JPS58100721A - フ−リエ変換型赤外分光光度計 - Google Patents

フ−リエ変換型赤外分光光度計

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JPS58100721A
JPS58100721A JP20048981A JP20048981A JPS58100721A JP S58100721 A JPS58100721 A JP S58100721A JP 20048981 A JP20048981 A JP 20048981A JP 20048981 A JP20048981 A JP 20048981A JP S58100721 A JPS58100721 A JP S58100721A
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JP
Japan
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light
mirror
interferometer
output
beam splitter
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JP20048981A
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English (en)
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JPH037051B2 (ja
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Kiyomi Sakai
清美 阪井
Katsuhiko Ichimura
市村 克彦
Yuji Matsui
松井 有二
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Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
Original Assignee
Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
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Publication date
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Publication of JPS58100721A publication Critical patent/JPS58100721A/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/45Interferometric spectrometry
    • G01J3/453Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
    • G01J3/4535Devices with moving mirror

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はフーリエ変換型赤外分光光度計に関する。この
型の分光光度計では移動鏡の位置を検出するのに、測定
対象の光とは別に一定波長の光を用いその光による干渉
縞の変化を検出すると云う方法を用いている。このため
従来のフーリエ変換型分光光度計では測定対象の光に対
する分光用干渉計 Wとは別の位置検出用の干渉計を構成し、この位置検出
用干渉計に一定波長の光を入射させて得られる干渉縞の
変化によって移動鏡の位置を検出するようにしている。
上述したように従来のフーリエ変換型分光光度計は分光
用と移動鏡の位置検出用の2つの干渉計より成っている
ので構造的に複雑であり光学的な調整も面倒なものであ
った。そこで本発明は分光用の干渉計によって移動鏡の
位置検出を行い得るようにすることを目的としてなされ
た。この目的に従い本発明は、分光用干渉計を構成する
ビームスプリッタ−の少くとも一部を可視光に対して光
束分割機能を有するようにし、この部分を通るように測
定光と平行に一定波長の可視光を干渉計に入射させ得る
ように構成したフーリエ変換型赤外分光光度計を提供す
る。この構成によれば分光用干渉計に入射させた一定波
長の光の干渉縞が得られるから、その干渉縞の変化によ
って移動鏡の位置を検出することができる。以下実施例
によって本発明を説明する。
第1図は本発明の一実施例の全体を示す。1がビームス
プリッタ−12は固定鏡、3が移動鏡で、これらによっ
てマイケルソン干渉計が構成されている。Sは測定用光
源、4はコリメータ鏡で光源Sの光を平行光束にしてビ
ームスプリッタ−1に入射させる。5は集光鏡で上述マ
イケルソン干渉計からの出射光を集光して検出器6に入
射させる。
以上の構成によって移動鏡3を移動させ、この移動量を
横軸にとって検出器6の出力を縦軸に記録すると測定光
に関するインターフェログラムが得られる。
ビームスプリッタ−1は全体的に赤外光に対して半透明
鏡の性質を有しているが、中央の小部分mだけ可視光に
対して半透明鏡になっている。コリメータ鏡4及び集光
鏡5は共に中央に小孔h・hIが設けられている。マは
He −N eレーザーでコリメーター鏡4の小孔りを
通してコリメータ鏡4の出射光と平行にビームスプリッ
タ−1の中央小部分mに一定波長の光を入射させている
。上述したようにビームスプリッタ−1の中央部は可視
光に対して半透明鏡になっているから、ビームスプリッ
タ−1,固定鏡2.移動鏡3は測定光に対すると同様レ
ーザーフの出力光に対してもマイケルソンの干渉計を構
成しており、この干渉計を出射したレーザー7の出力光
は集光鏡5の中央小孔h°を通過して検出器8に入射す
る。検出器日の出力は移動鏡3がHe−Neレーザーの
出力光の半波長分の移動毎に変化を繰返すから、これに
よって移動鏡3の移動量の目盛信号が得られる。
第2図はビームスプリッタ−1の断面を示す。
aは基板で赤外光に対し透明なKBrで作られており、
表面の蒸着層すはGeで赤外光に対し半透明鏡となって
いる。中央のmの部分にはガラス(BK−’7)が嵌め
込まれており、その表面は基板aの表面と同一平面に仕
上げてあり、クロメルの蒸着層dが形成してあって可視
光に対し半透明鏡になっている。
上述実施例ではビームスプリッタ−の中央部を可視光に
対するビームスプリッタ一部分としているが、これは中
央部に限定されるものではない。
介、 2のような可l光に対しても透明である材料を基ツタ一
部分に別拓可視光に対し透明な材料を嵌込む必要はなく
、蒸着層だけをその部分だけ可視光(1毛 に対し半透明反射膜となるようにすfttfよい。蒸着
層も上側のGeとかクロメルに限るものではない。なお
云うまでもないが干渉計の構成も上側のマイケルソン干
渉計に限られない。
本発明フーリエ変換型赤外分光光度計は上述したような
構成で、分光用干渉計によって可視光を干渉させて移動
鏡の位置を検出するので、別に移動鏡位置検出用の干渉
計を用いる従来構成に比し構造的に簡単であシ、分光用
干渉計が可視光に対しても全く同様に干渉計として機能
し得るので可視光によって干渉計の光学的調整ができて
、調整が容易迅速に行える利点があシ、分光用と同じ干
渉計によって移動鏡の位置検出を行うので、別の干渉計
を用いるよりも位置検出の精度を向上させることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例装置の全体を示す平面図、第
2図は上記装置に用いられるビームスプリッタ−の断面
図である。 1・・・ビームスプリッタ−12・・・固定鏡、3・・
・移動鏡、4・・・コリメータ鏡、5・・・集光鏡、6
・・・測定光検出器、7・・・He−Neレーザー、8
・・・レーザー光検出器、S・・・測定用光の光源、m
・・・ビームスプリッタ−における可視光に対するビー
ムスプリッタ一部分。 代理人 弁理士  縣   浩  介

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 少くとも一部に可視光に対して光束分割機能を持たせた
    赤外用ビームスプリッタ−を用いて赤外用干渉計を構成
    し、この干渉計に対して測定対象の赤外光と平行して可
    視光を入出射せしめ得るようにしたフーリエ変換型赤外
    分光光度計。
JP20048981A 1981-12-11 1981-12-11 フ−リエ変換型赤外分光光度計 Granted JPS58100721A (ja)

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JP20048981A JPS58100721A (ja) 1981-12-11 1981-12-11 フ−リエ変換型赤外分光光度計

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JP20048981A JPS58100721A (ja) 1981-12-11 1981-12-11 フ−リエ変換型赤外分光光度計

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Publication Number Publication Date
JPS58100721A true JPS58100721A (ja) 1983-06-15
JPH037051B2 JPH037051B2 (ja) 1991-01-31

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ID=16425162

Family Applications (1)

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JP20048981A Granted JPS58100721A (ja) 1981-12-11 1981-12-11 フ−リエ変換型赤外分光光度計

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63180826A (ja) * 1987-01-22 1988-07-25 Yokogawa Electric Corp 分光装置
WO2016166872A1 (ja) * 2015-04-16 2016-10-20 株式会社島津製作所 フーリエ変換型分光光度計

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52104981A (en) * 1976-02-28 1977-09-02 Jeol Ltd Coherent spectrometer
JPS5821527A (ja) * 1981-07-31 1983-02-08 Shimadzu Corp フ−リエ変換型赤外分光光度計

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52104981A (en) * 1976-02-28 1977-09-02 Jeol Ltd Coherent spectrometer
JPS5821527A (ja) * 1981-07-31 1983-02-08 Shimadzu Corp フ−リエ変換型赤外分光光度計

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63180826A (ja) * 1987-01-22 1988-07-25 Yokogawa Electric Corp 分光装置
WO2016166872A1 (ja) * 2015-04-16 2016-10-20 株式会社島津製作所 フーリエ変換型分光光度計
JPWO2016166872A1 (ja) * 2015-04-16 2017-11-02 株式会社島津製作所 フーリエ変換型分光光度計
CN107430033A (zh) * 2015-04-16 2017-12-01 株式会社岛津制作所 傅里叶变换型分光光度计
US20180113026A1 (en) * 2015-04-16 2018-04-26 Shimadzu Corporation Fourier transform spectroscope

Also Published As

Publication number Publication date
JPH037051B2 (ja) 1991-01-31

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