JP2005177842A - ろう材、これを用いた半導体装置の製造方法並びに半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 260〜425℃の融点を有し、かつ、半田材との濡れ性を改善することで、接合部におけるボイドの発生を抑制することが可能なろう材を提供する。
【解決手段】 Sb30〜65質量%と、P0.001〜0.5質量%とを含み、残部がSnおよび不可避不純物であるろう材、あるいは、Sb30〜65質量%と、P0.001〜0.5質量%と、Ag、Cu、FeおよびNiのうちの1種以上を合計で0.01〜5質量%とを含み、残部がSnおよび不可避不純物であるろう材を用いて、半導体素子をダイボンディングし、半導体装置を組み立てる。
【選択図】 なし
【解決手段】 Sb30〜65質量%と、P0.001〜0.5質量%とを含み、残部がSnおよび不可避不純物であるろう材、あるいは、Sb30〜65質量%と、P0.001〜0.5質量%と、Ag、Cu、FeおよびNiのうちの1種以上を合計で0.01〜5質量%とを含み、残部がSnおよび不可避不純物であるろう材を用いて、半導体素子をダイボンディングし、半導体装置を組み立てる。
【選択図】 なし
Description
本発明は、半導体素子のダイボンディングや、電子部品の組立て等に用いられる高温ろう材、特に、Pbを含まない高温ろう材、および、かかる高温ろう材を用いた半導体装置の製造方法ならびに半導体装置に関する。
高周波素子や、半導体素子を、リードフレーム等にダイボンディングして、半導体装置あるいは電子部品を組み立てる際に、融点が300℃前後のAu/20質量%Sn(Auが20質量%で、残部がSn)に代表されるAu系ろう材や、Pb/5質量%Sn(Pbが5質量%で、残部がSn)に代表されるPb系ろう材が使用されている。
組み立てた半導体装置をプリント基板へ実装する温度は、240〜260℃であり、加熱時間が10秒以下という条件である。従って、融点が300℃前後である前記Au系ろう材またはPb系ろう材をダイボンディング用として使用することにより、ダイボンディング時に使用されたろう材が再溶解してボイド発生に至るという性能劣化要因を防止できる。
また、電子部品の組立てにおいては、後工程で行われるステップろう付けの温度が220〜260℃であるため、前工程で用いたろう材が再溶解することを防止するために、前述のような高い融点のろう材が使用される。
なお、これらのろう材は、430℃以下でのダイボンディングの際に溶融する必要があるため、融点は425℃以下とする必要がある。
しかし、Au系ろう材は、価格が高いという問題があり、Pb系ろう材は、環境汚染という問題がある。したがって、安価で、Pbを含まず、溶解温度が260℃以上であり、430℃以下でろう付けが可能であり、かつ、従来よりさらに良好な濡れ性を有するろう材が求められていた。
こうした要望をかなえるべく、例えばFe、Niのうちの少なくとも1種を0.005〜5.0質量%含むSn系半田材に、Ag0.1〜20質量%、Cu0.005〜9質量%、Sb0.1〜15質量%を適量含ませる技術が開示されている(特開2001−144111号公報)。
また、Sb11.0〜20.0質量%、P0.01〜0.2質量%を含むSn/Sb系ダイボンディング用半田材に、CuおよびNiの少なくとも1種を0.005〜5.0質量%を適宜含ませる技術が開示されている(特開2001−284792号公報)。
これらの半田材は、半導体装置をプリント基板に半田により実装する際の高温にさらしても、ダイボンディング部の抵抗変化を小さくできる。
一方、ダイボンディング用半田材としてSn/Sb系合金を用いる際に、半導体素子との濡れ性を確保するため、AuやAgを含ませる必要がある(特開2001−196393号公報、段落番号0006参照)。このため、Agを含むSn/Sb系合金を半田材として用いると、半導体素子ダイボンディング面の多層金属層のうち、最表層金属であるAgが半田材と融合して、半田材の融点を過度に低下させる(特開2001−196393号公報、段落番号0006参照)。従って、半導体素子の接合面(ダイボンディング面)に、例えば、ニッケルを含む第1の金属被膜と、SnまたはSbを含む第2の金属被膜とを、この順に形成し、半田材としてSn/Sb系半田材を第2の金属被膜に対して用いることが提案されている(特開2001−196393号公報、段落番号0008、0011参照)。このSn/Sb系半田材の実施例において示された接合部のSb濃度上限は、29%である(特開2001−196393号公報、表2参照)。
しかし、本発明者が行った試験によれば、Sb濃度が29%以下のSn/Sb系半田材では、260℃の実装温度において、ろう材の再溶融が発生し、ボイド発生による性能劣化を生じた。また、ダイボンディング後の半田層に、多量のボイドが発生するという新たな問題が発生することが分かった。このボイドの存在は、接合部の熱伝導を阻害することから、半導体装置の長期信頼性を低下させる。なお、Sn/Sb系半田材で、30質量%以上のSbを含むものは開発されていない。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、半導体素子のダイボンディングや、電子部品の組立て等で用いるのに好適で、Pbを含まない新規なSn/Sb系のろう材、これを用いた半導体装置の製造方法並びに半導体装置を提供することを目的とする。
具体的には、必要とされる260〜425℃の融点を有し、かつ、半田材との濡れ性を改善しつつ、接合部におけるボイドの発生を抑制することが可能なろう材を提供することを目的とする。
本発明のろう材は、Sb30〜65質量%と、P0.001〜0.5質量%とを含み、残部がSnおよび不可避不純物である。
あるいは、Sb30〜65質量%と、P0.001〜0.5質量%と、Ag、Cu、FeおよびNiのうちの1種以上を合計で0.01〜5質量%とを含み、残部がSnおよび不可避不純物である。
本発明の半導体装置の製造方法は、前記のいずれかのろう材を用いて、半導体素子をダイボンディングし、半導体装置を組み立てる。
本発明の半導体装置は、前記のいずれかのろう材を用いて、組み立てられる。
本発明のろう材は、(1)実装温度260℃において、ろう材の再溶融が少なく、(2)チップと基板の接合時のろう材の濡れ性が良好であるため、ボイドの発生が抑止され、ボイド生成による半導体装置の特性劣化を防止できる。そのため、安価で高信頼性の半導体装置を得ることができる。
従来、Sn/Sb系合金は、Sb濃度が30質量%未満(たとえば、特開2001−196393号公報)で、検討がなされてきた。Sb濃度が30質量%未満であるのは、従来、使用されているPb/5質量%Snはんだなどのろう付け温度360℃以下と同一温度で作業できることを前提としていたためである。また、Sb濃度を30質量%近くまで増やすのは、液相温度の上昇によりろう材の再溶融量を減少することで、ボイドの生成量を減少させるためである。しかし、Sb濃度が30質量%未満のSn/Sb系合金は、プリント基板への実装温度である260℃でろう材が一部再溶融し、発生するボイドにより半導体装置の劣化が発生するため、半導体装置の製造におけるろう材として使用できなかった。また、ろう付け時に溶融したろう材表面に酸化膜が形成されやすく、濡れ性の悪さからボイドの生成が発生し、半導体装置の特性が得られなかった。
本発明者は、ろう付け温度はAu/Si共晶接合で用いられていた450℃以下であれば、半導体装置の特性に影響が無いこと、Sb濃度を30質量%以上に増やすと、プリント基板への実装温度である260℃に保持しても、ろう材の溶融は少なく、ボイドが発生せず、半導体装置の劣化が無くなること、および、ろう材にPを適量添加すれば、ろう付け時に溶融したろう材表面に酸化膜の形成が無く、濡れ性が良好で、ボイドが生成しないことの知見を得て、本発明をするに至った。
すなわち、本発明のろう材は、Sb30〜65質量%と、P0.001〜0.5質量%とを含み、残部がSnおよび不可避不純物からなるSb/Sn系合金であることを特徴とする。
Sb濃度が30質量%未満では、ダイボンディングの後工程で、半導体素子をプリント基板に実装する際の260℃での処理おいて、液相が多く出て、ろう材が溶融状態になり、ボイド生成による性能劣化を引き起こす。また、65質量%を超えると、融点が425℃を超えるので、ダイボンディングの処理温度である425℃では、ろう材は固相状態で、十分に溶融しないため、ダイボンディングが不十分となる。
Pを添加すると、ボイドの発生がより抑えられる。この理由は、ろう材溶解時に酸素がPと優先的に反応し、溶解体表面に酸化膜が発生するのを防止し、濡れ性がより改善されるためであると、本発明者は推定している。
また、別の態様のろう材は、Sb30〜65質量%と、P0.001〜0.5質量%と、Ag、Cu、FeおよびNiのうちの1種以上を合計で0.01〜5質量%とを含み、残部がSnおよび不可避不純物からなるSb/Sn系合金である。この態様のろう材は、前述の態様のろう材に、Ag、Cu、FeおよびNiのうちの1種以上を合計で、組成全体に対して0.01〜5質量%添加し、分散させて得られ、熱サイクル性がより改善される。
前記のいずれのろう材においても、半導体装置の製造に適用する際に、従来の工程や条件を、何ら変更することなく、用いることができる。
また、本発明の半導体装置は、前述のいずれかのろう材を用いて組み立てられ、ダイボンディング時のボイド発生が生じず、プリント基板への実装温度である260℃で、ろう材の再溶融によるボイド生成が生じないため、高い長期信頼性を有する。
(実施例1〜20、比較例1〜7)
それぞれ純度99.9%のSn、Sb、Pを用いて、表1に示す組成のSn合金を、大気溶解炉により溶製し、1mmφに押出し加工を行い、ワイヤー形状のろう材を製造した。
それぞれ純度99.9%のSn、Sb、Pを用いて、表1に示す組成のSn合金を、大気溶解炉により溶製し、1mmφに押出し加工を行い、ワイヤー形状のろう材を製造した。
濡れ性評価として、得られたろう材を、430℃で、窒素気流中で銅板に押し付けて溶解後、窒素雰囲気中で冷却した。
次に、接合信頼性の評価として、得られたろう材と、ダイボンダー(Dage社製、型式EBD−200)とを用いて、シリコンのダイボンディング面にAuを蒸着して作製したダミーチップを、銅製のリードフレームにダイボンディングし、さらに、エポキシ樹脂でモールドした。
−50℃/150℃の温度サイクル試験を、500サイクル、実施した。
次いで、実装基板に、加熱温度260℃、加熱時間10秒の条件で実装し、実装後、チップや接合部の異常の発生の有無と、ろう材部のボイドの発生の有無とを調べた。
その結果、実施例1〜20のいずれでも異常は見られず、ボイドも確認できなかった。しかし、比較例1〜7のいずれでも、異常が見られ、ボイドの発生が確認された。
(実施例21〜35、比較例8)
表2に示す組成のSn合金を用いた以外は、実施例1と同様に製造および評価を行った。
表2に示す組成のSn合金を用いた以外は、実施例1と同様に製造および評価を行った。
その結果、実施例21〜35のいずれでも異常は見られず、ボイドも確認できなかった。しかし、比較例8では、異常が見られ、ボイドの発生が確認された。
Claims (4)
- Sb30〜65質量%と、P0.001〜0.5質量%とを含み、残部がSnおよび不可避不純物であることを特徴とするろう材。
- Sb30〜65質量%と、P0.001〜0.5質量%と、Ag、Cu、FeおよびNiのうちの1種以上を合計で0.01〜5質量%とを含み、残部がSnおよび不可避不純物であることを特徴とするろう材。
- 請求項1および2のいずれかに記載のろう材を用いて、半導体素子をダイボンディングし、半導体装置を組み立てる半導体装置の製造方法。
- 請求項1および2のいずれかに記載のろう材を用いて、組み立てられたことを特徴とする半導体装置。
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