JPS58108403A - 光電式測長装置 - Google Patents

光電式測長装置

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JPS58108403A
JPS58108403A JP56141335A JP14133581A JPS58108403A JP S58108403 A JPS58108403 A JP S58108403A JP 56141335 A JP56141335 A JP 56141335A JP 14133581 A JP14133581 A JP 14133581A JP S58108403 A JPS58108403 A JP S58108403A
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Japan
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light
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JP56141335A
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JPH0423203B2 (ja
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Tsunemi Gonda
権田 常躬
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Nikon Corp
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Nikon Corp
Nippon Kogaku KK
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Publication date
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Publication of JPH0423203B2 publication Critical patent/JPH0423203B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、比較的微小な距離を測定する測長装置に関す
る。
従来、この種の装置として例えば工具顕微鏡が知られて
いる。
しかしこれは、測定値が機械系を経て変位量の形で出力
されるので測定値を電気信号の形で得るには変位量を電
気信号に変換する手段が必要であった。また機械系に厳
密な工作精度が要求された。
本発明は、測定値を機械系を経ることなく直接電気信号
の形で得られる光電式測長装置を提供することにある。
以下本発明の実施例を図面に従って説明する。
第1図において第1と第2の測定点a%bから発せられ
た互いに平行な第1と第2の光線Lm。
Lbは、それぞれ走査チャート1、集光レンズ2を通過
し、第2図にその正面を示した受光器3の第1と第2の
受光素子3畠と5bに入射する。走査チャート1は、測
定点a、bの距離方向に透過率が一定周期で変化するパ
ターンを有す−る。図中点模様の所は光が透過不可能な
部分であり、模様のない所は光が透過可能な部分である
。またこの走査チャート1は、不図示の駆動装置により
測定点a% bの距離方向(図中矢印方向)に一定速度
で変位させられる。
従ってこの走査チャート1を透過した光線Lm、Lbに
対応する第1と第2の受光素子5 a、 3 hの光電
出力は、互いに位相がずれた矩形波となる。
第5図において内矩形波出力と走査チャート1とを照合
して見ることができる。同図(a)において、走査チャ
ート1の光透過部分と不透過部分との境界は、走査方向
(矢印図示)に対しである傾き角ψを成している。光線
La%Lbは、走査方向に距離りを隔てた2点Pa%P
bでこのチャート1を通過する。受光素子5m、5bか
らは同図(b)、(C)に示す矩形波信号が得られる。
両信号の位相差は、2点間1.2の距離りに比例し%K
ID(Kl:比例定数)で表わされる。
第1図には、第1と第2の測定点a、bを集光レンズ2
の光軸を中心に906回転させたところに位置する第3
、第4の測定点Ill、  βも示されている。両点か
ら発せられた第5、第4の光線Ll1%Lβは、第3図
(a)に示す2点pg%ppでチャート1を通過し、第
1図、第2図に示した受光器5の第5、第4の受光素子
3信、3βに入射する。餉3図(d)、(e)には、2
点pm%Pp間の距離がP識、Pb間の距離りと等しく
、がつ上記パターンの境界の傾き角ψが45°である時
の受光素子sm、spの出力が示されている。
この場合第3図(a)〜(d)でよく分るように受光素
子5a、Sbの出力の位相差KIDと受光素子sa、s
pの出力の位相差KtDは等しくなる。
次により実用的な円板形の走査チャートについて説明す
る。第4図において、円周を桐等分すると光透過部、不
透過部一対の中心角へは 2rとなる。ここでチャート
1oのパターンの傾きdy/dxを1(すなわち傾き角
45°)となるようにする。
dy/dx=dr/dx=1  (r :境界と半径線
との交点から中心までの距離) ここでdx=rdθであるので曲成は次式のように書け
る。
d r / r dθ=1 これを次式のように書き換え、両辺を積分する・d r
 / r w dθ f d r / r = f dθ log r =θ+C r=Aeθ θ−00時r=R(R:円板内周円の直径)であるから
上式は次式となる。
r = Reel 従ってチャート10のパターンの境界なReθの曲線で
等間隔にパターニングすれば先の傾き角ψが45°のチ
ャート1と同等のものが得られる。この円板状走査チャ
ート1′は、モータにより回転させれば良いのでチャー
トの駆動装置が簡単な構成にできる。
次に本発明を眼球の曲率半径を測定するオフサルモメー
タに適用した実施例を説−する。第5図において、第1
と第2の光入射系10.11から出た光線L10とLl
lは互いに角度な成して眼球12に入射する。光線L1
0とLllを共に眼球の半径の一〇点12aに集まるよ
うに調定すると、眼球120表面の2点a% bで反射
した光線La、Lbは眼球の中心12bと点12aを通
る軸0に対して平行となる。この時入射光線L10と軸
0とが成す角をi9’Jすると、反射光線Laの軸0か
らのずれ量dは次式%式% 故Ie−2点畠、6間の・距離りは以下のようになる。
従ってこの距離りが分れ、ば眼球の曲率半径rstを求
めることができる。
互いに平行な反射光線La%Lbは軸0を光軸とする集
光レンズ15を通過し、ハーフミラ−74で反射されて
、モータMにより一定速度で回転する走査チャート11
に向かう。そして両党線La、LbはチャートI′を透
過して、それぞれ受光素子5a、Sbに至る。位相差検
出回路15は、画素子の出力の位相差を検出する。演算
回路16は、回路15の検出結果から2点間の距離D1
さらには眼球の曲率半径ruを算出し、表示回路17に
その結果を表示させる。
ハーフミラ−を透過した光線Lm% Lbは、光軸0と
平行であるならば集光レンズ13の焦点fpで交わる。
両光線が光軸0に平行でない場合は、焦点が光軸0の上
下いずれかにずれてしまう。従って接眼レンズ18を介
して観察しながら焦点fpが光軸上に来るようにオフサ
ル七メータと眼球とを光軸0方′向に相対変位させれば
、反射光Lm、Lbは光軸0に対して平行にすることが
できる。
また、本実施例を利用して光軸0が眼球の中心12bを
通るようにする軸合せの調節を電気的に行なうことがで
きる。そのためにはまず光軸0を通る光線を受ける受光
素子の出力もしくはそれと等しい基準信号(第6図(a
))を作成する。
そしてこの信号と上記第1の受光素子5aの出力(第6
図(b))及び第2の受光素子5bの出力(第6図(C
))との位相差φ1、φ鵞を検出し、同位相差が等しく
なるように眼球とオフサルモメー・りとを光軸0と直角
な方向に相対変位させれば良い。
この調節は、上述の反射光Lm、Lbを光軸0に対して
平行にする調節に先だって行なわれる。
なお、本実施例では簡単化のためにab両点間の距離を
測定する場合のみを図示したが、第1図に示したように
ab両点を90°回転させた償β両点間の距離も同時に
測定できるように構成することが望ましい。これにより
眼球の直交する2方向の曲率半径が検出でき、乱視の原
因である眼球表面の非球面性が分かる。
走査チャー)1.1’は、反射率が周期的に変化するパ
ターンが付された反射型のものでも良い。
この場合受光素子5m、3bは、再測定点から発せられ
、賎走査チャート°で反射された光を受ける。
以上説明したように本発明の光電式測長装置によhば2
点間の距離を非接触で測定でき、しかも測定結果を機械
系を経ることなく直接電気信号の形で検出するので機械
系の寸法誤差等に影響されない正確な測定結果を簡単な
構成で得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は本発明の一実施例の主要部を示す図、
第3図は同実施例の走査チャートと光電出力の関係を示
す図、第4図は同走査チャートの改良例を示す図、第5
図は同実施例をオ7サルモメータに適用した例を示す図
である。 〈主要部分の符号の説明〉 第1の受光素子・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・3m第2の受光素子・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・3b走査チヤート・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・1.11駆動手段・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・M
距離検出回路・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・15出願人  日本光学工業株
式会社 代理人  渡 辺 隆 男 7t′2図 、t、3図 オA図 手続補正書(方式) 昭和58年2月、2日 1、事件の表示 昭和56年 特許順路141335号 2、発明の名称 充電式測長装置 3、補正をする者 事件との関係   特許出願人 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 (411)日本光学工業株式会社 コアキモト タカチル 取締役社長 小 秋 元 隆 輝 4、代理人 〒140東京部品川区西大井1丁目6番3号6、補正の
対象 明細書の「図面の簡単な説明」の欄

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)  第1と第2の測定点間の距離を測定する測長
    装置において、 前記第1と第2の測定点から発せられた第1と第2の光
    線を受ける第1と第2の受光素子と: 前記第1と第2の測定点と第1と第2の受光素子の間に
    配設され、透過率又は反射率が前記第1゛と第2の光線
    の距離方向に対して周期的に変化するパターンが付され
    た走査チャートと: 該走査チャートを前記第1と第2の光線の距離方向に所
    定速度で変位させる駆動手段と:該所定速度で変位する
    走査チャートを透過又は反射した前記第1と第2の光線
    に対応する前記第1と第2の受光素子の出力から前記第
    1と第2の測定点間の距離に対応する電気信号を出力す
    る距離検出回路とを有することを特徴とする光電式測長
    装置。 (2)  III記距離検出回路は、前記第1と第2の
    受光素子出力の位相差を検出することを特徴とする特許
    請求の範囲第1項記載の光電式測長装置。 (!S)  fjl記走査チャートのパターンは、光透
    過部と光不透過部との繰り返しパターンであって、該光
    透過部と不透過部との境界線が前記第1と第2の光線の
    距離方向に対して45°の角度を成していることを特徴
    とする特許請求の範囲第2項記載の光電式測長装置。 (4)  1]記走査4− . F kt 円臀状テア
    7 ”’Cs % 記パターンは円板外周部に付されて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第3項乃至第3r
    r4記載の光電式測長装置。
JP56141335A 1981-09-08 1981-09-08 光電式測長装置 Granted JPS58108403A (ja)

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JP56141335A JPS58108403A (ja) 1981-09-08 1981-09-08 光電式測長装置

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JPS58108403A true JPS58108403A (ja) 1983-06-28
JPH0423203B2 JPH0423203B2 (ja) 1992-04-21

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