JPS58122449A - 発光分光分析装置の発光装置 - Google Patents
発光分光分析装置の発光装置Info
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- JPS58122449A JPS58122449A JP416882A JP416882A JPS58122449A JP S58122449 A JPS58122449 A JP S58122449A JP 416882 A JP416882 A JP 416882A JP 416882 A JP416882 A JP 416882A JP S58122449 A JPS58122449 A JP S58122449A
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、発光分光分析装置の発光装置の改良に関し、
特に分析時間を増大することなく分析精度の向上を計る
ことのできる発光分光分析装置の発光装置を提供するも
のである。
特に分析時間を増大することなく分析精度の向上を計る
ことのできる発光分光分析装置の発光装置を提供するも
のである。
発光分光分析の原理は、試料と電極の間で火花放電を行
なわせるとそこから光を発する。その光は試料に含まれ
ている元素の種類により特定の波長のスペクトル線とな
る。スペクトル強度は含有量とある一定の関係をもって
いるのでスペクトル線の強さを測定すると試料中の各元
素の定量をすることができる。
なわせるとそこから光を発する。その光は試料に含まれ
ている元素の種類により特定の波長のスペクトル線とな
る。スペクトル強度は含有量とある一定の関係をもって
いるのでスペクトル線の強さを測定すると試料中の各元
素の定量をすることができる。
このような原理にもとづく発光分光分析装置は、第１図
に示す如く発光装置■と分光装置■と信号処理装置用と
表示装置■とから構成されている。
に示す如く発光装置■と分光装置■と信号処理装置用と
表示装置■とから構成されている。
そして上記発光装置Ｉは、試料１との間に火花放電せし
める電極２と、放電用電圧を出力する′酸諒装置３と、
電極２と電源装置３との間の電気路に設けたオンオフス
イッチ４と、このオンオフスイッチ４を定時間間隔でオ
ンオフせしめるオンオフ制御器５とからなる。
める電極２と、放電用電圧を出力する′酸諒装置３と、
電極２と電源装置３との間の電気路に設けたオンオフス
イッチ４と、このオンオフスイッチ４を定時間間隔でオ
ンオフせしめるオンオフ制御器５とからなる。
第２図仏）は、上記発光装置１のスイッチ４．制御器５
からなる電圧印加制御装置６による試料１−電極２間へ
の電圧印加パターンを示し、１．は上記制御装置６の制
御器５によるスイッチ４のオンオフ周期であり、ｔｏは
電圧印加時間である。上記時間１．は、火花放電による
良好な発光を電圧印加毎に得るために必要な放電待時間
であり、通常１゜）１．５ｍ５ｅｃが必要とされている
。なおｎは試料ｌの分析に必要な電圧印加（火花放電ま
たは発光）回数を示す。また回数ｎは、オンオフ周期１
．の固定された電圧印加制御装置６では電圧印加を制御
する時間Ｔで決る。
からなる電圧印加制御装置６による試料１−電極２間へ
の電圧印加パターンを示し、１．は上記制御装置６の制
御器５によるスイッチ４のオンオフ周期であり、ｔｏは
電圧印加時間である。上記時間１．は、火花放電による
良好な発光を電圧印加毎に得るために必要な放電待時間
であり、通常１゜）１．５ｍ５ｅｃが必要とされている
。なおｎは試料ｌの分析に必要な電圧印加（火花放電ま
たは発光）回数を示す。また回数ｎは、オンオフ周期１
．の固定された電圧印加制御装置６では電圧印加を制御
する時間Ｔで決る。
第１図において、分光装置ｎは、電極２と試料１間の各
発光をレンズ７、スリット８を介して回折格子９で元素
毎のスペクトル線に分光し、元素毎に設置された光電管
１０へ導くようになっている０ 第２図（Ｂ）ｒよ、第２図（Ａ）の電圧印加パターンに
よる光電管１０の出力電流パターン（スペクトル強度ハ
ターン）を示したものである。
発光をレンズ７、スリット８を介して回折格子９で元素
毎のスペクトル線に分光し、元素毎に設置された光電管
１０へ導くようになっている０ 第２図（Ｂ）ｒよ、第２図（Ａ）の電圧印加パターンに
よる光電管１０の出力電流パターン（スペクトル強度ハ
ターン）を示したものである。
信号処理装置■は、上記分光装置■の光電管１０から時
間ｔ１間隔でｎ個出力される出力電流（スペクトル情報
）を信号処理し７て・例えば含有１等を表示装置■へ出
力表示する。この信号処理装置の具体的構成は、例えば
光電管１０からのｎ個の光電流を積分する積分器１１と
、この積分器１１の積分値をとり出し増幅した強度値と
、標準強度値と比較演算する増幅演算器１２とよりなる
。
間ｔ１間隔でｎ個出力される出力電流（スペクトル情報
）を信号処理し７て・例えば含有１等を表示装置■へ出
力表示する。この信号処理装置の具体的構成は、例えば
光電管１０からのｎ個の光電流を積分する積分器１１と
、この積分器１１の積分値をとり出し増幅した強度値と
、標準強度値と比較演算する増幅演算器１２とよりなる
。
以上の様な構成の発光分光分析装置では、試料１中の１
ケ所の定量分析を行なうために必要な分析時間はｔｌ
Ｘｎ （ｍ ｓ ｅ’ｃ 〕必要とされる。
ケ所の定量分析を行なうために必要な分析時間はｔｌ
Ｘｎ （ｍ ｓ ｅ’ｃ 〕必要とされる。
ところで一般に金属試料においては、試料内に偏析があ
るとか、試料中に小さなピンホール等があるため、試料
１ケ所の測定では、正しい分析値が得られないことが多
い。
るとか、試料中に小さなピンホール等があるため、試料
１ケ所の測定では、正しい分析値が得られないことが多
い。
そこで従来の発光分光分析装置においては、試料１を移
動することによって、発光装置ｌの電極２と試料ｌとの
対向位置をかえて、試料１の複数点に対して発光分光分
析し、それら分析値の平均値を代表値として取扱う方法
を実施している。この方法によれば分析精度の向上効果
が得られるけハども、分析時間が増大する欠点がある。
動することによって、発光装置ｌの電極２と試料ｌとの
対向位置をかえて、試料１の複数点に対して発光分光分
析し、それら分析値の平均値を代表値として取扱う方法
を実施している。この方法によれば分析精度の向上効果
が得られるけハども、分析時間が増大する欠点がある。
本発明は・上記欠点を解消して分析精度向上をｄするも
のでろ力、その技術思想は、試料を移動し電極と試料と
の対向位置をかえて試料の分析点数を増す従来の考え方
を排して、発光分光分析装置の分光装置の光軸上に間隔
を存して、かつ試料と所定間隙を存して複数の電極を配
置して、この複数の電極に火花放電用電圧を順番に、か
つ各電極ともに所定の放電待時間間隔で所定短時間印加
するようにして、ある電圧印加制御時間内に従来の単一
電極を備えた発光装置の場合に得られるスペクトル情報
数を・試料の複数箇所から各々得て、分析時間の増大な
しに、また試料の移動セツティングなしに、分析精度の
向上を図るものである。
のでろ力、その技術思想は、試料を移動し電極と試料と
の対向位置をかえて試料の分析点数を増す従来の考え方
を排して、発光分光分析装置の分光装置の光軸上に間隔
を存して、かつ試料と所定間隙を存して複数の電極を配
置して、この複数の電極に火花放電用電圧を順番に、か
つ各電極ともに所定の放電待時間間隔で所定短時間印加
するようにして、ある電圧印加制御時間内に従来の単一
電極を備えた発光装置の場合に得られるスペクトル情報
数を・試料の複数箇所から各々得て、分析時間の増大な
しに、また試料の移動セツティングなしに、分析精度の
向上を図るものである。
本発明の要旨は、発光分光分析装置の光軸上に間隔を存
して、かつ試料と所定間隙を存して配置 □した複数
の電極と、この電極へ火花放電用電圧を出力する電源装
置と、この電源装置の出力電圧を上記複数の電極に順番
に、かつ各電極ともに所定の放電待時間間隔で所定短時
間印加する電圧印加制御装置とよりなる発光分光分析装
置の発光装置にある。
して、かつ試料と所定間隙を存して配置 □した複数
の電極と、この電極へ火花放電用電圧を出力する電源装
置と、この電源装置の出力電圧を上記複数の電極に順番
に、かつ各電極ともに所定の放電待時間間隔で所定短時
間印加する電圧印加制御装置とよりなる発光分光分析装
置の発光装置にある。
以下本発明の発光分光分析装置の発光装置の一実施例に
ついて詳しく説明する。
ついて詳しく説明する。
第３図において、２ａ及び２ｂは発光分光分析装置の分
光装置Ｈの光軸１３上に間隔を存して、かつ試料１と所
定間隙を存して配置した一対の電極で、４ａ及び４ｂは
上記電極２ａ及び２ｂと放電用電圧を出力する電源装置
３との間の電気路１４ａ及び１４ｂに設けたオンオフス
イッチで、５は上記スイッチ ４ａ及び ４ｔ＋ｉオン
オンするオンオフ制御器で、６は上記スイッチ ４ａ及
び ４ｂとオンオフ制御器５とよりなる電圧印加制御装
置である。この制御装置６は、周期ｔ１／２で電極２ａ
、２ｂに交互に時間ｔｏだけ放電用電圧を印加する。詳
しくは、装置６の制御器５は、一定オ′ン時間ｔｏで、
かつオンオフ周期１．でスイッチ ４ａをオンオフせし
め、第４図（Ａ）に示す如く電極２ａに火花放電用電圧
を印加すると共にスイッチ ４ｂを上記スイッチ ４ａ
のオンタイミングから時間ｔｌ／２だけ遅れて一定オン
時間ｔｏで、かつオンオフ周期１．でオンオフせしめ、
第４図（Ｂ）に示す如く電極２ｂに火花放電用電圧を印
加する。
光装置Ｈの光軸１３上に間隔を存して、かつ試料１と所
定間隙を存して配置した一対の電極で、４ａ及び４ｂは
上記電極２ａ及び２ｂと放電用電圧を出力する電源装置
３との間の電気路１４ａ及び１４ｂに設けたオンオフス
イッチで、５は上記スイッチ ４ａ及び ４ｔ＋ｉオン
オンするオンオフ制御器で、６は上記スイッチ ４ａ及
び ４ｂとオンオフ制御器５とよりなる電圧印加制御装
置である。この制御装置６は、周期ｔ１／２で電極２ａ
、２ｂに交互に時間ｔｏだけ放電用電圧を印加する。詳
しくは、装置６の制御器５は、一定オ′ン時間ｔｏで、
かつオンオフ周期１．でスイッチ ４ａをオンオフせし
め、第４図（Ａ）に示す如く電極２ａに火花放電用電圧
を印加すると共にスイッチ ４ｂを上記スイッチ ４ａ
のオンタイミングから時間ｔｌ／２だけ遅れて一定オン
時間ｔｏで、かつオンオフ周期１．でオンオフせしめ、
第４図（Ｂ）に示す如く電極２ｂに火花放電用電圧を印
加する。
本発明の発光分光分析装置の発光装置Ｉは以上の如く構
成している。なお第３図のＩｌｌ、ｆＶは、第１図と同
一物品を示す。
成している。なお第３図のＩｌｌ、ｆＶは、第１図と同
一物品を示す。
前記第３図の本発明の発光装置ｌによれば、試料１の異
なる２ケ所から、前記第１図の従来の発光装置Ｉの％の
周期ｔ １ ／２で火花放電による発光を生じせしめる
ことができる。このとき本発明装置３ノ電極２ａ又は２
ｂは試料１との間に、第１図の従来装置Ｉと同様に、発
光不良を防止するために必須の放電待時間（ｔＩ−ｔｏ
）を有する周期１１で火花放電を行なうから発光不良は
生じない。
なる２ケ所から、前記第１図の従来の発光装置Ｉの％の
周期ｔ １ ／２で火花放電による発光を生じせしめる
ことができる。このとき本発明装置３ノ電極２ａ又は２
ｂは試料１との間に、第１図の従来装置Ｉと同様に、発
光不良を防止するために必須の放電待時間（ｔＩ−ｔｏ
）を有する周期１１で火花放電を行なうから発光不良は
生じない。
そして、分光装置■の一元素についてスペクトル強度に
対応する光電流（スペクトル情報）を出力する光電管１
０は、第４図（Ｃ）に示す如く本発明の発光装置■では
、従来の発光装置■のイの周期ｔ１／２で、２倍の光電
流（スペクトル情報）を信号処理装置■の積分器１１へ
出力する。
対応する光電流（スペクトル情報）を出力する光電管１
０は、第４図（Ｃ）に示す如く本発明の発光装置■では
、従来の発光装置■のイの周期ｔ１／２で、２倍の光電
流（スペクトル情報）を信号処理装置■の積分器１１へ
出力する。
例えば第１図の発光装置Ｉの制御装置６で制御時間をＴ
とすると、スペクトル情報はｎ個となるが、第３図の発
光装置Ｉの制御装置６の制御時間を同じくＴとすると、
電極２ａの試料１対向位置からｎ個のスペクトル情報が
、また電極２ｂの試料１対向位置からｎ個のスペクトル
情報が信号処理装置■の積分器１１に与えられることに
なり、分析時間を増大することなく外析精度τ向上する
ことができる。
とすると、スペクトル情報はｎ個となるが、第３図の発
光装置Ｉの制御装置６の制御時間を同じくＴとすると、
電極２ａの試料１対向位置からｎ個のスペクトル情報が
、また電極２ｂの試料１対向位置からｎ個のスペクトル
情報が信号処理装置■の積分器１１に与えられることに
なり、分析時間を増大することなく外析精度τ向上する
ことができる。
なお電極毎に、即ち試料発光位置毎に分析値を得たい場
合には、信号処理装置■内でスペクトル情報を電極毎に
弁別処理するようにすれば良い。
合には、信号処理装置■内でスペクトル情報を電極毎に
弁別処理するようにすれば良い。
例えば第５図に示す如く、例えば一対の積分器］ｌａ
、ｌｌｂを設け、光電管ｌＯからの光電流を電極２ａ
＋ ２． ｂ毎に上記積分器１１ａ、ｌｌｂへ弁別して
出力する第１切換スイツチ１５を設けると共に、上記積
分器］、、ｌｆａ、ｌｌｂの出力を弁別して増幅演算器
１２へ出力する第２切換スイツチ１６を設けて、上記ス
イッチ１５を前記制御装置６の制御器５０オン信号に連
動して切換作動せしめることにｉり信号処理装置ｍ内で
電極毎、即ち異なる試料位置２ケ所の分析値を同時に得
ることができる。更に２つの分析値から代表値を得るよ
う上記装置ｌＩＩを構成することもできる。
、ｌｌｂを設け、光電管ｌＯからの光電流を電極２ａ
＋ ２． ｂ毎に上記積分器１１ａ、ｌｌｂへ弁別して
出力する第１切換スイツチ１５を設けると共に、上記積
分器］、、ｌｆａ、ｌｌｂの出力を弁別して増幅演算器
１２へ出力する第２切換スイツチ１６を設けて、上記ス
イッチ１５を前記制御装置６の制御器５０オン信号に連
動して切換作動せしめることにｉり信号処理装置ｍ内で
電極毎、即ち異なる試料位置２ケ所の分析値を同時に得
ることができる。更に２つの分析値から代表値を得るよ
う上記装置ｌＩＩを構成することもできる。
以上詳述した様に、本発明の発光分光分析装置の発光装
置によれば・試料の移動セツティングなしに・また分析
時間の増大なしに分析精度の向上を図ることができ工業
上極めて有効である。
置によれば・試料の移動セツティングなしに・また分析
時間の増大なしに分析精度の向上を図ることができ工業
上極めて有効である。
第１図及び第２図は、従来の発光分光分析装置の発光装
置の説明図、第３図及び第４図は、本発明の発光分光分
析装置の発光装置の実施例１明図第５図は本発明の発光
装置の実施例と組み合せ使用することが好ましい発光分
光分析装置の信号処理装置の実施例説明図である。 ■・・・・・発光装置 ■・・・・・分光装置 ■・・・・・信号処理装置 ■・・・・・表示装置 １・・・・・試料 ２・・・・・電極 ３・・・・・電源装置 ４・・・・・オンオフスイッチ ５・・・・・オンオフ制御器 ６・・・・・電圧印加制御装置 ７・・・ ・レンズ ８・ ・・・ ・スリット ９・・・・・回折格子 １０・・・・光電管 １１・・・・積分器 １２・・・・増幅演算器 出 願 人 新日本製鐵株式会社 第１図 第２図 第３図 ４ 第４凶 第５ｖｊＡ
置の説明図、第３図及び第４図は、本発明の発光分光分
析装置の発光装置の実施例１明図第５図は本発明の発光
装置の実施例と組み合せ使用することが好ましい発光分
光分析装置の信号処理装置の実施例説明図である。 ■・・・・・発光装置 ■・・・・・分光装置 ■・・・・・信号処理装置 ■・・・・・表示装置 １・・・・・試料 ２・・・・・電極 ３・・・・・電源装置 ４・・・・・オンオフスイッチ ５・・・・・オンオフ制御器 ６・・・・・電圧印加制御装置 ７・・・ ・レンズ ８・ ・・・ ・スリット ９・・・・・回折格子 １０・・・・光電管 １１・・・・積分器 １２・・・・増幅演算器 出 願 人 新日本製鐵株式会社 第１図 第２図 第３図 ４ 第４凶 第５ｖｊＡ
Claims (1)
- 発光分光分析装置の分光装置の光軸上に間隔を存して、
かつ試料と所定間隙を存して配置した複数の電極と、こ
の電極へ火花放電用電圧を出力する電源装置と、この電
源装置の出力電圧を上記複数の電極に順番に、かつ各電
極と′もに所定の放電待時間間隔で所定短時間印加する
電圧印加制御装置とよりなる発光分光分析装置の発光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP416882A JPS58122449A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 発光分光分析装置の発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP416882A JPS58122449A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 発光分光分析装置の発光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58122449A true JPS58122449A (ja) | 1983-07-21 |
| JPS636828B2 JPS636828B2 (ja) | 1988-02-12 |
Family
ID=11577202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP416882A Granted JPS58122449A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 発光分光分析装置の発光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58122449A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006145500A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Horiba Ltd | グロー放電発光分析方法、グロー放電発光分析装置、及び電力生成装置 |
| WO2010121757A1 (de) * | 2009-04-21 | 2010-10-28 | Oblf Gesellschaft Für Elektronik Und Feinwerktechnik Mbh | Verfahren und vorrichtung zur spektrometrischen elementanalyse |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006078455A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Horiba Ltd | グロー放電発光分析装置、及びグロー放電発光分析方法 |
-
1982
- 1982-01-14 JP JP416882A patent/JPS58122449A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006145500A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Horiba Ltd | グロー放電発光分析方法、グロー放電発光分析装置、及び電力生成装置 |
| JP4484674B2 (ja) * | 2004-11-24 | 2010-06-16 | 株式会社堀場製作所 | グロー放電発光分析装置 |
| WO2010121757A1 (de) * | 2009-04-21 | 2010-10-28 | Oblf Gesellschaft Für Elektronik Und Feinwerktechnik Mbh | Verfahren und vorrichtung zur spektrometrischen elementanalyse |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS636828B2 (ja) | 1988-02-12 |
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