JPS58101443A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents

樹脂封止型半導体装置

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JPS58101443A
JPS58101443A JP56198554A JP19855481A JPS58101443A JP S58101443 A JPS58101443 A JP S58101443A JP 56198554 A JP56198554 A JP 56198554A JP 19855481 A JP19855481 A JP 19855481A JP S58101443 A JPS58101443 A JP S58101443A
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須田 実
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池沢 隆一
Kenji Akeyama
明山 健二
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不発111は衝脂到止半導体装櫨に蘭する。
衝脂側止タイプの半導体装置、内光はトランジスタにお
いて′は、第1図に示すよう九金属板ステム(又はヒー
トシンク)1上に#−導体累子2を取付け、ステムと一
連続しない便数のリード3と集子の電極との聞を金又は
ムLワイヤ4で接続(ボンディング)シ、ステム上で素
子2とリードのワイヤボンディング部分管包囲するよう
に樹脂5tモールドした構造含有する。樹脂は封止され
る半導体素子への外部よりの湿気の侵入を防止するため
のものでToす、ステム材料である鉄や鋼等の金属と掃
溜性の良いエポキシ系樹脂等が多く使われているにもか
かわらず耐湿性が完全とはいかなかった。
本−出願人においては金属ステムと樹脂との界面に生じ
る隙間からの水分の浸入管阻止する手段として、l5l
A図で示すようにステム(ヒートシンク)の1111面
に突起6會設けたもの管使用している。しかし上記構造
においても、半導体素子20SaWは樹脂とステム(全
表面にペレットボンディングに必IりlNiメッキされ
ている)とのIiI着性に依存しており、金属と比轍的
に@@性の良い工ボキシ#M脂t−1’flいても、N
1メッキ面では耐湿性が光分に保てず、樹脂と金属との
隙間にガえばシリコーンオイル等を含浸することにより
耐湿性を確保している塊状である。
本発明扛上記した点Kかんがみてなされたものであり、
その目的は11脂調止トランジスタのより効果的な耐湿
構造の提供KToる。
以下実施−にそって本発#4t−詳述する。
第2図は本発明による樹脂刺止トランジスタの腺瑠的構
造會示すもので、−中、*鱒はステム(ヒートシンク)
1.リード3及び半導体素子2を示し、破−は刺止II
w!1本5を示す。
ステムりは鍋の厚板よりなり、半導体素子の城付けられ
る上面KNiにッケル)豪Ia7が施されているが、素
子取付は部分(7) k !8Iむりング形状の胸辺f
l168はNil施さず銅か旙出し、ステムのN向94
鋼が露出する。複数のリード3ti一部でステムと縁続
し、他mはステムから浮上しt位置に設けられた鋼(又
は鉄)からなる。
上配り一部のうちステムと接続しないリードの少なくと
も内端上面にはN1豪111110が施され、このN1
被膜面に半導体素子の電極とを接続する金ワイヤ4がボ
ンディングされる。
@脂封正体はエポキシ系樹脂會上記ステム會埋金として
素子の全表面及びリードとの接続部分を包囲するように
モールドしたものである。この樹脂体はステムの上面及
びg411面の一部に接触した状總でモールドされる。
エポキシ樹脂はNi面との接着性は必しもよくないが銅
への接着性は優れている。本発明によれば、ステム上面
の半導体素子取付けEl(NL被覆面)70周辺部にリ
ング状の銅露出@8 t−t&打であるため、その部分
の銅と樹脂の接Ns分より肉糊には水分が浸入し難い。
延らにステム細面〜においてもIll施すことなく銅を
露出している皮め、ステム−面で銅と*mとの接着性か
よく、二重に水分の浸入全防止している。水出−人の実
験によれは、全面KMiメッキt−施したステムを使用
し7t?IMjIII4止品を高温^種試験に24〜4
8時間Wk続したところ耐圧劣化したが、本@明による
一5VC@t−1出したステムを使用したー脂刺止品で
は100時間以上の試験に耐えることが期待される。
本発明は前記実施力に限定されない。
ガえば11!3図に示すように、複数のリード3と一体
になったステムIにおいて、ステム上面の半導体素子取
付tjfilllとリードの内端部上面12のみKNi
メッキを施し、これらt除いた他の部分のステム及びリ
ードの上、下面部面は銅のt箇の状−で露出する。この
揚台はN1の使用量が少なく112図で示し7t?Iと
同様の効果を奏する。
ステムと複数のリードは一枚の金属板からリードフレー
ムとして形成した一体のものであっても、あるいはステ
ふとり一部とが別々の材料からなりこれら【総会せたも
のであってもよい。
*ba止捧はエポキシ糸11脂に限らず、他の倒動材料
、ガえはシリコーン系樹脂であってもよい。
ステム上Kfk執される半導体素子はトランジスタ以外
にllI数の素子を集積した牛尋体#M筺であってもよ
い。
【図面の簡単な説明】
IIE1図Fi樹脂封止トランジスタの一例を示す平面
図、第1A図は纂1図にシけるムーム断面図である。第
2図は本発明による樹脂側止トランジスタの一例の構造
を示す斜視図、第3図は本発明による11脂到止トラン
ジスタの他のガのステム・リード構造會示す斜面図であ
る。 1・・・ステム(ヒートシンク)、2・・・半II体素
子、3・・・リード、4・・・金又はムLワイヤ、5・
・・樹脂体、6・・・突起、7・・・N1被膜(素子取
付けS)、8・・・リング状周辺部、9・・・ステム細
面、10・・・Nl[ls(リード)、11・・・N1
メッキした素子取付は面、12・・・N1メッキしたリ
ード内端上面。 代理人 弁理士 薄 1)利 辛

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、金属板ステ五部材と、複数のリードと、ステム上に
    設けた半導体素子と、上記ステム上面で上記半S体素子
    とリードの内IIs部を包囲し、ステムの−SS画面傍
    う樹脂刺止体とからなる棚脂到止牛導体絣uにおいて、
    上記ステムは刺止用樹脂と接着性の良い餐属からなり、
    少なくともステム上向の半導体素子取付は部分と、リー
    ド内端のワイヤボンディング部分にはニッケル普験が形
    成され、11m剤正体色接するステム上面で少なくとも
    半導体集子取付は邸の周辺部分とステムl141面は金
    属が露出することに特徴とする樹脂刺止型半導体装置。 2、上記ステムteaする金属が鏑でめり、封止吻m腫
    がエポキシ系樹脂である特許請求の範囲第1寝に記載の
    樹腫刺止半導体俟筐。
JP56198554A 1981-12-11 1981-12-11 樹脂封止型半導体装置 Granted JPS58101443A (ja)

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JPS58101443A true JPS58101443A (ja) 1983-06-16
JPH023546B2 JPH023546B2 (ja) 1990-01-24

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4984063A (en) * 1989-03-30 1991-01-08 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor device
JP2010067850A (ja) * 2008-09-11 2010-03-25 Sanyo Electric Co Ltd 回路装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5245368U (ja) * 1975-09-27 1977-03-31
JPS52145767U (ja) * 1976-04-28 1977-11-04
JPS54146577A (en) * 1978-05-09 1979-11-15 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5245368B2 (ja) * 1973-01-19 1977-11-15

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5245368U (ja) * 1975-09-27 1977-03-31
JPS52145767U (ja) * 1976-04-28 1977-11-04
JPS54146577A (en) * 1978-05-09 1979-11-15 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4984063A (en) * 1989-03-30 1991-01-08 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor device
JP2010067850A (ja) * 2008-09-11 2010-03-25 Sanyo Electric Co Ltd 回路装置

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