JPS63180826A - 分光装置 - Google Patents
分光装置Info
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- JPS63180826A JPS63180826A JP1268787A JP1268787A JPS63180826A JP S63180826 A JPS63180826 A JP S63180826A JP 1268787 A JP1268787 A JP 1268787A JP 1268787 A JP1268787 A JP 1268787A JP S63180826 A JPS63180826 A JP S63180826A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 38
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 18
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 16
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 abstract 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はフーリエ分光法の原理を用いた分光装置に関し
、さらに詳しくは光ファイバに応力を加えることにより
光に複屈折を与える様に構成した分光装置の構造と特性
の改善に関する。
、さらに詳しくは光ファイバに応力を加えることにより
光に複屈折を与える様に構成した分光装置の構造と特性
の改善に関する。
〈従来の技術〉
従来、この種の分光装置としては第3図〜第5図に示す
ものが知られている。
ものが知られている。
第3図に示す装置は、入射スリット11から入射した光
を凹面鏡12で平行光線束とし9回折格子13に入射さ
せ、透過光あるいは回折光を凹面鏡14で結像させるも
のである。
を凹面鏡12で平行光線束とし9回折格子13に入射さ
せ、透過光あるいは回折光を凹面鏡14で結像させるも
のである。
第4図に示す装置は、2光線東干渉計を用いたフーリエ
分光法の原理に基づく分光装置で、入射スリット21か
ら入射した光をレンズ22で平行光線とし、この平行光
をハーフミラ−23で2光線束とし、各光線束をそれぞ
れ反射鏡24.25で反射させ、これらの各反射光をレ
ンズ26を介してスリット27に入射させるものである
。この装置において1反射鏡24.25のいずれか一方
を矢印に示す方向に動かし、2光線束の光路差を変化さ
せると、スリット27を通った光を受光する受光素子2
8から得られる信号のインターフェログラムが入射した
光のスペクトル分布のフーリエ変換となることから、こ
の逆変換を行って1元のスペクトル分布を知るようにし
たものである。
分光法の原理に基づく分光装置で、入射スリット21か
ら入射した光をレンズ22で平行光線とし、この平行光
をハーフミラ−23で2光線束とし、各光線束をそれぞ
れ反射鏡24.25で反射させ、これらの各反射光をレ
ンズ26を介してスリット27に入射させるものである
。この装置において1反射鏡24.25のいずれか一方
を矢印に示す方向に動かし、2光線束の光路差を変化さ
せると、スリット27を通った光を受光する受光素子2
8から得られる信号のインターフェログラムが入射した
光のスペクトル分布のフーリエ変換となることから、こ
の逆変換を行って1元のスペクトル分布を知るようにし
たものである。
また、第5図に示した装置は複屈折の波長依存性を利用
したフーリエ分光装置である。偏光子32と検光子33
の間に2枚の複屈折性結晶板31a、31bを楔状にし
て重ね、相互に滑動させて厚さd、を変えることにより
常光線と異常光線の間に位相差を与える様にしたもので
ある。
したフーリエ分光装置である。偏光子32と検光子33
の間に2枚の複屈折性結晶板31a、31bを楔状にし
て重ね、相互に滑動させて厚さd、を変えることにより
常光線と異常光線の間に位相差を与える様にしたもので
ある。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、上記従来の構成において第3図に示すも
のは1分解能を上げる為には、受光側のスリットを細く
する必要があり1分解能と精度とを同時に向上させるの
は難しいという問題がある。
のは1分解能を上げる為には、受光側のスリットを細く
する必要があり1分解能と精度とを同時に向上させるの
は難しいという問題がある。
また、第4図に示すものは第3図に比較すれば入射スリ
ットを必要とせず、受光素子に入る光の全スペクトルを
同時に測定することが出来、光量も多いためS/N比が
良好であり、波長精度が高い等の長所がある半面、光路
差を変えるために反射鏡を動かす必要があり、その機械
的精度が要求されるとともに小形化が困難であり、振動
等に弱いという問題がある。また、第5図に示ずものは
。
ットを必要とせず、受光素子に入る光の全スペクトルを
同時に測定することが出来、光量も多いためS/N比が
良好であり、波長精度が高い等の長所がある半面、光路
差を変えるために反射鏡を動かす必要があり、その機械
的精度が要求されるとともに小形化が困難であり、振動
等に弱いという問題がある。また、第5図に示ずものは
。
大きな位相差を与えるのが難しく高い分解能が得られな
いという欠点がある。
いという欠点がある。
本発明は上記従来技術の問題点に鑑みて成されたもので
、ta械的精度を要する構成部品が不要で。
、ta械的精度を要する構成部品が不要で。
振動に強く、小形化、集積化が可能であり分解能および
精度の良好な分光装置を実現することを目的とする。
精度の良好な分光装置を実現することを目的とする。
く問題点を解決するための手段〉
上記問題点を解決するための本発明の構成は、基準波長
光源からの出力光を入射して直線偏波成分を取出す第1
の偏波分離素子と、被測定光を入射して直線偏波成分を
取出す第2の偏波分離素子と、前記第1.第2の偏波分
離素子からの出力光を合流させる光合波器と、この光合
波器からの出力光に連続的に複屈折量の変化を与える偏
波制御器と、この偏波制御器からの出力光を基準波長光
源からの光と、被測定光からの光に分離する分波器と、
この分波器からのそれぞれの出力光から直線偏波成分を
取出す第3および第4の偏波分離素子と、これら第3.
第4の偏波分離素子からの出力光を受光し、電気信号に
変換する光電変換素子と、これら光電変換素子からの出
力を入力する演算制御部を具備し、前記偏波制御部の複
屈折量の変化量の被測定光に対する波長依存性から、基
準波長光源の複屈折量の変化を基準として、フーリエ分
光法により被測定光のスペクトルを求めるように構成し
たことを特徴とするものである。
光源からの出力光を入射して直線偏波成分を取出す第1
の偏波分離素子と、被測定光を入射して直線偏波成分を
取出す第2の偏波分離素子と、前記第1.第2の偏波分
離素子からの出力光を合流させる光合波器と、この光合
波器からの出力光に連続的に複屈折量の変化を与える偏
波制御器と、この偏波制御器からの出力光を基準波長光
源からの光と、被測定光からの光に分離する分波器と、
この分波器からのそれぞれの出力光から直線偏波成分を
取出す第3および第4の偏波分離素子と、これら第3.
第4の偏波分離素子からの出力光を受光し、電気信号に
変換する光電変換素子と、これら光電変換素子からの出
力を入力する演算制御部を具備し、前記偏波制御部の複
屈折量の変化量の被測定光に対する波長依存性から、基
準波長光源の複屈折量の変化を基準として、フーリエ分
光法により被測定光のスペクトルを求めるように構成し
たことを特徴とするものである。
〈実施例〉
第1図は本発明の分光装置の一実施例を示ず構成説明図
である。
である。
図において、41はλ0の波長のレーザを出力する基準
波長光源であり、42aはそのレーザを入力し直線偏波
成分を取出す第1の偏波分離素子(例えば偏光ビームス
プリッタ)である。42bはλ1〜λ2の被測定波長A
を入射してその直線波長を取出す第2の偏波分離素子で
あり、これら第1.第2の偏波分離素子からの出力光は
光ファイバ60を介して光合波器(例えば融着形光カプ
ラ、ダイクロイックミラー等)43に導かれる。
波長光源であり、42aはそのレーザを入力し直線偏波
成分を取出す第1の偏波分離素子(例えば偏光ビームス
プリッタ)である。42bはλ1〜λ2の被測定波長A
を入射してその直線波長を取出す第2の偏波分離素子で
あり、これら第1.第2の偏波分離素子からの出力光は
光ファイバ60を介して光合波器(例えば融着形光カプ
ラ、ダイクロイックミラー等)43に導かれる。
この光合波器からの出力は光ファイバ60を介して光分
波器44に入射するが、その光ファイバは途中がループ
状に複数回巻き回され、偏波面制御部45を構成してい
る。光ファイバはループ状に巻き回すことによりその内
部に異方性が生じ「波長板」と同様の役割をする。この
ループ状の光ファイバを矢印B−B−(光の進行方向に
直角)方向に回動させることによりその回動角に応じて
導波する光の偏波面が変化する。この変化の度合は光の
波長にほぼ逆比例することが知られている(この偏波面
制御部の理論は後に説明する)。
波器44に入射するが、その光ファイバは途中がループ
状に複数回巻き回され、偏波面制御部45を構成してい
る。光ファイバはループ状に巻き回すことによりその内
部に異方性が生じ「波長板」と同様の役割をする。この
ループ状の光ファイバを矢印B−B−(光の進行方向に
直角)方向に回動させることによりその回動角に応じて
導波する光の偏波面が変化する。この変化の度合は光の
波長にほぼ逆比例することが知られている(この偏波面
制御部の理論は後に説明する)。
光分波器44は、偏波面制御部45からの光を基準波長
光源からのレーザλ0の光と被測定光λ 1〜λ2の光
に分離し、これら分離された出力光は第3.第4の偏波
分離素子42c、42dにそれぞれ入射して直線偏波成
分のみが取出される。
光源からのレーザλ0の光と被測定光λ 1〜λ2の光
に分離し、これら分離された出力光は第3.第4の偏波
分離素子42c、42dにそれぞれ入射して直線偏波成
分のみが取出される。
この偏波分離素子からの出力光はそれぞれ第1゜第2の
光電変換素子46a、46bに入射され電気信号に変換
された後、増幅器50a、A/D変換器50b、計算1
1!50c等からなる演算制御部50へ入力される。増
幅器50aは第2の光電変換素子46bからの被測定光
の電気信号を増幅し。
光電変換素子46a、46bに入射され電気信号に変換
された後、増幅器50a、A/D変換器50b、計算1
1!50c等からなる演算制御部50へ入力される。増
幅器50aは第2の光電変換素子46bからの被測定光
の電気信号を増幅し。
A/D変換器50bに出力する。また、第1の光電変換
素子468からの基準波長光源からの電気信号は偏波面
制御部45での偏波面制御量をモニタしていることにな
るので、この電気信号をサンプリングクロックとして用
いれば等しい複屈折量の変化毎にサンプリングすること
が出来る。
素子468からの基準波長光源からの電気信号は偏波面
制御部45での偏波面制御量をモニタしていることにな
るので、この電気信号をサンプリングクロックとして用
いれば等しい複屈折量の変化毎にサンプリングすること
が出来る。
第2の光電変換素子46bからの被測定光の電気信号は
前記サンプリングクロックでサンプリングされ、A/D
変換変換算計算機りスペクトラムの計算を行う。
前記サンプリングクロックでサンプリングされ、A/D
変換変換算計算機りスペクトラムの計算を行う。
また、この計算機50cには偏波面υJ御部45の制御
を行わせ、ファイバルーズの傾きの角度を例えばO〜1
806の任意の角度に制御することが出来る。
を行わせ、ファイバルーズの傾きの角度を例えばO〜1
806の任意の角度に制御することが出来る。
ここで、偏波制御部45の動作について光ファイバをル
ープ状に巻き回した場合について説明する。
ープ状に巻き回した場合について説明する。
光ファイバをループにした際に生ずる複屈折δTL(r
ad)は次式により与えられる。
ad)は次式により与えられる。
δπ=(2π)28r2N/(Rλ)・(i)r;光フ
ァイバの半径 N;巻き数 R;光ファイバの曲げ半径 λ:波長 a:光ファイバの材料、構造等により決まる定数 なお、上記0式は雑誌rELEcTRON I C8L
E T T E RS 25th S epte
mber 1980Vol、 16Jに記載された公
知の式である。
ァイバの半径 N;巻き数 R;光ファイバの曲げ半径 λ:波長 a:光ファイバの材料、構造等により決まる定数 なお、上記0式は雑誌rELEcTRON I C8L
E T T E RS 25th S epte
mber 1980Vol、 16Jに記載された公
知の式である。
0式から分るように複屈折δ1は波長λに反比例する。
しかし、実際には複屈折δ1が波長λに正確には反比例
しない場合もあるのでδπとλの関係は実験により求め
ておくほうが望ましい。
しない場合もあるのでδπとλの関係は実験により求め
ておくほうが望ましい。
ここで、0式を変形して
Δ−λδTL=((2π)28r2N)/Rとし、被測
定光のスペクトル分布をBυとする(υは波数を示すも
ので波長の逆数である)。
定光のスペクトル分布をBυとする(υは波数を示すも
ので波長の逆数である)。
δ且を連続的に変化させて得られる光出力(λ1〜λ2
側の光電変換素子)はδπ−υΔを用いて(1+cos
2πυ Δ ) dυ ・・・■(この式では、入射側
と出力側の偏波分離素子は同じ向きとした。逆向きの場
合も2式の()の中は変るが結論は同様となる) ■(Δ)−F(Δ)−F(o)/2 ベクトル分布B (h )のフーリエ変換となっている
。したがって逆フーリエ変換の関係からとなる。ぼって
■(Δ)をフーリエ変換すれば。
側の光電変換素子)はδπ−υΔを用いて(1+cos
2πυ Δ ) dυ ・・・■(この式では、入射側
と出力側の偏波分離素子は同じ向きとした。逆向きの場
合も2式の()の中は変るが結論は同様となる) ■(Δ)−F(Δ)−F(o)/2 ベクトル分布B (h )のフーリエ変換となっている
。したがって逆フーリエ変換の関係からとなる。ぼって
■(Δ)をフーリエ変換すれば。
光源のスペクトル分布を求めることが出来る。
実際にΔを無限にとることは不可能なので0式の積分区
間は有限になるが、これらは、FFT演算で一般に行な
われる「窓関数を掛ける」等の処理で誤差の少ない演算
を実行することが出来る。
間は有限になるが、これらは、FFT演算で一般に行な
われる「窓関数を掛ける」等の処理で誤差の少ない演算
を実行することが出来る。
なお、波長の関係として、基準光λ0は被測定光の範囲
外にあるものとする。また波長の大きさとしてはλ0〉
λ1〉λ2の方が望ましい。
外にあるものとする。また波長の大きさとしてはλ0〉
λ1〉λ2の方が望ましい。
第2図は偏波面制御部の他の実施例を示すものである。
この例においては、第1図に示す光合波器43と光分波
器44の間の光ファイバを、ループ状に巻き回す代りに
直線的に配置する。その先光ファイバの側面から直交す
る2つの応力を加えることにより複屈折量の変化を与え
るようにしたものであり、その複屈折量の変化量は加え
る応力の強さを制御することにより可能である。なお。
器44の間の光ファイバを、ループ状に巻き回す代りに
直線的に配置する。その先光ファイバの側面から直交す
る2つの応力を加えることにより複屈折量の変化を与え
るようにしたものであり、その複屈折量の変化量は加え
る応力の強さを制御することにより可能である。なお。
この実施例においても演算制御部の計算機50cから光
ファイバに加える応力を制御するように信号を出力する
ことが出来る。
ファイバに加える応力を制御するように信号を出力する
ことが出来る。
〈発明の効果〉
以上、実施例とともに具体的に説明したように本発明に
よれば。
よれば。
(1) 干渉計を用いたフーリエ分光器のような機械精
度を要する部品が不要であり、光が光ファイバ、その他
構成部品の外に出射することなく光電変換素子に達する
ので振動に強い。
度を要する部品が不要であり、光が光ファイバ、その他
構成部品の外に出射することなく光電変換素子に達する
ので振動に強い。
(2) 干渉計が不要なため構造がシンプルとなり小形
化が可能である。
化が可能である。
(3) ファイノやループの巻き数9巻き径等を適当に
選択したり、光ファイバの側面に直交して加える応力を
調整することにより、複屈折量を自由に選択することが
出来、第3図に示した結晶を使用したものに比較して制
約がない。
選択したり、光ファイバの側面に直交して加える応力を
調整することにより、複屈折量を自由に選択することが
出来、第3図に示した結晶を使用したものに比較して制
約がない。
(4) S/Nが良く、波長が正確なのでフーリエ分
光法のメリットを充分に生かすことが出来る。
光法のメリットを充分に生かすことが出来る。
第1図は本発明の一実施例を示す構成説明図。
第2図は偏波面制御部の他の実施例を示す正面図。
第3図〜第5図は従来例を示す図である。
41・・・基準波長光源、42a〜42d・・・第1〜
第4の偏波分離素子、43・・・光合波器、44・・・
光分波器、45・・・偏波面制御部、45a、46b・
・・第1.第2の光電変換素子、47・・・コリメータ
レ第2図 第3図 第4図 第5図
第4の偏波分離素子、43・・・光合波器、44・・・
光分波器、45・・・偏波面制御部、45a、46b・
・・第1.第2の光電変換素子、47・・・コリメータ
レ第2図 第3図 第4図 第5図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)基準波長光源からの出力光を入射して直線偏波成分
を取出す第1の偏波分離素子と、被測定光を入射して直
線偏波成分を取出す第2の偏波分離素子と、前記第1、
第2の偏波分離素子からの出力光を合流させる光合波器
と、この光合波器からの出力光に連続的に複屈折量の変
化を与える偏波制御器と、この偏波制御器からの出力光
を基準波長光源からの光と、被測定光からの光に分離す
る分波器と、この分波器からのそれぞれの出力光から直
線偏波成分を取出す第3および第4の偏波分離素子と、
これら第3、第4の偏波分離素子からの出力光を受光し
、電気信号に変換する光電変換素子と、これら光電変換
素子からの出力を入力する演算制御部を具備し、前記偏
波制御部の複屈折量の変化量の被測定光に対する波長依
存性から、基準波長光源の複屈折量の変化を基準として
、フーリエ分光法により被測定光のスペクトルを求める
ように構成したことを特徴とする分光装置。 2)前記偏波制御器は前記光合波器と光分波器を結ぶ光
ファイバーの途中を、ループ状に複数回巻き回し、この
ループ部を回動させて複屈折量の変化を与える様にした
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の分光装置
。 3)前記偏波制御器は前記光合波器と光分波器を結ぶ光
ファイバーの途中に光ファイバーの側面から直交する2
つの応力を加えて複屈折量の変化を与える様にしたこと
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の分光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62012687A JPH0814510B2 (ja) | 1987-01-22 | 1987-01-22 | 分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62012687A JPH0814510B2 (ja) | 1987-01-22 | 1987-01-22 | 分光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63180826A true JPS63180826A (ja) | 1988-07-25 |
JPH0814510B2 JPH0814510B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=11812287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62012687A Expired - Lifetime JPH0814510B2 (ja) | 1987-01-22 | 1987-01-22 | 分光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0814510B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4856484A (ja) * | 1971-11-16 | 1973-08-08 | ||
JPS58100721A (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-15 | Kiyomi Sakai | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
JPS61259225A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 偏波面回転装置 |
-
1987
- 1987-01-22 JP JP62012687A patent/JPH0814510B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4856484A (ja) * | 1971-11-16 | 1973-08-08 | ||
JPS58100721A (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-15 | Kiyomi Sakai | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
JPS61259225A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 偏波面回転装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0814510B2 (ja) | 1996-02-14 |
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