外の
材質であってもあるいは全くない場合でもシリコンカー
バイドＥＩｉＣ膜の効果は全く変らない。
シリコンカーバイドＳａＣ薄膜を形成する手だ５−
てとしてはＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、高周波スパッタ、
マグネトロンスパッタ、イオンブレーティング等が適用
されうるがＰ’ＥＴ等の軟化点の低い材質の基板に対し
ては、マグネトロンスパッタ法が有効であった。
マグネトロンスパッタ、イオンブレーティング等が適用
されうるがＰ’ＥＴ等の軟化点の低い材質の基板に対し
ては、マグネトロンスパッタ法が有効であった。
以下に実施例について本発明を説明する。
実施例１
５０ミクロン厚のＰＥＴ基板上にパーマロイ膜５０００
オングストローム、コバルトクロミウム合金膜５０００
オングストローム形成し、更にシリコンカーバイドター
ゲットの下に永久磁石を構成したマグネトロンスパッタ
によ）アルゴン分圧２ Ｘ Ｌ（ＶＩＩＴｏｒｒの条件
で基板温度１０°０℃以下でシリコンカーバイド薄膜を
形成した。この記録媒体でヘッドを装着したところ通常
ｌＯ万パス位で再生信号出力が低下するところを１５０
万パスを越えても再生信号出力の低下は認められなかっ
た。
オングストローム、コバルトクロミウム合金膜５０００
オングストローム形成し、更にシリコンカーバイドター
ゲットの下に永久磁石を構成したマグネトロンスパッタ
によ）アルゴン分圧２ Ｘ Ｌ（ＶＩＩＴｏｒｒの条件
で基板温度１０°０℃以下でシリコンカーバイド薄膜を
形成した。この記録媒体でヘッドを装着したところ通常
ｌＯ万パス位で再生信号出力が低下するところを１５０
万パスを越えても再生信号出力の低下は認められなかっ
た。
第１図は従来の垂直磁化記録媒体を説明する図６一
である。第２図は主磁極と補助磁極を有する磁気ヘッド
を説明する図である。第３図はコバルトクロミウム合金
薄膜の結晶構造を説明する図である。 第４図はロッキングカーブを説明する図である。 第５図は本発明を説明する図である。 １・・基板 ２・・パーマロイ膜３・・垂直硼
化膜 ４・・磁気記録媒体５・・主磁極 ６・
・補助磁極 ７・・円柱状微結晶 ８・・基板 ９Φ・シリコンカーバイド薄膜 】（）・・スライダー 以 上 出願人 株式会社諏訪精工舎 ７− 第１ｍ 茶２図 ′ｉＪＢ日
を説明する図である。第３図はコバルトクロミウム合金
薄膜の結晶構造を説明する図である。 第４図はロッキングカーブを説明する図である。 第５図は本発明を説明する図である。 １・・基板 ２・・パーマロイ膜３・・垂直硼
化膜 ４・・磁気記録媒体５・・主磁極 ６・
・補助磁極 ７・・円柱状微結晶 ８・・基板 ９Φ・シリコンカーバイド薄膜 】（）・・スライダー 以 上 出願人 株式会社諏訪精工舎 ７− 第１ｍ 茶２図 ′ｉＪＢ日
Claims (1)
- コバルトとクロミウムの合金を主体成分とする磁気記録
媒体において該コバルトクロミウム合金の薄膜の上にシ
リコンカーバイドの薄膜を形成したことを特徴とする磁
気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57012733A JPS58130437A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57012733A JPS58130437A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58130437A true JPS58130437A (ja) | 1983-08-03 |
Family
ID=11813632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57012733A Pending JPS58130437A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58130437A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4777068A (en) * | 1984-08-10 | 1988-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical recording medium |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP57012733A patent/JPS58130437A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4777068A (en) * | 1984-08-10 | 1988-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical recording medium |
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