JPS58117058U - 走査電子顕微鏡用カソ−ドルミネツセンス装置 - Google Patents

走査電子顕微鏡用カソ−ドルミネツセンス装置

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Publication number
JPS58117058U
JPS58117058U JP1434082U JP1434082U JPS58117058U JP S58117058 U JPS58117058 U JP S58117058U JP 1434082 U JP1434082 U JP 1434082U JP 1434082 U JP1434082 U JP 1434082U JP S58117058 U JPS58117058 U JP S58117058U
Authority
JP
Japan
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electron microscope
scanning electron
detection means
parabolic mirror
light detection
Prior art date
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JP1434082U
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JPS6326926Y2 (ja
Inventor
節雄 則岡
長谷川　与一
一郎 安藤
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は本考案による走査電子顕微鏡用カソー
ドルミネッセンス装置の実施例を示す断面略図、第３図
は説明のためめ参考図そある。 １：電子線〈２：試料、３：カソードルミネッセンス、
４：放物面鏡、４ａＨ電子線通過孔、５：支持金具、６
：試料移動装置、７：鏡筒壁、８：光取出窓、９：光検
出器、１０：集光ライトパイプ、゛１１：金具、１２：
２次電子検出器、１３：第２放物面鏡。 ・　−補正昭５’ｌ　５．　＆’、　−−図面の簡単な
説明を次のように補正する。 −明細書の１図面の簡単な説明」の欄第６頁下から２行
目を次の通り補正する。 ［面略図、第３図は、本考案の効果を説明するための図
である。１−

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）走査電子顕微鏡の壁に設置すられた耐真空ガラス
    と′、該ガラスを挾んで鏡筒内に設けられその・光軸と
    入射電子線中心軸が鋭角をなすよう設置された放物面鏡
    と、大気側に光検出手段を備え、前記放物面鏡に穿され
    た細孔を通過する電子線が放物面鏡の焦点に置かれる試
    料を照射したとき発生する光が該放物面鏡によって平行
    ビームとして前記耐真空ガラスを挿過して前記検出手段
    に入射するよる構成したことを特徴とする走査電子顕微
    鏡用カソードルミネッセンス装置。
  2. （２）前記光検出手段を大気側に設けら７れた第２の放
    物面鏡とその焦点位置に設けられた光検出素子によって
    構成したことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
    項記載の走査電子顕微鏡用カソードルミネッセンス装置
    。
JP1434082U 1982-02-04 1982-02-04 走査電子顕微鏡用カソ−ドルミネツセンス装置 Granted JPS58117058U (ja)

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JPS58117058U true JPS58117058U (ja) 1983-08-10
JPS6326926Y2 JPS6326926Y2 (ja) 1988-07-21

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4846265A (ja) * 1971-10-05 1973-07-02
JPS517072A (ja) * 1974-07-08 1976-01-21 Satsuki Kitani

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4846265A (ja) * 1971-10-05 1973-07-02
JPS517072A (ja) * 1974-07-08 1976-01-21 Satsuki Kitani

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JPS6326926Y2 (ja) 1988-07-21

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