JPS58123714A - 粒界層型磁器誘電体及びその製造方法 - Google Patents

粒界層型磁器誘電体及びその製造方法

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JPS58123714A
JPS58123714A JP630982A JP630982A JPS58123714A JP S58123714 A JPS58123714 A JP S58123714A JP 630982 A JP630982 A JP 630982A JP 630982 A JP630982 A JP 630982A JP S58123714 A JPS58123714 A JP S58123714A
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JP
Japan
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grain boundary
layer type
dielectric material
type porcelain
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JP630982A
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板倉 鉉
黒田 孝之
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は酸化亜鉛(ZnO)の粒界にB、 、 srの
うち少なくとも1種及びT1からなる酸化物誘電体層を
設けて得る粒界層型磁器誘電体及びその製造方法に関す
るものである。
従来より、チタン酸バリウムやチタン酸ストロンチウム
を主体とする半導体磁器粒界を再酸化または原子価補償
することにより得られる粒界層型半導体磁器コンデンサ
は良く知られている。すなわち、これらの粒界層型半導
体磁器コンデンサは、まずチタン酸バリウムやチタン酸
ストロンチウムに原子価制御元素を微量添加し、中性雰
囲気または還元雰囲気中で高温焼成゛することにより半
導体磁器を作製し、この後、空気中で熱処理して粒界を
再酸化するか原子価補償することにより粒界のみを絶縁
化することができ、薄い誘電体層を並列に接続したと同
等の効果が得られるため、見掛は上きわめて大きな誘電
率が得られるものである。。
しかしながら、チタン酸バリウムやチタン酸ストロンチ
ウムを主体とする上記の半導体コンデンサは、半導体磁
器を作製するために中空雰囲気や還元雰囲気中で焼成し
なければならないため、焼成炉雰囲気コントロールが重
要な特性制御要因となり、特に量産炉においては雰囲気
の安定性を得るために条件設定に相当高度な技術を要す
るものであった。また、設備上も空気中焼成の炉に比較
してきわめてコスト高になるといった欠点があった。
本発明は上述のような欠点を考慮し、空気中で焼成可能
な粒界層型磁器誘電体及びその製造方法を提供するもの
である。
以下、本発明を実施例に基づき説明する。
・実施例1〉 ZnOを99.8〜99.0モル% 、 BaCO30
,2A−1,0モルチからなる混合粉末を13.01l
llφ×1.。
11tに成型し、1200〜14oO℃で大気中で焼成
して得た焼結体表面にBi2O,20〜60モル% 、
 Ti0z 80〜60モルチからなる混合物を有機バ
インダーで付着し、11oo〜12oo℃で大気中で熱
処理する。この後、焼結体の両面に銀電極を設ける。下
記の第1表はこのようにして得られた素子の特性を示す
ものである。
(以下余白) なお、上記の焼結体で焼成温度が1200℃より低い温
度ではZnOが十分に焼結せず、結晶粒が成長しないの
で良くない。また、焼成温度が1400℃を超えると異
常粒成長をして結晶粒が不均一になるので好ましくない
。次に、Bi2O5とTiO2とを焼結体表面に付着し
て熱処理すると、粒界にBi2O5とTi02が拡散す
るが、その熱処理温度が1000℃よりも低温では内部
まで十分に拡散しにくい。また、1200℃よりも高い
熱溶1:1゜ 理温度では粒界層が破断し、粒子間は導通状態となるの
で好ましくない。さらに、付着物でBi2O5を全5く
用いずTiO2のみを付着して熱処理した場合は粒界に
拡散されにくく、znTlo5が焼結体表面に生じるだ
けで粒界にはTiが均一に存在しないことになる。すな
わち、Bi2O3の存在によって粒界に81とTiが均
一に拡散されるようになり、例えば1160℃、6時間
の熱処理ではB1が飛散し、TiとBaが均一に存在す
ることになる。以1〕の結果はX線マイクロ解析により
確認された。
実施例2〉 一ヒ記実施例1におけるBaCO5を5rQO,に置換
して全く同等の処理を行った。下記の第2表にこの場合
における代表例の特性を示す。
(第 2 表) 以上、実施例に基づき本発明を説明したが、大気中で焼
成して得られる高誘電率粒界層型磁器誘電体を提供でき
る点で、本発明はきわめて有意義なものである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (11ZnOを主体とする焼結体の粒界に13a 、 
    srのうち少なくとも一元素及びTiまたはT′1とB
    iの酸化物からなる誘電体層を設けてなることを特徴と
    する粒界層型磁器誘電体。 、2+  ZnO粉末にBaCO3、5r00s (D
    うち少なくとも1種類の化合物を添加してなる混合物を
    成型し、大気中で焼成して得た焼結体に、Bi2O3及
    びTlO2からなる混合物を付着して後、大気中で熱処
    理して得ることを特徴とする粒界層型磁器誘電体の製造
    方法。
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