JPS58100721A - フ−リエ変換型赤外分光光度計 - Google Patents
フ−リエ変換型赤外分光光度計Info
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- JPS58100721A JPS58100721A JP20048981A JP20048981A JPS58100721A JP S58100721 A JPS58100721 A JP S58100721A JP 20048981 A JP20048981 A JP 20048981A JP 20048981 A JP20048981 A JP 20048981A JP S58100721 A JPS58100721 A JP S58100721A
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- mirror
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 claims description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 229910001179 chromel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4535—Devices with moving mirror
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はフーリエ変換型赤外分光光度計に関する。この
型の分光光度計では移動鏡の位置を検出するのに、測定
対象の光とは別に一定波長の光を用いその光による干渉
縞の変化を検出すると云う方法を用いている。このため
従来のフーリエ変換型分光光度計では測定対象の光に対
する分光用干渉計 Ｗとは別の位置検出用の干渉計を構成し、この位置検出
用干渉計に一定波長の光を入射させて得られる干渉縞の
変化によって移動鏡の位置を検出するようにしている。
型の分光光度計では移動鏡の位置を検出するのに、測定
対象の光とは別に一定波長の光を用いその光による干渉
縞の変化を検出すると云う方法を用いている。このため
従来のフーリエ変換型分光光度計では測定対象の光に対
する分光用干渉計 Ｗとは別の位置検出用の干渉計を構成し、この位置検出
用干渉計に一定波長の光を入射させて得られる干渉縞の
変化によって移動鏡の位置を検出するようにしている。
上述したように従来のフーリエ変換型分光光度計は分光
用と移動鏡の位置検出用の２つの干渉計より成っている
ので構造的に複雑であり光学的な調整も面倒なものであ
った。そこで本発明は分光用の干渉計によって移動鏡の
位置検出を行い得るようにすることを目的としてなされ
た。この目的に従い本発明は、分光用干渉計を構成する
ビームスプリッタ−の少くとも一部を可視光に対して光
束分割機能を有するようにし、この部分を通るように測
定光と平行に一定波長の可視光を干渉計に入射させ得る
ように構成したフーリエ変換型赤外分光光度計を提供す
る。この構成によれば分光用干渉計に入射させた一定波
長の光の干渉縞が得られるから、その干渉縞の変化によ
って移動鏡の位置を検出することができる。以下実施例
によって本発明を説明する。
用と移動鏡の位置検出用の２つの干渉計より成っている
ので構造的に複雑であり光学的な調整も面倒なものであ
った。そこで本発明は分光用の干渉計によって移動鏡の
位置検出を行い得るようにすることを目的としてなされ
た。この目的に従い本発明は、分光用干渉計を構成する
ビームスプリッタ−の少くとも一部を可視光に対して光
束分割機能を有するようにし、この部分を通るように測
定光と平行に一定波長の可視光を干渉計に入射させ得る
ように構成したフーリエ変換型赤外分光光度計を提供す
る。この構成によれば分光用干渉計に入射させた一定波
長の光の干渉縞が得られるから、その干渉縞の変化によ
って移動鏡の位置を検出することができる。以下実施例
によって本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例の全体を示す。１がビームス
プリッタ−１２は固定鏡、３が移動鏡で、これらによっ
てマイケルソン干渉計が構成されている。Ｓは測定用光
源、４はコリメータ鏡で光源Ｓの光を平行光束にしてビ
ームスプリッタ−１に入射させる。５は集光鏡で上述マ
イケルソン干渉計からの出射光を集光して検出器６に入
射させる。
プリッタ−１２は固定鏡、３が移動鏡で、これらによっ
てマイケルソン干渉計が構成されている。Ｓは測定用光
源、４はコリメータ鏡で光源Ｓの光を平行光束にしてビ
ームスプリッタ−１に入射させる。５は集光鏡で上述マ
イケルソン干渉計からの出射光を集光して検出器６に入
射させる。
以上の構成によって移動鏡３を移動させ、この移動量を
横軸にとって検出器６の出力を縦軸に記録すると測定光
に関するインターフェログラムが得られる。
横軸にとって検出器６の出力を縦軸に記録すると測定光
に関するインターフェログラムが得られる。
ビームスプリッタ−１は全体的に赤外光に対して半透明
鏡の性質を有しているが、中央の小部分ｍだけ可視光に
対して半透明鏡になっている。コリメータ鏡４及び集光
鏡５は共に中央に小孔ｈ・ｈＩが設けられている。マは
Ｈｅ −Ｎ ｅレーザーでコリメーター鏡４の小孔りを
通してコリメータ鏡４の出射光と平行にビームスプリッ
タ−１の中央小部分ｍに一定波長の光を入射させている
。上述したようにビームスプリッタ−１の中央部は可視
光に対して半透明鏡になっているから、ビームスプリッ
タ−１，固定鏡２．移動鏡３は測定光に対すると同様レ
ーザーフの出力光に対してもマイケルソンの干渉計を構
成しており、この干渉計を出射したレーザー７の出力光
は集光鏡５の中央小孔ｈ°を通過して検出器８に入射す
る。検出器日の出力は移動鏡３がＨｅ−Ｎｅレーザーの
出力光の半波長分の移動毎に変化を繰返すから、これに
よって移動鏡３の移動量の目盛信号が得られる。
鏡の性質を有しているが、中央の小部分ｍだけ可視光に
対して半透明鏡になっている。コリメータ鏡４及び集光
鏡５は共に中央に小孔ｈ・ｈＩが設けられている。マは
Ｈｅ −Ｎ ｅレーザーでコリメーター鏡４の小孔りを
通してコリメータ鏡４の出射光と平行にビームスプリッ
タ−１の中央小部分ｍに一定波長の光を入射させている
。上述したようにビームスプリッタ−１の中央部は可視
光に対して半透明鏡になっているから、ビームスプリッ
タ−１，固定鏡２．移動鏡３は測定光に対すると同様レ
ーザーフの出力光に対してもマイケルソンの干渉計を構
成しており、この干渉計を出射したレーザー７の出力光
は集光鏡５の中央小孔ｈ°を通過して検出器８に入射す
る。検出器日の出力は移動鏡３がＨｅ−Ｎｅレーザーの
出力光の半波長分の移動毎に変化を繰返すから、これに
よって移動鏡３の移動量の目盛信号が得られる。
第２図はビームスプリッタ−１の断面を示す。
ａは基板で赤外光に対し透明なＫＢｒで作られており、
表面の蒸着層すはＧｅで赤外光に対し半透明鏡となって
いる。中央のｍの部分にはガラス（ＢＫ−’７）が嵌め
込まれており、その表面は基板ａの表面と同一平面に仕
上げてあり、クロメルの蒸着層ｄが形成してあって可視
光に対し半透明鏡になっている。
表面の蒸着層すはＧｅで赤外光に対し半透明鏡となって
いる。中央のｍの部分にはガラス（ＢＫ−’７）が嵌め
込まれており、その表面は基板ａの表面と同一平面に仕
上げてあり、クロメルの蒸着層ｄが形成してあって可視
光に対し半透明鏡になっている。
上述実施例ではビームスプリッタ−の中央部を可視光に
対するビームスプリッタ一部分としているが、これは中
央部に限定されるものではない。
対するビームスプリッタ一部分としているが、これは中
央部に限定されるものではない。
介、
２のような可ｌ光に対しても透明である材料を基ツタ一
部分に別拓可視光に対し透明な材料を嵌込む必要はなく
、蒸着層だけをその部分だけ可視光（１毛 に対し半透明反射膜となるようにすｆｔｔｆよい。蒸着
層も上側のＧｅとかクロメルに限るものではない。なお
云うまでもないが干渉計の構成も上側のマイケルソン干
渉計に限られない。
部分に別拓可視光に対し透明な材料を嵌込む必要はなく
、蒸着層だけをその部分だけ可視光（１毛 に対し半透明反射膜となるようにすｆｔｔｆよい。蒸着
層も上側のＧｅとかクロメルに限るものではない。なお
云うまでもないが干渉計の構成も上側のマイケルソン干
渉計に限られない。
本発明フーリエ変換型赤外分光光度計は上述したような
構成で、分光用干渉計によって可視光を干渉させて移動
鏡の位置を検出するので、別に移動鏡位置検出用の干渉
計を用いる従来構成に比し構造的に簡単であシ、分光用
干渉計が可視光に対しても全く同様に干渉計として機能
し得るので可視光によって干渉計の光学的調整ができて
、調整が容易迅速に行える利点があシ、分光用と同じ干
渉計によって移動鏡の位置検出を行うので、別の干渉計
を用いるよりも位置検出の精度を向上させることができ
る。
構成で、分光用干渉計によって可視光を干渉させて移動
鏡の位置を検出するので、別に移動鏡位置検出用の干渉
計を用いる従来構成に比し構造的に簡単であシ、分光用
干渉計が可視光に対しても全く同様に干渉計として機能
し得るので可視光によって干渉計の光学的調整ができて
、調整が容易迅速に行える利点があシ、分光用と同じ干
渉計によって移動鏡の位置検出を行うので、別の干渉計
を用いるよりも位置検出の精度を向上させることができ
る。
第１図は本発明の一実施例装置の全体を示す平面図、第
２図は上記装置に用いられるビームスプリッタ−の断面
図である。 １・・・ビームスプリッタ−１２・・・固定鏡、３・・
・移動鏡、４・・・コリメータ鏡、５・・・集光鏡、６
・・・測定光検出器、７・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザー、８
・・・レーザー光検出器、Ｓ・・・測定用光の光源、ｍ
・・・ビームスプリッタ−における可視光に対するビー
ムスプリッタ一部分。 代理人 弁理士 縣 浩 介
２図は上記装置に用いられるビームスプリッタ−の断面
図である。 １・・・ビームスプリッタ−１２・・・固定鏡、３・・
・移動鏡、４・・・コリメータ鏡、５・・・集光鏡、６
・・・測定光検出器、７・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザー、８
・・・レーザー光検出器、Ｓ・・・測定用光の光源、ｍ
・・・ビームスプリッタ−における可視光に対するビー
ムスプリッタ一部分。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- 少くとも一部に可視光に対して光束分割機能を持たせた
赤外用ビームスプリッタ−を用いて赤外用干渉計を構成
し、この干渉計に対して測定対象の赤外光と平行して可
視光を入出射せしめ得るようにしたフーリエ変換型赤外
分光光度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20048981A JPS58100721A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20048981A JPS58100721A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58100721A true JPS58100721A (ja) | 1983-06-15 |
| JPH037051B2 JPH037051B2 (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=16425162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20048981A Granted JPS58100721A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58100721A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63180826A (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-25 | Yokogawa Electric Corp | 分光装置 |
| WO2016166872A1 (ja) * | 2015-04-16 | 2016-10-20 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換型分光光度計 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52104981A (en) * | 1976-02-28 | 1977-09-02 | Jeol Ltd | Coherent spectrometer |
| JPS5821527A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-08 | Shimadzu Corp | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
-
1981
- 1981-12-11 JP JP20048981A patent/JPS58100721A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52104981A (en) * | 1976-02-28 | 1977-09-02 | Jeol Ltd | Coherent spectrometer |
| JPS5821527A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-08 | Shimadzu Corp | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63180826A (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-25 | Yokogawa Electric Corp | 分光装置 |
| WO2016166872A1 (ja) * | 2015-04-16 | 2016-10-20 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換型分光光度計 |
| JPWO2016166872A1 (ja) * | 2015-04-16 | 2017-11-02 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換型分光光度計 |
| CN107430033A (zh) * | 2015-04-16 | 2017-12-01 | 株式会社岛津制作所 | 傅里叶变换型分光光度计 |
| US20180113026A1 (en) * | 2015-04-16 | 2018-04-26 | Shimadzu Corporation | Fourier transform spectroscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH037051B2 (ja) | 1991-01-31 |
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