JPS58107295A - ろう合金 - Google Patents
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- JPS58107295A JPS58107295A JP57182222A JP18222282A JPS58107295A JP S58107295 A JPS58107295 A JP S58107295A JP 57182222 A JP57182222 A JP 57182222A JP 18222282 A JP18222282 A JP 18222282A JP S58107295 A JPS58107295 A JP S58107295A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の5+、′、/′r!1な説明
本発明の分野
本発明は電子システム中のチップを支持する基板への入
出力電気接続ピン及び他の構成素子の接着に係り、更に
具体的に云えば、チップの連続的再加熱と適合する方法
によりチップを支持する基板及びそのピンの電子回路相
互接続を行うために有用な接着用合金に係る。
出力電気接続ピン及び他の構成素子の接着に係り、更に
具体的に云えば、チップの連続的再加熱と適合する方法
によりチップを支持する基板及びそのピンの電子回路相
互接続を行うために有用な接着用合金に係る。
本発明の目的
□
本発明の目的は、基板に又は基板自体が接着されている
表面に接続されているピンとの間の接着を乱すことなく
基板上に於けるチップの経済的な付着又は交換を可能に
する合金を提供することである0換言すると、本発明の
目的は、チップを基板上に保持するはんだ接続部を融解
させるために必要な温度に加熱されても構造体が何ら影
響を受けない様な融点を有している、ピン等を基板にそ
して基板をその支持体に接着するための合金を提供する
ことである。更に、本発明の目的は、その様な結果を得
るために更に金を用いるよりも経済的なろうを提供する
ことである。
表面に接続されているピンとの間の接着を乱すことなく
基板上に於けるチップの経済的な付着又は交換を可能に
する合金を提供することである0換言すると、本発明の
目的は、チップを基板上に保持するはんだ接続部を融解
させるために必要な温度に加熱されても構造体が何ら影
響を受けない様な融点を有している、ピン等を基板にそ
して基板をその支持体に接着するための合金を提供する
ことである。更に、本発明の目的は、その様な結果を得
るために更に金を用いるよりも経済的なろうを提供する
ことである。
多層セラミック基板の如き電子チップを支持する基板に
素子をろう付けするには、再加工即ち基板上のチップの
除去及び交換に於てチップを支持する鉛−錫はんだポー
ルを加熱するために必要とされる高温でも強さを保つろ
う材又ははんだ材を用いることが必要である。この問題
に対する1つの一般的解決方法は、ろう付は後の融点が
当初の融点の280“Cよりも高くなる金−錫ろうを用
いることである。
素子をろう付けするには、再加工即ち基板上のチップの
除去及び交換に於てチップを支持する鉛−錫はんだポー
ルを加熱するために必要とされる高温でも強さを保つろ
う材又ははんだ材を用いることが必要である。この問題
に対する1つの一般的解決方法は、ろう付は後の融点が
当初の融点の280“Cよりも高くなる金−錫ろうを用
いることである。
従来に於て、回路接続ピンは再加工の加熱中に傾いて整
合状態を失う傾向があり、又多数の再加工サイクルによ
り7ランジの封正に問題が生じているので、本発明に於
ては、ろう材に銅(これは、ろう材中の合金の高融点β
相の量を増大させて、接着後の融点を上昇させる)及び
ニッケル、パラジウム又は他の第■族の金属(これは、
錫を融解物から引出すこと又は錫のゲッタリングにより
金及び銅1の錫に1対ゴる見かけの比率を1増、犬さ;
せてA’cr−8n合金のβ相の形成を増進させること
により、冷却後に又ろう材の凝縮後にさえもろう接合部
の融点を上昇させる傾向がある)をろう材に加えること
によって、ろう合金がろう付は中に修正される。
合状態を失う傾向があり、又多数の再加工サイクルによ
り7ランジの封正に問題が生じているので、本発明に於
ては、ろう材に銅(これは、ろう材中の合金の高融点β
相の量を増大させて、接着後の融点を上昇させる)及び
ニッケル、パラジウム又は他の第■族の金属(これは、
錫を融解物から引出すこと又は錫のゲッタリングにより
金及び銅1の錫に1対ゴる見かけの比率を1増、犬さ;
せてA’cr−8n合金のβ相の形成を増進させること
により、冷却後に又ろう材の凝縮後にさえもろう接合部
の融点を上昇させる傾向がある)をろう材に加えること
によって、ろう合金がろう付は中に修正される。
先行技術
米国特許第364835 ’7号の明細書は、コパール
及びガラスのハウジングとコパール合金(Ni1Fe、
Co)のカバーとを、共融性金−錫ろうを用℃・て相互
に気密封止することについて開示している。この米国特
許明細書は、「相互に封止される(5) べきハウジングとカバーとの端部周辺の間にろう材のプ
リフォームを・・・・・・」配置することによって、そ
の様なパッケージが封止されていることを記載している
。更に、相互にろう付けされるべき部品が「封止装置中
に配置されそして・・・・・・ろう材をカバー及びハウ
ジングへ融着せしめるに充分な温度に加熱される。残念
ながら、この様にして封止されたパッケージには、かな
りの部分に不完全な気密封止が生じる。空隙を含むこと
により封止部に漏洩が生じるだけでなく、ろう材を融解
させて封止部を形成するために必要とされる温度は上記
パッケージに含まれている超小型電子装置を損傷させる
に充分であり得る。」と記載している。
及びガラスのハウジングとコパール合金(Ni1Fe、
Co)のカバーとを、共融性金−錫ろうを用℃・て相互
に気密封止することについて開示している。この米国特
許明細書は、「相互に封止される(5) べきハウジングとカバーとの端部周辺の間にろう材のプ
リフォームを・・・・・・」配置することによって、そ
の様なパッケージが封止されていることを記載している
。更に、相互にろう付けされるべき部品が「封止装置中
に配置されそして・・・・・・ろう材をカバー及びハウ
ジングへ融着せしめるに充分な温度に加熱される。残念
ながら、この様にして封止されたパッケージには、かな
りの部分に不完全な気密封止が生じる。空隙を含むこと
により封止部に漏洩が生じるだけでなく、ろう材を融解
させて封止部を形成するために必要とされる温度は上記
パッケージに含まれている超小型電子装置を損傷させる
に充分であり得る。」と記載している。
この米国特許明細書に於ける方法は、Au−8n(80
:20)のプリフォームをハウジングの7ランジと該ハ
ウジング上にはまるカバーのかみ合い表面との両方に被
覆することである。この様にして、両側のろう材のプリ
フォームは、超小型電子装置への損傷が減少される様に
少しの熱しか必要とせずにろう材が融解する低温に於て
、相互に(4) 接合され得る。しかしながら、コバール合金はAu:S
nろう材とよく反応しないので、始めにコバール合金の
表面が金めつきによって被覆される。
:20)のプリフォームをハウジングの7ランジと該ハ
ウジング上にはまるカバーのかみ合い表面との両方に被
覆することである。この様にして、両側のろう材のプリ
フォームは、超小型電子装置への損傷が減少される様に
少しの熱しか必要とせずにろう材が融解する低温に於て
、相互に(4) 接合され得る。しかしながら、コバール合金はAu:S
nろう材とよく反応しないので、始めにコバール合金の
表面が金めつきによって被覆される。
それから、めっきされたハウジング及びカバーにプリフ
ォームがろう付けされた。予め錫をめっきした場合には
、コパールのめつきされた表面から金が溶ける程迄、ろ
う材の融点を上昇させるという欠点を生じた。この米国
特許明細書に於ける技術の目的は、平衡状態で金をろう
材中に溶かし込むことになる400°Cの温度ではなく
、約330“C迄低く融点を保つことであった。そのよ
り低い温度の使用は、平衡状態に於て、めっきされた金
の一部のみが[ろう材中に溶は込む」様にする0本発明
に於て、接着用合金に於て金の代りに銅を用いることに
よって、同様な利点が得られ、更に材料として銅はコス
トがより低いのでコストの点で相当に有利であることが
解った。
ォームがろう付けされた。予め錫をめっきした場合には
、コパールのめつきされた表面から金が溶ける程迄、ろ
う材の融点を上昇させるという欠点を生じた。この米国
特許明細書に於ける技術の目的は、平衡状態で金をろう
材中に溶かし込むことになる400°Cの温度ではなく
、約330“C迄低く融点を保つことであった。そのよ
り低い温度の使用は、平衡状態に於て、めっきされた金
の一部のみが[ろう材中に溶は込む」様にする0本発明
に於て、接着用合金に於て金の代りに銅を用いることに
よって、同様な利点が得られ、更に材料として銅はコス
トがより低いのでコストの点で相当に有利であることが
解った。
通常、当技術分野に於ては、パラジウムの薄膜を有する
コバール合金より成るピンと、モリブデンの薄膜上に付
着されたニッケル・パッドとが接合される。用いられる
ろう材はAu−8nのろう合金である。上記Pd層は、
超小型電子回路の製造に於て通常予測される10回のろ
う再流動のうち約4回の再流動の後に溶けてしまう。そ
の結果、コバール合金のピン及び下のバットからNi
がろう中に浸出する問題が生じる。その様な浸出は好
ましくない付着を生じて、装置全体を不良なものKして
しまう◇従って、ろうが再融解され、その結果不純物が
ろう中に導入されて、コバール合金との界面が弱くなる
ためVcfJI品を破壊することなく、上記再流動に於
てろうを反復的に再加熱し得ることが切望されている。
コバール合金より成るピンと、モリブデンの薄膜上に付
着されたニッケル・パッドとが接合される。用いられる
ろう材はAu−8nのろう合金である。上記Pd層は、
超小型電子回路の製造に於て通常予測される10回のろ
う再流動のうち約4回の再流動の後に溶けてしまう。そ
の結果、コバール合金のピン及び下のバットからNi
がろう中に浸出する問題が生じる。その様な浸出は好
ましくない付着を生じて、装置全体を不良なものKして
しまう◇従って、ろうが再融解され、その結果不純物が
ろう中に導入されて、コバール合金との界面が弱くなる
ためVcfJI品を破壊することなく、上記再流動に於
てろうを反復的に再加熱し得ることが切望されている。
IBM Technical Disclosure
Bulletin。
Bulletin。
第21巻、第8号、第3118頁(1979年1月刊)
に於けるAjnslie 等による[A u /、S
n /Ag Braze A11oyJと題する論
文は、Be−Cu接触ピン又はコパール(Nj%Co%
F@)のピンの電子パッケージ用のろう合金(67Au
/bについて記載している。どちらの場合にも、元素周
期律表の第1B族の金#(Cu)又は第■族の金属(N
i、 Fe、 Co )がBe−Cuピン又はコバール
・ピン中に含まれているが、それらは本発明によって得
られる効果を達成し得ない0更に%67All対15S
nの比率の上記合金は、低融点による合金のろう付けの
後に、より融点の高いろう接合部の形成を可能にする、
低い共融点を有する8 0/20の比率の合金とは異な
る。従って、ここで必要とされるものとは逆の温度効果
が生じる。しかしながら、上記合金中の18%のAgは
、形成される合金の融点を上昇させる第1B族金属であ
るので、金の代替物として働く。更に、合金成分として
のAgはCuよりも高価である。
に於けるAjnslie 等による[A u /、S
n /Ag Braze A11oyJと題する論
文は、Be−Cu接触ピン又はコパール(Nj%Co%
F@)のピンの電子パッケージ用のろう合金(67Au
/bについて記載している。どちらの場合にも、元素周
期律表の第1B族の金#(Cu)又は第■族の金属(N
i、 Fe、 Co )がBe−Cuピン又はコバール
・ピン中に含まれているが、それらは本発明によって得
られる効果を達成し得ない0更に%67All対15S
nの比率の上記合金は、低融点による合金のろう付けの
後に、より融点の高いろう接合部の形成を可能にする、
低い共融点を有する8 0/20の比率の合金とは異な
る。従って、ここで必要とされるものとは逆の温度効果
が生じる。しかしながら、上記合金中の18%のAgは
、形成される合金の融点を上昇させる第1B族金属であ
るので、金の代替物として働く。更に、合金成分として
のAgはCuよりも高価である。
本発明の要旨
本発明によれば、部品が略共融のAu:Sn及びCuの
ろうを用いて低温で相互に接着され、そして処理中にそ
の融点が共融点よりも相当に高く上昇される。これは、
超小型電子回路上での再流動に於て、ろう付けされたピ
ンの傾斜、ろうの強度の低下、及び相互にろう付けされ
るべき部品間の(7) 本発明による金属ろう合金によるろう付けに於ては、金
−錫及び銅のろうによって第1表面が第2表面に接合さ
れるが、上記ろうの融点は、ろう付は中に、反復的に再
流動されるろうの当初の融点よりも相当に高い温度迄上
昇され、上記ろうにより形成されたろう接合部は再流動
サイクルによって何ら影響されない。これは、ろう中の
銅及びβ相の量を増加させることによって達成され、そ
の結果ろう中に於けるAu−8n合金の比率が低下する
に従って融点が著しく上昇する〇 好ましくは、本発明の合金によるろう付けに於ては、金
−錫ろうによって第1表面が第2表面にろう付けされる
が、上記金−錫ろうとともに銅の源及び第■族金属の源
をそれらがろう付は中に上記第1及び第2表面に接触す
る様に用いてろうが形成され、そのろう付は中に上記ろ
うの融点は反復的に再流動される上記ろうの当初の融点
よりも相当に高い温度迄上昇され、上記ろうにより形成
されたろう接合部は再流動サイクル冗よって何ら(8) 影響されない。これは、ろう中のβ相の量を増加させる
ことによって達成され、その結果ろう中に於けるAu−
8n合金の比率が低下するに従って融点が著しく上昇す
る。
ろうを用いて低温で相互に接着され、そして処理中にそ
の融点が共融点よりも相当に高く上昇される。これは、
超小型電子回路上での再流動に於て、ろう付けされたピ
ンの傾斜、ろうの強度の低下、及び相互にろう付けされ
るべき部品間の(7) 本発明による金属ろう合金によるろう付けに於ては、金
−錫及び銅のろうによって第1表面が第2表面に接合さ
れるが、上記ろうの融点は、ろう付は中に、反復的に再
流動されるろうの当初の融点よりも相当に高い温度迄上
昇され、上記ろうにより形成されたろう接合部は再流動
サイクルによって何ら影響されない。これは、ろう中の
銅及びβ相の量を増加させることによって達成され、そ
の結果ろう中に於けるAu−8n合金の比率が低下する
に従って融点が著しく上昇する〇 好ましくは、本発明の合金によるろう付けに於ては、金
−錫ろうによって第1表面が第2表面にろう付けされる
が、上記金−錫ろうとともに銅の源及び第■族金属の源
をそれらがろう付は中に上記第1及び第2表面に接触す
る様に用いてろうが形成され、そのろう付は中に上記ろ
うの融点は反復的に再流動される上記ろうの当初の融点
よりも相当に高い温度迄上昇され、上記ろうにより形成
されたろう接合部は再流動サイクル冗よって何ら(8) 影響されない。これは、ろう中のβ相の量を増加させる
ことによって達成され、その結果ろう中に於けるAu−
8n合金の比率が低下するに従って融点が著しく上昇す
る。
本発明は、チップを支持する基板へのピンのろう付け、
又は、チップを支持する基板を支持するためそして気密
封止されたチップ・パッケージング装置に於ける締め具
を設けるために用いられるフランジへの基板のろう付け
に係る。
又は、チップを支持する基板を支持するためそして気密
封止されたチップ・パッケージング装置に於ける締め具
を設けるために用いられるフランジへの基板のろう付け
に係る。
本発明によるろうは構成素子相互間の電子パッケージン
グに適しており、形成されたろう接合部はろう付は処理
に於て用℃・られた当初のろう合金の融点よりも相当に
高い融点を示す。この特徴は、ろう付は処理が後続の製
造処理の行われるべき温度よりも通常低い融点を有する
ろう接合部を生じる場合に、特に重要である。その1例
は、ニッケルめっきされた多層セラミック構造体をAu
−20重量%Snのろう合金(1乃至2回の′550°
Cによるチップ接着処理前の融点は280°C)を用い
て400”Cでろう付けする場合である。問題は、ろう
接合部が550°Cに於て部分的に融解し、次に示す幾
つかの点を含む望ましくない多くの結果な伴うことであ
る。
グに適しており、形成されたろう接合部はろう付は処理
に於て用℃・られた当初のろう合金の融点よりも相当に
高い融点を示す。この特徴は、ろう付は処理が後続の製
造処理の行われるべき温度よりも通常低い融点を有する
ろう接合部を生じる場合に、特に重要である。その1例
は、ニッケルめっきされた多層セラミック構造体をAu
−20重量%Snのろう合金(1乃至2回の′550°
Cによるチップ接着処理前の融点は280°C)を用い
て400”Cでろう付けする場合である。問題は、ろう
接合部が550°Cに於て部分的に融解し、次に示す幾
つかの点を含む望ましくない多くの結果な伴うことであ
る。
1、接合された部材間に相対的移動が生じる。
2、 ろう接合部からSnがニッケルめっきされた表面
へ拡散してNi−8n金属間化合物を形成し、従って良
好な付着に不可欠である未反応のニッケルの表面が枯渇
する・ 3、Au−8nのフィレットが、錫の外方拡散によりそ
して360°CK於てろうのフィレットの液相が除かれ
ることにより、崩壊及び歪曲し、それとともに強度及び
I10ピンの場合には側面の支持が失われる〇 本発明は、相互にろう付けされるべき表面の一方又は両
方に、例えば電気めっき、無電気めっき、真空付着、又
はシルク・スクリーニングの如き任意の適当な手段によ
って、厚い銅層又は銅を豊富に含む層(厚さ0.002
5乃至0.05mm)を付着することを含む。
へ拡散してNi−8n金属間化合物を形成し、従って良
好な付着に不可欠である未反応のニッケルの表面が枯渇
する・ 3、Au−8nのフィレットが、錫の外方拡散によりそ
して360°CK於てろうのフィレットの液相が除かれ
ることにより、崩壊及び歪曲し、それとともに強度及び
I10ピンの場合には側面の支持が失われる〇 本発明は、相互にろう付けされるべき表面の一方又は両
方に、例えば電気めっき、無電気めっき、真空付着、又
はシルク・スクリーニングの如き任意の適当な手段によ
って、厚い銅層又は銅を豊富に含む層(厚さ0.002
5乃至0.05mm)を付着することを含む。
本発明の原理は、Au−8nの状態図に関連して理解さ
れ、又相互にろう付けされる表面を厚い金の層でめっき
する本出願人による特願昭56−185627号の明細
書に記載の技術に関連して理解され得る。
れ、又相互にろう付けされる表面を厚い金の層でめっき
する本出願人による特願昭56−185627号の明細
書に記載の技術に関連して理解され得る。
Au−20重量%Snのろう合金は、室温に冷却された
とき、もろいAu/Sn化合物と延性のある1富に金を
含むβ相との2つの相より成る。その合金は280°C
の融点を有する。その合金に於ける金の含有量の増加は
、室温に於て存在するAu−8nの量を減少させ、又液
相線温度を上昇させる。・従って、例えば350°Cに
再加熱されたとき、その合金は部分的にしか融解しない
。上記基本的合金に充分な金が加えられた場合、例えば
A、u−10Snの組成になる迄充分に加えられた場合
には、350°Cに於てその合金は全く融解せず、室温
に於て構造体中にはもろいAu−8n相が何ら存在しな
い。従って、相互にろう付けされている表面の一方又は
両方に厚い金の層を設けることによって、(11) それらの望ましい結果を得ることが可能であり、又ろう
付は温度に於て液状ろう合金の表面と金の表面との間に
生じる固体−液体間の反応により従来中じている望まし
くない結果を減少又は除去することが可能である。その
結果、当初のろう合金よりも相当に高い融点を有するろ
う接合部が得られる。
とき、もろいAu/Sn化合物と延性のある1富に金を
含むβ相との2つの相より成る。その合金は280°C
の融点を有する。その合金に於ける金の含有量の増加は
、室温に於て存在するAu−8nの量を減少させ、又液
相線温度を上昇させる。・従って、例えば350°Cに
再加熱されたとき、その合金は部分的にしか融解しない
。上記基本的合金に充分な金が加えられた場合、例えば
A、u−10Snの組成になる迄充分に加えられた場合
には、350°Cに於てその合金は全く融解せず、室温
に於て構造体中にはもろいAu−8n相が何ら存在しな
い。従って、相互にろう付けされている表面の一方又は
両方に厚い金の層を設けることによって、(11) それらの望ましい結果を得ることが可能であり、又ろう
付は温度に於て液状ろう合金の表面と金の表面との間に
生じる固体−液体間の反応により従来中じている望まし
くない結果を減少又は除去することが可能である。その
結果、当初のろう合金よりも相当に高い融点を有するろ
う接合部が得られる。
本発明に於ては、上記の厚い金の層の代りに、銅層又は
銅を豊富に含む層、或は銅部材又は銅を豊富に含む部材
が用いられる。上述の望ましいβ相中の金の仕りに銅が
部分的に用いられて、上記結果を達成するだめの安価で
比較的簡単な代替物が得られる。本発明に於ては、(1
)接合部を形成しそしてフィレットの範囲を設定するだ
めに標準的ろう付は温度(例えば400℃)でろう付け
され、(2)成る程度の銅の吸捏をそれに付随する部分
的凝固とともに生ぜしめる様に充分に長い間上記温度に
保たれ、(3)十配銅吸収反応が流出(ゝピンの□上昇
″)を生じる恐れなくより完全に生じ得る様に上記温度
が上昇(例えば425乃至475℃に)され、(4)室
温迄冷却される。
銅を豊富に含む層、或は銅部材又は銅を豊富に含む部材
が用いられる。上述の望ましいβ相中の金の仕りに銅が
部分的に用いられて、上記結果を達成するだめの安価で
比較的簡単な代替物が得られる。本発明に於ては、(1
)接合部を形成しそしてフィレットの範囲を設定するだ
めに標準的ろう付は温度(例えば400℃)でろう付け
され、(2)成る程度の銅の吸捏をそれに付随する部分
的凝固とともに生ぜしめる様に充分に長い間上記温度に
保たれ、(3)十配銅吸収反応が流出(ゝピンの□上昇
″)を生じる恐れなくより完全に生じ得る様に上記温度
が上昇(例えば425乃至475℃に)され、(4)室
温迄冷却される。
(12)
第1図は、通常厚さ約3乃至4μmのニッケル層12で
保護されているモリブデンLバッド11を支持している
多層セラミック基板10を示している。ニッケル層12
上には、厚さ約0.002乃至0.025mの比較的厚
い銅層13が設けられている。銅層16は、Snゲッタ
リング金属の源として働く、Fe、 Co、旧、Ru、
Rh、 Pd、 Os、Ir又はptの如き第■族金
属の厚さ1.25μm迄の極めて薄い層14で被覆され
ている。この例では、ゲッタリング金属層14はニッケ
ルである0次にAl1−5n(so:2o)ろう組成よ
り成るろうのフィレット15が上記各層の頂部に配置さ
れているOこの場合、フィレットは細い金属条片である
。フィレット15の上方には、薄いニッケル層17で被
覆されたコバール合金の基部16より成る通常のピン(
又は、Cuを基材とするビン)19が配置されている。
保護されているモリブデンLバッド11を支持している
多層セラミック基板10を示している。ニッケル層12
上には、厚さ約0.002乃至0.025mの比較的厚
い銅層13が設けられている。銅層16は、Snゲッタ
リング金属の源として働く、Fe、 Co、旧、Ru、
Rh、 Pd、 Os、Ir又はptの如き第■族金
属の厚さ1.25μm迄の極めて薄い層14で被覆され
ている。この例では、ゲッタリング金属層14はニッケ
ルである0次にAl1−5n(so:2o)ろう組成よ
り成るろうのフィレット15が上記各層の頂部に配置さ
れているOこの場合、フィレットは細い金属条片である
。フィレット15の上方には、薄いニッケル層17で被
覆されたコバール合金の基部16より成る通常のピン(
又は、Cuを基材とするビン)19が配置されている。
Au−8nフイレツト15は共融(80:20)合金に
於けるその液相点である約280°C以上に加熱される
と融解し、温度が約390乃至405°C(公称595
°C)に上昇すると、銅層13が第■族金属層14、例
えばニッケル層、の一部とともにAu:Snろう融解物
中に少くとも部分的に融は込む。合金中の金及び銅は、
融解物が冷却した後により高い融点を有するより高い液
相線温度の合金を形成する傾向がある。融解物中のニッ
ケルは融解物中のAu−Sn合金との反応から錫を引き
出してゲッタリングを行い、それによってAu−Sn合
金中で組合せに使用できる錫の量を減らす傾向がある。
於けるその液相点である約280°C以上に加熱される
と融解し、温度が約390乃至405°C(公称595
°C)に上昇すると、銅層13が第■族金属層14、例
えばニッケル層、の一部とともにAu:Snろう融解物
中に少くとも部分的に融は込む。合金中の金及び銅は、
融解物が冷却した後により高い融点を有するより高い液
相線温度の合金を形成する傾向がある。融解物中のニッ
ケルは融解物中のAu−Sn合金との反応から錫を引き
出してゲッタリングを行い、それによってAu−Sn合
金中で組合せに使用できる錫の量を減らす傾向がある。
その効果は、Au−Sn合金中の金及び銅の比率を効果
的により大きくし、それによって金及び銅を豊富に含む
β相の形成を促進することである。その結果書られるろ
う接合部は極めて強く、その融点は極めて高くて、その
後の650乃至660°Cの温度範囲に於けるpb−8
n(95:5)のはんだボールの再流動によっても従来
の如きろう接合部の融解は生じなくなる。
的により大きくし、それによって金及び銅を豊富に含む
β相の形成を促進することである。その結果書られるろ
う接合部は極めて強く、その融点は極めて高くて、その
後の650乃至660°Cの温度範囲に於けるpb−8
n(95:5)のはんだボールの再流動によっても従来
の如きろう接合部の融解は生じなくなる。
第2図では、銅層16′及びニッケルの如き第■族金属
のゲッタリング金属層14′がプリフォームにより基板
10に接合されるべきピン19上に被覆されている。層
13′及び14′の厚さは層13及び14と略同−であ
ることが好ましい。その他の点では、この実施例は第1
図の場合と同一である。銅及び例えばニッケルは、Mo
−Niバッドの頂部に配置され、又はピン19の表面上
に配置され得ることが特徴である。いずれの場合でも、
ろう材が融解するときに1銅及びニッケルがろう融解物
中に導入される。
のゲッタリング金属層14′がプリフォームにより基板
10に接合されるべきピン19上に被覆されている。層
13′及び14′の厚さは層13及び14と略同−であ
ることが好ましい。その他の点では、この実施例は第1
図の場合と同一である。銅及び例えばニッケルは、Mo
−Niバッドの頂部に配置され、又はピン19の表面上
に配置され得ることが特徴である。いずれの場合でも、
ろう材が融解するときに1銅及びニッケルがろう融解物
中に導入される。
第3図では、ピン19がニッケル又は他の第■族金属よ
りなる厚さ約1.25μm又はそれ以下の薄い層14’
で被覆されたCuの基部26によって置き換えられてい
る。Cuの基部は、Au−8n融解物中にCuを加える
ための銅金属の源として働くO従って、第2図の場合と
同様に、ろうの融解相中のろうへの2つの付加物の源は
、Cuの基部26のスタッド上の金属である。
りなる厚さ約1.25μm又はそれ以下の薄い層14’
で被覆されたCuの基部26によって置き換えられてい
る。Cuの基部は、Au−8n融解物中にCuを加える
ための銅金属の源として働くO従って、第2図の場合と
同様に、ろうの融解相中のろうへの2つの付加物の源は
、Cuの基部26のスタッド上の金属である。
第4図では、ピンは第3図の場合と同じであるが、更に
銅及び第■族の金属がフィレットへその溶融相中に上下
から与えられる様に、第1図のニッケル層14及び銅層
13がフィレットの底部に加えられている〇 (15) ル合金の基部16と薄いニッケル層17とより成るコバ
ールのピン(又はCuを基材とスルピン)19が銅層1
3′及びニッケル層14’とともに用いられ、更に銅層
13及びニッケル層14がフィレットの底部に於て第1
図の場合と同様な層12で被覆されたバッド11上に設
けられている。この場合も、銅層13.15′並びにN
i、Pd等の第■族のゲッタリング金属層14.14’
からそれらの金属が、融解したろう合金のフィレット1
5に充分に供給される。
銅及び第■族の金属がフィレットへその溶融相中に上下
から与えられる様に、第1図のニッケル層14及び銅層
13がフィレットの底部に加えられている〇 (15) ル合金の基部16と薄いニッケル層17とより成るコバ
ールのピン(又はCuを基材とスルピン)19が銅層1
3′及びニッケル層14’とともに用いられ、更に銅層
13及びニッケル層14がフィレットの底部に於て第1
図の場合と同様な層12で被覆されたバッド11上に設
けられている。この場合も、銅層13.15′並びにN
i、Pd等の第■族のゲッタリング金属層14.14’
からそれらの金属が、融解したろう合金のフィレット1
5に充分に供給される。
第6図では、第1図又は第3図の型のピン19が、例え
ば1乃至15重量%のNiを含む如き、銅を豊富に含む
Cu −N i合金より成る、銅及びゲッタリング金属
(第■族)のプリフォーム20を包含する様に修正され
た、典型的なAu:Snろうのフィレット15上に配置
されている。ピン19及びバッド11上の層12の上の
余分のニッケル及び銅又は等価物の層は、除かれる必要
はないが、除かれてもよい。
ば1乃至15重量%のNiを含む如き、銅を豊富に含む
Cu −N i合金より成る、銅及びゲッタリング金属
(第■族)のプリフォーム20を包含する様に修正され
た、典型的なAu:Snろうのフィレット15上に配置
されている。ピン19及びバッド11上の層12の上の
余分のニッケル及び銅又は等価物の層は、除かれる必要
はないが、除かれてもよい。
(16)
第7図の実施例は、プリフォーム20がゲッタリング金
属層22で被覆された銅層21のプリフォーム23によ
って置換えられている点を除いて、第6図の実施例と本
質的に同じである。この場合のゲッタリング金属層は、
第1図の層14と同様に、極めて薄い。
属層22で被覆された銅層21のプリフォーム23によ
って置換えられている点を除いて、第6図の実施例と本
質的に同じである。この場合のゲッタリング金属層は、
第1図の層14と同様に、極めて薄い。
第8図の実施例は、プリフォーム23中の銅層21がN
i又は等価物のゲッタリング金属層22でめっきされて
いる点を除いて、第7図の実施例と実質的に同じである
。
i又は等価物のゲッタリング金属層22でめっきされて
いる点を除いて、第7図の実施例と実質的に同じである
。
前述の如く融解しにくくなる理由は以下の通りである。
1、 基板上に支持されたチップのはんだボールの(ろ
う付は後の)最初の再流動によって、加えられたCuと
Au−8n合金との固体状態反応が生じ、より高い融点
を有するβ相のAu :Cu :Sn合金が形成される
。連続的再流動により、合金内で更に反応が生じてβ相
が形成され、それによって通常のAu−8nろうフィレ
ット15の場合に生じた如き劣化を生じない強い接合部
が得られろ。
う付は後の)最初の再流動によって、加えられたCuと
Au−8n合金との固体状態反応が生じ、より高い融点
を有するβ相のAu :Cu :Sn合金が形成される
。連続的再流動により、合金内で更に反応が生じてβ相
が形成され、それによって通常のAu−8nろうフィレ
ット15の場合に生じた如き劣化を生じない強い接合部
が得られろ。
2、 フランジのろう付けでは、もろさのずっと少ない
N i −8n金属間化合物が界面で形成される0更に
、このプロセスはピン19のシャンクに沿ってろう金属
が上昇することを防ぐ。ろうの硬化は、金属の分散沈殿
物を形成する少量のPd又はNiの如き第■族金属を特
に再流動温度で合金を硬化させるSnに加えることによ
って実現される。これは又、β相Au−8n合金の量を
かなりの程度迄増加させることによって、融点を上昇さ
せる。
N i −8n金属間化合物が界面で形成される0更に
、このプロセスはピン19のシャンクに沿ってろう金属
が上昇することを防ぐ。ろうの硬化は、金属の分散沈殿
物を形成する少量のPd又はNiの如き第■族金属を特
に再流動温度で合金を硬化させるSnに加えることによ
って実現される。これは又、β相Au−8n合金の量を
かなりの程度迄増加させることによって、融点を上昇さ
せる。
第9図は、はんだポール38により100個のチップ5
0を支持しており、矩形のフランジ32にろう付けされ
ている基板10を示している0フランジの低い表面33
が基板100周辺上のろうのフィレット31により基板
を支持している。基板10の下にピン19が配置されて
いる07ランジ52は、その頂部に延びる高い表面34
を有している。高い表面34は又、フランジ32の周辺
部を形成し、低い表面33はフランジ32の内側フレー
ムを形成している。
0を支持しており、矩形のフランジ32にろう付けされ
ている基板10を示している0フランジの低い表面33
が基板100周辺上のろうのフィレット31により基板
を支持している。基板10の下にピン19が配置されて
いる07ランジ52は、その頂部に延びる高い表面34
を有している。高い表面34は又、フランジ32の周辺
部を形成し、低い表面33はフランジ32の内側フレー
ムを形成している。
第10図は、ニッケル層!+7で被覆されたMO境界層
36を有する基板10を示している・層37は、ろうの
フィレット31により7ランジの低い表面33にろう付
けされている。1組の電気接続ビン19が基板10の底
部にろう付けされているO第11図は、ろうのフィレッ
ト′51内のプリフォーム59を示している。プリフォ
ーム39は、銅−ニッケル合金又はその等価物より成る
。ろうのフィレット51は、通常のAu−8n(80:
20)ろう材より成る。
36を有する基板10を示している・層37は、ろうの
フィレット31により7ランジの低い表面33にろう付
けされている。1組の電気接続ビン19が基板10の底
部にろう付けされているO第11図は、ろうのフィレッ
ト′51内のプリフォーム59を示している。プリフォ
ーム39は、銅−ニッケル合金又はその等価物より成る
。ろうのフィレット51は、通常のAu−8n(80:
20)ろう材より成る。
第12図は、第11図のプリフォームを修正したものを
示しており、このプリフォームは1対の約0.0006
jEIl迄のニッケル又は等価物(第W族金属)の薄い
層41でめっきされた銅のスラブ40より成る。
示しており、このプリフォームは1対の約0.0006
jEIl迄のニッケル又は等価物(第W族金属)の薄い
層41でめっきされた銅のスラブ40より成る。
本発明の合金を形成するための代替的方法は、最初のA
u−8n (80: 20 )合金中に少量の銅を加え
ることである。例えば、金の代替物として1乃至2重量
%迄のCuが適当である。
u−8n (80: 20 )合金中に少量の銅を加え
ることである。例えば、金の代替物として1乃至2重量
%迄のCuが適当である。
(19)
第15図は、ピンの端接合接着強さくpin pull
strength)のテスト結果を550°Cの熱サイ
クルの数の関数として示している。上方の曲線は直径約
0.94 msのBeCuより成るピンに関するもので
あり、下方の曲線はAu−8n(80:20)ろう材を
有する直径約0.71m1のBeCuよりなるピンに関
するものである。
strength)のテスト結果を550°Cの熱サイ
クルの数の関数として示している。上方の曲線は直径約
0.94 msのBeCuより成るピンに関するもので
あり、下方の曲線はAu−8n(80:20)ろう材を
有する直径約0.71m1のBeCuよりなるピンに関
するものである。
第14図は、第10図乃至第12図の配置を修正したも
のを示している。チップを支持している基板110は、
銅の如き薄い層(又は、金或はパラジウムの代替物の層
)114で被覆された薄いニッケル層より成るパッド1
15を底面に有している0プリフオーム120は、5層
から成っており、上部及び底部には略共融のAu−8n
から成るより厚い層121及び125を有し、プリフォ
ーム120の中心には前述の如くろうの融点を上昇させ
る金属の源を供給する銅、Au−Cu、 Au、 Ag
。
のを示している。チップを支持している基板110は、
銅の如き薄い層(又は、金或はパラジウムの代替物の層
)114で被覆された薄いニッケル層より成るパッド1
15を底面に有している0プリフオーム120は、5層
から成っており、上部及び底部には略共融のAu−8n
から成るより厚い層121及び125を有し、プリフォ
ーム120の中心には前述の如くろうの融点を上昇させ
る金属の源を供給する銅、Au−Cu、 Au、 Ag
。
Pd等の如き金層の薄い層122を有している。
フランジ152は、好ましくは銅、代替的にはAu、A
g或はPdである第1B族金属を少くとも(20) 含む金属、又はそれらの金属と前述の如きNi等の第■
族金属との組合せより成る層134で被覆されたコバー
ル合金より成る。層134の組成物の例としては、Cu
、 AuCuNiu、 CuNi、 AuCuNi等が
ある。
g或はPdである第1B族金属を少くとも(20) 含む金属、又はそれらの金属と前述の如きNi等の第■
族金属との組合せより成る層134で被覆されたコバー
ル合金より成る。層134の組成物の例としては、Cu
、 AuCuNiu、 CuNi、 AuCuNi等が
ある。
プリフォーム120は約0.28乃至0.”、ONの厚
さを有する。基板は約2.5乃至5gの厚さを有し、7
ランジ132は約0.6期の厚さを有している。上記ろ
うが加熱されたとき、前述の結果と極めて同様な結果が
得られ、合金中に更に加えられた第1B族及び第■族の
金属は上記のAu−8n(80:20)の共融点よりも
高く融点を上昇させて、本発明に於ける種類の合金より
成る接合部を形成する・構造体全体のコストを下げるた
めに、第1B族金属として銅が用いられることが好まし
い。
さを有する。基板は約2.5乃至5gの厚さを有し、7
ランジ132は約0.6期の厚さを有している。上記ろ
うが加熱されたとき、前述の結果と極めて同様な結果が
得られ、合金中に更に加えられた第1B族及び第■族の
金属は上記のAu−8n(80:20)の共融点よりも
高く融点を上昇させて、本発明に於ける種類の合金より
成る接合部を形成する・構造体全体のコストを下げるた
めに、第1B族金属として銅が用いられることが好まし
い。
第1図はコネクタ・ピンを支持している多層セラミック
基板の一部を示す図、第2図乃至第8図は異なる第1B
族及び第■族金属の配置又は異なるピン材料により第1
図の構造を修正したものを示す図、第9図は第1図乃至
第8図に示したピンを下面に有して7ランジ上に装着さ
れ、多数の半導体チップを上面に支持している第1図乃
至第8図の基板を一部断面により示す斜視図、第10図
はフランジ及びピンと基板との間のろう接合部を示して
いる、第9図に示した断面の拡大正面図、第11図及び
第12図は第10図の構造の変形例を示す図、第13図
はろう付は後に加熱された350°Cによる熱サイクル
の数の関数としてピンの端接合接着強さを示すグラフ、
第14図は第10図乃至第12図のろう接合部の変形例
を示す図であるっ10・・・・多層セラミック基板、1
1・・・・モリブデン・パッド、12.171.17・
・・・ニッケル層、13v 13’、21・・・・銅層
、 14.14’、22.41・・・・Snゲッタリン
グ金属層(第1族金属層)15.51”Au−8nろう
のフィレット、16・・・・コバール合金の基部、19
・・・・ピン、20.2.15.39・・・・Cu及び
ゲッタリング金属のプリフォーム、26・・・・Cuの
基部、30・・・・チップ、32・・・・7ランジ、5
6・・・・モリブデン境界層、68・・・・はんだボー
ル、40・・・・銅のスラブ。 出願人 インターカンヨカル・ビジネス・マン二Xズ
・コーポレーション代理人 弁理士 岡 1)
次 生(外1名) (26) q FIG、 8 −450− ヘ −15 トー−→ L 第1頁の続き 0発 明 者 ウィリアム・ジョセフ・キング・ジュニ
ア アメリカ合衆国ニューヨーク州 ポーキプシー・マウンテン・ビ ュー・ロード7番地 0発 明 者 ポール・バリー・パーマティアアメリカ
合衆国ニューヨーク州 ヮッピンジャーズ・ホールズ・ モントフオード・ロード40番地 0発 明 者 ジョン・フランシス・サリヴアン アメリカ合衆国ノースカロライ ナ州うレー・ナンバー508ヒル スボロウ・ストリー) 1601番地 451−
基板の一部を示す図、第2図乃至第8図は異なる第1B
族及び第■族金属の配置又は異なるピン材料により第1
図の構造を修正したものを示す図、第9図は第1図乃至
第8図に示したピンを下面に有して7ランジ上に装着さ
れ、多数の半導体チップを上面に支持している第1図乃
至第8図の基板を一部断面により示す斜視図、第10図
はフランジ及びピンと基板との間のろう接合部を示して
いる、第9図に示した断面の拡大正面図、第11図及び
第12図は第10図の構造の変形例を示す図、第13図
はろう付は後に加熱された350°Cによる熱サイクル
の数の関数としてピンの端接合接着強さを示すグラフ、
第14図は第10図乃至第12図のろう接合部の変形例
を示す図であるっ10・・・・多層セラミック基板、1
1・・・・モリブデン・パッド、12.171.17・
・・・ニッケル層、13v 13’、21・・・・銅層
、 14.14’、22.41・・・・Snゲッタリン
グ金属層(第1族金属層)15.51”Au−8nろう
のフィレット、16・・・・コバール合金の基部、19
・・・・ピン、20.2.15.39・・・・Cu及び
ゲッタリング金属のプリフォーム、26・・・・Cuの
基部、30・・・・チップ、32・・・・7ランジ、5
6・・・・モリブデン境界層、68・・・・はんだボー
ル、40・・・・銅のスラブ。 出願人 インターカンヨカル・ビジネス・マン二Xズ
・コーポレーション代理人 弁理士 岡 1)
次 生(外1名) (26) q FIG、 8 −450− ヘ −15 トー−→ L 第1頁の続き 0発 明 者 ウィリアム・ジョセフ・キング・ジュニ
ア アメリカ合衆国ニューヨーク州 ポーキプシー・マウンテン・ビ ュー・ロード7番地 0発 明 者 ポール・バリー・パーマティアアメリカ
合衆国ニューヨーク州 ヮッピンジャーズ・ホールズ・ モントフオード・ロード40番地 0発 明 者 ジョン・フランシス・サリヴアン アメリカ合衆国ノースカロライ ナ州うレー・ナンバー508ヒル スボロウ・ストリー) 1601番地 451−
Claims (1)
- より高い融点を有する合金を得るために銅を加えられて
いることを特徴とする、金と錫との共融混合物を含む金
属ろう合金。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US331717 | 1981-12-17 | ||
US06/331,717 US4634638A (en) | 1981-12-17 | 1981-12-17 | High melting point copper-gold-tin brazing alloy for chip carriers |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58107295A true JPS58107295A (ja) | 1983-06-25 |
JPS592595B2 JPS592595B2 (ja) | 1984-01-19 |
Family
ID=23295078
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57182222A Expired JPS592595B2 (ja) | 1981-12-17 | 1982-10-19 | ろう合金 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4634638A (ja) |
EP (1) | EP0082271B1 (ja) |
JP (1) | JPS592595B2 (ja) |
DE (1) | DE3277174D1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015159784A1 (ja) * | 2014-04-18 | 2015-10-22 | 株式会社村田製作所 | 被着体の接着分離方法、金属複合材料 |
US10513073B2 (en) | 2011-05-10 | 2019-12-24 | Fette Compacting Gmbh | Scraping device for a rotary press, rotary press, and method for operating a rotary press |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH0741159Y2 (ja) * | 1988-10-07 | 1995-09-20 | 日本特殊陶業株式会社 | 気密封止型セラミックパッケージ |
US5021300A (en) * | 1989-09-05 | 1991-06-04 | Raytheon Company | Solder back contact |
US5266522A (en) * | 1991-04-10 | 1993-11-30 | International Business Machines Corporation | Structure and method for corrosion and stress-resistant interconnecting metallurgy |
US5175609A (en) * | 1991-04-10 | 1992-12-29 | International Business Machines Corporation | Structure and method for corrosion and stress-resistant interconnecting metallurgy |
DE4224012C1 (de) * | 1992-07-21 | 1993-12-02 | Heraeus Gmbh W C | Lötfähiges elektrisches Kontaktelement |
GB2276762B (en) * | 1993-04-01 | 1996-10-30 | Plessey Semiconductors Ltd | Mounting arrangement for semiconductor devices |
JP3271475B2 (ja) * | 1994-08-01 | 2002-04-02 | 株式会社デンソー | 電気素子の接合材料および接合方法 |
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US5782740A (en) * | 1996-08-29 | 1998-07-21 | Advanced Cardiovascular Systems, Inc. | Radiation dose delivery catheter with reinforcing mandrel |
DE19730118B4 (de) | 1997-07-14 | 2006-01-12 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Chip-Substrat-Verbindung |
US6131796A (en) * | 1997-10-30 | 2000-10-17 | International Business Machines Corporation | Direct brazing of refractory metal features |
JP4021575B2 (ja) * | 1999-01-28 | 2007-12-12 | 日本碍子株式会社 | セラミックス部材と金属部材との接合体およびその製造方法 |
TW503546B (en) * | 2000-10-13 | 2002-09-21 | Ngk Spark Plug Co | Pin standing resin-made substrate, method of making pin standing resin-made substrate, pin and method of making pin |
JP3910363B2 (ja) | 2000-12-28 | 2007-04-25 | 富士通株式会社 | 外部接続端子 |
US7679185B2 (en) | 2006-11-09 | 2010-03-16 | Interplex Qlp, Inc. | Microcircuit package having ductile layer |
JP6235226B2 (ja) * | 2013-04-09 | 2017-11-22 | 日本特殊陶業株式会社 | 接合構造体及び半導体素子収納用パッケージ |
Family Cites Families (13)
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FR1052958A (fr) * | 1952-03-18 | 1954-01-29 | Csf | Procédé de brasure métal-métal, notamment pour la fermeture des tubes électroniques |
FR1418430A (fr) * | 1963-12-02 | 1965-11-19 | Balzers Patent Beteilig Ag | Procédé de réalisation par évaporation sous vide d'un revêtement métallique adhérent, électriquement conducteur et pouvant être brasé, sur une base solide, et non métallique, par exemple verre ou matière céramique |
US3496630A (en) * | 1966-04-25 | 1970-02-24 | Ltv Aerospace Corp | Method and means for joining parts |
CH444012A (de) * | 1966-08-12 | 1967-09-15 | Centre Electron Horloger | Verfahren zur Herstellung einer Lötverbindung |
US3648357A (en) * | 1969-07-31 | 1972-03-14 | Gen Dynamics Corp | Method for sealing microelectronic device packages |
US3844026A (en) * | 1973-06-14 | 1974-10-29 | T Hutchins | Bond preparation in electrical deflection-sensitive transducer |
JPS5422163A (en) * | 1977-07-21 | 1979-02-19 | Toshiba Corp | Semiconductor device |
JPS5516731A (en) * | 1978-07-20 | 1980-02-05 | Seiko Epson Corp | Watch dial plate |
US4278990A (en) * | 1979-03-19 | 1981-07-14 | General Electric Company | Low thermal resistance, low stress semiconductor package |
US4360142A (en) * | 1979-06-29 | 1982-11-23 | International Business Machines Corporation | Method of forming a solder interconnection capable of sustained high power levels between a semiconductor device and a supporting substrate |
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-
1981
- 1981-12-17 US US06/331,717 patent/US4634638A/en not_active Expired - Lifetime
-
1982
- 1982-10-19 JP JP57182222A patent/JPS592595B2/ja not_active Expired
- 1982-10-26 DE DE8282109887T patent/DE3277174D1/de not_active Expired
- 1982-10-26 EP EP82109887A patent/EP0082271B1/en not_active Expired
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10513073B2 (en) | 2011-05-10 | 2019-12-24 | Fette Compacting Gmbh | Scraping device for a rotary press, rotary press, and method for operating a rotary press |
WO2015159784A1 (ja) * | 2014-04-18 | 2015-10-22 | 株式会社村田製作所 | 被着体の接着分離方法、金属複合材料 |
JPWO2015159784A1 (ja) * | 2014-04-18 | 2017-04-13 | 株式会社村田製作所 | 被着体の接着分離方法、金属複合材料 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3277174D1 (en) | 1987-10-15 |
EP0082271A3 (en) | 1985-01-09 |
JPS592595B2 (ja) | 1984-01-19 |
EP0082271B1 (en) | 1987-09-09 |
EP0082271A2 (en) | 1983-06-29 |
US4634638A (en) | 1987-01-06 |
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