JPS58107295A - ろう合金 - Google Patents

ろう合金

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JPS58107295A
JPS58107295A JP57182222A JP18222282A JPS58107295A JP S58107295 A JPS58107295 A JP S58107295A JP 57182222 A JP57182222 A JP 57182222A JP 18222282 A JP18222282 A JP 18222282A JP S58107295 A JPS58107295 A JP S58107295A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の5+、′、/′r!1な説明 本発明の分野 本発明は電子システム中のチップを支持する基板への入
出力電気接続ピン及び他の構成素子の接着に係り、更に
具体的に云えば、チップの連続的再加熱と適合する方法
によりチップを支持する基板及びそのピンの電子回路相
互接続を行うために有用な接着用合金に係る。
本発明の目的 □ 本発明の目的は、基板に又は基板自体が接着されている
表面に接続されているピンとの間の接着を乱すことなく
基板上に於けるチップの経済的な付着又は交換を可能に
する合金を提供することである0換言すると、本発明の
目的は、チップを基板上に保持するはんだ接続部を融解
させるために必要な温度に加熱されても構造体が何ら影
響を受けない様な融点を有している、ピン等を基板にそ
して基板をその支持体に接着するための合金を提供する
ことである。更に、本発明の目的は、その様な結果を得
るために更に金を用いるよりも経済的なろうを提供する
ことである。
多層セラミック基板の如き電子チップを支持する基板に
素子をろう付けするには、再加工即ち基板上のチップの
除去及び交換に於てチップを支持する鉛−錫はんだポー
ルを加熱するために必要とされる高温でも強さを保つろ
う材又ははんだ材を用いることが必要である。この問題
に対する1つの一般的解決方法は、ろう付は後の融点が
当初の融点の280“Cよりも高くなる金−錫ろうを用
いることである。
従来に於て、回路接続ピンは再加工の加熱中に傾いて整
合状態を失う傾向があり、又多数の再加工サイクルによ
り7ランジの封正に問題が生じているので、本発明に於
ては、ろう材に銅(これは、ろう材中の合金の高融点β
相の量を増大させて、接着後の融点を上昇させる)及び
ニッケル、パラジウム又は他の第■族の金属(これは、
錫を融解物から引出すこと又は錫のゲッタリングにより
金及び銅1の錫に1対ゴる見かけの比率を1増、犬さ;
せてA’cr−8n合金のβ相の形成を増進させること
により、冷却後に又ろう材の凝縮後にさえもろう接合部
の融点を上昇させる傾向がある)をろう材に加えること
によって、ろう合金がろう付は中に修正される。
先行技術 米国特許第364835 ’7号の明細書は、コパール
及びガラスのハウジングとコパール合金(Ni1Fe、
Co)のカバーとを、共融性金−錫ろうを用℃・て相互
に気密封止することについて開示している。この米国特
許明細書は、「相互に封止される(5) べきハウジングとカバーとの端部周辺の間にろう材のプ
リフォームを・・・・・・」配置することによって、そ
の様なパッケージが封止されていることを記載している
。更に、相互にろう付けされるべき部品が「封止装置中
に配置されそして・・・・・・ろう材をカバー及びハウ
ジングへ融着せしめるに充分な温度に加熱される。残念
ながら、この様にして封止されたパッケージには、かな
りの部分に不完全な気密封止が生じる。空隙を含むこと
により封止部に漏洩が生じるだけでなく、ろう材を融解
させて封止部を形成するために必要とされる温度は上記
パッケージに含まれている超小型電子装置を損傷させる
に充分であり得る。」と記載している。
この米国特許明細書に於ける方法は、Au−8n(80
:20)のプリフォームをハウジングの7ランジと該ハ
ウジング上にはまるカバーのかみ合い表面との両方に被
覆することである。この様にして、両側のろう材のプリ
フォームは、超小型電子装置への損傷が減少される様に
少しの熱しか必要とせずにろう材が融解する低温に於て
、相互に(4) 接合され得る。しかしながら、コバール合金はAu:S
nろう材とよく反応しないので、始めにコバール合金の
表面が金めつきによって被覆される。
それから、めっきされたハウジング及びカバーにプリフ
ォームがろう付けされた。予め錫をめっきした場合には
、コパールのめつきされた表面から金が溶ける程迄、ろ
う材の融点を上昇させるという欠点を生じた。この米国
特許明細書に於ける技術の目的は、平衡状態で金をろう
材中に溶かし込むことになる400°Cの温度ではなく
、約330“C迄低く融点を保つことであった。そのよ
り低い温度の使用は、平衡状態に於て、めっきされた金
の一部のみが[ろう材中に溶は込む」様にする0本発明
に於て、接着用合金に於て金の代りに銅を用いることに
よって、同様な利点が得られ、更に材料として銅はコス
トがより低いのでコストの点で相当に有利であることが
解った。
通常、当技術分野に於ては、パラジウムの薄膜を有する
コバール合金より成るピンと、モリブデンの薄膜上に付
着されたニッケル・パッドとが接合される。用いられる
ろう材はAu−8nのろう合金である。上記Pd層は、
超小型電子回路の製造に於て通常予測される10回のろ
う再流動のうち約4回の再流動の後に溶けてしまう。そ
の結果、コバール合金のピン及び下のバットからNi 
 がろう中に浸出する問題が生じる。その様な浸出は好
ましくない付着を生じて、装置全体を不良なものKして
しまう◇従って、ろうが再融解され、その結果不純物が
ろう中に導入されて、コバール合金との界面が弱くなる
ためVcfJI品を破壊することなく、上記再流動に於
てろうを反復的に再加熱し得ることが切望されている。
IBM Technical Disclosure 
Bulletin。
第21巻、第8号、第3118頁(1979年1月刊)
に於けるAjnslie 等による[A u /、S 
n /Ag  Braze  A11oyJと題する論
文は、Be−Cu接触ピン又はコパール(Nj%Co%
F@)のピンの電子パッケージ用のろう合金(67Au
/bについて記載している。どちらの場合にも、元素周
期律表の第1B族の金#(Cu)又は第■族の金属(N
i、 Fe、 Co )がBe−Cuピン又はコバール
・ピン中に含まれているが、それらは本発明によって得
られる効果を達成し得ない0更に%67All対15S
nの比率の上記合金は、低融点による合金のろう付けの
後に、より融点の高いろう接合部の形成を可能にする、
低い共融点を有する8 0/20の比率の合金とは異な
る。従って、ここで必要とされるものとは逆の温度効果
が生じる。しかしながら、上記合金中の18%のAgは
、形成される合金の融点を上昇させる第1B族金属であ
るので、金の代替物として働く。更に、合金成分として
のAgはCuよりも高価である。
本発明の要旨 本発明によれば、部品が略共融のAu:Sn及びCuの
ろうを用いて低温で相互に接着され、そして処理中にそ
の融点が共融点よりも相当に高く上昇される。これは、
超小型電子回路上での再流動に於て、ろう付けされたピ
ンの傾斜、ろうの強度の低下、及び相互にろう付けされ
るべき部品間の(7) 本発明による金属ろう合金によるろう付けに於ては、金
−錫及び銅のろうによって第1表面が第2表面に接合さ
れるが、上記ろうの融点は、ろう付は中に、反復的に再
流動されるろうの当初の融点よりも相当に高い温度迄上
昇され、上記ろうにより形成されたろう接合部は再流動
サイクルによって何ら影響されない。これは、ろう中の
銅及びβ相の量を増加させることによって達成され、そ
の結果ろう中に於けるAu−8n合金の比率が低下する
に従って融点が著しく上昇する〇 好ましくは、本発明の合金によるろう付けに於ては、金
−錫ろうによって第1表面が第2表面にろう付けされる
が、上記金−錫ろうとともに銅の源及び第■族金属の源
をそれらがろう付は中に上記第1及び第2表面に接触す
る様に用いてろうが形成され、そのろう付は中に上記ろ
うの融点は反復的に再流動される上記ろうの当初の融点
よりも相当に高い温度迄上昇され、上記ろうにより形成
されたろう接合部は再流動サイクル冗よって何ら(8) 影響されない。これは、ろう中のβ相の量を増加させる
ことによって達成され、その結果ろう中に於けるAu−
8n合金の比率が低下するに従って融点が著しく上昇す
る。
本発明は、チップを支持する基板へのピンのろう付け、
又は、チップを支持する基板を支持するためそして気密
封止されたチップ・パッケージング装置に於ける締め具
を設けるために用いられるフランジへの基板のろう付け
に係る。
本発明によるろうは構成素子相互間の電子パッケージン
グに適しており、形成されたろう接合部はろう付は処理
に於て用℃・られた当初のろう合金の融点よりも相当に
高い融点を示す。この特徴は、ろう付は処理が後続の製
造処理の行われるべき温度よりも通常低い融点を有する
ろう接合部を生じる場合に、特に重要である。その1例
は、ニッケルめっきされた多層セラミック構造体をAu
−20重量%Snのろう合金(1乃至2回の′550°
Cによるチップ接着処理前の融点は280°C)を用い
て400”Cでろう付けする場合である。問題は、ろう
接合部が550°Cに於て部分的に融解し、次に示す幾
つかの点を含む望ましくない多くの結果な伴うことであ
る。
1、接合された部材間に相対的移動が生じる。
2、 ろう接合部からSnがニッケルめっきされた表面
へ拡散してNi−8n金属間化合物を形成し、従って良
好な付着に不可欠である未反応のニッケルの表面が枯渇
する・ 3、Au−8nのフィレットが、錫の外方拡散によりそ
して360°CK於てろうのフィレットの液相が除かれ
ることにより、崩壊及び歪曲し、それとともに強度及び
I10ピンの場合には側面の支持が失われる〇 本発明は、相互にろう付けされるべき表面の一方又は両
方に、例えば電気めっき、無電気めっき、真空付着、又
はシルク・スクリーニングの如き任意の適当な手段によ
って、厚い銅層又は銅を豊富に含む層(厚さ0.002
5乃至0.05mm)を付着することを含む。
本発明の原理は、Au−8nの状態図に関連して理解さ
れ、又相互にろう付けされる表面を厚い金の層でめっき
する本出願人による特願昭56−185627号の明細
書に記載の技術に関連して理解され得る。
Au−20重量%Snのろう合金は、室温に冷却された
とき、もろいAu/Sn化合物と延性のある1富に金を
含むβ相との2つの相より成る。その合金は280°C
の融点を有する。その合金に於ける金の含有量の増加は
、室温に於て存在するAu−8nの量を減少させ、又液
相線温度を上昇させる。・従って、例えば350°Cに
再加熱されたとき、その合金は部分的にしか融解しない
。上記基本的合金に充分な金が加えられた場合、例えば
A、u−10Snの組成になる迄充分に加えられた場合
には、350°Cに於てその合金は全く融解せず、室温
に於て構造体中にはもろいAu−8n相が何ら存在しな
い。従って、相互にろう付けされている表面の一方又は
両方に厚い金の層を設けることによって、(11) それらの望ましい結果を得ることが可能であり、又ろう
付は温度に於て液状ろう合金の表面と金の表面との間に
生じる固体−液体間の反応により従来中じている望まし
くない結果を減少又は除去することが可能である。その
結果、当初のろう合金よりも相当に高い融点を有するろ
う接合部が得られる。
本発明に於ては、上記の厚い金の層の代りに、銅層又は
銅を豊富に含む層、或は銅部材又は銅を豊富に含む部材
が用いられる。上述の望ましいβ相中の金の仕りに銅が
部分的に用いられて、上記結果を達成するだめの安価で
比較的簡単な代替物が得られる。本発明に於ては、(1
)接合部を形成しそしてフィレットの範囲を設定するだ
めに標準的ろう付は温度(例えば400℃)でろう付け
され、(2)成る程度の銅の吸捏をそれに付随する部分
的凝固とともに生ぜしめる様に充分に長い間上記温度に
保たれ、(3)十配銅吸収反応が流出(ゝピンの□上昇
″)を生じる恐れなくより完全に生じ得る様に上記温度
が上昇(例えば425乃至475℃に)され、(4)室
温迄冷却される。
(12) 第1図は、通常厚さ約3乃至4μmのニッケル層12で
保護されているモリブデンLバッド11を支持している
多層セラミック基板10を示している。ニッケル層12
上には、厚さ約0.002乃至0.025mの比較的厚
い銅層13が設けられている。銅層16は、Snゲッタ
リング金属の源として働く、Fe、 Co、旧、Ru、
 Rh、 Pd、 Os、Ir又はptの如き第■族金
属の厚さ1.25μm迄の極めて薄い層14で被覆され
ている。この例では、ゲッタリング金属層14はニッケ
ルである0次にAl1−5n(so:2o)ろう組成よ
り成るろうのフィレット15が上記各層の頂部に配置さ
れているOこの場合、フィレットは細い金属条片である
。フィレット15の上方には、薄いニッケル層17で被
覆されたコバール合金の基部16より成る通常のピン(
又は、Cuを基材とするビン)19が配置されている。
Au−8nフイレツト15は共融(80:20)合金に
於けるその液相点である約280°C以上に加熱される
と融解し、温度が約390乃至405°C(公称595
°C)に上昇すると、銅層13が第■族金属層14、例
えばニッケル層、の一部とともにAu:Snろう融解物
中に少くとも部分的に融は込む。合金中の金及び銅は、
融解物が冷却した後により高い融点を有するより高い液
相線温度の合金を形成する傾向がある。融解物中のニッ
ケルは融解物中のAu−Sn合金との反応から錫を引き
出してゲッタリングを行い、それによってAu−Sn合
金中で組合せに使用できる錫の量を減らす傾向がある。
その効果は、Au−Sn合金中の金及び銅の比率を効果
的により大きくし、それによって金及び銅を豊富に含む
β相の形成を促進することである。その結果書られるろ
う接合部は極めて強く、その融点は極めて高くて、その
後の650乃至660°Cの温度範囲に於けるpb−8
n(95:5)のはんだボールの再流動によっても従来
の如きろう接合部の融解は生じなくなる。
第2図では、銅層16′及びニッケルの如き第■族金属
のゲッタリング金属層14′がプリフォームにより基板
10に接合されるべきピン19上に被覆されている。層
13′及び14′の厚さは層13及び14と略同−であ
ることが好ましい。その他の点では、この実施例は第1
図の場合と同一である。銅及び例えばニッケルは、Mo
−Niバッドの頂部に配置され、又はピン19の表面上
に配置され得ることが特徴である。いずれの場合でも、
ろう材が融解するときに1銅及びニッケルがろう融解物
中に導入される。
第3図では、ピン19がニッケル又は他の第■族金属よ
りなる厚さ約1.25μm又はそれ以下の薄い層14’
で被覆されたCuの基部26によって置き換えられてい
る。Cuの基部は、Au−8n融解物中にCuを加える
ための銅金属の源として働くO従って、第2図の場合と
同様に、ろうの融解相中のろうへの2つの付加物の源は
、Cuの基部26のスタッド上の金属である。
第4図では、ピンは第3図の場合と同じであるが、更に
銅及び第■族の金属がフィレットへその溶融相中に上下
から与えられる様に、第1図のニッケル層14及び銅層
13がフィレットの底部に加えられている〇 (15) ル合金の基部16と薄いニッケル層17とより成るコバ
ールのピン(又はCuを基材とスルピン)19が銅層1
3′及びニッケル層14’とともに用いられ、更に銅層
13及びニッケル層14がフィレットの底部に於て第1
図の場合と同様な層12で被覆されたバッド11上に設
けられている。この場合も、銅層13.15′並びにN
i、Pd等の第■族のゲッタリング金属層14.14’
からそれらの金属が、融解したろう合金のフィレット1
5に充分に供給される。
第6図では、第1図又は第3図の型のピン19が、例え
ば1乃至15重量%のNiを含む如き、銅を豊富に含む
Cu −N i合金より成る、銅及びゲッタリング金属
(第■族)のプリフォーム20を包含する様に修正され
た、典型的なAu:Snろうのフィレット15上に配置
されている。ピン19及びバッド11上の層12の上の
余分のニッケル及び銅又は等価物の層は、除かれる必要
はないが、除かれてもよい。
(16) 第7図の実施例は、プリフォーム20がゲッタリング金
属層22で被覆された銅層21のプリフォーム23によ
って置換えられている点を除いて、第6図の実施例と本
質的に同じである。この場合のゲッタリング金属層は、
第1図の層14と同様に、極めて薄い。
第8図の実施例は、プリフォーム23中の銅層21がN
i又は等価物のゲッタリング金属層22でめっきされて
いる点を除いて、第7図の実施例と実質的に同じである
前述の如く融解しにくくなる理由は以下の通りである。
1、 基板上に支持されたチップのはんだボールの(ろ
う付は後の)最初の再流動によって、加えられたCuと
Au−8n合金との固体状態反応が生じ、より高い融点
を有するβ相のAu :Cu :Sn合金が形成される
。連続的再流動により、合金内で更に反応が生じてβ相
が形成され、それによって通常のAu−8nろうフィレ
ット15の場合に生じた如き劣化を生じない強い接合部
が得られろ。
2、 フランジのろう付けでは、もろさのずっと少ない
N i −8n金属間化合物が界面で形成される0更に
、このプロセスはピン19のシャンクに沿ってろう金属
が上昇することを防ぐ。ろうの硬化は、金属の分散沈殿
物を形成する少量のPd又はNiの如き第■族金属を特
に再流動温度で合金を硬化させるSnに加えることによ
って実現される。これは又、β相Au−8n合金の量を
かなりの程度迄増加させることによって、融点を上昇さ
せる。
第9図は、はんだポール38により100個のチップ5
0を支持しており、矩形のフランジ32にろう付けされ
ている基板10を示している0フランジの低い表面33
が基板100周辺上のろうのフィレット31により基板
を支持している。基板10の下にピン19が配置されて
いる07ランジ52は、その頂部に延びる高い表面34
を有している。高い表面34は又、フランジ32の周辺
部を形成し、低い表面33はフランジ32の内側フレー
ムを形成している。
第10図は、ニッケル層!+7で被覆されたMO境界層
36を有する基板10を示している・層37は、ろうの
フィレット31により7ランジの低い表面33にろう付
けされている。1組の電気接続ビン19が基板10の底
部にろう付けされているO第11図は、ろうのフィレッ
ト′51内のプリフォーム59を示している。プリフォ
ーム39は、銅−ニッケル合金又はその等価物より成る
。ろうのフィレット51は、通常のAu−8n(80:
20)ろう材より成る。
第12図は、第11図のプリフォームを修正したものを
示しており、このプリフォームは1対の約0.0006
jEIl迄のニッケル又は等価物(第W族金属)の薄い
層41でめっきされた銅のスラブ40より成る。
本発明の合金を形成するための代替的方法は、最初のA
u−8n (80: 20 )合金中に少量の銅を加え
ることである。例えば、金の代替物として1乃至2重量
%迄のCuが適当である。
(19) 第15図は、ピンの端接合接着強さくpin pull
strength)のテスト結果を550°Cの熱サイ
クルの数の関数として示している。上方の曲線は直径約
0.94 msのBeCuより成るピンに関するもので
あり、下方の曲線はAu−8n(80:20)ろう材を
有する直径約0.71m1のBeCuよりなるピンに関
するものである。
第14図は、第10図乃至第12図の配置を修正したも
のを示している。チップを支持している基板110は、
銅の如き薄い層(又は、金或はパラジウムの代替物の層
)114で被覆された薄いニッケル層より成るパッド1
15を底面に有している0プリフオーム120は、5層
から成っており、上部及び底部には略共融のAu−8n
から成るより厚い層121及び125を有し、プリフォ
ーム120の中心には前述の如くろうの融点を上昇させ
る金属の源を供給する銅、Au−Cu、 Au、 Ag
Pd等の如き金層の薄い層122を有している。
フランジ152は、好ましくは銅、代替的にはAu、A
g或はPdである第1B族金属を少くとも(20) 含む金属、又はそれらの金属と前述の如きNi等の第■
族金属との組合せより成る層134で被覆されたコバー
ル合金より成る。層134の組成物の例としては、Cu
、 AuCuNiu、 CuNi、 AuCuNi等が
ある。
プリフォーム120は約0.28乃至0.”、ONの厚
さを有する。基板は約2.5乃至5gの厚さを有し、7
ランジ132は約0.6期の厚さを有している。上記ろ
うが加熱されたとき、前述の結果と極めて同様な結果が
得られ、合金中に更に加えられた第1B族及び第■族の
金属は上記のAu−8n(80:20)の共融点よりも
高く融点を上昇させて、本発明に於ける種類の合金より
成る接合部を形成する・構造体全体のコストを下げるた
めに、第1B族金属として銅が用いられることが好まし
い。
【図面の簡単な説明】
第1図はコネクタ・ピンを支持している多層セラミック
基板の一部を示す図、第2図乃至第8図は異なる第1B
族及び第■族金属の配置又は異なるピン材料により第1
図の構造を修正したものを示す図、第9図は第1図乃至
第8図に示したピンを下面に有して7ランジ上に装着さ
れ、多数の半導体チップを上面に支持している第1図乃
至第8図の基板を一部断面により示す斜視図、第10図
はフランジ及びピンと基板との間のろう接合部を示して
いる、第9図に示した断面の拡大正面図、第11図及び
第12図は第10図の構造の変形例を示す図、第13図
はろう付は後に加熱された350°Cによる熱サイクル
の数の関数としてピンの端接合接着強さを示すグラフ、
第14図は第10図乃至第12図のろう接合部の変形例
を示す図であるっ10・・・・多層セラミック基板、1
1・・・・モリブデン・パッド、12.171.17・
・・・ニッケル層、13v 13’、21・・・・銅層
、 14.14’、22.41・・・・Snゲッタリン
グ金属層(第1族金属層)15.51”Au−8nろう
のフィレット、16・・・・コバール合金の基部、19
・・・・ピン、20.2.15.39・・・・Cu及び
ゲッタリング金属のプリフォーム、26・・・・Cuの
基部、30・・・・チップ、32・・・・7ランジ、5
6・・・・モリブデン境界層、68・・・・はんだボー
ル、40・・・・銅のスラブ。 出願人  インターカンヨカル・ビジネス・マン二Xズ
・コーポレーション代理人 弁理士  岡   1) 
 次   生(外1名) (26) q FIG、  8 −450− ヘ −15 トー−→ L 第1頁の続き 0発 明 者 ウィリアム・ジョセフ・キング・ジュニ
ア アメリカ合衆国ニューヨーク州 ポーキプシー・マウンテン・ビ ュー・ロード7番地 0発 明 者 ポール・バリー・パーマティアアメリカ
合衆国ニューヨーク州 ヮッピンジャーズ・ホールズ・ モントフオード・ロード40番地 0発 明 者 ジョン・フランシス・サリヴアン アメリカ合衆国ノースカロライ ナ州うレー・ナンバー508ヒル スボロウ・ストリー) 1601番地 451−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. より高い融点を有する合金を得るために銅を加えられて
    いることを特徴とする、金と錫との共融混合物を含む金
    属ろう合金。
JP57182222A 1981-12-17 1982-10-19 ろう合金 Expired JPS592595B2 (ja)

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US06/331,717 US4634638A (en) 1981-12-17 1981-12-17 High melting point copper-gold-tin brazing alloy for chip carriers

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015159784A1 (ja) * 2014-04-18 2015-10-22 株式会社村田製作所 被着体の接着分離方法、金属複合材料
US10513073B2 (en) 2011-05-10 2019-12-24 Fette Compacting Gmbh Scraping device for a rotary press, rotary press, and method for operating a rotary press

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4492842A (en) * 1983-08-08 1985-01-08 International Business Machines Corporation Process of brazing using low temperature braze alloy of gold-indium tin
JPH0741159Y2 (ja) * 1988-10-07 1995-09-20 日本特殊陶業株式会社 気密封止型セラミックパッケージ
US5021300A (en) * 1989-09-05 1991-06-04 Raytheon Company Solder back contact
US5266522A (en) * 1991-04-10 1993-11-30 International Business Machines Corporation Structure and method for corrosion and stress-resistant interconnecting metallurgy
US5175609A (en) * 1991-04-10 1992-12-29 International Business Machines Corporation Structure and method for corrosion and stress-resistant interconnecting metallurgy
DE4224012C1 (de) * 1992-07-21 1993-12-02 Heraeus Gmbh W C Lötfähiges elektrisches Kontaktelement
GB2276762B (en) * 1993-04-01 1996-10-30 Plessey Semiconductors Ltd Mounting arrangement for semiconductor devices
JP3271475B2 (ja) * 1994-08-01 2002-04-02 株式会社デンソー 電気素子の接合材料および接合方法
JP3296400B2 (ja) * 1995-02-01 2002-06-24 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 半導体装置、その製造方法およびCu製リード
US5782740A (en) * 1996-08-29 1998-07-21 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Radiation dose delivery catheter with reinforcing mandrel
DE19730118B4 (de) 1997-07-14 2006-01-12 Infineon Technologies Ag Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Chip-Substrat-Verbindung
US6131796A (en) * 1997-10-30 2000-10-17 International Business Machines Corporation Direct brazing of refractory metal features
JP4021575B2 (ja) * 1999-01-28 2007-12-12 日本碍子株式会社 セラミックス部材と金属部材との接合体およびその製造方法
TW503546B (en) * 2000-10-13 2002-09-21 Ngk Spark Plug Co Pin standing resin-made substrate, method of making pin standing resin-made substrate, pin and method of making pin
JP3910363B2 (ja) 2000-12-28 2007-04-25 富士通株式会社 外部接続端子
US7679185B2 (en) 2006-11-09 2010-03-16 Interplex Qlp, Inc. Microcircuit package having ductile layer
JP6235226B2 (ja) * 2013-04-09 2017-11-22 日本特殊陶業株式会社 接合構造体及び半導体素子収納用パッケージ

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1052958A (fr) * 1952-03-18 1954-01-29 Csf Procédé de brasure métal-métal, notamment pour la fermeture des tubes électroniques
FR1418430A (fr) * 1963-12-02 1965-11-19 Balzers Patent Beteilig Ag Procédé de réalisation par évaporation sous vide d'un revêtement métallique adhérent, électriquement conducteur et pouvant être brasé, sur une base solide, et non métallique, par exemple verre ou matière céramique
US3496630A (en) * 1966-04-25 1970-02-24 Ltv Aerospace Corp Method and means for joining parts
CH444012A (de) * 1966-08-12 1967-09-15 Centre Electron Horloger Verfahren zur Herstellung einer Lötverbindung
US3648357A (en) * 1969-07-31 1972-03-14 Gen Dynamics Corp Method for sealing microelectronic device packages
US3844026A (en) * 1973-06-14 1974-10-29 T Hutchins Bond preparation in electrical deflection-sensitive transducer
JPS5422163A (en) * 1977-07-21 1979-02-19 Toshiba Corp Semiconductor device
JPS5516731A (en) * 1978-07-20 1980-02-05 Seiko Epson Corp Watch dial plate
US4278990A (en) * 1979-03-19 1981-07-14 General Electric Company Low thermal resistance, low stress semiconductor package
US4360142A (en) * 1979-06-29 1982-11-23 International Business Machines Corporation Method of forming a solder interconnection capable of sustained high power levels between a semiconductor device and a supporting substrate
JPS57112972A (en) * 1980-12-31 1982-07-14 Ibm Brazing method
US4465223A (en) * 1980-12-31 1984-08-14 International Business Machines Corporation Process for brazing
US4418857A (en) * 1980-12-31 1983-12-06 International Business Machines Corp. High melting point process for Au:Sn:80:20 brazing alloy for chip carriers

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10513073B2 (en) 2011-05-10 2019-12-24 Fette Compacting Gmbh Scraping device for a rotary press, rotary press, and method for operating a rotary press
WO2015159784A1 (ja) * 2014-04-18 2015-10-22 株式会社村田製作所 被着体の接着分離方法、金属複合材料
JPWO2015159784A1 (ja) * 2014-04-18 2017-04-13 株式会社村田製作所 被着体の接着分離方法、金属複合材料

Also Published As

Publication number Publication date
DE3277174D1 (en) 1987-10-15
EP0082271A3 (en) 1985-01-09
JPS592595B2 (ja) 1984-01-19
EP0082271B1 (en) 1987-09-09
EP0082271A2 (en) 1983-06-29
US4634638A (en) 1987-01-06

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